JPH08263806A - 磁気ヘッド - Google Patents
磁気ヘッドInfo
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- JPH08263806A JPH08263806A JP6424995A JP6424995A JPH08263806A JP H08263806 A JPH08263806 A JP H08263806A JP 6424995 A JP6424995 A JP 6424995A JP 6424995 A JP6424995 A JP 6424995A JP H08263806 A JPH08263806 A JP H08263806A
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/187—Structure or manufacture of the surface of the head in physical contact with, or immediately adjacent to the recording medium; Pole pieces; Gap features
- G11B5/1875—"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
- G11B5/1877—"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film
- G11B5/1878—"Composite" pole pieces, i.e. poles composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers including at least one magnetic thin film disposed immediately adjacent to the transducing gap, e.g. "Metal-In-Gap" structure
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/1274—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive with "composite" cores, i.e. cores composed in some parts of magnetic particles and in some other parts of magnetic metal layers
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- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/3113—Details for improving the magnetic domain structure or avoiding the formation or displacement of undesirable magnetic domains
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/48—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed
- G11B5/52—Disposition or mounting of heads or head supports relative to record carriers ; arrangements of heads, e.g. for scanning the record carrier to increase the relative speed with simultaneous movement of head and record carrier, e.g. rotation of head
- G11B5/53—Disposition or mounting of heads on rotating support
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 いわゆる片窓タイプの磁気ヘッドにおいて、
一対のコア半体の各々に対して磁性金属薄膜の磁気異方
性を適正なものとすることで、記録再生特性を向上させ
ることを目的とする。 【構成】 コイルが巻回される巻線溝８を有する第１の
磁気コア半体２と上記巻線溝８を有しない第２の磁気コ
ア半体３が互いに突き合わされて接合一体化され、その
突き合わせ面間に磁気ギャップｇが構成されてなる磁気
ヘッド１において、上記各磁気コア半体２，３の突き合
わせ面に磁性金属薄膜６，７が成膜されるとともに、こ
れら磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方向が互いに
略直交するようになさしめる。さらに具体的には、上記
第１の磁気コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化困難軸Ｆ
の方向をヘッドチップのトラック幅方向と略一致され、
かつ、上記第２の磁気コア半体３の磁性金属薄膜７の磁
