JPH08213730A - 非環状ランドを有する配線基板、及びその製作方法 - Google Patents

非環状ランドを有する配線基板、及びその製作方法

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JPH08213730A
JPH08213730A JP7287611A JP28761195A JPH08213730A JP H08213730 A JPH08213730 A JP H08213730A JP 7287611 A JP7287611 A JP 7287611A JP 28761195 A JP28761195 A JP 28761195A JP H08213730 A JPH08213730 A JP H08213730A
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land
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holes
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アイバン・アイ・チョボット
Robert A Martone
ロバート・エイ・マートン
Jr Thurston B Youngs
サーストン・ビー・ヤング、ジュニア
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スルー・ホールを完全には取囲まない非環状
のランドを使うことによって、配線基板上で利用できる
領域を増加させる。 【解決の手段】 この発明は、スルー・ホール42と配
線との間の信頼性のある接続を維持しながら、新しいラ
ンドの形を用いることにより配線基板上で利用できる領
域を増加させる。この発明の非環状ランド40は、メッ
キされたスルー・ホールの全円周に接する360度の環
状ランドの代りに、一部分にのみ接している、即ちスル
ー・ホールの周囲360度より少ない部分に接してい
る。非環状ランドはスルー・ホールに対して、スルー・
ホールに接する配線と同じ側に設けられ、ランドの形は
楕円であることが望ましい。この発明はまた、このよう
な非環状ランドを製作する方法にも係っている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は基板のスルー・ホー
ルと配線を接続するランドに関するもので、特に非環状
のランドにより配線上で利用できる領域を増加させたラ
ンドに関する。
【0002】
【発明が解決しようとする課題】初期の配線基板製作手
法では、配線基板の表面上には直接にスルー・ホール
(基板を貫通する穴)に接続される配線があった。スル
ー・ホールは伝導体の物質でメッキされると、配線基板
の表面と裏面を接続する役目をする。残念なことに、ス
ルー・ホールに直接に配線を接続すると、その接続が高
い不良率を持っていた。金属の配線とサブストレート
(基板)との間の熱膨張の差が、特に配線とスール・ホ
ールの接合点においての割れ目を引起こした。その結
果、配線とスルー・ホールの間の電気的接続は切断され
た。
【0003】この接続の高い不良率を低減させる目的
で、配線とスルー・ホールとを接続するためのランドが
形成された。電気的に伝導体の物質、一般的には銅で形
成されたランドは、円状、より明確には環状の形状であ
り、スルーホールを完全に取囲む。ランドを備えること
によって、スルー・ホールと配線との間の接続用の表面
面積は明らかに増加し、この結果、接続の不良は減少し
た。
【0004】ランドは歴史的に言って、今までずっと環
状であり、それによってメッキされたスルー・ホールの
端部とランドとの間の接触面積を最大にしていた。その
上、印刷配線基板の製作手順の間に、スルー・ホールか
ら位置ずれをしたランドを作ってしまうことになる、穴
あけ、又はフォトリソグラフィでの誤差を補うために
も、ランドは円形で形成されていた。
【0005】配線基板と集積回路素子を小型化する探求
の中で設計者達は、配線基板の表面上及び素子上に、よ
り多くの電子的な構造物を載せる努力をしてきた。この
目標を達成するために、設計者達は絶えず増加し続ける
領域を要求しており、それは配線基板上の「領有域」で
ある。利用できる「領有域」を増加させる試みの中で、
スルー・ホールの直径と比較した旧来のランドの直径は
減少してきた。しかしスルー・ホールの穴あけが行われ
たとき、ドリルの刃がしばしばサブストレートからラン
ドを剥取ってしまい、スルー・ホールが不規則な形とし
て残り、信頼できないメッキされたスルー・ホールを生
じさせた。
【0006】実際には、配線基板の技術が進歩してくる
にしたがって、ランドの大きさは小さくなるより、むし
ろ大きくなってきていた。配線とランドとの間の接続の
信頼性を更に改善するために、「フレア(張り出し)」
として知られる突出部が、配線の軸に沿ってランドに付
け加えられていた。円形のランドにフレアを付け加える
と、旧来のランドよりも更に多くの領域を消費させるこ
とになる。ランドによってもたらされる配線とスルー・
ホールとの間の信頼性のある接続を維持しながら、サブ
ストレート上に利用できる領域を増加させることが望ま
しいのである。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、スルー・ホー
ルを完全には取囲まない非環状のランドを用いることに
よって領域を増加させる。即ちこれらのランドは、スル
ー・ホールの周囲で360度すべての方向には伸びてい
ないものである。非環状のランドは、スルー・ホールの
一つの側面にのみ接していることが望ましく、これによ
って、このランドでなく旧来のランドを用いていたので
は利用できない領域を提供する。本発明はまた、このよ
うな非環状のランドを製作する方法にも関係している。
【0008】
【発明の実施の形態】本発明は、スルー・ホールと配線
との間の信頼性のある接続を維持しながら、新しいラン
ドの形を提供することにより利用できる領域を増加させ
る。メッキされた又はペーストが塗布されたスルー・ホ
ールの全円周に接する360度の環状ランドの代わり
に、本発明の非環状ランドは一部分にのみ接している、
即ちスルー・ホールの周囲360度より少ない部分に接
している。非環状ランドは、スルー・ホールに対してス
ルー・ホールに接する配線と同じ側に設けられ、ランド
の形は楕円であることが望ましい。非環状ランドの採用
により、利用できる領域の増加がもたらされる。例えば
図1を参照すると、旧来の360度の環状ランド10、
及びフレア14を持つ旧来の360度の環状ランド12
が、スルー・ホール20と22に接続されているのが分
かる。ここではスルー・ホールの中心間が0.05イン
チの間隔を持っているが、スルー・ホール20と22の
間の区域には、わずか2本の0.004インチの配線、
配線16及び18が入れられるだけである。
【0009】図2を参照すると、非環状のランド40が
スルー・ホール42を部分的に囲んでいるのが分かる。
スルー・ホール42と、もう一つのスルー・ホールの中
心間の0.05インチの区域には3本の0.004イン
チの配線、配線46、48、50を入れることができ
る。エポキシーガラスがカードに使われる絶縁物質であ
るとき、配線間の短絡を防ぐために必要である、配線間
の最小間隔は2ミルである。このようにして、旧来のラ
ンドを使うときに利用できる領域に比較すると、非環状
ランドは領域の大きな増加をもたらす。
【0010】ここで図3を参照して、非環状ランドの望
ましい長さは、オフセット間隔d0を計算することによ
って決められる。オフセット間隔d0は、フォトリソグ
ラフィックな工程の中で、選択されたアートワークであ
る、レティクル(ここではたくさんの穴のパターンを持
つ定型のマスク)の穴の半径が、スルー・ホールの中心
からオフセットされるときの間隔を表している。望まし
いオフセット間隔d0は、次の式で決められる。
【数1】d0=z+(rh−ri)+t0−s ここでt0は、伝導体製作工程、つまりエッチング工程
での許容誤差である。(許容誤差が不明の場合はt0
0である。)sは、ここでは基板上の配線を意味する、
伝導体配線の最小間隔であり、これは配線基板の設計技
術に従って変化する。zはスルー・ホール60の周辺
と、最も近い配線との間の必要とされる最小間隔であ
る。rhは、穴あけが行われたときのスルー・ホール6
0の半径である。ri、は非環状ランド62を形成する
ために使われるレティクルの穴の半径であり、riはrh
と同じ値であることが望ましい。例えば、zが6.5ミ
ル、rhが6ミルであり、sが最小2ミルであることが
望まれ,t0が1.0ミル、riが6ミルであるならば、
【数2】d0=6.5+(6−6)+1.0−2.0 d0=5.5となる。このようにして、レティクルの穴
の中心は最後の露光の際に、スルー・ホールの中心から
5.5ミル、オフセットされる必要がある。望ましく
は、レティクルが意図しているスルー・ホールの位置の
上に置かれる最初の露光と、レティクルがスルー・ホー
ルの中心から5.5ミル離して置かれる露光との間に、
レティクルをスルー・ホールの中心から半分の間隔、即
ち2.75ミルの位置に置いて露光を行うと良い。
【0011】この文の中で使われているように「長さ」
とは、非環状ランドに接続された配線の軸に沿って、ス
ルー・ホールの端から配線の端までを測ったときの、非
環状ランドの寸法を言う。非環状ランドの長さは、zか
ら(t0+s)を引いた値の0.1倍から2倍であるこ
とが望ましく、0.5倍から0.75倍であることが更
に望ましい。非環状ランドの長さは、zから(t0
s)を引いた値の2倍を超えることも可能ではあるが、
このときは増加した領域をもたらすという目的にはかな
わない。より短い長さ、即ちzから(t0+s)を引い
た値の0.1倍より短いときは、接続の不良率が増加す
ることになり、好ましくない。一般に、zから(t0
s)を引いた値の0.1倍より短いような長さが採用さ
れるときは、非環状ランドと近接の配線との間に十分な
絶縁物質が無く、その結果、非環状ランドと近接の配線
との間で短絡が起こる。
【0012】非環状ランドの幅は、ランドの長さ方向に
直角の方向のランドの寸法である。非環状ランドの幅は
配線の幅より広い。そしてまた、非環状ランドの幅は、
穴を空けたスルー・ホールの幅を超えることも可能であ
る。しかし、非環状ランドの幅は穴を空けたスルー・ホ
ールの幅に等しいか、より小さいことが望ましい。ラン
ドは配線と同じ物質で作られ、その物質は一般には銅で
ある。
【0013】最初に旧来のフォトリソグラフィックな手
法を使ってアートワークが製作される。必要とされる非
環状ランドの像が、ガラスの上、又はほかの透明の基板
上の感光乳剤のキャリア上に露光される。非環状ランド
を作成する望ましい手法が、図4に示されている。スル
ー・ホールの穴あけがされる場所の中心点である(x、
y)に相当する位置に、旧来の円形レティクルの穴の中
心が置かれる。感光乳剤は光、望ましくは紫外線に露光
される。その後レティクルの穴は前記の式を用いて計算
されたオフセット間隔d0だけスルー・ホールの中心か
らオフセットされる。同様にレティクルの穴は、(x+
0/2,y)に相当する位置に中心を合わせられ、そ
して露光される。望ましくは更に長い非環状ランドを得
るために、レティクルの穴は(x+d0,y)に相当す
る位置に置かれ、2回目の露光が行われる。その後、感
光乳剤キャリアが現像される。一般的には、非環状ラン
ドは、実際のスルー・ホールを近接伝導体に対して許さ
れる最小の間隔に配置できるような大きさであるだけで
良い。代りの方法として、旧来の円形のレティクルを使
ってアートワークを作成するよりむしろ、誂えたアート
ワーク、即ち望ましい非環状ランドの形に作成された露
光マスクを使うこともできる。
【0014】その後アートワークは、伝統的な印刷配線
の光写像工程で使われ、その工程の中で光写像ができる
レジストが基板上に塗布され、そしてアートワークを通
して化学線放射に露光される。このフォトレジストは旧
来の工程を用いて旧来の方法で現像され、必要なパター
ンを形成する。フォトレジストが現像されて、最終的な
非環状ランドの形を形成する場合には、サブトラクティ
ブ法が望ましい。露光されなかったフォトレジストは旧
来の溶剤で除去され、必要なパターンになっている露光
されたフォトレジストが残る。その後エッチング液が使
われて、露光されたフォトレジストで保護されていない
金属を取除く。露光されたフォトレジストが剥取られ、
必要な非環状ランドを含む最終的な伝導体のパターンが
残される。代りに、又は追加として旧来のアディティブ
法を使うことも可能である。このようなアディティブ法
ではフォトレジストの間の空間が、現像された際に、回
路を形成するパターンを決める。回路形成は、このよう
な空間にアディティブなメッキ付けのような旧来の方法
で行われる。メッキ付けの後、フォトレジストが除去さ
れ、必要な非環状ランドを含む最終的な伝導体のパター
ンが残される。
【0015】「コア」のサブストレートを一つのコンポ
ジット(合成体)構造体に組立てる際に、それぞれのコ
アは正しく揃えられ、即ち必要とされる層への適切な接
続を行うために位置合わせされる。組上げたものは、そ
の後必要なスルー・ホールを形成するために穴あけさ
れ、そしてスルー・ホールは、一般には電気分解、又は
無電解銅メッキによって旧来の手法でメッキ付けされ
