JPH08217525A - セラミックスグリーンシートの成形乾燥方法及び装置 - Google Patents
セラミックスグリーンシートの成形乾燥方法及び装置Info
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- JPH08217525A JPH08217525A JP7050649A JP5064995A JPH08217525A JP H08217525 A JPH08217525 A JP H08217525A JP 7050649 A JP7050649 A JP 7050649A JP 5064995 A JP5064995 A JP 5064995A JP H08217525 A JPH08217525 A JP H08217525A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 毒性の低いエチルアルコールを粉体スラリー
の溶剤として用いていながら、膜状物表面からの急激な
溶剤の蒸発を抑制して、ひび割れのない良好なセラミッ
クスグリーンシートを製造する。 【構成】 エチルアルコールを８５％以上含む溶剤を用
いた粉体スラリーを膜状に広げでシート化する。膜状物
２４を覆う内蓋２０と、それを覆う外蓋２２と、外蓋に
接続した排気路３０を有し、内蓋は多数の貫通穴１８を
分散配置した装置を用いる。ドクターブレード装置１６
により粉体スラリー１４をベースフィルム１０上に供給
し、そのベースフィルムをフィルム走行機構１２で走行
させて膜状化する。外蓋に設置されている排気路には排
気装置３２を接続する。膜状物から蒸発した溶剤の蒸気
が内蓋内に充満し、その蒸気の一部を貫通穴から徐々に
排出させることで、溶剤の蒸発を抑制しつつ膜を均一に
乾燥させる。
の溶剤として用いていながら、膜状物表面からの急激な
溶剤の蒸発を抑制して、ひび割れのない良好なセラミッ
クスグリーンシートを製造する。 【構成】 エチルアルコールを８５％以上含む溶剤を用
いた粉体スラリーを膜状に広げでシート化する。膜状物
２４を覆う内蓋２０と、それを覆う外蓋２２と、外蓋に
接続した排気路３０を有し、内蓋は多数の貫通穴１８を
分散配置した装置を用いる。ドクターブレード装置１６
により粉体スラリー１４をベースフィルム１０上に供給
し、そのベースフィルムをフィルム走行機構１２で走行
させて膜状化する。外蓋に設置されている排気路には排
気装置３２を接続する。膜状物から蒸発した溶剤の蒸気
が内蓋内に充満し、その蒸気の一部を貫通穴から徐々に
排出させることで、溶剤の蒸発を抑制しつつ膜を均一に
乾燥させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、溶剤としてエチルアル
コールを用いた粉体スラリーを膜状に広げ、その膜状物
を均一に乾燥させてセラミックスグリーンシートにする
技術に関し、更に詳しく述べると、粉体スラリーによる
膜状物を内外二重の蓋体で覆い、内蓋には多数の貫通穴
を分散配置して溶剤の蒸発を抑制することで、エチルア
ルコールの蒸発速度を調整しつつひび割れが生じないよ
うに乾燥させる技術に関するものである。この技術は、
薄いセラミックスグリーンシートを使用する積層構造の
セラミックス部品、例えば積層誘電体素子や積層圧電体
素子などの製造に有用である。
コールを用いた粉体スラリーを膜状に広げ、その膜状物
を均一に乾燥させてセラミックスグリーンシートにする
技術に関し、更に詳しく述べると、粉体スラリーによる
膜状物を内外二重の蓋体で覆い、内蓋には多数の貫通穴
を分散配置して溶剤の蒸発を抑制することで、エチルア
ルコールの蒸発速度を調整しつつひび割れが生じないよ
うに乾燥させる技術に関するものである。この技術は、
薄いセラミックスグリーンシートを使用する積層構造の
セラミックス部品、例えば積層誘電体素子や積層圧電体
素子などの製造に有用である。
【０００２】
【従来の技術】セラミックス粉体とバインダと溶剤とを
混合したスラリーを用いて薄いセラミックスグリーンシ
ートを製造し、そのグリーンシートを積層して加圧一体
化した後、焼成することにより各種のセラミックス部
品、例えば積層誘電体素子や積層圧電体素子を製造する