化困難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向と略一
致されることで、磁気記録再生出力が向上する。
一対のコア半体の各々に対して磁性金属薄膜の磁気異方
性を適正なものとすることで、記録再生特性を向上させ
ることを目的とする。 【構成】 コイルが巻回される巻線溝８を有する第１の
磁気コア半体２と上記巻線溝８を有しない第２の磁気コ
ア半体３が互いに突き合わされて接合一体化され、その
突き合わせ面間に磁気ギャップｇが構成されてなる磁気
ヘッド１において、上記各磁気コア半体２，３の突き合
わせ面に磁性金属薄膜６，７が成膜されるとともに、こ
れら磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方向が互いに
略直交するようになさしめる。さらに具体的には、上記
第１の磁気コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化困難軸Ｆ
の方向をヘッドチップのトラック幅方向と略一致され、
かつ、上記第２の磁気コア半体３の磁性金属薄膜７の磁
化困難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向と略一
致されることで、磁気記録再生出力が向上する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えばテープレコーダ
ーやビデオテープレコーダー等の磁気記録再生装置に搭
載して好適な磁気ヘッドに関し、さらに詳しくは、コイ
ルが巻回される巻線溝を一方にのみ有する、いわゆる片
窓タイプの磁気ヘッドの改良に関する。
ーやビデオテープレコーダー等の磁気記録再生装置に搭
載して好適な磁気ヘッドに関し、さらに詳しくは、コイ
ルが巻回される巻線溝を一方にのみ有する、いわゆる片
窓タイプの磁気ヘッドの改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、磁気記録の分野においては、記録
信号の高密度化が進行しており、高い抗磁力と高い残留
磁束密度を有する磁気記録媒体が使用されるようになっ
ている。これに伴って、磁気ヘッドのコア材料には高飽
和密度を有するとともに高透磁率を有することが要求さ
れている。
信号の高密度化が進行しており、高い抗磁力と高い残留
磁束密度を有する磁気記録媒体が使用されるようになっ
ている。これに伴って、磁気ヘッドのコア材料には高飽
和密度を有するとともに高透磁率を有することが要求さ
れている。
【０００３】しかしながら、コア材料として最も広く使
用されている酸化物磁性材料であるフェライトでは、飽
和磁束密度が不十分である。そこで、例えばフェライト
を補助コア材料とし、磁気ギャップ部に高い飽和磁束密
度を有する金属磁性材料より成る薄膜を主コア材として
設けた、いわゆるメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッ
ドが提案され、既に実用化されている。
用されている酸化物磁性材料であるフェライトでは、飽
和磁束密度が不十分である。そこで、例えばフェライト
を補助コア材料とし、磁気ギャップ部に高い飽和磁束密
度を有する金属磁性材料より成る薄膜を主コア材として
設けた、いわゆるメタル・イン・ギャップ型の磁気ヘッ
ドが提案され、既に実用化されている。
【０００４】例えば、このメタル・イン・ギャップ型の
磁気ヘッドとして、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の磁性酸化
物により形成される一対の磁気コア半体の突き合わせ面
に磁性金属薄膜形成面を形成し、この磁性金属薄膜形成
面上に真空薄膜形成技術によりセンダスト等の磁性金属
薄膜を被着形成し、これら磁性金属薄膜を当接すること
により磁気ギャップを構成し、さらにトラック幅規制溝
内に融着ガラスを充填してなる磁気ヘッドが、既に種々
提供されている。
磁気ヘッドとして、Ｍｎ−Ｚｎフェライト等の磁性酸化
物により形成される一対の磁気コア半体の突き合わせ面
に磁性金属薄膜形成面を形成し、この磁性金属薄膜形成
面上に真空薄膜形成技術によりセンダスト等の磁性金属
薄膜を被着形成し、これら磁性金属薄膜を当接すること
により磁気ギャップを構成し、さらにトラック幅規制溝
内に融着ガラスを充填してなる磁気ヘッドが、既に種々
提供されている。
【０００５】そして、このような磁気ヘッドとしては、
ヘッド出力等を考慮し、図１５に示すように、コイルが
巻回される巻線溝１０８を一対の磁気コア半体１０２，
１０３のうちの両方ともに有する、いわゆる両窓タイプ
のものと、図１６に示すように、一対の磁気コア半体の
うちの片方のみに上記巻線溝１０８を有する、いわゆる
片窓タイプのものとが存在する。
ヘッド出力等を考慮し、図１５に示すように、コイルが
巻回される巻線溝１０８を一対の磁気コア半体１０２，
１０３のうちの両方ともに有する、いわゆる両窓タイプ
のものと、図１６に示すように、一対の磁気コア半体の
うちの片方のみに上記巻線溝１０８を有する、いわゆる
片窓タイプのものとが存在する。
【０００６】上記図１２に示す磁気ヘッドは、上記片窓
タイプの磁気ヘッドを組み合わせたいわゆるダブルアジ
マスヘッド１１１と言われるものである。このダブルア
ジマスヘッド１１１では、高記録密度に対応するため
に、ベース基板１１２上に２つのヘッドチップ１１３，
１１４を隣接して設置するものである。そして、隣接す
るヘッドギャップＧ１，Ｇ２の間隔が狭いために、上記
各ヘッドチップ１１３，１１４のセンター側の隣接する
側のヘッドコア半体１１３Ａ，１１４Ａには巻線溝１０
８は形成されてはいない。
タイプの磁気ヘッドを組み合わせたいわゆるダブルアジ
マスヘッド１１１と言われるものである。このダブルア
ジマスヘッド１１１では、高記録密度に対応するため
に、ベース基板１１２上に２つのヘッドチップ１１３，
１１４を隣接して設置するものである。そして、隣接す
るヘッドギャップＧ１，Ｇ２の間隔が狭いために、上記
各ヘッドチップ１１３，１１４のセンター側の隣接する
側のヘッドコア半体１１３Ａ，１１４Ａには巻線溝１０
８は形成されてはいない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の両窓
タイプの磁気ヘッドの磁性金属薄膜は、成膜条件などに
より磁気異方性を有するが、その磁化困難軸の方向は上
記磁気ヘッドの特性が良好となるように設定され、両磁
気コア半体の磁化困難軸の方向は同じ方向とするのが一
般的である。
タイプの磁気ヘッドの磁性金属薄膜は、成膜条件などに
より磁気異方性を有するが、その磁化困難軸の方向は上
記磁気ヘッドの特性が良好となるように設定され、両磁
気コア半体の磁化困難軸の方向は同じ方向とするのが一
般的である。
【０００８】そこで、従来の片窓タイプの磁気ヘッドに
おいても、磁性金属薄膜の磁気異方性は、これに対応す
る上記両窓タイプの磁気ヘッドの磁磁気異方性の方向を
そのまま用いるというのが通例である。
おいても、磁性金属薄膜の磁気異方性は、これに対応す
る上記両窓タイプの磁気ヘッドの磁磁気異方性の方向を
そのまま用いるというのが通例である。
【０００９】しかしながら、両窓タイプの磁気ヘッドの
磁性金属薄膜の磁気異方性をそのまま利用したのでは、
必ずしも、十分な特性が得られないことが分かってき
た。
磁性金属薄膜の磁気異方性をそのまま利用したのでは、
必ずしも、十分な特性が得られないことが分かってき
た。
【００１０】そこで、本発明は、いわゆる片窓タイプの
磁気ヘッドにおいて、一対のコア半体の各々に対して磁
性金属薄膜の磁気異方性を適正なものとすることで、記
録再生特性を向上させることを目的とするものである。
磁気ヘッドにおいて、一対のコア半体の各々に対して磁
性金属薄膜の磁気異方性を適正なものとすることで、記
録再生特性を向上させることを目的とするものである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気ヘッドは、
コイルが巻回される巻線溝を有する第１の磁気コア半体
と上記巻線溝を有しない第２の磁気コア半体が互いに突
き合わされて接合一体化され、その突き合わせ面間に磁
気ギャップが構成されてなる磁気ヘッドであり、その特
徴とするところは、上記各磁気コア半体の突き合わせ面
に磁性金属薄膜が成膜されるとともに、これら磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向が互いに略直交するようになさ
れたことにあり、これによって、磁気記録再生出力が向
上する。
コイルが巻回される巻線溝を有する第１の磁気コア半体
と上記巻線溝を有しない第２の磁気コア半体が互いに突
き合わされて接合一体化され、その突き合わせ面間に磁
気ギャップが構成されてなる磁気ヘッドであり、その特
徴とするところは、上記各磁気コア半体の突き合わせ面
に磁性金属薄膜が成膜されるとともに、これら磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向が互いに略直交するようになさ
れたことにあり、これによって、磁気記録再生出力が向
上する。
【００１２】
【作用】本発明に係る磁気ヘッドは、薄膜成膜の磁気異
方性が各々の磁気コアの形状に適した方向に設定されて
いるために、片窓タイプの磁気ヘッドの記録再生特性を
向上させることができる。
方性が各々の磁気コアの形状に適した方向に設定されて
いるために、片窓タイプの磁気ヘッドの記録再生特性を
向上させることができる。
【００１３】すなわち、巻線溝を有しない磁気コア半体
の記録再生効率は、磁化困難軸の方向がギャップデプス
方向に略一致する場合の方が高くなる。他方、巻線溝を
有する磁気コアにおいては、磁性金属薄膜の磁化困難軸
の方向がヘッドチップのトラック幅方向に略一致する場
合の方が高くなる。
の記録再生効率は、磁化困難軸の方向がギャップデプス
方向に略一致する場合の方が高くなる。他方、巻線溝を
有する磁気コアにおいては、磁性金属薄膜の磁化困難軸
の方向がヘッドチップのトラック幅方向に略一致する場
合の方が高くなる。
【００１４】したがって、上記第１の磁気コア半体の磁
性金属薄膜の磁化困難軸の方向をヘッドチップのトラッ
ク幅方向と略一致させ、かつ、上記第２の磁気コア半体
の磁性金属薄膜の磁化困難軸の方向が磁気ギャップのデ
プス方向と略一致させることで、片窓タイプの磁気ヘッ
ドの磁気記録再生出力が大幅に向上する。
性金属薄膜の磁化困難軸の方向をヘッドチップのトラッ
ク幅方向と略一致させ、かつ、上記第２の磁気コア半体
の磁性金属薄膜の磁化困難軸の方向が磁気ギャップのデ
プス方向と略一致させることで、片窓タイプの磁気ヘッ
ドの磁気記録再生出力が大幅に向上する。
