JPH08264565A - リードフレームの方向検出方法及びその装置 - Google Patents
リードフレームの方向検出方法及びその装置Info
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- JPH08264565A JPH08264565A JP6366295A JP6366295A JPH08264565A JP H08264565 A JPH08264565 A JP H08264565A JP 6366295 A JP6366295 A JP 6366295A JP 6366295 A JP6366295 A JP 6366295A JP H08264565 A JPH08264565 A JP H08264565A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
かつ的確に行えるリードフレームの方向検出方法及びそ
の装置を提供することにある。 【構成】 少なくとも一側縁に沿って穿設され、品種に
応じて配列パターンが異なる位置検出穴4を有する長尺
なリードフレーム1をその長手方向に沿う定ピッチ間欠
送りで搬送するに際して、前記リードフレーム1の表裏
及び前後方向を判別する方法であって、リードフレーム
移送のデジタル化に基づいて前記リードフレーム1をそ
の長さ分だけ移送しながら、リードフレーム1の位置検
出穴4を光学センサ13により検出してその配列パター
ンを品種ごとに予めティーチングしておき、そのティー
チングにより得られたデータに基づいてリードフレーム
1を初期移送し、光学センサ13により位置検出穴4の
有無を検出してリードフレーム1の表裏及び前後方向を
判別する。
Description
出方法に関し、詳しくは、半導体装置の製造において、
前記リードフレームの表裏及び前後を判別する方法に関
する。
を使用することにより一括して製造される。このリード
フレームには、半導体ペレットがマウントされるアイラ
ンドがその長手方向に沿って定ピッチで形成されてい
る。
マガジン等に収納された多数のリードフレームを一枚ず
つ順次取り出し、図3に示すようにその取り出されたリ
ードフレーム1を搬送ライン2上に供給する。この搬送
ライン2上では、前記リードフレーム1をその長手方向
に沿って定ピッチ間欠送りすることにより、リードフレ
ーム1の長手方向に沿って定ピッチで形成されたアイラ
ンド3に銀ペースト等の接着材を供給した上で半導体ペ
レットをマウントする。このダイボンディング後、リー
ドフレーム1をアンローダ部へ排出して再びマガジン等
に順次収納した後、ワイヤボンディング工程、樹脂封止
工程等の後工程へリードフレーム1を供給するようにし
ている。
ム1を定ピッチ間欠送りで移送する際には、前記リード
フレーム1の方向性、即ち、その表裏及び前後方向を正
規の状態にしておかなければならない。このリードフレ
ーム1の表裏及び前後方向の判別は、リードフレーム1
の長手方向に沿って定ピッチで形成された位置検出穴4
を利用することにより行われるのが一般的である。
センサ7を搬送ライン2の所定位置に固定配置する。こ
の時、前記搬送ライン2で所定位置まで移送されてきた
リードフレーム1に対して、その位置で投光器5からの
光がリードフレーム1の位置検出穴4を透過して受光器
6に入射するように、搬送ライン2上のリードフレーム
1に対して、投光器5及び受光器6からなる光学センサ
7を位置合わせしておく必要がある。
ーム1が搬送ライン2上で移送され、前記光学センサ7
が存在するポジションに前記リードフレーム1の位置検
出穴4が位置すると、その位置検出穴4を介して光学セ
ンサ7の投光器5からの光を受光器6で受光することが
できるので、これにより、搬送ライン2上のリードフレ
ーム1の表裏及び前後方向が正規の状態となっているこ
とを判別できるようにしている。
来のように光学センサ7を搬送ライン2の所定位置に固
定配置し、リードフレーム1の位置検出穴4がその光学
センサ7の位置に達したことによりリードフレーム1の
方向性を判別するようにしていたのでは、そのリードフ
レーム1の品種が変更された場合、前記光学センサ7の
設置位置を品種変更されたリードフレーム1の位置検出
穴4と対応させて調整しなければならず、その光学セン
サ7の位置調整が面倒な作業となる。
置検出穴4との位置調整は、リードフレーム1の品種が
変更されるごとに行わなければならず、品種対応が容易
にできないという問題があった。また、センサ感度等の
バラツキにより誤検出が発生し、これに基づいて不必要
に搬送ライン2を停止することになるという問題もあっ
た。
されたもので、その目的とするところは、センサ感度に
かかわりなく、品種対応が迅速かつ的確に行えるリード
フレームの方向検出方法及びその装置を提供することに
ある。
の技術的手段として、本発明方法は、少なくとも一側縁
に沿って穿設され、品種に応じて配列パターンが異なる
位置検出穴を有する長尺なリードフレームをその長手方
向に沿う定ピッチ間欠送りで搬送するに際して、前記リ
ードフレームの表裏及び前後方向を判別する方法であっ
て、リードフレーム移送のデジタル化に基づいて前記リ
ードフレームをその長さ分だけ移送しながら、リードフ
レームの位置検出穴を光学センサにより検出してその配
列パターンを品種ごとに予めティーチングしておき、そ
のティーチングにより得られたデータに基づいてリード
フレームを初期移送し、光学センサにより位置検出穴の
有無を検出してリードフレームの表裏及び前後方向を判
別するようにしたことを特徴とする。
レームの位置検出穴の検出は、光学センサの出力レベル
の第1の遷移点と第2の遷移点との中心を位置検出穴の
位置とすることが望ましい。
沿って穴設され、品種に応じて配列パターンが異なる位
置検出穴を有する長尺なリードフレームをその長手方向
に沿う定ピッチ間欠送りで搬送するに際して、前記リー
ドフレームの表裏及び前後方向を判別する装置であっ
て、前記リードフレームをデジタル的に移送する駆動源
と、前記位置検出穴を検出する光学センサと、前記駆動
源により前記リードフレームをその長さ分だけ移送しな
がら、前記位置検出穴を前記光学センサにより検出して
その配列パターンを品種ごとに予めティーチングして得
られたデータを記憶するメモリと、そのメモリに記憶さ
れたデータに基づいて前記リードフレームを初期移送す
る前記駆動源を制御すると共に、前記光学センサにより
検出した前記初期移送したリードフレームの位置検出穴
の有無からリードフレームの表裏及び前後方向を判別す
るCPUとを具備したことを特徴とする。
レームの位置検出穴の位置は、前記光学センサの出力レ
ベルの第1の遷移点と第2の遷移点との中心を前記CP
Uで算出して位置検出穴の位置とすることが望ましい。
に基づいてリードフレームをその長さ分だけ移送しなが
ら、リードフレームの品種ごとの位置検出穴の配列パタ
ーンを予めティーチングしておく。これにより、リード
フレームの品種が変更されても、リードフレームの表裏
及び前後方向を確実に判別することが実現できる。
及びその装置の一実施例を図1及び図2に示して説明す
る。尚、図3と同一部分には同一参照符号を付して重複
説明は省略する。
レーム1をデジタル的に移送する駆動源8と、前記位置
検出穴4を検出する光学センサ13と、前記駆動源8に
より前記リードフレーム1をその長さ分だけ移送しなが
ら、前記位置検出穴4を前記光学センサ13により検出
してその配列パターンを品種ごとに予めティーチングし
て得られたデータを記憶するメモリ9と、そのメモリ9
に記憶されたデータに基づいて前記リードフレーム1を
初期移送する前記駆動源8を制御すると共に、前記光学
センサ13により検出した前記初期移送したリードフレ
ーム1の位置検出穴4の有無からリードフレーム1の表
裏及び前後方向を判別するCPU10とを具備する。
リードフレーム1の移送のデジタル化に基づいてリード
フレーム1をその長さ分だけ移送しながら、リードフレ
ーム1の品種ごとの位置検出穴4の配列パターンを予め
ティーチングしておく。
に供給されたリードフレーム1をサーボモータ等の駆動
源8によりデジタル的に移送する。このようにして前記
リードフレーム1をその長さ分だけ移送しながら、その
リードフレーム1の品種ごとの位置検出穴4の配列パタ
ーン、例えば、リードフレーム1の送り先端部から最初
の位置検出穴4の位置までの寸法d〔図2参照〕を予め
ティーチングしておく。このティーチングした品種ごと
の寸法dは、メモリ9にデータとして記憶され、CPU
10によりメモリ9内に蓄積されたデータに基づいて前
記駆動源8を制御する。
同様、搬送ライン2の所定位置にリードフレーム1と対
応させて固定配置された投光器11及び受光器12から
なる光学センサ13によって行われる。この光学センサ
13の投光器11からの光がリードフレーム1の位置検
出穴4を透過して受光器12へ入射することによりその
位置検出穴4の有無が検出されCPU10により判別さ
れる。
の位置は、リードフレーム1の移送により投光器11か
ら受光器12への光軸上を位置検出穴4の先端エッジが
通過する時点で、光学センサ13の出力レベルに第1の
遷移点aが現出する。また同様に、前記位置検出穴4の
後端エッジが光軸上を通過する時点で、光学センサ13
の出力レベルに第2の遷移点bが現出する。この第1の
遷移点aと第2の遷移点bとの中心をCPU10で算出
して位置検出穴4の位置とすることにより、確実で完全
なセンシングを実現容易とする。
リードフレーム1の先端部から位置検出穴4の検出位置
までの寸法dを認識することができ、各品種ごとに前記
寸法dをティーチングしておく。
フレーム1を、前述したティーチングにより得られた品
種に応じた寸法dだけ初期移送することにより、そのリ
ードフレーム1の表裏及び前後方向を判別する。即ち、
前記リードフレーム1をその先端部から寸法dだけ初期
移送した時点で投光器11からの光が受光器12に入射
すれば、光学センサ13の位置に位置検出穴4が位置し
てリードフレーム1は正規の状態にあるとCPU10に
より判断でき、投光器11からの光が受光器12に入射
しなければ光学センサ13の位置に位置検出穴4が位置
しないのでリードフレーム1は正規の状態にないとCP
U10により判断できる。
合にも同様にして、ティーチングにより得られた品種に
応じた寸法dだけ初期移送することにより、リードフレ
ーム1の表裏及び前後方向を判別することができる。
ードフレーム1に対してその上下方向に投光器11と受
光器12とを対向配置した透過型の光学センサ13を使
用した場合について説明したが、本発明はこれに限定さ
れることなく、リードフレーム1に対して同一方向に投
光器と受光器とを配置した反射型の光学センサを使用す
ることも可能である。
するに先立ってのリードフレームの方向検出について説
明したが、本発明はこれに限定されることなく、ワイヤ
ボンディング工程、樹脂封止工程、捺印工程及び切断曲
げ工程等の後工程でのリードフレームの搬送に際しての
リードフレームの方向検出にも適用可能である。
変更があっても、リードフレームと光学センサとの位置
合わせを行う必要がなく、前記リードフレームの品種対
応が迅速かつ確実に行える。また、センサ感度のバラツ
キによる誤検出を軽減することができ、信頼性が大幅に
向上する。
びその装置の実施例を示す部分斜視図
る検出タイミングを示す説明図
び光学センサを示す部分斜視図
Claims (4)
- 【請求項1】 少なくとも一側縁に沿って穿設され、品
種に応じて配列パターンが異なる位置検出穴を有する長
尺なリードフレームをその長手方向に沿う定ピッチ間欠
送りで搬送するに際して、前記リードフレームの表裏及
び前後方向を判別する方法であって、リードフレーム移
送のデジタル化に基づいて前記リードフレームをその長
さ分だけ移送しながら、リードフレームの位置検出穴を
光学センサにより検出してその配列パターンを品種ごと
に予めティーチングしておき、そのティーチングにより
得られたデータに基づいてリードフレームを初期移送
し、光学センサにより位置検出穴の有無を検出してリー
ドフレームの表裏及び前後方向を判別するようにしたこ
とを特徴とするリードフレームの方向検出方法。 - 【請求項2】 前記ティーチングの際の前記リードフレ
ームの位置検出穴の検出は、光学センサの出力レベルの
第1の遷移点と第2の遷移点との中心を位置検出穴の位
置としたことを特徴とする請求項1記載のリードフレー
ムの方向検出方法。 - 【請求項3】 少なくとも一側縁に沿って穴設され、品
種に応じて配列パターンが異なる位置検出穴を有する長
尺なリードフレームをその長手方向に沿う定ピッチ間欠
送りで搬送するに際して、前記リードフレームの表裏及
び前後方向を判別する装置であって、前記リードフレー
ムをデジタル的に移送する駆動源と、前記位置検出穴を
検出する光学センサと、前記駆動源により前記リードフ
レームをその長さ分だけ移送しながら、前記位置検出穴
を前記光学センサにより検出してその配列パターンを品
種ごとに予めティーチングして得られたデータを記憶す
るメモリと、そのメモリに記憶されたデータに基づいて
前記リードフレームを初期移送する前記駆動源を制御す
ると共に、前記光学センサにより検出した前記初期移送
したリードフレームの位置検出穴の有無からリードフレ
ームの表裏及び前後方向を判別するCPUとを具備した
リードフレームの方向検出装置。 - 【請求項4】 前記ティーチングの際の前記リードフレ
ームの位置検出穴の位置は、前記光学センサの出力レベ
ルの第1の遷移点と第2の遷移点との中心を前記CPU
で算出して位置検出穴の位置としたことを特徴とする請
求項3記載のリードフレームの方向検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6366295A JP2833515B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | リードフレームの方向検出方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6366295A JP2833515B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | リードフレームの方向検出方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08264565A true JPH08264565A (ja) | 1996-10-11 |
| JP2833515B2 JP2833515B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=13235787
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6366295A Expired - Fee Related JP2833515B2 (ja) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | リードフレームの方向検出方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2833515B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103295942A (zh) * | 2012-02-28 | 2013-09-11 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 引线框阵列的上料系统 |
| JP2014181117A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Oji Holdings Corp | ペーパーロールの搬送状態検出装置及び搬送状態検出方法 |
| CN108917688A (zh) * | 2018-07-27 | 2018-11-30 | 武汉理工大学 | 一种基于直线拟合消除辊型梁平面扭曲影响的孔边距测量方法 |
| CN115724156A (zh) * | 2022-11-10 | 2023-03-03 | 广西观在自动化设备有限公司 | 一种集成电路塑封物料抓取装置及抓取方法 |
-
1995
- 1995-03-23 JP JP6366295A patent/JP2833515B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103295942A (zh) * | 2012-02-28 | 2013-09-11 | 无锡华润安盛科技有限公司 | 引线框阵列的上料系统 |
| JP2014181117A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-09-29 | Oji Holdings Corp | ペーパーロールの搬送状態検出装置及び搬送状態検出方法 |
| CN108917688A (zh) * | 2018-07-27 | 2018-11-30 | 武汉理工大学 | 一种基于直线拟合消除辊型梁平面扭曲影响的孔边距测量方法 |
| CN115724156A (zh) * | 2022-11-10 | 2023-03-03 | 广西观在自动化设备有限公司 | 一种集成电路塑封物料抓取装置及抓取方法 |
| CN115724156B (zh) * | 2022-11-10 | 2025-07-01 | 广西观在自动化设备有限公司 | 一种集成电路塑封物料抓取装置及抓取方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2833515B2 (ja) | 1998-12-09 |
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