JPH08230184A - インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法Info
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- JPH08230184A JPH08230184A JP4148295A JP4148295A JPH08230184A JP H08230184 A JPH08230184 A JP H08230184A JP 4148295 A JP4148295 A JP 4148295A JP 4148295 A JP4148295 A JP 4148295A JP H08230184 A JPH08230184 A JP H08230184A
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- Japan
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- ink
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- piezoelectric element
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】振動板への圧電素子構成を合理化して歩留り率
向上とコスト低減を図る。 【構成】基板21には、その一方の表面にインクノズル23
と、インク加圧室24と、インク供給路25との５組が一つ
のインク溜め26に連通してなる溝の一対が、相対する形
で彫り込まれる。インク供給路25・インク溜め26間にフ
ィルタ流路27が設けられる。基板21に溝を覆う形で、振
動板30が接合される。この振動板30の外側の表面に、イ
ンク加圧室24の全てを覆う形で共通電極31が被着され、
この共通電極31に、ほぼ同形の平板状の圧電素子32が熱
硬化性接着剤によって接合される。圧電素子32には、そ
の上面に共通に上部電極33が被着される。この上部電極
33と圧電素子32の表層部とは、各インク加圧室24に対応
する矩形領域を分割形成するように、分割溝34がマトリ
ックス状に切られる。
向上とコスト低減を図る。 【構成】基板21には、その一方の表面にインクノズル23
と、インク加圧室24と、インク供給路25との５組が一つ
のインク溜め26に連通してなる溝の一対が、相対する形
で彫り込まれる。インク供給路25・インク溜め26間にフ
ィルタ流路27が設けられる。基板21に溝を覆う形で、振
動板30が接合される。この振動板30の外側の表面に、イ
ンク加圧室24の全てを覆う形で共通電極31が被着され、
この共通電極31に、ほぼ同形の平板状の圧電素子32が熱
硬化性接着剤によって接合される。圧電素子32には、そ
の上面に共通に上部電極33が被着される。この上部電極
33と圧電素子32の表層部とは、各インク加圧室24に対応
する矩形領域を分割形成するように、分割溝34がマトリ
ックス状に切られる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、とくに振動板への圧
電素子構成を合理化し、歩留り率向上とコスト低減を図
ったインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関
する。
電素子構成を合理化し、歩留り率向上とコスト低減を図
ったインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来例について、その基板の平面図であ
る図５と、その断面図である図６とを参照しながら説明
する。基板（キャビティ板）14は、製造が容易で多量生
産できる理由から、射出成形によるプラスチック成形品
が用いられ、これには、厚さ方向を軸線とするインクノ
ズル３が貫通してあけられ、その上側の表面には、イン
クノズル３につながる噴射流路13、インク加圧室４、イ
ンク供給路５およびフィルタ流路７の複数組（図では５
組）と、共通なインク溜め６とが連通する凹部の形で彫
り込まれる。この凹部を覆う形で、振動板８が基板14に
接合され、振動板８の外側表面には、インク加圧室４の
位置に対応して、電気機械変換素子としての圧電素子10
の５個が共通電極９を介して接合される。この接合には
熱硬化性接着剤が用いられる。この各圧電素子10の外側
表面には駆動電極11が形成され、この駆動電極11と共通
電極９との間にインク噴射用の駆動電圧が印加される。
この駆動電圧の印加による圧電素子10の伸縮運動に基づ
き、バイモルフ作用によって振動板８は面と直角方向に
振動する。この振動板８の面と直角方向の振動が、イン
ク加圧室４の体積を急激に減少させ、噴射流路13をへて
インクノズル３からインク滴を噴射させて、図示してな
い記録紙に印字記録させる。
る図５と、その断面図である図６とを参照しながら説明
する。基板（キャビティ板）14は、製造が容易で多量生
産できる理由から、射出成形によるプラスチック成形品
が用いられ、これには、厚さ方向を軸線とするインクノ
ズル３が貫通してあけられ、その上側の表面には、イン
クノズル３につながる噴射流路13、インク加圧室４、イ
ンク供給路５およびフィルタ流路７の複数組（図では５
組）と、共通なインク溜め６とが連通する凹部の形で彫
り込まれる。この凹部を覆う形で、振動板８が基板14に
接合され、振動板８の外側表面には、インク加圧室４の
位置に対応して、電気機械変換素子としての圧電素子10
の５個が共通電極９を介して接合される。この接合には
熱硬化性接着剤が用いられる。この各圧電素子10の外側
表面には駆動電極11が形成され、この駆動電極11と共通
電極９との間にインク噴射用の駆動電圧が印加される。
この駆動電圧の印加による圧電素子10の伸縮運動に基づ
き、バイモルフ作用によって振動板８は面と直角方向に
振動する。この振動板８の面と直角方向の振動が、イン
ク加圧室４の体積を急激に減少させ、噴射流路13をへて
インクノズル３からインク滴を噴射させて、図示してな
い記録紙に印字記録させる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来例では、圧電素子
10が共通電極９を介して振動板８に、熱硬化性接着剤を
用いて接合された。この従来例では、比較的小さい面積
へ微量の接着剤を塗布するときの、その加減が難しく、
接着剤が多いときには、せりあがって上部電極の導通不
良の原因になったり、逆に少ないときには、接着不完全
で圧電素子から振動板への振動伝達効率が低下したりし
て、歩留り率の低下をもたらした。また、圧電素子10
は、各インク加圧室４に対応してそれぞれ接着しなけれ
ばならないから、工数の増加もさることながら、接着不
良に起因して歩留り率の低下が助長された。
10が共通電極９を介して振動板８に、熱硬化性接着剤を
用いて接合された。この従来例では、比較的小さい面積
へ微量の接着剤を塗布するときの、その加減が難しく、
接着剤が多いときには、せりあがって上部電極の導通不
良の原因になったり、逆に少ないときには、接着不完全
で圧電素子から振動板への振動伝達効率が低下したりし
て、歩留り率の低下をもたらした。また、圧電素子10
は、各インク加圧室４に対応してそれぞれ接着しなけれ
ばならないから、工数の増加もさることながら、接着不
良に起因して歩留り率の低下が助長された。
【０００４】この発明が解決しようとする課題は、従来
の技術がもつ以上の問題点を解消して、振動板への圧電
素子構成を合理化し、歩留り率向上とコスト低減を図っ
たインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供
することにある。
の技術がもつ以上の問題点を解消して、振動板への圧電
素子構成を合理化し、歩留り率向上とコスト低減を図っ
たインクジェット記録ヘッドおよびその製造方法を提供
することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係るインクジ
ェット記録ヘッドは、インクノズル、インク加圧室、イ
ンク供給路およびインク溜めが連通してなる溝を有する
基板と；この基板に溝を覆う形で接合される振動板と；
この振動板の基板とは逆側の表面に、インク加圧室の全
てに対応する形で被着される共通電極と；この共通電極
上に接合され、この共通電極とは逆側の表面に共通な上
部電極を被着し、かつ各インク加圧室に対応する領域を
分割する形で、上部電極を含む表層部に分割溝を形成す
る共通な圧電素子と；を備える、または、インクノズ
ル、インク加圧室、インク供給路およびインク溜めが連
通してなる溝を有する基板と；この基板に溝を覆う形で
接合される振動板と；この振動板の基板とは逆側の表面
に、インク加圧室の全てに対応する形で被着される共通
電極と；この共通電極上に接合され、この共通電極とは
逆側の表面に、各インク加圧室に対応して上部電極をそ
れぞれ被着する共通な圧電素子と；を備えるという構成
である。
ェット記録ヘッドは、インクノズル、インク加圧室、イ
ンク供給路およびインク溜めが連通してなる溝を有する
基板と；この基板に溝を覆う形で接合される振動板と；
この振動板の基板とは逆側の表面に、インク加圧室の全
てに対応する形で被着される共通電極と；この共通電極
上に接合され、この共通電極とは逆側の表面に共通な上
部電極を被着し、かつ各インク加圧室に対応する領域を
分割する形で、上部電極を含む表層部に分割溝を形成す
る共通な圧電素子と；を備える、または、インクノズ
ル、インク加圧室、インク供給路およびインク溜めが連
通してなる溝を有する基板と；この基板に溝を覆う形で
接合される振動板と；この振動板の基板とは逆側の表面
に、インク加圧室の全てに対応する形で被着される共通
電極と；この共通電極上に接合され、この共通電極とは
逆側の表面に、各インク加圧室に対応して上部電極をそ
れぞれ被着する共通な圧電素子と；を備えるという構成
である。
【０００６】この発明に係るインクジェット記録ヘッド
の製造方法は、基板表面に、インクノズル、インク加圧
室、インク供給路およびインク溜めが連通してなる溝を
形成する工程と；この基板に溝を覆う形で振動板を接合
する工程と；この振動板の基板とは逆側の表面にインク
加圧室の全てに対応する形で共通電極を被着する工程
と；この共通電極上に、これとは逆側の表面に共通な上
部電極を被着した共通な圧電素子を接合する工程と；圧
電素子の上部電極を含む表層部に、各インク加圧室に対
応する領域を分割する形で分割溝を形成する工程と；を
備える、または、基板表面に、インクノズル、インク加
圧室、インク供給路およびインク溜めが連通してなる溝
を形成する工程と；この基板に溝を覆う形で振動板を接
合する工程と；この振動板の基板とは逆側の表面に、イ
ンク加圧室の全てに対応する形で共通電極を被着する工
程と；この共通電極上に共通な圧電素子を接合する工程
と；圧電素子の共通電極とは逆側の表面に、各インク加
圧室に対応して上部電極をそれぞれ被着する工程と；を
備えるという構成である。
の製造方法は、基板表面に、インクノズル、インク加圧
室、インク供給路およびインク溜めが連通してなる溝を
形成する工程と；この基板に溝を覆う形で振動板を接合
する工程と；この振動板の基板とは逆側の表面にインク
加圧室の全てに対応する形で共通電極を被着する工程
と；この共通電極上に、これとは逆側の表面に共通な上
部電極を被着した共通な圧電素子を接合する工程と；圧
電素子の上部電極を含む表層部に、各インク加圧室に対
応する領域を分割する形で分割溝を形成する工程と；を
備える、または、基板表面に、インクノズル、インク加
圧室、インク供給路およびインク溜めが連通してなる溝
を形成する工程と；この基板に溝を覆う形で振動板を接
合する工程と；この振動板の基板とは逆側の表面に、イ
ンク加圧室の全てに対応する形で共通電極を被着する工
程と；この共通電極上に共通な圧電素子を接合する工程
と；圧電素子の共通電極とは逆側の表面に、各インク加
圧室に対応して上部電極をそれぞれ被着する工程と；を
備えるという構成である。
【０００７】
【作用】この発明では、基板に溝を覆う形で振動板が接
合され、この振動板の基板とは逆側の表面に、インク加
圧室の全てに対応する形で共通電極が被着され、この共
通電極上に、これとは逆側の表面に共通な上部電極を被
着した共通な圧電素子が接合される。そして、この共通
な圧電素子の上部電極を含む表層部に、各インク加圧室
に対応する領域を分割する形で分割溝が形成されるか
ら、圧電素子は、インク加圧室の全てに対応する形で共
通に接合され、各インク加圧室に対応するために、分割
溝による機能的な分離化がおこなわれる。または、基板
に溝を覆う形で振動板が接合され、この振動板の基板と
は逆側の表面に、インク加圧室の全てに対応する形で共
通電極が被着され、この共通電極上に、共通な圧電素子
が接合される。そして、この共通な圧電素子の外側表面
に各インク加圧室に対応して上部電極が被着されるか
ら、この上部電極によって対応するインク加圧室が共通
な圧電素子を介して駆動されることになる。
合され、この振動板の基板とは逆側の表面に、インク加
圧室の全てに対応する形で共通電極が被着され、この共
通電極上に、これとは逆側の表面に共通な上部電極を被
着した共通な圧電素子が接合される。そして、この共通
な圧電素子の上部電極を含む表層部に、各インク加圧室
に対応する領域を分割する形で分割溝が形成されるか
ら、圧電素子は、インク加圧室の全てに対応する形で共
通に接合され、各インク加圧室に対応するために、分割
溝による機能的な分離化がおこなわれる。または、基板
に溝を覆う形で振動板が接合され、この振動板の基板と
は逆側の表面に、インク加圧室の全てに対応する形で共
通電極が被着され、この共通電極上に、共通な圧電素子
が接合される。そして、この共通な圧電素子の外側表面
に各インク加圧室に対応して上部電極が被着されるか
ら、この上部電極によって対応するインク加圧室が共通
な圧電素子を介して駆動されることになる。
【０００８】
【実施例】この発明に係るインクジェット記録ヘッドの
実施例について、以下に図を参照しながら説明する。ま
ず、第１実施例について、図１(a) の振動板を除いたと
きの平面図、図１(b) の平面図、図２の断面図を参照し
ながら説明する。図１(a)と図２において、基板21に
は、その一方の表面にインクノズル23と、インク加圧室
24と、インク供給路25との５組が一つのインク溜め26に
連通してなる溝の一対が、互いに相対する形で彫り込ま
れる。つまり、インクノズル23の５個の並びが２列設け
られる。また、インク供給路25・インク溜め26間にフィ
ルタ流路27が設けられる。基本的には、基板21は従来例
における基板14と同じである。
実施例について、以下に図を参照しながら説明する。ま
ず、第１実施例について、図１(a) の振動板を除いたと
きの平面図、図１(b) の平面図、図２の断面図を参照し
ながら説明する。図１(a)と図２において、基板21に
は、その一方の表面にインクノズル23と、インク加圧室
24と、インク供給路25との５組が一つのインク溜め26に
連通してなる溝の一対が、互いに相対する形で彫り込ま
れる。つまり、インクノズル23の５個の並びが２列設け
られる。また、インク供給路25・インク溜め26間にフィ
ルタ流路27が設けられる。基本的には、基板21は従来例
における基板14と同じである。
【０００９】図２において、この基板21に溝を覆う形
で、振動板30が接合される。この振動板30の外側の表面
に、インク加圧室24の全てに対応する形で共通電極31が
被着され、この共通電極31に、ほぼ同形の平板状の圧電
素子32が熱硬化性接着剤によって接着される。この接着
には、接着箇所に気泡が残らないよう十分脱気すること
が必要である。圧電素子32には、その上面に共通な上部
電極33が被着される（なお、下面に下部電極が被着され
るが、図示は省略した）。この上部電極33と圧電素子32
の表層部とには、各インク加圧室24に対応する矩形領域
を分割形成するように、分割溝34がマトリックス状に、
ダイヤモンドカッタか超音波カッタでダイシングされ
る。ここで、この分割溝34はたとえば幅0.2mm,深さ50μ
ｍである。
で、振動板30が接合される。この振動板30の外側の表面
に、インク加圧室24の全てに対応する形で共通電極31が
被着され、この共通電極31に、ほぼ同形の平板状の圧電
素子32が熱硬化性接着剤によって接着される。この接着
には、接着箇所に気泡が残らないよう十分脱気すること
が必要である。圧電素子32には、その上面に共通な上部
電極33が被着される（なお、下面に下部電極が被着され
るが、図示は省略した）。この上部電極33と圧電素子32
の表層部とには、各インク加圧室24に対応する矩形領域
を分割形成するように、分割溝34がマトリックス状に、
ダイヤモンドカッタか超音波カッタでダイシングされ
る。ここで、この分割溝34はたとえば幅0.2mm,深さ50μ
ｍである。
【００１０】第２実施例について、図３の平面図、図４
の断面図を参照しながら説明する。図３，図４におい
て、基板41は、インクノズル42と、噴射流路43と、イン
ク加圧室44と、インク供給路45と、フィルタ流路47との
５組が、一つのインク溜め46と連通する溝として彫り込
まれる。この基板41は基本的に従来例における基板14と
同じである。振動板50が基板41の溝を覆う形で接合され
る。この振動板51の外側の表面に、インク加圧室44の全
てに対応する形で共通電極51が被着され、これに同様に
インク加圧室44の全てに対応する形で矩形板状の共通な
圧電素子52が、熱硬化性接着剤を用いて十分な脱気のも
とに接着される。次に、この共通な圧電素子52の外側表
面に、上部電極53の５個が、各インク加圧室44に対応し
て被着される。ここで、この被着はスクリーンマスクと
銀ペーストを用いておこなわれる。または、金属マスク
を用いて金などの金属が被着される。
の断面図を参照しながら説明する。図３，図４におい
て、基板41は、インクノズル42と、噴射流路43と、イン
ク加圧室44と、インク供給路45と、フィルタ流路47との
５組が、一つのインク溜め46と連通する溝として彫り込
まれる。この基板41は基本的に従来例における基板14と
同じである。振動板50が基板41の溝を覆う形で接合され
る。この振動板51の外側の表面に、インク加圧室44の全
てに対応する形で共通電極51が被着され、これに同様に
インク加圧室44の全てに対応する形で矩形板状の共通な
圧電素子52が、熱硬化性接着剤を用いて十分な脱気のも
とに接着される。次に、この共通な圧電素子52の外側表
面に、上部電極53の５個が、各インク加圧室44に対応し
て被着される。ここで、この被着はスクリーンマスクと
銀ペーストを用いておこなわれる。または、金属マスク
を用いて金などの金属が被着される。
【００１１】
【発明の効果】この発明によれば、全インク加圧室に対
応する形で共通な圧電素子と上部電極が接合され、上部
電極と圧電素子の表層部に分割溝が切られて各分割領域
がインク加圧室にそれぞれ対応するか、または全インク
加圧室に対応する形で共通な圧電素子が接合され、各上
部電極がインク加圧室それぞれに対応する形で接合され
るかによって、いずれにしても圧電素子はインク加圧室
の全てに対応する形で共通になる。したがって、次のよ
うな優れた効果が期待できる。すなわち、 (1) 圧電素子の接合（接着）に面倒な位置合わせ調整が
必要なく、しかも接合が完全におこなわれやすく、上部
電極の導通不良が減少ないし無くなり、また圧電素子か
ら振動板への振動伝達効率の向上が図れ、その結果、歩
留り率の向上が図れ、また厚さ50μｍ程度のより薄い圧
電素子も容易に取り扱え、比較的低い駆動電圧によって
確実なインク噴射が可能になる。 (2) 接合（接着）に要する工数が少なくなり、歩留り率
の向上とあいまってコスト低減が図れる。
応する形で共通な圧電素子と上部電極が接合され、上部
電極と圧電素子の表層部に分割溝が切られて各分割領域
がインク加圧室にそれぞれ対応するか、または全インク
加圧室に対応する形で共通な圧電素子が接合され、各上
部電極がインク加圧室それぞれに対応する形で接合され
るかによって、いずれにしても圧電素子はインク加圧室
の全てに対応する形で共通になる。したがって、次のよ
うな優れた効果が期待できる。すなわち、 (1) 圧電素子の接合（接着）に面倒な位置合わせ調整が
必要なく、しかも接合が完全におこなわれやすく、上部
電極の導通不良が減少ないし無くなり、また圧電素子か
ら振動板への振動伝達効率の向上が図れ、その結果、歩
留り率の向上が図れ、また厚さ50μｍ程度のより薄い圧
電素子も容易に取り扱え、比較的低い駆動電圧によって
確実なインク噴射が可能になる。 (2) 接合（接着）に要する工数が少なくなり、歩留り率
の向上とあいまってコスト低減が図れる。
【図１】この発明に係る第１実施例に関し、(a) はその
振動板を除いたときの平面図、(b) はその平面図
振動板を除いたときの平面図、(b) はその平面図
【図２】第１実施例の断面図
【図３】この発明に係る第２実施例の平面図
【図４】同じくその第２実施例の断面図
【図５】従来例の基板の平面図
【図６】従来例の断面図
２１ 基板 ２３ インクノズル ２４ インク加圧室 ２５ インク供給路 ２６ インク溜め ２７ フィルタ流路 ３０ 振動板 ３１ 共通電極 ３２ 圧電素子 ３３ 上部電極 ３４ 分割溝 ４１ 基板 ４２ インクノズル ４３ 噴射流路 ４４ インク加圧室 ４５ インク供給路 ４６ インク溜め ４７ フィルタ流路 ５０ 振動板 ５１ 共通電極 ５２ 圧電素子 ５３ 上部電極
Claims (4)
- 【請求項１】インクノズル、インク加圧室、インク供給
路およびインク溜めが連通してなる溝を有する基板と；
この基板に溝を覆う形で接合される振動板と；この振動
板の基板とは逆側の表面に、インク加圧室の全てに対応
する形で被着される共通電極と；この共通電極上に接合
され、この共通電極とは逆側の表面に共通な上部電極を
被着し、かつ各インク加圧室に対応する領域を分割する
形で、上部電極を含む表層部に分割溝を形成する共通な
圧電素子と；を備えることを特徴とするインクジェット
記録ヘッド。 - 【請求項２】請求項１に記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法であって、基板表面に、インクノズル、イ
ンク加圧室、インク供給路およびインク溜めが連通して
なる溝を形成する工程と；この基板に溝を覆う形で振動
板を接合する工程と；この振動板の基板とは逆側の表面
に、インク加圧室の全てに対応する形で共通電極を被着
する工程と；この共通電極上に、これとは逆側の表面に
共通な上部電極を被着した共通な圧電素子を接合する工
程と；圧電素子の上部電極を含む表層部に、各インク加
圧室に対応する領域を分割する形で分割溝を形成する工
程と；を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項３】インクノズル、インク加圧室、インク供給
路およびインク溜めが連通してなる溝を有する基板と；
この基板に溝を覆う形で接合される振動板と；この振動
板の基板とは逆側の表面に、インク加圧室の全てに対応
する形で被着される共通電極と；この共通電極上に接合
され、この共通電極とは逆側の表面に、各インク加圧室
に対応して上部電極をそれぞれ被着する共通な圧電素子
と；を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項４】請求項３に記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法であって、基板表面に、インクノズル、イ
ンク加圧室、インク供給路およびインク溜めが連通して
なる溝を形成する工程と；この基板に溝を覆う形で振動
板を接合する工程と；この振動板の基板とは逆側の表面
に、インク加圧室の全てに対応する形で共通電極を被着
する工程と；この共通電極上に共通な圧電素子を接合す
る工程と；圧電素子の共通電極とは逆側の表面に、各イ
ンク加圧室に対応して上部電極をそれぞれ被着する工程
と；を備えることを特徴とするインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4148295A JPH08230184A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4148295A JPH08230184A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08230184A true JPH08230184A (ja) | 1996-09-10 |
Family
ID=12609574
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4148295A Pending JPH08230184A (ja) | 1995-03-01 | 1995-03-01 | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08230184A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1134321A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Mita Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
| JP2012061631A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
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1995
- 1995-03-01 JP JP4148295A patent/JPH08230184A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH1134321A (ja) * | 1997-07-17 | 1999-02-09 | Mita Ind Co Ltd | インクジェットヘッド |
| JP2012061631A (ja) * | 2010-09-14 | 2012-03-29 | Sii Printek Inc | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び液体噴射ヘッドの製造方法 |
| CN102431303A (zh) * | 2010-09-14 | 2012-05-02 | 精工电子打印科技有限公司 | 液体喷射头、液体喷射装置以及液体喷射头的制造方法 |
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