【００１５】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて図面を参照しながら詳細に説明する。
いて図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１６】作製される磁気ヘッドの構成 本実施例の磁気ヘッド１は、図１に示すように一対の磁
気コア半体２，３を突き合わせて接合一体化され、その
突き合わせ面間に記録又は再生あるいは両方として機能
する磁気ギャップｇが構成されてなる。
気コア半体２，３を突き合わせて接合一体化され、その
突き合わせ面間に記録又は再生あるいは両方として機能
する磁気ギャップｇが構成されてなる。
【００１７】上記磁気ギャップｇは、例えば、磁気テー
プ等の磁気媒体を磁化したり、該磁気テープの磁束を拾
って再生出力を得る部分であり、上記一対の磁気コア半
体２，３の突き合わせ面に、ＳｉＯ2 等のギャップ膜が
各々成膜されている。
プ等の磁気媒体を磁化したり、該磁気テープの磁束を拾
って再生出力を得る部分であり、上記一対の磁気コア半
体２，３の突き合わせ面に、ＳｉＯ2 等のギャップ膜が
各々成膜されている。
【００１８】また、上記第１の磁気コア半体２には、巻
線溝８が設けられている。この巻線溝８は、第１の磁気
コア半体２の突き合わせ面側に形成され、磁気ギャップ
ｇ側に設けられる傾斜面８ａによって磁気ギャップｇの
デプス（深さ）を規制するとともに、図示しないコイル
が巻回されるもので、上記第１の磁気コア半体２の突き
合わせ面の中途部で略台形状の孔として磁気ヘッド１の
厚さ方向に貫通して形成されている。なお、上記第２の
磁気コア半体３には、巻線溝８は設けられていない。
線溝８が設けられている。この巻線溝８は、第１の磁気
コア半体２の突き合わせ面側に形成され、磁気ギャップ
ｇ側に設けられる傾斜面８ａによって磁気ギャップｇの
デプス（深さ）を規制するとともに、図示しないコイル
が巻回されるもので、上記第１の磁気コア半体２の突き
合わせ面の中途部で略台形状の孔として磁気ヘッド１の
厚さ方向に貫通して形成されている。なお、上記第２の
磁気コア半体３には、巻線溝８は設けられていない。
【００１９】そして特に、上記第１の磁気コア半体２の
突き合わせ面側と第２の磁気コア半体３の突き合わせ面
側には、図２、図３に示すように、磁性金属薄膜形成面
が形成し、この磁性金属薄膜形成面上に真空薄膜形成技
術によりセンダスト等の磁性金属薄膜を被着形成し、磁
性金属薄膜６，７が形成されている。
突き合わせ面側と第２の磁気コア半体３の突き合わせ面
側には、図２、図３に示すように、磁性金属薄膜形成面
が形成し、この磁性金属薄膜形成面上に真空薄膜形成技
術によりセンダスト等の磁性金属薄膜を被着形成し、磁
性金属薄膜６，７が形成されている。
【００２０】上記第１の磁気コア半体２の磁性金属薄膜
６の磁化困難軸Ｆの方向は、図２に示すように、ヘッド
チップのトラック幅方向（図中矢印Ｘ）と略一致させて
なる。他方、上記第２の磁気コア半体３の磁性金属薄膜
７の磁化困難軸Ｆの方向は、図３に示すように、磁気ギ
ャップｇのデプス方向（図中矢印Ｙ）と略一致させてな
る。
６の磁化困難軸Ｆの方向は、図２に示すように、ヘッド
チップのトラック幅方向（図中矢印Ｘ）と略一致させて
なる。他方、上記第２の磁気コア半体３の磁性金属薄膜
７の磁化困難軸Ｆの方向は、図３に示すように、磁気ギ
ャップｇのデプス方向（図中矢印Ｙ）と略一致させてな
る。
【００２１】このように、本実施例の各磁気コア半体
２、３における磁性金属薄膜６、７の磁化困難軸Ｆの方
向が互いに直交するようになされている。
２、３における磁性金属薄膜６、７の磁化困難軸Ｆの方
向が互いに直交するようになされている。
【００２２】磁気ヘッドの製造方法 次に、上記構成の磁気ヘッドの製造方法について説明す
る。
る。
【００２３】先ず、図４に示すように、フェライト材よ
りなる基板２１（第１のフェライト基板）と、これを重
ね合わせる基板２２（第２のフェライＴ基板）を用意す
る。そして、図５に示すように、上記第２のフェライト
基板２２の主面にガラス充填溝２３と巻線溝８を長手方
向に形成する。なお、上記第１のフェライト基板２１に
は、上記両溝は形成しない。
りなる基板２１（第１のフェライト基板）と、これを重
ね合わせる基板２２（第２のフェライＴ基板）を用意す
る。そして、図５に示すように、上記第２のフェライト
基板２２の主面にガラス充填溝２３と巻線溝８を長手方
向に形成する。なお、上記第１のフェライト基板２１に
は、上記両溝は形成しない。
【００２４】次に、図６及び図７に示すように、上記第
２のフェライト基板２２に上記両溝２３，２４と直交す
るようにトラック幅規制溝２５を形成する。また、図８
に示すように、上記第１のフェライト基板２１にもトラ
ック幅規制溝２５を形成する。そして、上記料フェライ
ト基板２１，２２に境面加工を施す。
２のフェライト基板２２に上記両溝２３，２４と直交す
るようにトラック幅規制溝２５を形成する。また、図８
に示すように、上記第１のフェライト基板２１にもトラ
ック幅規制溝２５を形成する。そして、上記料フェライ
ト基板２１，２２に境面加工を施す。
【００２５】次いで、図９（ａ）、（ｂ）に示すよう
に、上記第１のフェライト基板２１及び第２のフェライ
ト基板２２に磁性金属薄膜２６を成膜する。
に、上記第１のフェライト基板２１及び第２のフェライ
ト基板２２に磁性金属薄膜２６を成膜する。
【００２６】すなわち、上記のようにして構成された第
１のフェライト基板２１と第２のフェライト基板２２
を、スパッタ成膜装置の回転台２９の上に設置する。す
なわち、本実施例では、図９（ｂ）に示すように、上記
巻線溝８を有しない第１のフェライト基板２１と巻線溝
８を有する第２のフェライト基板２２とを回転方向（θ
方向）と半径方向（Ｒ方向）に分けて設置する。する
と、磁性材のスパッタターゲット２７によって、上記ス
パッタ成膜装置２８の回転台２９ごと回転しながら磁性
金属薄膜２６が上記フェライト基板２１，２２に成膜さ
れていく。
１のフェライト基板２１と第２のフェライト基板２２
を、スパッタ成膜装置の回転台２９の上に設置する。す
なわち、本実施例では、図９（ｂ）に示すように、上記
巻線溝８を有しない第１のフェライト基板２１と巻線溝
８を有する第２のフェライト基板２２とを回転方向（θ
方向）と半径方向（Ｒ方向）に分けて設置する。する
と、磁性材のスパッタターゲット２７によって、上記ス
パッタ成膜装置２８の回転台２９ごと回転しながら磁性
金属薄膜２６が上記フェライト基板２１，２２に成膜さ
れていく。
【００２７】このとき、回転台２９の回転方向（θ方
向）と半径方向（Ｒ方向）とで成膜された磁性金属薄膜
２６に磁気異方性が現れる。このように、本実施例の製
造方法は、従来のヘッドチップの作成プロセスをほとん
ど変更するものではなく、上記のように回転台２９に設
置する方向だけを変更するするものである。
向）と半径方向（Ｒ方向）とで成膜された磁性金属薄膜
２６に磁気異方性が現れる。このように、本実施例の製
造方法は、従来のヘッドチップの作成プロセスをほとん
ど変更するものではなく、上記のように回転台２９に設
置する方向だけを変更するするものである。
【００２８】次いで、図１０及び図１１に示すように、
上記第１のフェライト基板２１と第２のフェライト基板
２２の上述したトラック幅規制溝２５の形成により突出
した突出部２８にギャップ膜を形成する。
上記第１のフェライト基板２１と第２のフェライト基板
２２の上述したトラック幅規制溝２５の形成により突出
した突出部２８にギャップ膜を形成する。
【００２９】そして、図１２に示すように、上記第１の
フェライト基板２１と第２のフェライト基板２２とを融
着ガラス３０を介して突き合わせ接合一体化する。
フェライト基板２１と第２のフェライト基板２２とを融
着ガラス３０を介して突き合わせ接合一体化する。
【００３０】次に、図１３に示すように、記録媒体摺動
面３１を円弧状に研磨する。最後に、図１４に示すよう
に、複数のヘッドチップにチップ切断して、図１に示す
ような片窓タイプの磁気ヘッド１が完成する。
面３１を円弧状に研磨する。最後に、図１４に示すよう
に、複数のヘッドチップにチップ切断して、図１に示す
ような片窓タイプの磁気ヘッド１が完成する。
【００３１】実験結果 ところで、一方の磁気コアに巻線溝を有しない片窓タイ
プの磁気ヘッドにおいて、特に、巻線溝を有しない磁気
コア半体の記録再生効率は、磁化困難軸の方向がギャッ
プデプス方向に略一致する場合の方が高くなるとする実
験結果を得た。
プの磁気ヘッドにおいて、特に、巻線溝を有しない磁気
コア半体の記録再生効率は、磁化困難軸の方向がギャッ
プデプス方向に略一致する場合の方が高くなるとする実
験結果を得た。
【００３２】すなわち、磁気記録の高密度化にともない
記録再生波長の短波長化が進んでいるが、こうした短波
長記録再生においては、磁気ヘッドの磁化は回転磁化が
支配的になるために、磁気コアの磁路方向が磁化困難軸
の方向に略一致するのが望ましい。したがって、一方の
磁気コアに巻線溝を有しない片窓タイプの磁気ヘッドに
おいては、特に巻線溝を有しない磁気コア半体の記録再
生効率は、磁化困難軸の方向が磁気ギャップｇのデプス
方向に略一致する場合の方が高くなると考えられる。
記録再生波長の短波長化が進んでいるが、こうした短波
長記録再生においては、磁気ヘッドの磁化は回転磁化が
支配的になるために、磁気コアの磁路方向が磁化困難軸
の方向に略一致するのが望ましい。したがって、一方の
磁気コアに巻線溝を有しない片窓タイプの磁気ヘッドに
おいては、特に巻線溝を有しない磁気コア半体の記録再
生効率は、磁化困難軸の方向が磁気ギャップｇのデプス
方向に略一致する場合の方が高くなると考えられる。
【００３３】しかしながら、Ｆｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系
磁性材を白金（Ｐｔ）層を挟んで積層した磁性金属薄膜
をギャップ部に有する磁気ヘッドにおいては、磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向がヘッドチップのトラック幅方
向に略一致する場合の方が、ギャップデプス方向に略一
致する自己記録再生出力が高くなるとする実験結果が得
られている。表１がその実験結果である。
磁性材を白金（Ｐｔ）層を挟んで積層した磁性金属薄膜
をギャップ部に有する磁気ヘッドにおいては、磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向がヘッドチップのトラック幅方
向に略一致する場合の方が、ギャップデプス方向に略一
致する自己記録再生出力が高くなるとする実験結果が得
られている。表１がその実験結果である。
【００３４】なお、この表１は、磁化困難軸の方向が磁
気ギャップｇのデプス方向と略一致するヘッドの出力を
０ｄＢとしたものである。
気ギャップｇのデプス方向と略一致するヘッドの出力を
０ｄＢとしたものである。
【００３５】
【表１】
【００３６】これは、磁性金属薄膜が巻線溝により分断
されているために、トラック幅規制溝部分でギャップ近
傍に集まる磁束に影響を与えるトラック幅方向の透磁率
がギャップのデプス方向の透磁率よりヘッド特性に与え
る影響が支配的であるためと考えられる。一方、上記の
ように、スパッタ成膜装置の回転台２９ごと回転しなが
ら製膜された磁性金属薄膜２６の磁気異方性の方向は、
成膜する磁性材料や成膜条件等により決定される。実際
に、短柵状の結晶化ガラス基板を上述のＲ方向とθ方向
に設置し、上記回転台２９を回転させながら成膜したＦ
ｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系の磁性金属薄膜の保磁力と比透
磁率の違いを調べた。その結果を示したものが表２であ
る。
されているために、トラック幅規制溝部分でギャップ近
傍に集まる磁束に影響を与えるトラック幅方向の透磁率
がギャップのデプス方向の透磁率よりヘッド特性に与え
る影響が支配的であるためと考えられる。一方、上記の
ように、スパッタ成膜装置の回転台２９ごと回転しなが
ら製膜された磁性金属薄膜２６の磁気異方性の方向は、
成膜する磁性材料や成膜条件等により決定される。実際
に、短柵状の結晶化ガラス基板を上述のＲ方向とθ方向
に設置し、上記回転台２９を回転させながら成膜したＦ
ｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系の磁性金属薄膜の保磁力と比透
磁率の違いを調べた。その結果を示したものが表２であ
る。
【００３７】
【表２】
【００３８】この磁性金属薄膜２６の場合、θ方向の透
磁率がＲ方向の透磁率に比べて大きく、磁化困難軸Ｆの
方向がθ方向を向いていることが分かる。
磁率がＲ方向の透磁率に比べて大きく、磁化困難軸Ｆの
方向がθ方向を向いていることが分かる。
【００３９】以上のことを踏まえて、巻線溝８を有しな
い第１のフェライト基板２１と巻線溝８を有する第２の
フェライト基板にＦｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系の磁性金属
薄膜２６を成膜し、このときヘッドチップ完成時に磁化
困難軸Ｆの方向（θ方向）がトラック幅方向（表中、
「ＴＷ．」で表す。）と略一致するものと、磁気ギャッ
プｇのデプス方向（表中、「（表中、「Ｇ．Ｄ．」で表
す。）に略一致するものとの各々２種類ずつ磁性金属薄
膜２６を成膜した。
い第１のフェライト基板２１と巻線溝８を有する第２の
フェライト基板にＦｅ−Ｒｕ−Ｇａ−Ｓｉ系の磁性金属
薄膜２６を成膜し、このときヘッドチップ完成時に磁化
困難軸Ｆの方向（θ方向）がトラック幅方向（表中、
「ＴＷ．」で表す。）と略一致するものと、磁気ギャッ
プｇのデプス方向（表中、「（表中、「Ｇ．Ｄ．」で表
す。）に略一致するものとの各々２種類ずつ磁性金属薄
膜２６を成膜した。
【００４０】そして、（１）巻線溝８を有する第１の磁
気コア半体２と巻線溝８を有しないの第２の磁気コア半
体３との両方の磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方
向がトラック幅方向に略一致したものと、（２）両方の
磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方向が磁気ギャッ
プｇのデプス方向に略一致したものと、（３）巻線溝８
を有する第１の磁気コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化
困難軸Ｆの方向がトラック幅方向に略一致して且つ巻線
溝８を有しない第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜
の磁化困難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向に
略一致したものと、（４）巻線溝８を有する第１の磁気
コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化困難軸Ｆの方向が磁
気ギャップｇのデプス方向に略一致して且つ巻線溝８を
有しない第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜の磁化
困難軸Ｆの方向がトラック幅方向に略一致したもの、合
計４種類のヘッドチップを作製した。
気コア半体２と巻線溝８を有しないの第２の磁気コア半
体３との両方の磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方
向がトラック幅方向に略一致したものと、（２）両方の
磁性金属薄膜６，７の磁化困難軸Ｆの方向が磁気ギャッ
プｇのデプス方向に略一致したものと、（３）巻線溝８
を有する第１の磁気コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化
困難軸Ｆの方向がトラック幅方向に略一致して且つ巻線