ことが行われている。薄いセラミックスグリーンシート
の製造には、一般にドクターブレード法が採用されてい
る。この技術は、粉体スラリーを微小な線状の隙間から
連続的に供給することによって膜状に広げ、その膜状物
の内部の溶剤を蒸発飛散させてグリーンシート化する方
法である。
混合したスラリーを用いて薄いセラミックスグリーンシ
ートを製造し、そのグリーンシートを積層して加圧一体
化した後、焼成することにより各種のセラミックス部
品、例えば積層誘電体素子や積層圧電体素子を製造する
ことが行われている。薄いセラミックスグリーンシート
の製造には、一般にドクターブレード法が採用されてい
る。この技術は、粉体スラリーを微小な線状の隙間から
連続的に供給することによって膜状に広げ、その膜状物
の内部の溶剤を蒸発飛散させてグリーンシート化する方
法である。
【０００３】ドクターブレード法は、薄いセラミックス
グリーンシートを製造するのに適した方法であり、現在
広く採用されている。この方法によるセラミックスグリ
ーンシートは、膜状物内での溶剤の含有割合が多いため
に、乾燥の際にひび割れが生じないように、溶剤の蒸発
を制御する必要がある。そこで、従来技術では、溶剤と
して沸点の高い溶剤（例えば、トルエンやキシレンな
ど）を使用し、溶剤の蒸発速度を抑えるようにしてい
る。
グリーンシートを製造するのに適した方法であり、現在
広く採用されている。この方法によるセラミックスグリ
ーンシートは、膜状物内での溶剤の含有割合が多いため
に、乾燥の際にひび割れが生じないように、溶剤の蒸発
を制御する必要がある。そこで、従来技術では、溶剤と
して沸点の高い溶剤（例えば、トルエンやキシレンな
ど）を使用し、溶剤の蒸発速度を抑えるようにしてい
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような高沸点の溶
剤は、一般に人体に対する毒性の強いものが多いため、
排気装置や廃液処理装置などの関連設備が高価なものと
なり、それが製品の価格を上昇させることにつながる。
また、廃棄された後の環境への影響も憂慮されることか
ら、できるだけ人体に毒性の低い、そして環境で分解さ
れ易い溶剤を用いることが望ましい。
剤は、一般に人体に対する毒性の強いものが多いため、
排気装置や廃液処理装置などの関連設備が高価なものと
なり、それが製品の価格を上昇させることにつながる。
また、廃棄された後の環境への影響も憂慮されることか
ら、できるだけ人体に毒性の低い、そして環境で分解さ
れ易い溶剤を用いることが望ましい。
【０００５】このような毒性の低い溶剤としてエチルア
ルコールがある。しかし、エチルアルコールを溶剤とし
て、従来同様の方法でドクターブレード法によりセラミ
ックスグリーンシートを成形すると、エチルアルコール
は低沸点であるので、粉体スラリーを膜状に広げて乾燥
させる際に、膜状物の表面から急激にエチルアルコール
が蒸発する。このため、成形乾燥したグリーンシートに
ひび割れが生じ易い欠点がある。
ルコールがある。しかし、エチルアルコールを溶剤とし
て、従来同様の方法でドクターブレード法によりセラミ
ックスグリーンシートを成形すると、エチルアルコール
は低沸点であるので、粉体スラリーを膜状に広げて乾燥
させる際に、膜状物の表面から急激にエチルアルコール
が蒸発する。このため、成形乾燥したグリーンシートに
ひび割れが生じ易い欠点がある。
【０００６】本発明の目的は、毒性の低いエチルアルコ
ールを粉体スラリーの溶剤として用いていながら、膜状
物表面からの急激な蒸発を抑制し、膜状物全体から均一
に溶剤が蒸発するように制御して、ひび割れのない良好
なセラミックスグリーンシートを製造できる技術を提供
することである。
ールを粉体スラリーの溶剤として用いていながら、膜状
物表面からの急激な蒸発を抑制し、膜状物全体から均一
に溶剤が蒸発するように制御して、ひび割れのない良好
なセラミックスグリーンシートを製造できる技術を提供
することである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、粉体スラリー
の溶剤として、エチルアルコールを８５％以上含む溶剤