る。代りにスルー・ホールに伝導体のペーストを塗布す
ることもできる。その結果、メッキされたスルー・ホー
ルは、図3に示すように非環状ランドと接触する。
【0016】配線間の最小間隔が2ミルで、本発明の非
環状ランドを持つ薄く軽いカードが次のようにして作成
された。アートワークを作成するために、透明な基板の
上にデポジットされた感光性の乳剤の上に0.011イ
ンチの直径の穴を持つ円形の不透明なレティクルが置か
れた。このレティクルの穴は必要とされる複数のスルー
・ホールの中心に置かれ、紫外線で露光された。それぞ
れのレティクルの穴がスルー・ホールの中心から3ミル
のオフセットがされ、そして露光され、そこから更に2
回目の3ミルのオフセットがされて、露光された。レテ
ィクルは取り除かれ、乳剤が現像されてアートワークが
作られた。Dupont Chemical Comp
anyから「Resiston」の名で入手できる旧来
の負性のフォトレジストが0.050インチ×0.02
5インチのグリッド寸法を持つカード上にデポジットさ
れた、0.0014インチの銅の層上に塗布された。フ
ォトレジストはアートワークを通して化学線放射に露光
され、旧来の方法で現像された。ランドを定めるために
カードはエッチングされ、その後フォトレジストは剥取
られた。積層、固定、位置合わせを含むいくつかの旧来
の製作手順を終了させた後、0.010インチのドリル
刃を使ってスルー・ホールの穴あけがされた。次にスル
ー・ホールは電解銅メッキ法によって旧来の方法でメッ
キ付けされ、0.008インチの直径を持つ複数のスル
ー・ホールと、0.010インチの幅、0.006イン
チの長さを持つランドを形成した。カードの一部の配線
パターンは図5に示されている。
【0017】sの値が2ミルであり、本発明の非環状ラ
ンドを持つカードが次のようにして製作された。アート
ワークを製作するために、透明な基板の上にデポジット
された感光性乳剤の上に、0.009インチの直径の穴
を持つ円形の不透明なレティクルが置かれた。このレテ
ィクルの穴は必要とされる複数のスルー・ホールの中心
に置かれ、紫外線に露光された。それぞれのレティクル
の穴がスルー・ホールの中心から3ミルのオフセットが
され、そして露光され、それから更に二回目の3ミルの
オフセットがされて、露光された。レティクルは取除か
れ、乳剤が現像されてアートワークが製作された。Du
pontから「Resiston」の名で入手できる旧
来の負性のフォトレジストが0.050インチ×0.0
25インチのグリッド寸法を持つカードの上にデポジッ
トされた、0.0014インチの銅の層上に塗布され
た。フォトレジストはアートワークを通して化学線放射
に露光され、そして旧来の方法で現像された。ランドを
定めるためにカードはエッチングされ、その後フォトレ
ジストは剥取られた。次に0.008インチのドリルの
刃を使って複数のスルー・ホールの穴あけがされた。ス
ルー・ホールは電解銅メッキ法を使って旧来の方法でメ
ッキ付けされ、0.006インチの直径を持つ複数のス
ルー・ホールと、0.008インチの幅と、0.006
インチの長さを持つランドを形成した。配線パターンは
図6に示されている。
【0018】本発明の非環状ランドを持つカードが次の
ようにして製作された。アートワークを製作するため
に、透明な基板の上にデポジットされた感光性の乳剤の
上に0.011インチの穴の直径を持つ円形の不透明な
レティクルが置かれた。このレティクルの穴は必要とさ
れる複数のスルー・ホールの中心に置かれ、そして紫外
線に露光された。それぞれのレティクルの穴はスルー・
ホールの中心から3ミルのオフセットがされ、そして露
光され、それから更に二回目の3ミルのオフセットがさ
れて、露光された。レティクルは取除かれ、乳剤が現像
されてアートワークが製作された。Dupont Ch
emical Companyから「Resisto
n」の名で入手できる旧来の負性のフォトレジストが
0.050インチ×0.025インチのグリッド寸法を
持つカード上にデポジットされた、0.0014インチ
の銅の層上に塗布された。フォトレジストはアートワー
クを通して化学線放射に露光され、そして旧来の方法で
現像された。ランドを定めるためにカードはエッチング
され、その後フォトレジストは剥取られた。次に0.0
10インチのドリルの刃を使って複数のスルー・ホール
の穴あけがされた。スルー・ホールは電解銅メッキ法を
使って旧来の方法でメッキ付けされ、0.008インチ
の直径を持つ複数のスルー・ホールと、0.010イン
チの幅と、0.006インチの長さを持つランドを形成
した。配線パターン図は図7に示されている。
【0019】図1に示すように、非環状ランドを採用す
ることにより、50ミルの間隔があるスルー・ホール間
で利用できる領域が増加する。その結果、0.004イ
ンチの幅を持つ第三の配線を、他の2本の配線に加えて
追加する余地ができ、それにより配線できる密度は50
パーセント増加する。順に、このことは一つの表面上で
配線できる量を増加させ、ある種のアプリケーションに
おいては、要求される配線面の数を減らすことができ
る。配線接続の信頼度は、カードにシミュレートされた
カード組立て工程を経験させることにより決定された。
パワー・オン時間、及びオン・オフの繰り返しに関係す
る熱サイクルをシミュレートするために、カードに加速
された熱サイクルと絶縁抵抗検査を課した。非環状ラン
ドの不良は無かった。
【0020】この発明のある種の具体化が図示され説明
されてきたが、前述の特許請求の範囲で定義しているよ
うに、この発明の範囲から離れることなしに、種々の改
作物、及び変形を作ることも可能である。
【0021】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
【0022】(1) 配線基板上に配置された配線と、
前記基板に形成され内部に電気的に伝導体である物質が
付着されたスルー・ホールと、前記配線及び前記スルー
・ホールを接続するランドとを有し、前記ランドが前記
スルー・ホールの一部を囲み、前記伝導体の物質と前記
配線とを接続している配線基板。 (2) 前記ランドの幅が前記配線の幅より大きく、前
記スルー・ホールの幅より小さいか、それに等しい範囲
である、(1)に記載の配線基板。 (3) スルー・ホールの端と近接した配線との間に必
要とされる最小の間隔zがあり、導体配線間に必要とさ
れる最小の間隔sがあり、エッチング工程での許容誤差
か又は0であるt0があるとき、前記ランドの長さがz
−(t +s)の値の0.1倍から2倍の値を有する、
(1)に記載の配線基板。 (4) 前記スルー・ホールの端と近接した配線との間
に必要とされる最小の間隔zがあり、導体配線間に必要
とされる最小の間隔sがあり、エッチング工程での許容
誤差か又は0であるt0があるとき、前記ランドの長さ
がz− (t0+s)の値の0.1倍から2倍の値を有す
る、(1)に記載の配線基板 (5) 電気的に伝導体の物質がメッキ付けされた金属
である、(1)に記載の配線基板。 (6) 電気的に伝導体の物質がペーストである、
(1)に記載の配線基板。 (7) スルー・ホールに接続されたランドと配線が形
成された配線基板の製作方法において、(a)前記基板
上に複数の配線を形成し、(b)前記基板の中に複数の
スルー・ホール用の場所を確保し、(c)前記複数のス
ルー・ホール用の場所を覆って基板上に金属を形成し、
(d)必要とされるスルー・ホールの場所において、前
記金属を貫通させて穴を空けて複数スルー・ホールを作
成し、(e)前記複数のスルー・ホール中に伝導体の物
質を付着し、前記スルー・ホールを部分的に囲み、更に
前記配線をスルー・ホール中の伝導体物質に接続させて
いるランドを形成することによる製作方法。 (8) 前記伝導体の物質がメッキ付けされた金属であ
る、(7)に記載の製作方法。 (9) 前記伝導体の物質が電気的に伝導体のペースト
である、(7)に記載の製作方法。 (10) スルー・ホールの端と最も近い配線との間に
必要とされる最小間隔zがあり、エッチング工程での許
容誤差か又は0であるt0があり、前記 スルー・ホール
の半径はrhであり、非環状ランドを形成するために使
われるレティクルの穴の半径はriであり、レティクル
の穴のオフセット間隔がd0である前記ランドにおい
て、前記ランドの長さがd0=z+(rh−ri)+t0
sの式によって決定される、(5)に記載の製作方法。 (11) 前記スルー・ホールの端と最も近い配線との
間に必要とされる最小の間隔zがあり、伝導体配線間に
必要とされる最小の間隔sがあり、エッチング工程での
許容誤差か又は0であるt0があるとき、ランドの長さ
がz−(t0+s)の値の0.1倍から2倍の値を有す
る、(1)に記載の製作方法。 (12) 前記ランドの幅が前記配線の幅より大きく、
前記スルー・ホールの幅より小さいか、それに等しい範
囲である、(1)に記載の製作方法。 (13) 前記ランドの幅が前記配線の幅より大きく、
前記スルーホールの幅より小さいか、それに等しい範囲
である、(11)に記載の製作方法。
【図面の簡単な説明】
【図1】典型的な旧来技術の構成でのランドの形状と、
二つのホールの間の配線を示している配線基板の一部の
図解的な線図である。
【図2】図1と類似の図解的な線図であり、当該発明の
非環状のランドと、二つのホールの間の配線を示す図で
ある。
【図3】非環状ランドとメッキされたスルー・ホールと
の関係を示す線図である。
【図4】非環状ランドを形成する際のアートワークの位
置決めをメッキされたスルー・ホールと一緒に示す図で
ある。
【図5】本発明による非環状ランドを持った配線形状の
一例を示す図である。
【図6】本発明による非環状ランドを持った配線形状の
一例を示す図である。
【図7】本発明による非環状ランドを持った配線形状の
一例を示す図である。
【符号の説明】
10、12 環状ランド 20、22、42、60 スルー・ホール 40、62 非環状ランド 14 フレア 16、18、46、48、50 配線
フロントページの続き (72)発明者 ロバート・エイ・マートン アメリカ合衆国13760、ニューヨーク州エ ンディコット、プリンス・エドワード・コ ート 6 (72)発明者 サーストン・ビー・ヤング、ジュニア アメリカ合衆国13850、ニューヨーク州ベ スタル、エバーグリーン・ストリート 201

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 配線基板上に配置された配線と、前記基
    板に形成され内部に電気的に伝導体である物質が付着さ
    れたスルー・ホールと、前記配線及び前記スルー・ホー
    ルを接続するランドとを有し、前記ランドが前記スルー
    ・ホールの一部を囲み、前記伝導体の物質と前記配線と
    を接続している配線基板。
  2. 【請求項2】 前記ランドの幅が前記配線の幅より大き
    く、前記スルー・ホールの幅より小さいか、それに等し
    い範囲である、請求項1に記載の配線基板。
  3. 【請求項3】 スルー・ホールの端と近接した配線との
    間に必要とされる最小の間隔zがあり、導体配線間に必
    要とされる最小の間隔sがあり、エッチング工程での許
    容誤差か又は0であるt0があるとき、前記ランドの長
    さがz−(t0+s)の値の0.1倍から2倍の値を有
    する、請求項1に記載の配線基板。
  4. 【請求項4】 前記スルー・ホールの端と近接した配線
    との間に必要とされる最小の間隔zがあり、導体配線間
    に必要とされる最小の間隔sがあり、エッチング工程で
    の許容誤差か又は0であるt0があるとき、前記ランド
    の長さがz−(t0+s)の値の0.1倍から2倍の値
    を有する、請求項1に記載の配線基板。
  5. 【請求項5】 スルー・ホールに接続されたランドと配
    線が形成された配線基板の製作方法において、 (a)前記基板上に複数の配線を形成し、 (b)前記基板の中に複数のスルー・ホール用の場所を
    確保し、 (c)前記複数のスルー・ホール用の場所を覆って基板
    上に金属を形成し、 (d)必要とされるスルー・ホールの場所において、前
    記金属を貫通させて穴を空けて複数スルー・ホールを作
    成し、 (e)前記複数のスルー・ホール中に伝導体の物質を付
    着し、前記スルー・ホールを部分的に囲み、更に前記配
    線をスルー・ホール中の伝導体物質に接続させているラ
    ンドを形成することによる製作方法。
  6. 【請求項6】 スルー・ホールの端と最も近い配線との
    間に必要とされる最小間隔zがあり、エッチング工程で
    の許容誤差か又は0であるt0があり、前記スルー・ホ
    ールの半径はrhであり、非環状ランドを形成するため
    に使われるレティクルの穴の半径はriであり、レティ
    クルの穴のオフセット間隔がd0である前記ランドにお
    いて、前記ランドの長さがd0=z+(rh−ri)+t0
    −sの式によって決定される、請求項5に記載の製作方
    法。
JP7287611A 1994-11-16 1995-11-06 非環状ランドを有する配線基板、及びその製作方法 Pending JPH08213730A (ja)

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