JPH08247960A - 外観検査装置 - Google Patents
外観検査装置Info
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- JPH08247960A JPH08247960A JP8088095A JP8088095A JPH08247960A JP H08247960 A JPH08247960 A JP H08247960A JP 8088095 A JP8088095 A JP 8088095A JP 8088095 A JP8088095 A JP 8088095A JP H08247960 A JPH08247960 A JP H08247960A
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- JP
- Japan
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- determined
- color
- pixel
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 精度が良く、誤報の少ない外観検査装置を提
供する。 【構成】 ＣＣＤカメラ１で撮影した画像信号の全画像
を、比較器２において上限マスター画像設定装置３およ
び下限マスター画像設定装置４により定められた基準と
比較する。
供する。 【構成】 ＣＣＤカメラ１で撮影した画像信号の全画像
を、比較器２において上限マスター画像設定装置３およ
び下限マスター画像設定装置４により定められた基準と
比較する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は外観検査装置に関す
る。
る。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板等においては、金メッキ部
のキズ、変色、半田の盛り上がり、ハンダ面の銅見え、
ハンダのはみだし、ハンダのパットの欠け、レジスト部
の不良、シルク印刷の不良、異物付着、プリント配線の
ショート、配線切れ、プリント配線板の欠け、異種プリ
ント板の混入等の不良が生ずることがあり、従来はこれ
らの検査は目視による官能検査が主流であった。しか
し、目視による検査は検査員によるバラツキ等があり、
検査精度に問題があるため、画像信号による機械検査が
種々試みられている。
のキズ、変色、半田の盛り上がり、ハンダ面の銅見え、
ハンダのはみだし、ハンダのパットの欠け、レジスト部
の不良、シルク印刷の不良、異物付着、プリント配線の
ショート、配線切れ、プリント配線板の欠け、異種プリ
ント板の混入等の不良が生ずることがあり、従来はこれ
らの検査は目視による官能検査が主流であった。しか
し、目視による検査は検査員によるバラツキ等があり、
検査精度に問題があるため、画像信号による機械検査が
種々試みられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、画像信号に基
づいて機械的に検査を行う場合、プリント基板を測定対
象とする場合には良品であるにも関わらず不良品と判定
される所謂誤報の問題があり、十分な検査精度が得られ
ない欠点があった。この誤報は、プリント基板の一枚一
枚の色の相違、回路パターンの位置ずれ、或いは回路パ
ターンの幅のバラツキ等に起因するものであり、従来の
検査装置ではこれらによる画像信号の相違に基づいて単
純に不良品として判断してしまう問題があった。本発明
は上記した従来技術の問題点を解決することを目的とす
る。
づいて機械的に検査を行う場合、プリント基板を測定対
象とする場合には良品であるにも関わらず不良品と判定
される所謂誤報の問題があり、十分な検査精度が得られ
ない欠点があった。この誤報は、プリント基板の一枚一
枚の色の相違、回路パターンの位置ずれ、或いは回路パ
ターンの幅のバラツキ等に起因するものであり、従来の
検査装置ではこれらによる画像信号の相違に基づいて単
純に不良品として判断してしまう問題があった。本発明
は上記した従来技術の問題点を解決することを目的とす
る。
【０００４】
【課題を解決するための手段及び作用】上記目的を達成
するために本発明の外観検査装置は、被検査対象物を撮
像し、被検査対象物を覆う複数の撮像点の複数の画素信
号を有する画像信号を出力する手段と、被検査対象物と
同一の複数の標準品を撮像して得られた前記同一撮像点
における複数の画素信号に基づいて前記撮像点毎に決定
された基準値と同様に決定された許容値とに基づいて、
前記各撮像点における画素信号の適正範囲を決定する手
段と、該画像信号を出力する手段からの画像信号の個々
の画素が、前記決定された適正範囲内であるか否か判断
する手段と、を備えたことを特徴とする。画像信号を出
力する手段は、ＣＣＤ等を用いた撮像装置を用いること
が可能であり、カラー撮影が可能なものを用いることが
望ましい。得られた画像信号は個々の画像信号毎に適正
範囲内であるか判断する手段により判断される。この適
正範囲は適正範囲を決定する手段により決定される。適
正範囲を決定する手段は基準値と許容値とに基づいて適
正範囲を決定する。この基準値と許容値は被検査対象部
との同一の複数の標準品を用いて決定されるようになっ
ている。この標準品は例えば良品を用いれば良い。同一
撮像点（同一点）における複数の標準品の画像信号の画
素信号の平均値等を基準値として用いることができる。
この平均値とは単純平均だけでなく、最大値と最小値を
除去した平均値等も含む意味である。また平均値に変え
てメジアンやモード等を採用することも可能である。許
容値としては、該同一点における複数の画素信号の、分
散等の散布度を用いることが望ましい。分散の他に標準
偏差等を用いても良い。このような散布度を許容値とし
て用いることにより、被検査対象物による色の違いを補
償することが可能になる。また許容値として、その画素
の８近傍の上限値と下限値を用いることができる。この
８近傍の上限値と下限値を用いることにより、回路パタ
ーン検査等における回路の位置ズレやパターンの幅の相
違などを補償することが可能になる。更に、前記散布度
と８近傍の上限値及び散布度と下限値とを適宜スケーリ
ングした後に比較し、その比較結果に基づいて例えば大
きい値の方を選択し、これを許容値として、前記平均値
等から加減して範囲を設定するのが望ましい。前記画像
信号が色信号を含む場合には、前記適正範囲を決定する
手段において、前記基準値と許容値とが各色毎に決定さ
れ、判断する手段において、色毎に判断される。該判断
する手段による個々の画素に対する判断に基づいて、該
被検査対象物の合否を判定する手段を更に備えることも
可能である。例えば前記画像信号が色信号を含み、前記
適正範囲を決定する手段において、前記基準値と許容値
とが各色毎に決定され、更に前記判断する手段により色
毎の個々の画素に対する判断がなされる場合、この色毎
の判断に基づいて該被検査対象物の合否を判定すること
が可能である。前記判断する手段による判断結果は、表
示手段により任意の範囲毎に表示するように構成するこ
とが望ましい。なお、本発明の検査装置は種々の対象物
の検査に用いることが可能であるが、プリント基板の外
観検査に用いた場合、最も効果的である。
するために本発明の外観検査装置は、被検査対象物を撮
像し、被検査対象物を覆う複数の撮像点の複数の画素信
号を有する画像信号を出力する手段と、被検査対象物と
同一の複数の標準品を撮像して得られた前記同一撮像点
における複数の画素信号に基づいて前記撮像点毎に決定
された基準値と同様に決定された許容値とに基づいて、
前記各撮像点における画素信号の適正範囲を決定する手
段と、該画像信号を出力する手段からの画像信号の個々
の画素が、前記決定された適正範囲内であるか否か判断
する手段と、を備えたことを特徴とする。画像信号を出
力する手段は、ＣＣＤ等を用いた撮像装置を用いること
が可能であり、カラー撮影が可能なものを用いることが
望ましい。得られた画像信号は個々の画像信号毎に適正
範囲内であるか判断する手段により判断される。この適
正範囲は適正範囲を決定する手段により決定される。適
正範囲を決定する手段は基準値と許容値とに基づいて適
正範囲を決定する。この基準値と許容値は被検査対象部
との同一の複数の標準品を用いて決定されるようになっ
ている。この標準品は例えば良品を用いれば良い。同一
撮像点（同一点）における複数の標準品の画像信号の画
素信号の平均値等を基準値として用いることができる。
この平均値とは単純平均だけでなく、最大値と最小値を
除去した平均値等も含む意味である。また平均値に変え
てメジアンやモード等を採用することも可能である。許
容値としては、該同一点における複数の画素信号の、分
散等の散布度を用いることが望ましい。分散の他に標準
偏差等を用いても良い。このような散布度を許容値とし
て用いることにより、被検査対象物による色の違いを補
償することが可能になる。また許容値として、その画素
の８近傍の上限値と下限値を用いることができる。この
８近傍の上限値と下限値を用いることにより、回路パタ
ーン検査等における回路の位置ズレやパターンの幅の相
違などを補償することが可能になる。更に、前記散布度
と８近傍の上限値及び散布度と下限値とを適宜スケーリ
ングした後に比較し、その比較結果に基づいて例えば大
きい値の方を選択し、これを許容値として、前記平均値
等から加減して範囲を設定するのが望ましい。前記画像
信号が色信号を含む場合には、前記適正範囲を決定する
手段において、前記基準値と許容値とが各色毎に決定さ
れ、判断する手段において、色毎に判断される。該判断
する手段による個々の画素に対する判断に基づいて、該
被検査対象物の合否を判定する手段を更に備えることも
可能である。例えば前記画像信号が色信号を含み、前記
適正範囲を決定する手段において、前記基準値と許容値
とが各色毎に決定され、更に前記判断する手段により色
毎の個々の画素に対する判断がなされる場合、この色毎
の判断に基づいて該被検査対象物の合否を判定すること
が可能である。前記判断する手段による判断結果は、表
示手段により任意の範囲毎に表示するように構成するこ
とが望ましい。なお、本発明の検査装置は種々の対象物
の検査に用いることが可能であるが、プリント基板の外
観検査に用いた場合、最も効果的である。
【０００５】
【実施例】以下本発明をプリント基板の外観検査装置に
適用した実施例を図面に基づいて説明する。図１はこの
外観検査装置の外観図であり、撮像テーブル２０上に載
置されたプリント基板であるワークＷをＣＣＤカメラ１
により撮影して、その画像信号を解析することにより検
査を行う様になっている。ワークＷはコンベア２１によ
り搬送され、撮像テーブル２０に載せられて、撮影が終
わると再びコンベア２２により搬送されるようになって
いる。撮像テーブル２０において、ワークＷは厳密に位
置決めされるようになっており、基準値と許容値を設定
するために事前に撮影される良品と同一の位置に位置決
めされるようになっている。
適用した実施例を図面に基づいて説明する。図１はこの
外観検査装置の外観図であり、撮像テーブル２０上に載
置されたプリント基板であるワークＷをＣＣＤカメラ１
により撮影して、その画像信号を解析することにより検
査を行う様になっている。ワークＷはコンベア２１によ
り搬送され、撮像テーブル２０に載せられて、撮影が終
わると再びコンベア２２により搬送されるようになって
いる。撮像テーブル２０において、ワークＷは厳密に位
置決めされるようになっており、基準値と許容値を設定
するために事前に撮影される良品と同一の位置に位置決
めされるようになっている。
【０００６】ＣＣＤカメラ１で撮影されたワークＷの画
像信号は図２に示すように比較器２に送られるようにな
っている。比較器２において画像信号の各画素信号は上
限マスター画像及び下限マスター画像の各画素信号と個
々に比較され、各画素毎に上限マスター画像と下限マス
ター画像の範囲内にあるか否か判断されるようになって
いる。即ち比較器２では
像信号は図２に示すように比較器２に送られるようにな
っている。比較器２において画像信号の各画素信号は上
限マスター画像及び下限マスター画像の各画素信号と個
々に比較され、各画素毎に上限マスター画像と下限マス
ター画像の範囲内にあるか否か判断されるようになって
いる。即ち比較器２では
【数１】 の判断がなされるようになっている。ここで、 ｂａｓｅＵ（ｘ、ｙ） ： 上限マスター画像 ｂａｓｅＬ（ｘ、ｙ） ： 下限マスター画像 ｔａｒｇｅｔ（ｘ、ｙ） ： ワークＷ画像 ｐｅｒｍｉｔＵ（ｘ、ｙ）： 上限調整値 ｐｅｒｍｉｔＬ（ｘ、ｙ）： 下限調整値 ｘ、ｙ ： 画素の位置座標
【０００７】上限マスター画像設定装置３と下限マスタ
ー画像設定装置４において上限マスター画像及び下限マ
スター画像は次の様に決定されるように構成されてい
る。いまワークＷと同一の良品のプリント基板をｋ1、
ｋ2、ーーーｋnとし、予めこれらのプリント基板をＣＣ
Ｄカメラ１により撮影して、画像信号を得て、下記式に
従ってｂａｓｅＵとｂａｓｅＬとを算出して、上限マス
ター画像と下限マスター画像を上限マスター画像設定装
置３及び下限マスター画像設定装置４に設定しておくよ
うになっている。
ー画像設定装置４において上限マスター画像及び下限マ
スター画像は次の様に決定されるように構成されてい
る。いまワークＷと同一の良品のプリント基板をｋ1、
ｋ2、ーーーｋnとし、予めこれらのプリント基板をＣＣ
Ｄカメラ１により撮影して、画像信号を得て、下記式に
従ってｂａｓｅＵとｂａｓｅＬとを算出して、上限マス
ター画像と下限マスター画像を上限マスター画像設定装
置３及び下限マスター画像設定装置４に設定しておくよ
うになっている。
【数２】
【数３】 ここで、右辺の左項は各良品における同一点（同一撮像
点）の画素の平均値であり、これが基準値となる。この
平均値は単純平均であっても良いが、最大値と最小値を
除去した平均値を用いることが望ましい。また、メジア
ンやモード等を使用しても良い。なお、良品のプリント
基板に変えて、不良品のプリント基板をドローイング機
能で修正することにより、良品として使用可能である。
点）の画素の平均値であり、これが基準値となる。この
平均値は単純平均であっても良いが、最大値と最小値を
除去した平均値を用いることが望ましい。また、メジア
ンやモード等を使用しても良い。なお、良品のプリント
基板に変えて、不良品のプリント基板をドローイング機
能で修正することにより、良品として使用可能である。
【０００８】ＭＡＸ（Ａ、Ｂ）及びＭＡＸ（Ａ、Ｃ）
は、上記基準値に付加される許容値であって、Ａは標準
偏差、Ｂは８近傍の上限値とＣは８近傍の下限値であ
る。Ａは、次のように定義される。
は、上記基準値に付加される許容値であって、Ａは標準
偏差、Ｂは８近傍の上限値とＣは８近傍の下限値であ
る。Ａは、次のように定義される。
【数４】 ここでσは標準偏差、ａは整数であり、この実施例では
ａ＝１、２、３、ーーーの任意の値を適宜使用する。こ
のＡにより、ワークＷによる同一位置での色の違いを補
償することができ、プリント基板毎の色違いによる誤報
を防止することができる。
ａ＝１、２、３、ーーーの任意の値を適宜使用する。こ
のＡにより、ワークＷによる同一位置での色の違いを補
償することができ、プリント基板毎の色違いによる誤報
を防止することができる。
【０００９】次にＢ及びＣは次のように定義される。
【数５】 ここでｂはａと同様にｂ＝１、２、３、ーーーの任意の
値を適宜使用する。Ｐは図３に示すように各画素信号の
値であり、Ｐ5を中心とする８近傍の値の中の最大値を
Ｐ5の値に置換して、これを８近傍の上限値とする。同
様に８近傍の値の中の最小値をＰ5の値に置換して、こ
れを８近傍の下限値とするようになっている。この処理
を全画素について実行する。このような８近傍の上限値
と下限値による許容値を加えることにより、プリント基
板の回路パターンのエッジ部のずれ、パターン幅の違い
等を補償することが可能になる。図４に示すように、回
路パターン部分の画素信号がｆｆ（１６進）で表される
とすると、（Ａ）の元の値に８近傍の最小値と最大値を
置換していくと、（Ｂ）及び（Ｃ）に示すようになる。
ここで、の列との列に着目すれば、最小値と置換し
た場合には、ｆｆ部分が少なくなり、回路パターンが細
くなる。一方最大値と置換した場合にはｆｆ部分が多く
なり、回路パターンが太くなる。このように８近傍に基
づく補正項を加えることにより、基板の回路パターンの
エッジ部のずれ、パターン幅の違いを吸収することが可
能になる。
値を適宜使用する。Ｐは図３に示すように各画素信号の
値であり、Ｐ5を中心とする８近傍の値の中の最大値を
Ｐ5の値に置換して、これを８近傍の上限値とする。同
様に８近傍の値の中の最小値をＰ5の値に置換して、こ
れを８近傍の下限値とするようになっている。この処理
を全画素について実行する。このような８近傍の上限値
と下限値による許容値を加えることにより、プリント基
板の回路パターンのエッジ部のずれ、パターン幅の違い
等を補償することが可能になる。図４に示すように、回
路パターン部分の画素信号がｆｆ（１６進）で表される
とすると、（Ａ）の元の値に８近傍の最小値と最大値を
置換していくと、（Ｂ）及び（Ｃ）に示すようになる。
ここで、の列との列に着目すれば、最小値と置換し
た場合には、ｆｆ部分が少なくなり、回路パターンが細
くなる。一方最大値と置換した場合にはｆｆ部分が多く
なり、回路パターンが太くなる。このように８近傍に基
づく補正項を加えることにより、基板の回路パターンの
エッジ部のずれ、パターン幅の違いを吸収することが可
能になる。
【００１０】次に式１のｐｅｒｍｉｔＵ（ｘ、ｙ）及び
ｐｅｒｍｉｔＬ（ｘ、ｙ）はユーザが任意に指定できる
許容値であり、この設定により合否基準を厳しくした
り、ゆるめたりすることが出来るようになっている。ま
た、特定のポイントに特異性がある場合などにこれを吸
収することが可能になる。図２の実施例では上限調整装
置５、下限調整装置６によりこれらをユーザが調整出来
るように構成している。
ｐｅｒｍｉｔＬ（ｘ、ｙ）はユーザが任意に指定できる
許容値であり、この設定により合否基準を厳しくした
り、ゆるめたりすることが出来るようになっている。ま
た、特定のポイントに特異性がある場合などにこれを吸
収することが可能になる。図２の実施例では上限調整装
置５、下限調整装置６によりこれらをユーザが調整出来
るように構成している。
【００１１】上記式２において、上記ＡとＢを比較して
Ａ又はＢの大きい方をＭＡＸ（Ａ、Ｂ）とし、これを平
均値に加えるようになっている。また上記式３において
は、上記ＡとＣを比較して、Ａ又はＣの大きい方をＭＡ
Ｘ（Ａ、Ｃ）とし、これを平均値から引算するようにな
っている。上記Ａ、Ｂ、Ｃを算出する際には、上記した
ようにａ＝１、２、３、ーーー、ｂ＝１、２、３、ーー
ーの値は適宜調整される。
Ａ又はＢの大きい方をＭＡＸ（Ａ、Ｂ）とし、これを平
均値に加えるようになっている。また上記式３において
は、上記ＡとＣを比較して、Ａ又はＣの大きい方をＭＡ
Ｘ（Ａ、Ｃ）とし、これを平均値から引算するようにな
っている。上記Ａ、Ｂ、Ｃを算出する際には、上記した
ようにａ＝１、２、３、ーーー、ｂ＝１、２、３、ーー
ーの値は適宜調整される。
【００１２】上記した式１による判断は比較器２におい
て、ＲＧＢの各色面毎に行われ、その判断結果が濃度モ
ード判定装置７に送られるようになっている。濃度モー
ド判定装置７においては、例えば次のような判断基準に
より検査対象のプリント基板の合否を決定するようにな
っている。 ３ＯＲ ： Ｒ、Ｇ、Ｂ面のいずれかに式１の不合格画
素があれば欠陥品とする。 ３ＡＮＤ： Ｒ、Ｇ、Ｂ面のすべてに式１の不合格画素
があれば欠陥品とする。 ２ＡＮＤ： ＲとＧ、ＧとＢ、ＢとＲの組み合わせで、
どれかの面に式１の不合格画素があれば欠陥品とする。
て、ＲＧＢの各色面毎に行われ、その判断結果が濃度モ
ード判定装置７に送られるようになっている。濃度モー
ド判定装置７においては、例えば次のような判断基準に
より検査対象のプリント基板の合否を決定するようにな
っている。 ３ＯＲ ： Ｒ、Ｇ、Ｂ面のいずれかに式１の不合格画
素があれば欠陥品とする。 ３ＡＮＤ： Ｒ、Ｇ、Ｂ面のすべてに式１の不合格画素
があれば欠陥品とする。 ２ＡＮＤ： ＲとＧ、ＧとＢ、ＢとＲの組み合わせで、
どれかの面に式１の不合格画素があれば欠陥品とする。
【００１３】上記した基準により欠陥品とされたプリン
ト基板に更に面積モード判定装置８において面積判定を
加えることにより最終的に欠陥品の決定を行うようにな
っている。即ち、濃度モード判定装置７で欠陥と判定さ
れても、欠陥の面積が小さければ合格とすることが可能
である。面積判定に際しては画像を格子状に分割して格
子内において面積の判定を行う等の手法が採用可能であ
る。
ト基板に更に面積モード判定装置８において面積判定を
加えることにより最終的に欠陥品の決定を行うようにな
っている。即ち、濃度モード判定装置７で欠陥と判定さ
れても、欠陥の面積が小さければ合格とすることが可能
である。面積判定に際しては画像を格子状に分割して格
子内において面積の判定を行う等の手法が採用可能であ
る。
【００１４】面積モード判定装置８で欠陥品或いは良品
と判断された判断結果は表示装置９に表示されるように
なっている。この実施例においては、図５に示すよう
に、任意に区切られた領域のどの部分に式１を満たさな
い画素があるか表示できるようになっている。
と判断された判断結果は表示装置９に表示されるように
なっている。この実施例においては、図５に示すよう
に、任意に区切られた領域のどの部分に式１を満たさな
い画素があるか表示できるようになっている。
【００１５】以上説明した実施例においては、プリント
基板をＣＣＤカメラ１により撮影し、その全画素に付い
て良品に基づいて決定された適正範囲に属するか否かの
判定が行われるから、極めて精度の高い検査が行える。
しかも、適正範囲は良品を基準として統計的に処理され
た値に基づいて決定され、更に８近傍処理による許容値
を加えるため、基板による色の違いや回路パターンの位
置ズレや幅の相違などを吸収できる。またこれは、官能
検査による良品に基づくものであるため、熟練した検査
員の判断基準をシュミレートすることになり、誤報の少
ない極めて高精度の検査を実現できる。
基板をＣＣＤカメラ１により撮影し、その全画素に付い
て良品に基づいて決定された適正範囲に属するか否かの
判定が行われるから、極めて精度の高い検査が行える。
しかも、適正範囲は良品を基準として統計的に処理され
た値に基づいて決定され、更に８近傍処理による許容値
を加えるため、基板による色の違いや回路パターンの位
置ズレや幅の相違などを吸収できる。またこれは、官能
検査による良品に基づくものであるため、熟練した検査
員の判断基準をシュミレートすることになり、誤報の少
ない極めて高精度の検査を実現できる。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の外観検査装
置によれば、高精度でしかも誤報のすくない検査が行え
る効果がある。
置によれば、高精度でしかも誤報のすくない検査が行え
る効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す外観立面図。
【図２】本発明の一実施例を示す機能ブロック図。
【図３】本発明の一実施例における８近傍の説明図。
【図４】本発明の一実施例における８近傍処理の説明
図。
図。
【図５】本発明の一実施例における表示例の説明図。
１：ＣＣＤカメラ、２：比較器、３：上限マスター画像
設定装置、４：下限マスター画像設定装置、５：上限調
整装置、６：下限調整装置、７：濃度モード判定装置、
８：面積モード判定装置、９：表示装置、２０：撮像テ
ーブル、２１：コンベア、２２：コンベア。
設定装置、４：下限マスター画像設定装置、５：上限調
整装置、６：下限調整装置、７：濃度モード判定装置、
８：面積モード判定装置、９：表示装置、２０：撮像テ
ーブル、２１：コンベア、２２：コンベア。
Claims (10)
- 【請求項１】 被検査対象物を撮像し、被検査対象物を
覆う複数の撮像点の複数の画素信号を有する画像信号を
出力する手段と、 被検査対象物と同一の複数の標準品を撮像して得られた
前記同一撮像点における複数の画素信号に基づいて前記
撮像点毎に決定された基準値と、同様に決定された許容
値とに基づいて、前記各撮像点における画素信号の適正
範囲を決定する手段と、 該画像信号を出力する手段からの画像信号の個々の画素
が、前記決定された適正範囲内であるか否か判断する手
段と、 を備えたことを特徴とする外観検査装置。 - 【請求項２】 前記基準値が同一撮像点における複数の
画素信号の平均値である、 請求項１に記載の外観検査装置。 - 【請求項３】 前記許容値が、前記同一撮像点における
複数の画素信号の散布度に基づいて決定される値であ
る、 請求項１又は２に記載の外観検査装置。 - 【請求項４】 前記許容値が、前記同一撮像点における
個々の画素信号の８近傍の上限値と下限値である、 請求項１又は２に記載の外観検査装置。 - 【請求項５】 前記許容値が、前記同一撮像点における
複数の画素信号の散布度に基づいて決定される値と、前
記同一撮像点における個々の画素信号の８近傍の上限値
とを比較し、該比較結果により選択された散布度又は上
限値の中の１つ及び前記散布度に基づいて決定される値
と前記下限値を比較し、該比較結果により選択された散
布度又は下限値の中の１つを前記許容値とした、 請求項１又は２に記載の外観検査装置。 - 【請求項６】 前記画像信号が色信号を含み、 前記適正範囲を決定する手段において、前記基準値と許
容値とが各色毎に決定され、 前記判断する手段において各色毎に判断される、 請求項１又は２又は３又は４又は５に記載の外観検査装
置。 - 【請求項７】 前記判断する手段による個々の画素に対
する判断に基づいて、該被検査対象物の合否を判定する
手段を更に備えた、 請求項１に記載の外観検査装置。 - 【請求項８】 前記画像信号が色信号を含み、前記適正
範囲を決定する手段において、前記基準値と許容値とが
各色毎に決定され、前記判断する手段により色毎の個々
の画素に対する判断がなされ、該色毎の判断に基づい
て、該被検査対象物の合否を判定する手段を更に備え
た、 請求項１に記載の外観検査装置。 - 【請求項９】 前記被検査対象物がプリント基板であ
る、 請求項１又は２又は３又は４又は５又は６又は７又は８
に記載の外観検査装置。 - 【請求項１０】 前記判断する手段による判断結果を、
任意の範囲毎に表示する表示手段を更に備えた、 請求項１に記載の外観検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088095A JPH08247960A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | 外観検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8088095A JPH08247960A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | 外観検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247960A true JPH08247960A (ja) | 1996-09-27 |
Family
ID=13730665
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8088095A Pending JPH08247960A (ja) | 1995-03-14 | 1995-03-14 | 外観検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08247960A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002098648A (ja) * | 2000-09-22 | 2002-04-05 | Ibiden Co Ltd | 画像処理検査方法及び画像処理検査装置 |
| JP2004509325A (ja) * | 2000-09-10 | 2004-03-25 | オルボテック リミテッド | Ｐｃｂ検査における誤った警報の低減 |
| JP2005509855A (ja) * | 2001-11-16 | 2005-04-14 | ハイネケン・テクニカル・サービシズ・ベスローテン・フエンノートシャップ | とりわけ容器を選択するための方法および装置 |
| JP2005164497A (ja) * | 2003-12-04 | 2005-06-23 | Sony Corp | 基準値の平均値取得機能を備えた部品実装基板検査装置 |
| JPWO2004036198A1 (ja) * | 2002-10-18 | 2006-02-16 | 株式会社キリンテクノシステム | ガラス壜の検査装置における基準画像の作成方法及び装置 |
| JP2006220648A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-08-24 | Omron Corp | 基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置 |
| JP2012088199A (ja) * | 2010-10-20 | 2012-05-10 | Yamaha Motor Co Ltd | 異物検査装置および異物検査方法 |
-
1995
- 1995-03-14 JP JP8088095A patent/JPH08247960A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004509325A (ja) * | 2000-09-10 | 2004-03-25 | オルボテック リミテッド | Ｐｃｂ検査における誤った警報の低減 |
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| JP2005509855A (ja) * | 2001-11-16 | 2005-04-14 | ハイネケン・テクニカル・サービシズ・ベスローテン・フエンノートシャップ | とりわけ容器を選択するための方法および装置 |
| JPWO2004036198A1 (ja) * | 2002-10-18 | 2006-02-16 | 株式会社キリンテクノシステム | ガラス壜の検査装置における基準画像の作成方法及び装置 |
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| JP2006220648A (ja) * | 2005-01-11 | 2006-08-24 | Omron Corp | 基板検査装置並びにその検査ロジック設定方法および検査ロジック設定装置 |
| JP2012088199A (ja) * | 2010-10-20 | 2012-05-10 | Yamaha Motor Co Ltd | 異物検査装置および異物検査方法 |
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