を用い、該粉体スラリーを膜状に広げでシート化する方
法である。本発明の特徴は、その膜状物を、多数の貫通
穴を分散配置した蓋体で覆い、該蓋体内に膜状物から蒸
発した溶剤の蒸気が充満した状態として前記貫通穴から
溶剤の蒸気を徐々に排出させ、エチルアルコールの蒸発
を抑制しつつ膜全体を均一に乾燥させるようにしてセラ
ミックスグリーンシートを成形乾燥する点である。
の溶剤として、エチルアルコールを８５％以上含む溶剤
を用い、該粉体スラリーを膜状に広げでシート化する方
法である。本発明の特徴は、その膜状物を、多数の貫通
穴を分散配置した蓋体で覆い、該蓋体内に膜状物から蒸
発した溶剤の蒸気が充満した状態として前記貫通穴から
溶剤の蒸気を徐々に排出させ、エチルアルコールの蒸発
を抑制しつつ膜全体を均一に乾燥させるようにしてセラ
ミックスグリーンシートを成形乾燥する点である。
【０００８】また本発明は、セラミックス粉体と、バイ
ンダと、エチルアルコールを８５％以上含む溶剤とを混
合した粉体スラリーを使用し、該粉体スラリーを膜状に
広げて乾燥させることでシート化する装置である。この
セラミックスグリーンシートの成形乾燥装置は、膜状物
を覆う内蓋と、該内蓋との間に空間ができるように該内
蓋を覆う外蓋と、該外蓋に接続した排気路とを具備し、
前記内蓋は、多数の貫通穴を分散配置した構造をなして
いる。成膜化するにはドクターブレード装置を用いて粉
体スラリーをベースフィルム上に供給し、そのベースフ
ィルムをフィルム走行機構によって水平方向に一定速度
で走行させることで行う。外蓋に設置されている排気路
には、排気装置を接続する。また内蓋の下方の、膜状物
が載置されているベースフィルム部分の下側に、内部に
加温用ヒータを埋設したベースプレートを配置して、膜
状物を室温〜６０℃程度の間の適当な温度に加温しても
よい。
ンダと、エチルアルコールを８５％以上含む溶剤とを混
合した粉体スラリーを使用し、該粉体スラリーを膜状に
広げて乾燥させることでシート化する装置である。この
セラミックスグリーンシートの成形乾燥装置は、膜状物
を覆う内蓋と、該内蓋との間に空間ができるように該内
蓋を覆う外蓋と、該外蓋に接続した排気路とを具備し、
前記内蓋は、多数の貫通穴を分散配置した構造をなして
いる。成膜化するにはドクターブレード装置を用いて粉
体スラリーをベースフィルム上に供給し、そのベースフ
ィルムをフィルム走行機構によって水平方向に一定速度
で走行させることで行う。外蓋に設置されている排気路
には、排気装置を接続する。また内蓋の下方の、膜状物
が載置されているベースフィルム部分の下側に、内部に
加温用ヒータを埋設したベースプレートを配置して、膜
状物を室温〜６０℃程度の間の適当な温度に加温しても
よい。
【０００９】
【作用】エチルアルコールを多量に含む溶剤を用いる
と、もし蓋体が無ければ前述した通り、膜状物の表面か
ら急激に溶剤の蒸発が生じる。しかし、膜状物を蓋体で
覆うことによって、溶剤蒸気が充満して蒸発が抑制され
る。膜状物を覆う蓋体には多数の貫通穴が分散形成され
ているが、貫通穴で蒸気の流通が抑制されるため、蓋体
内に膜状物から蒸発した溶剤の蒸気がある程度充満し、
膜状物からの溶剤の蒸発速度が弱められる。そのため、
膜状物の全体から（表面のみならず内部からも）溶剤が
蒸発して、膜状物全体が均一に乾燥することになる。
と、もし蓋体が無ければ前述した通り、膜状物の表面か
ら急激に溶剤の蒸発が生じる。しかし、膜状物を蓋体で
覆うことによって、溶剤蒸気が充満して蒸発が抑制され
る。膜状物を覆う蓋体には多数の貫通穴が分散形成され
ているが、貫通穴で蒸気の流通が抑制されるため、蓋体
内に膜状物から蒸発した溶剤の蒸気がある程度充満し、
膜状物からの溶剤の蒸発速度が弱められる。そのため、
膜状物の全体から（表面のみならず内部からも）溶剤が
蒸発して、膜状物全体が均一に乾燥することになる。
【００１０】蓋体に多数の小さな貫通穴を分散配置する
ことで、排気の影響を直接受けないように、膜全体から
均一に（できるだけ濃度分布が均一となるように）蒸発
し、溶剤蒸気が排気される。これによって膜状物から部
分的に溶剤が蒸発し、品質が低下したり、ばらつくのを
防止している。
