JPH0412201B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0412201B2 JPH0412201B2 JP111086A JP111086A JPH0412201B2 JP H0412201 B2 JPH0412201 B2 JP H0412201B2 JP 111086 A JP111086 A JP 111086A JP 111086 A JP111086 A JP 111086A JP H0412201 B2 JPH0412201 B2 JP H0412201B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- raw material
- material slurry
- ceramic raw
- ceramic
- carrier film
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
Links
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 58
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 43
- 239000002002 slurry Substances 0.000 claims description 40
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 9
- 230000035699 permeability Effects 0.000 claims description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 9
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Landscapes
- Producing Shaped Articles From Materials (AREA)
- Devices For Post-Treatments, Processing, Supply, Discharge, And Other Processes (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は積層コンデンサの誘電体等の材料に使
用されるセラミツクグリーンシートの製造方法に
関するものである。
用されるセラミツクグリーンシートの製造方法に
関するものである。
（従来技術）
一般に、バインダを含むセラミツク原料スラリ
からコーテイング方式によりセラミツクグリーン
シートを製造するには、ドクタブレード法あるい
はリバースロールコータ法と呼ばれる手法が採用
されている。
からコーテイング方式によりセラミツクグリーン
シートを製造するには、ドクタブレード法あるい
はリバースロールコータ法と呼ばれる手法が採用
されている。
たとえばドクタブレード法では、第３図に示す
ように、矢印A1およびA2の向きに回転するロー
ル１および２の間に張り渡されたステンレス製の
ベルト３により、矢印A3で示す向きに搬送され
るキヤリヤフイルム４上に原料溜め５を配置す
る。この原料溜め５にセラミツク原料スラリ６を
供給し、原料溜め５からセラミツク原料スラリ６
を流出させてキヤリヤフイルム４上にセラミツク
原料スラリ６を塗布する。この塗布厚は原料溜め
５に設けられたブレード７により調整する。キヤ
リヤフイルム４上に塗布されたセラミツク原料ス
ラリ３を乾燥室８に送つて乾燥させ、乾燥室８に
て乾燥されたセラミツク原料スラリ６をセラミツ
クグリーンシート９としてキヤリヤフイルム４か
ら剥離する。
ように、矢印A1およびA2の向きに回転するロー
ル１および２の間に張り渡されたステンレス製の
ベルト３により、矢印A3で示す向きに搬送され
るキヤリヤフイルム４上に原料溜め５を配置す
る。この原料溜め５にセラミツク原料スラリ６を
供給し、原料溜め５からセラミツク原料スラリ６
を流出させてキヤリヤフイルム４上にセラミツク
原料スラリ６を塗布する。この塗布厚は原料溜め
５に設けられたブレード７により調整する。キヤ
リヤフイルム４上に塗布されたセラミツク原料ス
ラリ３を乾燥室８に送つて乾燥させ、乾燥室８に
て乾燥されたセラミツク原料スラリ６をセラミツ
クグリーンシート９としてキヤリヤフイルム４か
ら剥離する。
また、具体的には図示しないが、リバースロー
ルコータ法ではロールに付着させたセラミツク原
料スラリをキヤリヤフイルムに転移させることに
より、キヤリヤフイルムに夫々セラミツク原料ス
ラリを塗布するもので、以後は、ドクタブレード
法と同様の工程を経てセラミツクグリーンシート
が製造される。
ルコータ法ではロールに付着させたセラミツク原
料スラリをキヤリヤフイルムに転移させることに
より、キヤリヤフイルムに夫々セラミツク原料ス
ラリを塗布するもので、以後は、ドクタブレード
法と同様の工程を経てセラミツクグリーンシート
が製造される。
上記ドクタブレード法やリバースロールコータ
法等により、キヤリヤフイルム４に塗布されて乾
燥室８に入つたセラミツク原料スラリ６には、第
４図に示すように、その上から直接、熱風が矢印
で示すように供給されて熱風乾燥される。
法等により、キヤリヤフイルム４に塗布されて乾
燥室８に入つたセラミツク原料スラリ６には、第
４図に示すように、その上から直接、熱風が矢印
で示すように供給されて熱風乾燥される。
ところで、このセラミツク原料スラリ６の熱風
乾燥時の熱風の風速は極力抑える必要がある。こ
れは、熱風の風速を大きくすると、第４図のセラ
ミツク原料スラリ６の表面層からの溶媒等の蒸発
が内部層の溶媒拡散移動を上回るようになるた
め、 セラミツク原料スラリ６のレベリングが不充
分になり、膜厚のばらつきが大きくなる、 膜厚のばらつきにより乾燥に差が生じ、セラ
ミツクグリーンシート９にひび割れが生じる、 キヤリヤフイルム４上のセラミツク原料スラ
リ６は表面が先に乾燥されるため、内部の溶媒
が蒸発しにくくなり、突発的に溶媒蒸気が吹き
出してセラミツクグリーンシート９にピンホー
ルが発生する。
乾燥時の熱風の風速は極力抑える必要がある。こ
れは、熱風の風速を大きくすると、第４図のセラ
ミツク原料スラリ６の表面層からの溶媒等の蒸発
が内部層の溶媒拡散移動を上回るようになるた
め、 セラミツク原料スラリ６のレベリングが不充
分になり、膜厚のばらつきが大きくなる、 膜厚のばらつきにより乾燥に差が生じ、セラ
ミツクグリーンシート９にひび割れが生じる、 キヤリヤフイルム４上のセラミツク原料スラ
リ６は表面が先に乾燥されるため、内部の溶媒
が蒸発しにくくなり、突発的に溶媒蒸気が吹き
出してセラミツクグリーンシート９にピンホー
ルが発生する。
セラミツク原料スラリ６の表面と内部層との
間の乾燥の速さの差が大きく、セラミツクグリ
ーンシート９がカーリングする、 といつた多くの問題が生じるからである。
間の乾燥の速さの差が大きく、セラミツクグリ
ーンシート９がカーリングする、 といつた多くの問題が生じるからである。
従つて、熱風の風速は極力抑えることが好まし
いが、このようにすると、セラミツク原料スラリ
６の乾燥に時間がかかるという問題があつた。
いが、このようにすると、セラミツク原料スラリ
６の乾燥に時間がかかるという問題があつた。
（発明の目的）
本発明の目的は、品質のすぐれたセラミツクグ
リーンシートを比較的短い乾燥時間で得るように
したセラミツクグリーンシートの製造方法を提供
することである。
リーンシートを比較的短い乾燥時間で得るように
したセラミツクグリーンシートの製造方法を提供
することである。
（発明の構成）
このため、本発明は、キヤリヤフイルム上に塗
布されたセラミツク原料スラリに熱風を当てて乾
燥させた後、乾燥したセラミツク原料スラリをキ
ヤリヤフイルムから剥離させてグリーンシートを
得るセラミツクグリーンシートの製造方法におい
て、上記熱風の熱を蒸気透過性を有し、キヤリヤ
フイルム上の上記セラミツク原料スラリと間隔を
おいて配置したフイルムを通してキヤリヤフイル
ム上の上記セラミツク原料スラリに供給して乾燥
させることを特徴としている。すなわち、本発明
においては、キヤリヤフイルムに塗布されたセラ
ミツク原料スラリに直接、熱風が当たるのを避
け、セラミツク原料スラリの上方に温度がほぼ一
定の濃度の高い溶媒雰囲気を形成して、セラミツ
ク原料スラリが均一に乾燥するようにする。
布されたセラミツク原料スラリに熱風を当てて乾
燥させた後、乾燥したセラミツク原料スラリをキ
ヤリヤフイルムから剥離させてグリーンシートを
得るセラミツクグリーンシートの製造方法におい
て、上記熱風の熱を蒸気透過性を有し、キヤリヤ
フイルム上の上記セラミツク原料スラリと間隔を
おいて配置したフイルムを通してキヤリヤフイル
ム上の上記セラミツク原料スラリに供給して乾燥
させることを特徴としている。すなわち、本発明
においては、キヤリヤフイルムに塗布されたセラ
ミツク原料スラリに直接、熱風が当たるのを避
け、セラミツク原料スラリの上方に温度がほぼ一
定の濃度の高い溶媒雰囲気を形成して、セラミツ
ク原料スラリが均一に乾燥するようにする。
（発明の効果）
本発明によれば、乾燥させるセラミツク原料ス
ラリの上方に温度がほぼ一定の濃度の高い溶媒雰
囲気が形成されるので、セラミツク原料スラリは
すべての部位で均一に乾燥され、比較的短時間の
乾燥で膜厚のばらつきが少なく、ひび割れ、ピン
ホールおよびカーリングのない良質のセラミツク
グリーンシートを得ることができる。
ラリの上方に温度がほぼ一定の濃度の高い溶媒雰
囲気が形成されるので、セラミツク原料スラリは
すべての部位で均一に乾燥され、比較的短時間の
乾燥で膜厚のばらつきが少なく、ひび割れ、ピン
ホールおよびカーリングのない良質のセラミツク
グリーンシートを得ることができる。
（実施例）
以下、添付図面を参照して本発明の実施例を説
明する。
明する。
本発明では、第４図のように、キヤリヤフイル
ム４上に塗布されたセラミツク原料スラリ６に直
接、熱風を供給する代りに、第１図に示すよう
に、セラミツク原料スラリ６の上面から５mm〜10
mmの間隔をおいて配置されたろ紙等の蒸気透過性
のフイルム１１の上から熱風を供給し、この熱風
の熱によりセラミツク原料スラリ６を乾燥させる
ようにする。
ム４上に塗布されたセラミツク原料スラリ６に直
接、熱風を供給する代りに、第１図に示すよう
に、セラミツク原料スラリ６の上面から５mm〜10
mmの間隔をおいて配置されたろ紙等の蒸気透過性
のフイルム１１の上から熱風を供給し、この熱風
の熱によりセラミツク原料スラリ６を乾燥させる
ようにする。
なお、第１図において、第４図に対応する部分
には対応する符号を付して示し、重複した説明は
省略する。
には対応する符号を付して示し、重複した説明は
省略する。
このようにすれば、上記フイルム１１の上から
供給される熱風がセラミツク原料スラリ６に直接
当たることがなく、上記熱風が有している熱は上
記フイルム１１とセラミツク原料スラリ６との間
に形成されている空間Ｓを通してセラミツク原料
スラリ６に伝えられる。これにより、セラミツク
原料スラリ６が加熱されて内部の溶媒が矢印で示
すように上記空間Ｓ内に蒸発し、温度が一定の濃
度の高い溶媒雰囲気が上記空間Ｓ内に形成され
る。この温度が一定の溶媒雰囲気中にて、上記セ
ラミツク原料スラリ６は全ての領域で均一に乾燥
され、膜厚のばらつきの少ない、ひび割れやピン
ホールの少ない良質のセラミツクグリーンシート
９となる。
供給される熱風がセラミツク原料スラリ６に直接
当たることがなく、上記熱風が有している熱は上
記フイルム１１とセラミツク原料スラリ６との間
に形成されている空間Ｓを通してセラミツク原料
スラリ６に伝えられる。これにより、セラミツク
原料スラリ６が加熱されて内部の溶媒が矢印で示
すように上記空間Ｓ内に蒸発し、温度が一定の濃
度の高い溶媒雰囲気が上記空間Ｓ内に形成され
る。この温度が一定の溶媒雰囲気中にて、上記セ
ラミツク原料スラリ６は全ての領域で均一に乾燥
され、膜厚のばらつきの少ない、ひび割れやピン
ホールの少ない良質のセラミツクグリーンシート
９となる。
ちなみに、第１図において、熱風の温度60℃、
風速を0.3m／secとしたとき、得られたセラミツ
クグリーンシート９（膜厚70μm）の膜厚ばらつ
きＲは、Ｒ＝1μmで、ひび割れやピンホールの発
生はなかつた。これに対し、従来の手法によるも
のでは、得られたセラミツクグリーンシート９の
膜厚のばらつきＲは、Ｒ＝4μmで、ひび割れやピ
ンホールの発生が見られた。
風速を0.3m／secとしたとき、得られたセラミツ
クグリーンシート９（膜厚70μm）の膜厚ばらつ
きＲは、Ｒ＝1μmで、ひび割れやピンホールの発
生はなかつた。これに対し、従来の手法によるも
のでは、得られたセラミツクグリーンシート９の
膜厚のばらつきＲは、Ｒ＝4μmで、ひび割れやピ
ンホールの発生が見られた。
なお、上記実施例において、第２図に示すよう
に、キヤリヤフイルム４の下にヒータＨを配置
し、このヒータＨに電源Ｅを接続して上記キヤリ
ヤフイルム４の下側からもセラミツク原料スラリ
６が加熱されるようにしてもよい。このようにす
れば、セラミツク原料スラリ６の乾燥時間がより
短縮される。
に、キヤリヤフイルム４の下にヒータＨを配置
し、このヒータＨに電源Ｅを接続して上記キヤリ
ヤフイルム４の下側からもセラミツク原料スラリ
６が加熱されるようにしてもよい。このようにす
れば、セラミツク原料スラリ６の乾燥時間がより
短縮される。
第１図および第２図は夫々本発明に係るセラミ
ツクグリーンシートの製造方法の２つの実施例の
説明図、第３図はドクタブレード法によるセラミ
ツクグリーンシートの製造方法の説明図、第４図
は従来のセラミツクグリーンシートの製造方法の
説明図である。 ４…キヤリヤフイルム、６…セラミツク原料ス
ラリ、１１…蒸気透過性のフイルム、Ｈ…ヒー
タ。
ツクグリーンシートの製造方法の２つの実施例の
説明図、第３図はドクタブレード法によるセラミ
ツクグリーンシートの製造方法の説明図、第４図
は従来のセラミツクグリーンシートの製造方法の
説明図である。 ４…キヤリヤフイルム、６…セラミツク原料ス
ラリ、１１…蒸気透過性のフイルム、Ｈ…ヒー
タ。
Claims (1)
- １ キヤリアフイルム上に塗布されたセラミツク
原料スラリに熱風を当てて乾燥させた後、乾燥し
たセラミツク原料スラリをキヤリアフイルムから
剥離させてグリーンシートを得るセラミツクグリ
ーンシートの製造方法において、上記熱風の熱を
蒸気透過性を有し、キヤリアフイルム上の上記セ
ラミツク原料スラリと間隔をおいて配置したフイ
ルムを通してキヤリアフイルム上の上記セラミツ
ク原料スラリに供給して乾燥させることを特徴と
するセラミツクグリーンシートの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP111086A JPS62158003A (ja) | 1986-01-06 | 1986-01-06 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP111086A JPS62158003A (ja) | 1986-01-06 | 1986-01-06 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62158003A JPS62158003A (ja) | 1987-07-14 |
| JPH0412201B2 true JPH0412201B2 (ja) | 1992-03-03 |
Family
ID=11492326
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP111086A Granted JPS62158003A (ja) | 1986-01-06 | 1986-01-06 | セラミツクグリ−ンシ−トの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62158003A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0611482B2 (ja) * | 1989-04-17 | 1994-02-16 | 日本碍子株式会社 | セラミック鋳込成形物の乾燥方法 |
| JPH03281203A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-11 | Fujitsu Ltd | グリーンシートの密着力強化方法 |
| US5290504A (en) * | 1992-10-30 | 1994-03-01 | International Business Machines Corporation | Continuous air bearing vapor stabilization system and method |
| JP2610767B2 (ja) * | 1993-03-22 | 1997-05-14 | 日本碍子株式会社 | セラミック成形体の乾燥方法およびそれに用いる装置 |
-
1986
- 1986-01-06 JP JP111086A patent/JPS62158003A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62158003A (ja) | 1987-07-14 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |