JPH08257524A - スピンコータ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 カップ内に付着した廃液を簡単にかつ十分に
除去できるスピンコータを提供する。 【構成】 スピンチャック６を高速回転させ、整流板９
により気流などを整流してガラス基板Ｇ上の薬液を均一
に広げて塗布膜厚を制御し、廃液を飛ばして、カップ１
内に収容して廃液・排気口４から排出する。ガラス基板
Ｇ上の薬液の塗布が終了すると、カップカバー開閉アー
ム８の上昇により、カップカバー７および整流板９が上
昇し、カップ１が開口する。ガラス基板Ｇを一定枚数処
理する毎に、開閉バルブ５を閉じ、廃液・排気口４を閉
塞する。洗浄液供給ノズル10より洗浄液を供給し、カッ
プ１内を洗浄液で満たす。一定時間経過後に、開閉バル
ブ５を開き、廃液・排気口４よりカップ１内の洗浄液を
廃棄することで、カップ１の内壁、整流板９、および、
カップカバー７の下面に付着した廃液を除去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、カップ内を自己洗浄す
るスピンコータに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、スピンコータは、スピンチャッ
クにより吸着保持したガラス基板上に薬液を定量滴下
し、ガラス基板の対向面に整流板を位置させた状態でガ
ラス基板を高速回転させることにより、ガラス基板上に
薬液を均一に塗布する装置である。そして、ガラス基板
を高速回転の際に、余分な薬液は飛散して廃液となりカ
ップ内に付着するが、この廃液をそのまま放置しておく
と、カップ内に残留した廃液は乾燥して剥れ落ち、ダス
トとしてガラス基板に付着して不良の原因となる。ま
た、ダストとして付着しなくとも、特にガラス基板の対
向面の整流板の洗浄が不十分の場合にも、塗布膜厚へ影
響をおよぼして不良の原因となり、歩留まりが低下して
しまう。このため、定期的にカップ内に付着した廃液を
除去する必要がある。

【０００３】そして、従来のカップ内自己洗浄は、薬液
供給ノズルに併設されたり、あるいは、薬液供給ノズル
とは別個にカップ内に設置された洗浄液供給ノズルより
洗浄液を滴下し、薬液塗布の動作と同様にスピンチャッ
クを高速回転させ、洗浄液をカップ内に飛散させること
により、カップ内に付着した薬液を除去している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、スピン
チャックを高速回転させることにより洗浄液をカップ内
に飛散させても、洗浄液は一様に拡がらないため、カッ
プ内に付着した廃液の一部は除去できずに残留する。

【０００５】このため、残留した薬液により歩留まりの
低下を引き起こさない様、従来は、定期的にカップを分
解して清掃しなければならず、取扱いが煩雑である問題
を有している。

【０００６】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、カップ内に付着した廃液を簡単にかつ十分に除去で
きるスピンコータを提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明のスピンコータ
は、基板を吸着保持して高速回転させるチャックと、廃
液を廃棄する廃棄口を有し、前記チャックを前記基板と
ともに収納するカップと、前記廃棄口を開閉する開閉手
段と、前記カップに洗浄液を供給する洗浄液供給ノズル
とを具備し、前記開閉手段により前記廃棄口を閉塞し、
前記洗浄液供給ノズルより前記カップに洗浄液を供給
し、前記カップ内を洗浄液で満たしてこのカップ内に付
着した廃液を除去するものである。

【０００８】

【作用】本発明は、廃棄口を開閉手段により閉塞し、洗
浄液供給ノズルよりカップ内に洗浄液を供給し、カップ
内を洗浄液で満たすことにより、カップ内に付着した廃
液を除去する。

【０００９】

【実施例】以下、本発明のスピンコータの一実施例を図
面を参照して説明する。

【００１０】図１において、１はカップで、このカップ
１は内部に上面が開口した収納部２が形成され、この収
納部２の底面は外方に向けて下降する形状のテーパ面３
にて形成され、この収納部２のテーパ面３の最下面から
廃棄口としての廃液・排気口４が形成されている。ま
た、廃液・排気口４にはこの廃液・排気口４を開閉する
開閉手段としての開閉バルブ５が設けられている。

【００１１】そして、カップ１の収納部２の内部には、
ガラス基板Ｇを着脱自在に保持するスピンチャック６が
回転自在に設けられている。

【００１２】また、カップ１の収納部２の上部の開口
は、着脱自在にカップカバー７が設けられ、このカップ
カバー７にはカップカバー開閉アーム８が取り付けら
れ、カップカバー開閉アーム８の上下動にて開閉され、
このカップカバー７の下面には、スピンチャック６に対
向する整流板９が取り付けられている。

【００１３】さらに、カップ１の収納部２上には、洗浄
液を供給する洗浄液供給ノズル10が設けられているとと
もに、図２に示すように、薬液供給ノズル11が設けられ
ている。

【００１４】次に、上記実施例の動作について説明す
る。

【００１５】まず、ガラス基板Ｇに薬液を供給する場合
には、図２に示すように、ガラス基板Ｇを搬送しスピン
チャック６にて吸着保持し、カップ１内に薬液供給ノズ
ル11を移動してガラス基板Ｇの中央近傍上に位置させ、
この薬液供給ノズル11から薬液をガラス基板Ｇ上に供給
し、再び薬液供給ノズル11をカップ１外に移動させ、カ
ップカバー開閉アーム８を下降させてカップカバー７で
カップ１の収納部２の開口を閉塞するとともに、整流板
９をガラス基板Ｇに対向させる。

【００１６】そして、この状態で、スピンチャック６を
所定のプロファイルで高速回転させ、整流板９により気
流などを整流してガラス基板Ｇ上の薬液を均一に広げて
塗布膜厚を制御し、廃液となる余分な薬液を飛ばして、
カップ１内に収容して廃液・排気口４から排出する。

【００１７】さらに、ガラス基板Ｇ上の薬液の塗布が終
了すると、カップカバー開閉アーム８の上昇により、カ
ップカバー７および整流板９が上昇し、カップ１が開口
する。

【００１８】なお、スピンチャック９を高速回転する際
に、余分な薬液が飛散してカップ１の内壁、整流板９お
よびカップカバー７の下面に付着する。

【００１９】そこで、ガラス基板Ｇを一定枚数処理する
毎にカップ１内の自己洗浄を行なう。

【００２０】この洗浄は、開閉バルブ５を閉じ、廃液・
排気口４を閉塞する。そして、カップカバー７に設置さ
れた洗浄液供給ノズル10より洗浄液を供給し、カップ１
内を洗浄液で満たす。さらに、一定時間経過後に、開閉
バルブ５を開き、廃液・排気口４よりカップ１内の洗浄
液を廃棄することで、カップ１の内壁、整流板９、およ
び、カップカバー７の下面に付着した廃液を除去する。

【００２１】上記の様な簡単な構造でカップ内に付着し
た薬液を容易に除去することができ、歩留まりおよび稼
働率を向上させることができる。

【００２２】上記実施例によれば、廃液・排気口４を閉
塞し、洗浄液供給ノズル10より洗浄液を供給し、カップ
１内を洗浄液で満たすことにより、カップ１の内壁、整
流板９、および、カップカバー７の下面に付着した薬液
を除去することができる。特に、ガラス基板Ｇの対向面
の整流板９については、構造的に設置が困難な専用の洗
浄液供給ノズルがなくとも、付着した薬液を除去するこ
とができる。

【００２３】そして、カップ１内に薬液が残留しないた
め、薬液がダストとしてガラス基板Ｇに付着したり、塗
布膜厚へ悪影響をおよぼしたりせず、歩留まりを向上で
きる。

【００２４】また、カップ１を定期的に分解し清掃する
必要がないため、危険を伴う溶剤の取り扱い回数を削減
でき、さらに、稼働率を向上できる。

【００２５】

【発明の効果】本発明のスピンコータによれば、廃棄口
を閉塞してカップ内を洗浄液で満たすことにより、簡単
にカップ内に付着した廃液を十分に除去できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のスピンコータの一実施例のカップの自
己洗浄を示す断面図である。

【図２】同上カップカバーの開口時の断面図である。

【符号の説明】

１ カップ ４ 廃棄口としての廃液・排気口 ６ スピンチャック ５ 開閉手段としての開閉バルブ 10 洗浄液供給ノズル Ｇ ガラス基板

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を吸着保持して高速回転させるチャ
   ックと、 廃液を廃棄する廃棄口を有し、前記チャックを前記基板
   とともに収納するカップと、 前記廃棄口を開閉する開閉手段と、 前記カップに洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルとを具
   備し、 前記開閉手段により前記廃棄口を閉塞し、前記洗浄液供
   給ノズルより前記カップに洗浄液を供給し、前記カップ
   内を洗浄液で満たしてこのカップ内に付着した廃液を除
   去することを特徴としたスピンコータ。