ことで、排気の影響を直接受けないように、膜全体から
均一に（できるだけ濃度分布が均一となるように）蒸発
し、溶剤蒸気が排気される。これによって膜状物から部
分的に溶剤が蒸発し、品質が低下したり、ばらつくのを
防止している。
【００１１】
【実施例】粉体スラリーの溶剤としてエチルアルコール
を用いる場合のドクターブレード法によるセラミックス
グリーンシートの製造工程について、図１により概略説
明する。まず、セラミックス粉体とバインダと溶剤とを
混合し、粉体スラリーとする。セラミックス粉体は、例
えば積層誘電体素子を製造するような場合、平均粒子径
が０．４μｍ程度の高誘電率材料である。バインダとし
ては、例えばＰＶＢ（ポリビニルブチラール）を用い
る。溶剤は、工業用エチルアルコール（通常、８５〜９
５重量％）とＩＰＡ（イソプロピルアルコール）５〜１
０％を含むものである。ここでＩＰＡを添加するのは、
バインダとの相溶性を良くするためである。混合時は、
混合装置内にエチルアルコール蒸気が充満しているの
で、乾燥は生じない。
を用いる場合のドクターブレード法によるセラミックス
グリーンシートの製造工程について、図１により概略説
明する。まず、セラミックス粉体とバインダと溶剤とを
混合し、粉体スラリーとする。セラミックス粉体は、例
えば積層誘電体素子を製造するような場合、平均粒子径
が０．４μｍ程度の高誘電率材料である。バインダとし
ては、例えばＰＶＢ（ポリビニルブチラール）を用い
る。溶剤は、工業用エチルアルコール（通常、８５〜９
５重量％）とＩＰＡ（イソプロピルアルコール）５〜１
０％を含むものである。ここでＩＰＡを添加するのは、
バインダとの相溶性を良くするためである。混合時は、
混合装置内にエチルアルコール蒸気が充満しているの
で、乾燥は生じない。
【００１２】次に、この粉体スラリーを真空引きして脱
泡する。その際、粉体スラリーが乾燥しないようにしつ
つ、気泡とエチルアルコール蒸気を真空引きする。具体
的には、攪拌しながら脱泡し、一時停止して超音波測定
器で粘度を測定し、これを繰り返し行い、粘度が目的の
値に達した時に完了すればよい。このように脱泡処理し
た粉体スラリーを用いて、本発明の技術を適用しグリー
ンシート成形を行う。即ち、ドクターブレード法により
シート成形（膜状化）を行い、その膜状物を乾燥（溶剤
蒸発）することでグリーンシートを得る。
泡する。その際、粉体スラリーが乾燥しないようにしつ
つ、気泡とエチルアルコール蒸気を真空引きする。具体
的には、攪拌しながら脱泡し、一時停止して超音波測定
器で粘度を測定し、これを繰り返し行い、粘度が目的の
値に達した時に完了すればよい。このように脱泡処理し
た粉体スラリーを用いて、本発明の技術を適用しグリー
ンシート成形を行う。即ち、ドクターブレード法により
シート成形（膜状化）を行い、その膜状物を乾燥（溶剤
蒸発）することでグリーンシートを得る。
【００１３】本発明に係るセラミックスグリーンシート
の成形乾燥装置の一実施例を図２〜図４に示す。図２は
全体構成を示し、図３はそれに垂直な断面を示してい
る。この装置は、前記の粉体スラリーをドクターブレー
ド法によってベースフィルム上に膜状に広げ、乾燥させ
ることでシート化する装置である。ここでは、例えばポ
リエチレンあるいはポリエチレンテレフタレート等の表
面平滑なベースフィルム１０を水平方向に一定速度で走
行させるフィルム走行機構１２と、粉体スラリー１４を
走行する前記ベースフィルム１０上に薄く供給して膜状
にするドクターブレード装置１６と、多数の小さな貫通
穴１８が天井面に分散配置されている内蓋２０と（図４
参照）、該内蓋２０との間にある程度の空間ができるよ
うに内蓋２０を覆う外蓋２２を具備している。
の成形乾燥装置の一実施例を図２〜図４に示す。図２は
全体構成を示し、図３はそれに垂直な断面を示してい
る。この装置は、前記の粉体スラリーをドクターブレー
ド法によってベースフィルム上に膜状に広げ、乾燥させ
ることでシート化する装置である。ここでは、例えばポ
リエチレンあるいはポリエチレンテレフタレート等の表
面平滑なベースフィルム１０を水平方向に一定速度で走
行させるフィルム走行機構１２と、粉体スラリー１４を
走行する前記ベースフィルム１０上に薄く供給して膜状
にするドクターブレード装置１６と、多数の小さな貫通
穴１８が天井面に分散配置されている内蓋２０と（図４
参照）、該内蓋２０との間にある程度の空間ができるよ
うに内蓋２０を覆う外蓋２２を具備している。
【００１４】内蓋２０は、ドクターブレード装置１６の
後段に位置し、ベースフィルム１０とその上に展開され
て該ベースフィルム１０と一体で通過する膜状物２４を
覆うように設置されている。この実施例では外蓋２２
は、ドクターブレード装置１６と内蓋２０の両方を覆う
ように設置されている。外蓋２２の上部には排気口２８
が形成されていて、各排気口２８に排気路３０が接続さ
れている。更に、それらの排気路３０には排気装置３２
が接続されている。
後段に位置し、ベースフィルム１０とその上に展開され
て該ベースフィルム１０と一体で通過する膜状物２４を
覆うように設置されている。この実施例では外蓋２２
は、ドクターブレード装置１６と内蓋２０の両方を覆う
ように設置されている。外蓋２２の上部には排気口２８
が形成されていて、各排気口２８に排気路３０が接続さ
れている。更に、それらの排気路３０には排気装置３２
が接続されている。
【００１５】本実施例では、内蓋２０の下方の、膜状物
２４が載置されているベースフィルム部分の下側に、ベ
ースプレート３４が設けられており、該ベースプレート
３４の内部には加温用ヒータ３６が埋設されている。ベ
ースプレート３４は、ベースフィルム１０の下面が接し
て、該ベースフィルム１０とその上の膜状物２４の走行
を支える機能を果たす。
２４が載置されているベースフィルム部分の下側に、ベ
ースプレート３４が設けられており、該ベースプレート
３４の内部には加温用ヒータ３６が埋設されている。ベ
ースプレート３４は、ベースフィルム１０の下面が接し
て、該ベースフィルム１０とその上の膜状物２４の走行
を支える機能を果たす。
【００１６】テープ走行機構１２は、供給側ロール１２
ａ、案内ロール１２ｂ、巻取り側ロール（図示せず）な
どを有し、この実施例では、常に新しいベースフィルム
を水平方向に一定速度で供給するように構成している。
しかし、ベースフィルムをループ状にしてエンドレスと
なるように回動する構成でもよい。ドクターブレード装
置１６は、従来のものをそのまま使用できる。ここでは
内蓋２０と外蓋２２との間に設けているが、外蓋２２の
外側に設けてもよい。
ａ、案内ロール１２ｂ、巻取り側ロール（図示せず）な
どを有し、この実施例では、常に新しいベースフィルム
を水平方向に一定速度で供給するように構成している。
しかし、ベースフィルムをループ状にしてエンドレスと
なるように回動する構成でもよい。ドクターブレード装
置１６は、従来のものをそのまま使用できる。ここでは
内蓋２０と外蓋２２との間に設けているが、外蓋２２の
外側に設けてもよい。
【００１７】内蓋２０に分散配置する貫通穴１８の大き
さと個数（分散密度）は、適宜設定する。全ての貫通穴
について開閉度合いを調節できるようにしたり、任意の
貫通穴の開閉度合いを調節できるように構成してもよ
い。外蓋２２に形成する排気口２８は、外蓋２２の大き
さに応じて、１箇所ないし数箇所形成する。ドクターブ
レード装置１６のブレードの隙間とフィルム走行速度、
粉体スラリーの粘度などに応じて、生成する膜状物２４
の厚さが決まり、乾燥後のグリーンシート厚が定まる。
積層誘電体素子などに使用する場合は、グリーンシート
の厚みは、例えば８０〜９０μｍとなるようにする。加
温用ヒータ３６による加温は、膜状物２４からの溶剤の
蒸発を促進するためであるが、通常、室温〜６０℃程度
の温度範囲内の適当な温度となるように制御する。
さと個数（分散密度）は、適宜設定する。全ての貫通穴
について開閉度合いを調節できるようにしたり、任意の
貫通穴の開閉度合いを調節できるように構成してもよ
い。外蓋２２に形成する排気口２８は、外蓋２２の大き
さに応じて、１箇所ないし数箇所形成する。ドクターブ
レード装置１６のブレードの隙間とフィルム走行速度、
粉体スラリーの粘度などに応じて、生成する膜状物２４
の厚さが決まり、乾燥後のグリーンシート厚が定まる。
積層誘電体素子などに使用する場合は、グリーンシート
の厚みは、例えば８０〜９０μｍとなるようにする。加
温用ヒータ３６による加温は、膜状物２４からの溶剤の
蒸発を促進するためであるが、通常、室温〜６０℃程度
の温度範囲内の適当な温度となるように制御する。
【００１８】水平方向に一定速度で走行するベースフィ
ルム１０上に、ドクターブレード装置１６の下端の微小
な線状の間隙から粉体スラリー１４を連続的に供給する
ことで、該粉体スラリー１４は一定厚の膜状物２４とな
って広がる。従って当初、膜状物２４には多量の溶剤
（主としてエチルアルコール）が含まれている。この膜
状物２４はベースフィルム１０に載ったまま内蓋２０内
を移動する。その際、膜状物２４中の溶剤は蒸発する。
溶剤蒸気は内蓋２０内に充満し、ほぼ一定の蒸気圧に保
たれる。そして、充満している溶剤蒸気の一部が、分散
配置されている小さな貫通穴１８から徐々に外蓋２２と
の間の空間へと流出する。外蓋２２に接続されている排
気路３０には排気装置３２が接続されており、その排気
動作によって外蓋２２と内蓋２０との間の空間は強制排
気される。このようにして、内蓋２０内の溶剤蒸気圧を
制御することで、膜状物２４の全体から（表面のみなら
ず内部からも）溶剤が蒸発して、膜全体を均一に乾燥さ
せることができる。そして外蓋２２を出る頃には乾燥が
ほぼ終了し、セラミックスグリーンシート４０となっ
て、ベースフィルム１０から容易に剥がれるようにな
る。
ルム１０上に、ドクターブレード装置１６の下端の微小
な線状の間隙から粉体スラリー１４を連続的に供給する
ことで、該粉体スラリー１４は一定厚の膜状物２４とな
って広がる。従って当初、膜状物２４には多量の溶剤
（主としてエチルアルコール）が含まれている。この膜
状物２４はベースフィルム１０に載ったまま内蓋２０内
を移動する。その際、膜状物２４中の溶剤は蒸発する。
溶剤蒸気は内蓋２０内に充満し、ほぼ一定の蒸気圧に保
たれる。そして、充満している溶剤蒸気の一部が、分散
配置されている小さな貫通穴１８から徐々に外蓋２２と
の間の空間へと流出する。外蓋２２に接続されている排
気路３０には排気装置３２が接続されており、その排気
動作によって外蓋２２と内蓋２０との間の空間は強制排
気される。このようにして、内蓋２０内の溶剤蒸気圧を
制御することで、膜状物２４の全体から（表面のみなら
ず内部からも）溶剤が蒸発して、膜全体を均一に乾燥さ
せることができる。そして外蓋２２を出る頃には乾燥が
ほぼ終了し、セラミックスグリーンシート４０となっ
て、ベースフィルム１０から容易に剥がれるようにな
る。
【００１９】因に、もし内蓋が無い場合には、溶剤蒸気
は一時的に留まることなく排気され蒸発速度を制御でき
ないため、特に排気口の真下付近での溶剤蒸発が著し
く、部分的に急激に乾燥し、ひび割れが生じる。
は一時的に留まることなく排気され蒸発速度を制御でき
ないため、特に排気口の真下付近での溶剤蒸発が著し
く、部分的に急激に乾燥し、ひび割れが生じる。
【００２０】膜状物の厚みによって、それに含まれてい
る溶剤の量が異なってくるが、排気装置による排気速度
によって、乾燥速度を調節することができる。また、ベ
ースプレート３４に設けた加温用ヒータ３６によって加
温することによって、乾燥速度を速めることができる。
加温温度は前述のように６０℃程度以下が望ましく、温
度が高すぎると乾燥速度が速くなりすぎてひび割れが発
生し易くなる。
る溶剤の量が異なってくるが、排気装置による排気速度
によって、乾燥速度を調節することができる。また、ベ
ースプレート３４に設けた加温用ヒータ３６によって加
温することによって、乾燥速度を速めることができる。
加温温度は前述のように６０℃程度以下が望ましく、温
度が高すぎると乾燥速度が速くなりすぎてひび割れが発
生し易くなる。
【００２１】以上、本発明の好ましい一実施例について
詳述したが、本発明はこのような構成のみに限定される
ものではない。上記の実施例では、シートを連続的に成
形・乾燥するように構成しているが、本発明は一定長の
シートをバッチ式に乾燥するような場合にも適用でき
る。
詳述したが、本発明はこのような構成のみに限定される
ものではない。上記の実施例では、シートを連続的に成
形・乾燥するように構成しているが、本発明は一定長の
シートをバッチ式に乾燥するような場合にも適用でき
る。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、低沸点のエチルアルコールを
粉体スラリーの溶剤として用いていながら、多数の貫通
穴を有する内蓋とそれを覆う外蓋との組み合わせによっ
て、膜状物表面からの急激な蒸発を抑制し、膜状物内部
からも全体に均一に溶剤が蒸発するように制御できるた
めに、ひび割れのない良好なセラミックスグリーンシー
トが得られる。
粉体スラリーの溶剤として用いていながら、多数の貫通
穴を有する内蓋とそれを覆う外蓋との組み合わせによっ
て、膜状物表面からの急激な蒸発を抑制し、膜状物内部
からも全体に均一に溶剤が蒸発するように制御できるた
めに、ひび割れのない良好なセラミックスグリーンシー
トが得られる。
【００２３】人体に対する毒性の低いエチルアルコール
を使用しているので、関連設備を簡素化できるととも
に、環境破壊を防止できる。
を使用しているので、関連設備を簡素化できるととも
に、環境破壊を防止できる。
【図１】本発明方法によるグリーンシート成形の一実施
例を示す工程説明図。
例を示す工程説明図。
【図２】本発明に係る成形乾燥装置の一実施例を示す全
体構成図。
体構成図。
【図３】その断面図。
【図４】その内蓋の説明図。
１０ ベースフィルム １２ フィルム走行機構 １４ 粉体スラリー １６ ドクターブレード装置 １８ 貫通穴 ２０ 内蓋 ２２ 外蓋 ２４ 膜状物 ２８ 排気口 ３０ 排気路 ３２ 排気装置 ３４ ベースプレート ３６ 加温用ヒータ ４０ グリーンシート
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 遠藤 一明 東京都港区新橋５丁目36番11号 富士電気 化学株式会社内
Claims (4)
- 【請求項１】 粉体スラリーの溶剤として、エチルアル
コールを８５％以上含む溶剤を用い、該粉体スラリーを
膜状に広げ、その膜状物を、多数の貫通穴を分散配置し
た蓋体で覆い、該蓋体内に膜状物から蒸発した溶剤の蒸
気が充満した状態にして前記貫通穴から溶剤の蒸気を徐
々に排出させ、溶剤の蒸発を抑制しつつ膜を均一に乾燥
させるようにしてセラミックスグリーンシートを成形乾
燥することを特徴とするセラミックスグリーンシートの
成形乾燥方法。 - 【請求項２】 セラミックス粉体と、バインダと、エチ
ルアルコールを８５％以上含む溶剤とを混合した粉体ス
ラリーを使用し、該粉体スラリーを膜状に広げて乾燥さ
せることでシート化する装置であって、膜状物を覆う内
蓋と、該内蓋との間に空間ができるように該内蓋を覆う
外蓋と、該外蓋に接続した排気路とを具備し、前記内蓋
は、多数の貫通穴を分散配置した構造をなしているセラ
ミックスグリーンシートの成形乾燥装置。 - 【請求項３】 セラミックス粉体と、バインダと、エチ
ルアルコールを８５％以上含む溶剤とを混合した粉体ス
ラリーを使用し、該粉体スラリーを膜状に広げて乾燥さ
せることでシート化する装置であって、ベースフィルム
を水平方向に一定速度で走行させるフィルム走行機構
と、走行する前記ベースフィルム上に粉体スラリーを薄
く供給して膜状にするドクターブレード装置と、多数の
貫通穴が分散配置されていてベースフィルムと一体で通
過する膜状物を部分的に覆う内蓋と、内蓋との間に空間
ができるように該内蓋を覆う外蓋と、該外蓋に接続した
排気路と、該排気路に接続した排気装置とを具備してい
るセラミックスグリーンシートの成形乾燥装置。 - 【請求項４】 内蓋の下方の、膜状物が載置されるベー
スフィルム部分の下側に、内部に加温用ヒータを埋設し
たベースプレートを設けた請求項３記載の成形乾燥装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7050649A JPH08217525A (ja) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | セラミックスグリーンシートの成形乾燥方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7050649A JPH08217525A (ja) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | セラミックスグリーンシートの成形乾燥方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08217525A true JPH08217525A (ja) | 1996-08-27 |
Family
ID=12864795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7050649A Pending JPH08217525A (ja) | 1995-02-15 | 1995-02-15 | セラミックスグリーンシートの成形乾燥方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08217525A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1009614A4 (en) * | 1997-06-13 | 2004-04-21 | Massachusetts Inst Technology | BLAST COATING WITH POWDER-SHAPED MATERIAL AND FINE-POWDER BED PRODUCED BY IT |
| US7074458B2 (en) * | 2001-07-18 | 2006-07-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method of drying a web coated with a solution |
| US20120006256A1 (en) * | 2010-07-08 | 2012-01-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing ceramic green sheet |
| JP2012111223A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造方法及びセラミックグリーンシートの乾燥装置 |
-
1995
- 1995-02-15 JP JP7050649A patent/JPH08217525A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1009614A4 (en) * | 1997-06-13 | 2004-04-21 | Massachusetts Inst Technology | BLAST COATING WITH POWDER-SHAPED MATERIAL AND FINE-POWDER BED PRODUCED BY IT |
| US7074458B2 (en) * | 2001-07-18 | 2006-07-11 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Method of drying a web coated with a solution |
| US20120006256A1 (en) * | 2010-07-08 | 2012-01-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Apparatus for manufacturing ceramic green sheet |
| JP2012016942A (ja) * | 2010-07-08 | 2012-01-26 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | セラミックスグリーンシート製造装置 |
| JP2012111223A (ja) * | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | セラミックグリーンシートの製造方法及びセラミックグリーンシートの乾燥装置 |
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