溝８を有しない第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜
の磁化困難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向に
略一致したものと、（４）巻線溝８を有する第１の磁気
コア半体２の磁性金属薄膜６の磁化困難軸Ｆの方向が磁
気ギャップｇのデプス方向に略一致して且つ巻線溝８を
有しない第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜の磁化
困難軸Ｆの方向がトラック幅方向に略一致したもの、合
計４種類のヘッドチップを作製した。
【００４１】上記４種類の磁気ヘッドチップを用いて作
製した磁気ヘッドの磁気記録再生出力の違いを実験し
た。その結果を表３に示す。なお、この表３は、第１及
び第２の磁気コア半体２，３の磁化困難軸Ｆの方向を磁
気ギャップｇのデプス方向を０ｄＢとしたものである。
製した磁気ヘッドの磁気記録再生出力の違いを実験し
た。その結果を表３に示す。なお、この表３は、第１及
び第２の磁気コア半体２，３の磁化困難軸Ｆの方向を磁
気ギャップｇのデプス方向を０ｄＢとしたものである。
【００４２】
【表３】
【００４３】この表３に示すように、上記４種類のうち
の（１）の場合は、−２．５ｄＢであり、（２）の場合
は、０ｄＢであり、（３）の場合は、＋０．８ｄＢであ
り、上記（４）の場合は、−３ｄＢであった。したがっ
て、片窓タイプの磁気ヘッド１においては、図１に示す
ように、巻線溝８を有する第１の磁気コア半体２の磁性
金属薄膜６の磁化困難軸Ｆの方向がトラック幅方向（図
１中矢印Ｘ）に略一致して、且つ、巻線溝８を有しない
第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜６，７の磁化困
難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向（図１中矢
印Ｙ）に略一致したものが、磁化異方性が各々の磁気コ
ア半体２、３の形状に最適であることが明らかである。
の（１）の場合は、−２．５ｄＢであり、（２）の場合
は、０ｄＢであり、（３）の場合は、＋０．８ｄＢであ
り、上記（４）の場合は、−３ｄＢであった。したがっ
て、片窓タイプの磁気ヘッド１においては、図１に示す
ように、巻線溝８を有する第１の磁気コア半体２の磁性
金属薄膜６の磁化困難軸Ｆの方向がトラック幅方向（図
１中矢印Ｘ）に略一致して、且つ、巻線溝８を有しない
第２の磁気コア半体３との磁性金属薄膜６，７の磁化困
難軸Ｆの方向が磁気ギャップｇのデプス方向（図１中矢
印Ｙ）に略一致したものが、磁化異方性が各々の磁気コ
ア半体２、３の形状に最適であることが明らかである。
【００４４】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
に係る磁気ヘッドは、各磁気コア半体における磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向が互いに直交するようになされ
ていることにより、従来のヘッドチップの作成プロセス
をほとんど変更することなく、磁性金属薄膜の磁気異方
性が各々の磁気コアの形状に適した方向に設定され、磁
気ヘッドの記録再生特性を向上させることができる。
に係る磁気ヘッドは、各磁気コア半体における磁性金属
薄膜の磁化困難軸の方向が互いに直交するようになされ
ていることにより、従来のヘッドチップの作成プロセス
をほとんど変更することなく、磁性金属薄膜の磁気異方
性が各々の磁気コアの形状に適した方向に設定され、磁
気ヘッドの記録再生特性を向上させることができる。
【図１】本発明に係る磁気ヘッドの一実施例を示す斜視
図である。
図である。
【図２】上記磁気ヘッドの第１の磁気ヘッド半体を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図３】上記磁気ヘッドの第２の磁気ヘッド半体を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図４】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、用意するフェライト基板を示す斜視図である。
もので、用意するフェライト基板を示す斜視図である。
【図５】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、第２のフェライト基板に巻線溝とガラス溝を施
す工程を示す斜視図である。
もので、第２のフェライト基板に巻線溝とガラス溝を施
す工程を示す斜視図である。
【図６】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、フェライト基板にトラック幅規制溝を施す工程
を示す斜視図である。
もので、フェライト基板にトラック幅規制溝を施す工程
を示す斜視図である。
【図７】上記図６の拡大斜視図である。
【図８】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、第１及び第２のフェライト基板に鏡面加工を施
す工程を示す斜視図である。
もので、第１及び第２のフェライト基板に鏡面加工を施
す工程を示す斜視図である。
【図９】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示す
もので、（ａ）はスパッタ成膜装置の回転台に置かれた
フェライト基板にスパッタリングする状態を示す模式的
側面図であり、（ｂ）はフェライト基板に磁気異方向性
を付与する状態を示す模式的平面図である。
もので、（ａ）はスパッタ成膜装置の回転台に置かれた
フェライト基板にスパッタリングする状態を示す模式的
側面図であり、（ｂ）はフェライト基板に磁気異方向性
を付与する状態を示す模式的平面図である。
【図１０】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、ギャップ膜を形成する行程を示す斜視図であ
る。
すもので、ギャップ膜を形成する行程を示す斜視図であ
る。
【図１１】上記図１０の拡大斜視図である。
【図１２】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、第１のフェライト基板と第２のフェライト基
板とを融着ガラスを介して突き合わせ接合一体化する工
程を示す斜視図である。
すもので、第１のフェライト基板と第２のフェライト基
板とを融着ガラスを介して突き合わせ接合一体化する工
程を示す斜視図である。
【図１３】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、記録媒体摺動面を円弧状に研磨する工程を示
す斜視図である。
すもので、記録媒体摺動面を円弧状に研磨する工程を示
す斜視図である。
【図１４】上記実施例に係る磁気ヘッドの製造工程を示
すもので、チップ切断する工程を示す斜視図である。
すもので、チップ切断する工程を示す斜視図である。
【図１５】従来の両窓タイプの磁気ヘッドを示す斜視図
である。
である。
【図１６】従来のダブルアジマスヘッドを示す平面図で
ある。
ある。
１ 磁気ヘッド ２ 巻線溝を有する第１の磁気コア半体 ３ 巻線溝を有しない第２の磁気コア半体 ６，７，２６ 磁性金属薄膜 ８ 巻線溝 ２１ 第１のフェライト基板 ２２ 第２のフェライト基板 ３０ 融着ガラス ３１ 磁気記録媒体の摺動方向 Ｆ 磁化困難軸 Ｘ 第１の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の
方向 Ｙ 第２の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の
方向
方向 Ｙ 第２の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難軸の
方向
Claims (2)
- 【請求項１】 コイルが巻回される巻線溝を有する第１
の磁気コア半体と上記巻線溝を有しない第２の磁気コア
半体が互いに突き合わされて接合一体化され、その突き
合わせ面間に磁気ギャップが構成されてなる磁気ヘッド
において、 上記各磁気コア半体の突き合わせ面に磁性金属薄膜が成
膜されるとともに、これら磁性金属薄膜の磁化困難軸の
方向が互いに略直交するようになされていることを特徴
とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 上記第１の磁気コア半体の磁性金属薄膜
の磁化困難軸の方向がトラック幅方向と略一致され、か
つ、上記第２の磁気コア半体の磁性金属薄膜の磁化困難
軸の方向が磁気ギャップのデプス方向と略一致されてな
ることを特徴とする請求項１記載の磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06424995A JP3521532B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06424995A JP3521532B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08263806A true JPH08263806A (ja) | 1996-10-11 |
| JP3521532B2 JP3521532B2 (ja) | 2004-04-19 |
Family
ID=13252705
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06424995A Expired - Fee Related JP3521532B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | 磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3521532B2 (ja) |
-
1995
- 1995-03-23 JP JP06424995A patent/JP3521532B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3521532B2 (ja) | 2004-04-19 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Effective date: 20040120 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20040202 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |