JPH08233675A - 差圧センサ - Google Patents
差圧センサInfo
- Publication number
- JPH08233675A JPH08233675A JP1875396A JP1875396A JPH08233675A JP H08233675 A JPH08233675 A JP H08233675A JP 1875396 A JP1875396 A JP 1875396A JP 1875396 A JP1875396 A JP 1875396A JP H08233675 A JPH08233675 A JP H08233675A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- support member
- pressure
- holes
- alignment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 差圧センサにおいて、２つの圧力導入孔を有
する支持部材と、この支持部材の１つの端面に接合さ
れ、前記孔に対応した箇所が起歪部となり且つこの起歪
部の箇所に圧力検出部が形成された板状部材との位置合
せを正確に且つ容易に行う。 【解決手段】 それぞれ圧力流体を導入するための２つ
の孔２，３を有する支持部材１と、支持部材の一方の端
面に接合される板状部材６を有し、この板状部材の一方
の面には孔に対応して２つの圧力検出用成膜部８を設
け、板状部材は矩形であり、且つこの板状部材の２つの
辺を利用して位置合せを行う位置合せ部４，５を支持部
材に形成した。支持部材の位置合せ部は、支持部材の周
面に形成された２つの平面状面部であり、これらの２つ
の平面状面部のそれぞれと板状部材の前記２つの辺を一
致させて位置合せを行い、支持部材と板状部材との接合
を行う。
する支持部材と、この支持部材の１つの端面に接合さ
れ、前記孔に対応した箇所が起歪部となり且つこの起歪
部の箇所に圧力検出部が形成された板状部材との位置合
せを正確に且つ容易に行う。 【解決手段】 それぞれ圧力流体を導入するための２つ
の孔２，３を有する支持部材１と、支持部材の一方の端
面に接合される板状部材６を有し、この板状部材の一方
の面には孔に対応して２つの圧力検出用成膜部８を設
け、板状部材は矩形であり、且つこの板状部材の２つの
辺を利用して位置合せを行う位置合せ部４，５を支持部
材に形成した。支持部材の位置合せ部は、支持部材の周
面に形成された２つの平面状面部であり、これらの２つ
の平面状面部のそれぞれと板状部材の前記２つの辺を一
致させて位置合せを行い、支持部材と板状部材との接合
を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は差圧センサに係り、
特に、土木機械や建設機械等において異なる２つの油圧
力等の差を計測する差圧センサに関する。
特に、土木機械や建設機械等において異なる２つの油圧
力等の差を計測する差圧センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の差圧センサとしては、それぞれ単
一圧力を検出する圧力センサを２つの用意し、これらの
圧力センサのそれぞれで異なる圧力を検出し、それらの
差を計算して差圧を求めるように構成される例がある。
また１つのダイヤフラムの表裏の面に異なる２つの圧力
を印加するように構成し、２つの圧力の差に応じてダイ
ヤフラムが変形するとき、その変化状態を、一方の面に
形成した圧力検出用成膜部に基づいて検出するように構
成した例も存在する。
一圧力を検出する圧力センサを２つの用意し、これらの
圧力センサのそれぞれで異なる圧力を検出し、それらの
差を計算して差圧を求めるように構成される例がある。
また１つのダイヤフラムの表裏の面に異なる２つの圧力
を印加するように構成し、２つの圧力の差に応じてダイ
ヤフラムが変形するとき、その変化状態を、一方の面に
形成した圧力検出用成膜部に基づいて検出するように構
成した例も存在する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の第１の差圧セン
サは、各圧力センサが別々に作られるため、圧力検出特
性が異なり、その調整が面倒であるという問題を有し、
第２の差圧センサは、油圧等が圧力検出用成膜部に直接
に接触するため、保護を完全する必要があるが、完全に
保護することはできず、動作信頼性が低下する。
サは、各圧力センサが別々に作られるため、圧力検出特
性が異なり、その調整が面倒であるという問題を有し、
第２の差圧センサは、油圧等が圧力検出用成膜部に直接
に接触するため、保護を完全する必要があるが、完全に
保護することはできず、動作信頼性が低下する。
【０００４】そこで、本発明者らは、特願平３−３０６
３８９号で、新規な且つ実用性の高い差圧センサを提案
した。この差圧センサの実施例の中で、変形例として、
２つの圧力流体を導入する孔を有する実質的に偏平な円
柱形をした支持部材と、この支持部材の一つの端面に接
合され、起歪部及びこの起歪部に取り付けられた圧力検
出部を有する板状部材とからなる構成を提案した。この
構成では、２つの部材で形成されるため、差圧センサを
組み立てるときに、支持部材に形成された圧力を導入す
るための２つの孔と、板状部材に形成された２つの圧力
検出部との対応関係が正確に行う必要がある。すなわ
ち、２つの部材の位置合せが、正確に行われる必要があ
る。
３８９号で、新規な且つ実用性の高い差圧センサを提案
した。この差圧センサの実施例の中で、変形例として、
２つの圧力流体を導入する孔を有する実質的に偏平な円
柱形をした支持部材と、この支持部材の一つの端面に接
合され、起歪部及びこの起歪部に取り付けられた圧力検
出部を有する板状部材とからなる構成を提案した。この
構成では、２つの部材で形成されるため、差圧センサを
組み立てるときに、支持部材に形成された圧力を導入す
るための２つの孔と、板状部材に形成された２つの圧力
検出部との対応関係が正確に行う必要がある。すなわ
ち、２つの部材の位置合せが、正確に行われる必要があ
る。
【０００５】本発明の目的は、２つの圧力導入孔を有す
る支持部材と、この支持部材の１つの端面に接合され、
前記孔に対応した箇所が起歪部となり且つこの起歪部の
箇所に圧力検出部が形成された板状部材との位置合せを
正確に且つ容易に行うことができる構造を有し、検出感
度を向上させた差圧センサを提供することにある。
る支持部材と、この支持部材の１つの端面に接合され、
前記孔に対応した箇所が起歪部となり且つこの起歪部の
箇所に圧力検出部が形成された板状部材との位置合せを
正確に且つ容易に行うことができる構造を有し、検出感
度を向上させた差圧センサを提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明に係る差圧センサ
は、それぞれ圧力流体を導入するための２つの孔を有す
る支持部材と、支持部材の一方の端面に接合される板状
部材を有し、この板状部材の一方の面には孔に対応して
２つの圧力検出用成膜部を設け、板状部材は矩形であ
り、且つこの板状部材の２つの辺を利用して位置合せを
行う位置合せ部を支持部材に形成したことを特徴とす
る。
は、それぞれ圧力流体を導入するための２つの孔を有す
る支持部材と、支持部材の一方の端面に接合される板状
部材を有し、この板状部材の一方の面には孔に対応して
２つの圧力検出用成膜部を設け、板状部材は矩形であ
り、且つこの板状部材の２つの辺を利用して位置合せを
行う位置合せ部を支持部材に形成したことを特徴とす
る。
【０００７】前記の構成において、好ましくは、支持部
材の位置合せ部は、支持部材の周面に形成された２つの
平面状面部であり、これらの２つの平面状面部のそれぞ
れと板状部材の前記２つの辺を一致させて位置合せを行
い、支持部材と板状部材との接合を行うことを特徴とす
る。
材の位置合せ部は、支持部材の周面に形成された２つの
平面状面部であり、これらの２つの平面状面部のそれぞ
れと板状部材の前記２つの辺を一致させて位置合せを行
い、支持部材と板状部材との接合を行うことを特徴とす
る。
【０００８】以上のように構成した本発明による差圧セ
ンサでは、２つの圧力検出用成膜部を形成した板状部材
を矩形とし、２つの圧力導入孔を有した支持部材の周面
に平面状部分を形成することにより位置合せを容易に行
うことができる。特に、平面状部分を隣合せて２つ形成
し、且つそれらのなす角度を直角にすると、位置合せを
更に容易に行うことができる。上記の位置合せのために
形成された支持部材の平面状周面、及び板状部材の矩形
の所定の辺を基準として利用し、それぞれにて、圧力を
導入するための孔、歪み作用を利用して圧力を検出する
ための成膜部を形成するようにしたため、組付け時に、
支持部材に形成された圧力導入用の各孔と、圧力検出用
成膜部が形成された各箇所とが、正確に位置合せされ
る。
ンサでは、２つの圧力検出用成膜部を形成した板状部材
を矩形とし、２つの圧力導入孔を有した支持部材の周面
に平面状部分を形成することにより位置合せを容易に行
うことができる。特に、平面状部分を隣合せて２つ形成
し、且つそれらのなす角度を直角にすると、位置合せを
更に容易に行うことができる。上記の位置合せのために
形成された支持部材の平面状周面、及び板状部材の矩形
の所定の辺を基準として利用し、それぞれにて、圧力を
導入するための孔、歪み作用を利用して圧力を検出する
ための成膜部を形成するようにしたため、組付け時に、
支持部材に形成された圧力導入用の各孔と、圧力検出用
成膜部が形成された各箇所とが、正確に位置合せされ
る。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の実施形態を添付
図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る差圧セン
サを示し、Ａは平面図、ＢはI-I 線断面図である。図１
のＡとＢは、横軸方向に関し位置関係が対応している。
図２は支持部材のみを示したものであり、Ａはその平面
図、Ｂはその II-II線断面図である。図３は板状部材の
みを示したものであり、Ａは平面図、ＢはそのIII-III
線断面図である。
図面に基づいて説明する。図１は本発明に係る差圧セン
サを示し、Ａは平面図、ＢはI-I 線断面図である。図１
のＡとＢは、横軸方向に関し位置関係が対応している。
図２は支持部材のみを示したものであり、Ａはその平面
図、Ｂはその II-II線断面図である。図３は板状部材の
みを示したものであり、Ａは平面図、ＢはそのIII-III
線断面図である。
【００１０】図１において、１は例えば金属で作られた
センサ基体で、圧力を受ける部材を支持するための支持
部材である。支持部材１は、図１Ｂ及び図２で明らかな
ように、軸方向に平行に２つの孔２，３が形成されてい
る。この２つの孔２，３は、それぞれ圧力を有する流体
を導入するための孔である。支持部材１は、偏平な円柱
体に類似した形態を有するが、その周囲の面において、
その一部に２つの平面部４，５を形成している。これら
の平面部４，５は隣り合っており、且つ、図２Ａで明ら
かなように、平面部４，５は直角に交わっている。平面
部以外の周面部分は、円柱形の周面の一部を形成してい
る。
センサ基体で、圧力を受ける部材を支持するための支持
部材である。支持部材１は、図１Ｂ及び図２で明らかな
ように、軸方向に平行に２つの孔２，３が形成されてい
る。この２つの孔２，３は、それぞれ圧力を有する流体
を導入するための孔である。支持部材１は、偏平な円柱
体に類似した形態を有するが、その周囲の面において、
その一部に２つの平面部４，５を形成している。これら
の平面部４，５は隣り合っており、且つ、図２Ａで明ら
かなように、平面部４，５は直角に交わっている。平面
部以外の周面部分は、円柱形の周面の一部を形成してい
る。
【００１１】上記の構成において、平面部４，５（平面
図として見ると直線部）は、位置合せのための部分とし
て使用される。
図として見ると直線部）は、位置合せのための部分とし
て使用される。
【００１２】６は板状部材で、この板状部材も通常金属
で作られる。板状部材６の厚みは、所定の箇所が圧力を
受けて変形するよう所定の厚みを有し、且つその平面形
状は矩形である。変形部分は、板状部材６を支持部材１
に固定したとき、前述の孔２，３に対応する箇所であ
る。この変形部分は、孔２，３を通して導入される圧力
流体を受け、変形する。変形が生じると、板状部材６の
対応する内部には歪みが発生し、この歪み量を検出する
ことにより、印加された圧力を検出する。この歪みを検
出するために、板状部材６の、圧力を受ける面と反対側
の面には、半導体成膜技術を利用して所定の配置関係に
ある４つの歪みゲージ７を含む圧力検出用成膜部８が形
成される。この圧力検出用成膜部８は、孔２，３の位置
に対応して２か所形成される。図３Ａにおいて、破線で
示される円９は、板状部材６を支持部材１に固定した時
に、孔２，３が位置する場所を想定して示している。
で作られる。板状部材６の厚みは、所定の箇所が圧力を
受けて変形するよう所定の厚みを有し、且つその平面形
状は矩形である。変形部分は、板状部材６を支持部材１
に固定したとき、前述の孔２，３に対応する箇所であ
る。この変形部分は、孔２，３を通して導入される圧力
流体を受け、変形する。変形が生じると、板状部材６の
対応する内部には歪みが発生し、この歪み量を検出する
ことにより、印加された圧力を検出する。この歪みを検
出するために、板状部材６の、圧力を受ける面と反対側
の面には、半導体成膜技術を利用して所定の配置関係に
ある４つの歪みゲージ７を含む圧力検出用成膜部８が形
成される。この圧力検出用成膜部８は、孔２，３の位置
に対応して２か所形成される。図３Ａにおいて、破線で
示される円９は、板状部材６を支持部材１に固定した時
に、孔２，３が位置する場所を想定して示している。
【００１３】従って、板状部材６の一部が圧力を受けて
変形し、この変形を歪みを利用して検出し、印加した圧
力の大きさを圧力検出用成膜部８で検出するためには、
板状部材６と支持部材１を結合した時、２つの圧力検出
用成膜部８のそれぞれと孔２，３の位置が正確に一致す
るように、それぞれを製作する必要がある。
変形し、この変形を歪みを利用して検出し、印加した圧
力の大きさを圧力検出用成膜部８で検出するためには、
板状部材６と支持部材１を結合した時、２つの圧力検出
用成膜部８のそれぞれと孔２，３の位置が正確に一致す
るように、それぞれを製作する必要がある。
【００１４】なお差圧センサの構成としては、通常その
他にボンディングワイヤや信号引出し線等を有している
が、説明の便宜上、その図示を省略している。
他にボンディングワイヤや信号引出し線等を有している
が、説明の便宜上、その図示を省略している。
【００１５】前述の位置合せを正確に行うために、差圧
センサは、次のように作られる。
センサは、次のように作られる。
【００１６】まず板状部材６は、所定の基材から矩形に
切り出される。その周囲には４辺の直線部を有する。そ
こで、図３Ａに示される如く、隣合う２辺６ａ，６ｂを
選択し、これらの２つの辺６ａ，６ｂの部分を基準にし
て、４つの歪みゲージを含む圧力検出用成膜部８を２つ
形成する。辺６ａ，６ｂに対する距離を正確に設定すれ
ば、これらの辺に対して正確な位置に圧力検出用成膜部
８を２か所作ることができる。
切り出される。その周囲には４辺の直線部を有する。そ
こで、図３Ａに示される如く、隣合う２辺６ａ，６ｂを
選択し、これらの２つの辺６ａ，６ｂの部分を基準にし
て、４つの歪みゲージを含む圧力検出用成膜部８を２つ
形成する。辺６ａ，６ｂに対する距離を正確に設定すれ
ば、これらの辺に対して正確な位置に圧力検出用成膜部
８を２か所作ることができる。
【００１７】次に、支持部材１を、機械加工で図２に示
される外観形態にて形成する。支持部材１は、図２Ａに
示すように、２つの平面部４，５を有しているので、こ
の平面部４，５の位置を基準として、孔２，３を形成す
る。この孔２，３と平面部４，５との位置関係は、板状
部材６における辺６ａ、６ｂと成膜部８との位置関係と
同じに設定される。
される外観形態にて形成する。支持部材１は、図２Ａに
示すように、２つの平面部４，５を有しているので、こ
の平面部４，５の位置を基準として、孔２，３を形成す
る。この孔２，３と平面部４，５との位置関係は、板状
部材６における辺６ａ、６ｂと成膜部８との位置関係と
同じに設定される。
【００１８】上記のように形成された板状部材６と支持
部材１とを、図１に示す如く結合する。結合の手段とし
ては、接着、ろう付け、拡散接合等の手段が使用され
る。結合を行うときの基準としては、板状部材６の直線
部６ａ，６ｂと支持部材１の平面部４，５を一致させ
る。このようにして板状部材６と支持部材１を結合すれ
ば、成膜部８の位置と孔２，３の位置を正確に一致させ
ることができる。
部材１とを、図１に示す如く結合する。結合の手段とし
ては、接着、ろう付け、拡散接合等の手段が使用され
る。結合を行うときの基準としては、板状部材６の直線
部６ａ，６ｂと支持部材１の平面部４，５を一致させ
る。このようにして板状部材６と支持部材１を結合すれ
ば、成膜部８の位置と孔２，３の位置を正確に一致させ
ることができる。
【００１９】最後に、上記差圧センサによる差圧の測定
方法を説明する。圧力導入孔２に圧力Ｐ１が印加され、
圧力導入孔３に圧力Ｐ２が印加されると、圧力Ｐ１は一
方の成膜部８で検出され、圧力Ｐ２は他方の成膜部８で
検出される。その後、図示しない処理回路で、圧力Ｐ１
に関する検出値と圧力Ｐ２に関する検出値との差を演算
し、２つの圧力Ｐ１，Ｐ２の差を求める。
方法を説明する。圧力導入孔２に圧力Ｐ１が印加され、
圧力導入孔３に圧力Ｐ２が印加されると、圧力Ｐ１は一
方の成膜部８で検出され、圧力Ｐ２は他方の成膜部８で
検出される。その後、図示しない処理回路で、圧力Ｐ１
に関する検出値と圧力Ｐ２に関する検出値との差を演算
し、２つの圧力Ｐ１，Ｐ２の差を求める。
【００２０】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように本発明によ
れば、板状部材に形成した２か所の圧力検出部の位置
と、支持部材に形成した圧力導入孔の位置を正確に位置
決めすることができ、２つの圧力検出部の感度が等しく
なり、且つそれぞれの感度を高くすることができる。こ
れによって差圧センサの検出精度を高めることができ
る。
れば、板状部材に形成した２か所の圧力検出部の位置
と、支持部材に形成した圧力導入孔の位置を正確に位置
決めすることができ、２つの圧力検出部の感度が等しく
なり、且つそれぞれの感度を高くすることができる。こ
れによって差圧センサの検出精度を高めることができ
る。
【図１】本発明に係る差圧センサの平面形状と要部断面
形状を位置関係を対応して示した図である。
形状を位置関係を対応して示した図である。
【図２】支持部材の平面形状と要部断面形状を位置関係
を対応して示した図である。
を対応して示した図である。
【図３】板状部材の平面形状と要部断面形状を位置関係
を対応して示した図である。
を対応して示した図である。
１ …支持部材（センサ基体） ２，３ …圧力流体を導入するための孔 ４，５ …平面部 ６ …板状部材 ７ …歪みゲージ ８ …圧力検出用成膜部
フロントページの続き (72)発明者 坂本 幸男 茨城県土浦市神立町650番地 日立建機株 式会社土浦工場内
Claims (2)
- 【請求項１】それぞれ圧力流体を導入するための２つの
孔を有する支持部材と、前記支持部材の一方の端面に接
合される板状部材を有し、この板状部材の一方の面には
前記孔に対応して２つの圧力検出用成膜部を設け、前記
板状部材を矩形とし、且つこの板状部材の２つの辺を利
用して位置合せを行う位置合せ部を前記支持部材に形成
したことを特徴とする差圧センサ。 - 【請求項２】請求項１記載の差圧センサにおいて、前記
支持部材の前記位置合せ部は、前記支持部材の周面に形
成された２つの平面状面部であり、これらの２つの平面
状面部のそれぞれと前記板状部材の前記２つの辺を一致
させて前記位置合せを行い、前記支持部材と前記板状部
材との接合を行うことを特徴とする差圧センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1875396A JPH08233675A (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 差圧センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1875396A JPH08233675A (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 差圧センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08233675A true JPH08233675A (ja) | 1996-09-13 |
Family
ID=11980420
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1875396A Pending JPH08233675A (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 差圧センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08233675A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0872352A1 (en) | 1997-04-15 | 1998-10-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Image recording device having detachable web roll cassette |
| US6099179A (en) * | 1997-10-17 | 2000-08-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Image recording device having a cassette that pivots feed rollers into nipping position |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01172721A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体圧力センサ |
-
1996
- 1996-02-05 JP JP1875396A patent/JPH08233675A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01172721A (ja) * | 1987-12-28 | 1989-07-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体圧力センサ |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0872352A1 (en) | 1997-04-15 | 1998-10-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Image recording device having detachable web roll cassette |
| EP0872353A2 (en) | 1997-04-15 | 1998-10-21 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Web roll and web roll cassette detachably mounted in printer |
| US5943085A (en) * | 1997-04-15 | 1999-08-24 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Image recording device having detachable web roll cassette |
| US6109804A (en) * | 1997-04-15 | 2000-08-29 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Web roll and web roll cassette detachably mounted in printer |
| US6099179A (en) * | 1997-10-17 | 2000-08-08 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Image recording device having a cassette that pivots feed rollers into nipping position |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US8776616B2 (en) | Multiaxial force-torque sensors | |
| US20070210538A1 (en) | Force sensor and manufacturing method for a force sensor | |
| US8024976B2 (en) | Combined wet-wet differential and gage transducer employing a common housing | |
| EP0753728A3 (en) | Semiconductor differential pressure measuring device | |
| JP3895937B2 (ja) | 差圧・圧力センサ | |
| US4511878A (en) | Pressure sensor with improved semiconductor diaphragm | |
| US20110167918A1 (en) | Pressure sensor assembly | |
| CN112649141A (zh) | 传感器元件 | |
| US7852191B2 (en) | Sensor and manufacturing method thereof | |
| JPH0569650U (ja) | 差圧センサ | |
| JP2009244151A (ja) | 圧力・摩擦力センサ、および圧力・摩擦力検出方法 | |
| JPH0572069A (ja) | 半導体圧力センサ | |
| US20160299027A1 (en) | Device for determining a pressure and method for manufacturing the same | |
| US20090212899A1 (en) | Low Pressure Transducer Using Beam and Diaphragm | |
| JP5713547B2 (ja) | センサ装置及びセンサ装置を製造するための方法 | |
| JPH0526985Y2 (ja) | ||
| JPH05142076A (ja) | 差圧センサ及びそのダイヤフラム | |
| JPH067035U (ja) | 差圧センサ | |
| JP2771070B2 (ja) | 差圧センサ | |
| US11879800B2 (en) | MEMS strain gauge pressure sensor with mechanical symmetries | |
| JP2793796B2 (ja) | 差圧センサユニット | |
| JP4179389B2 (ja) | 圧力検出装置 | |
| JP3120388B2 (ja) | 半導体圧力変換器 | |
| JPH0560639A (ja) | 差圧センサ | |
| JPH07113707A (ja) | 半導体複合機能センサ |