JPH08276363A - 研削加工方法および装置 - Google Patents
研削加工方法および装置Info
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- JPH08276363A JPH08276363A JP8365595A JP8365595A JPH08276363A JP H08276363 A JPH08276363 A JP H08276363A JP 8365595 A JP8365595 A JP 8365595A JP 8365595 A JP8365595 A JP 8365595A JP H08276363 A JPH08276363 A JP H08276363A
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 29
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 239000002826 coolant Substances 0.000 abstract description 15
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000005304 optical glass Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010953 base metal Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 研削砥石を高速で回転させて高能率な研削加
工を行う際、安定した電解インプロセスドレッシングを
行う。 【構成】 ワーク１はワークチャック２に保持され、
スピンドル３により回転駆動自在に構成されている。研
削砥石４は回転可能なスピンドル６により回転駆動自在
に保持されている。（−）電極７は円盤形状に形成さ
れ、研削砥石４の加工面５と０．１〜０．５ｍｍの間隔
を有するように設置され、回転可能に構成されている。
（＋）電極９は研削砥石４の加工面５と電気的に接続し
ている。ノズル１３は研削砥石４の加工面５と（−）電
極７との間に弱電性クーラント１２を供給できるように
設置されている。電源装置１１から各電極７，９に直流
パルス電流を印加することにより電解インプロセスドレ
ッシングが行えるように構成されている。
工を行う際、安定した電解インプロセスドレッシングを
行う。 【構成】 ワーク１はワークチャック２に保持され、
スピンドル３により回転駆動自在に構成されている。研
削砥石４は回転可能なスピンドル６により回転駆動自在
に保持されている。（−）電極７は円盤形状に形成さ
れ、研削砥石４の加工面５と０．１〜０．５ｍｍの間隔
を有するように設置され、回転可能に構成されている。
（＋）電極９は研削砥石４の加工面５と電気的に接続し
ている。ノズル１３は研削砥石４の加工面５と（−）電
極７との間に弱電性クーラント１２を供給できるように
設置されている。電源装置１１から各電極７，９に直流
パルス電流を印加することにより電解インプロセスドレ
ッシングが行えるように構成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学ガラスやファイン
セラミックス等の硬脆材料を研削加工する研削加工方法
および装置に関する。
セラミックス等の硬脆材料を研削加工する研削加工方法
および装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光学ガラスやファインセラミック
ス等の硬脆材料を研削加工する方法として、例えば特開
平１ー１８８２６６号公報記載の発明がある。上記発明
は、図５に示すように、電解インプロセスドレッシング
法を適用するための（＋）電極５１が研削砥石５２の台
金部に接続されている。（−）電極５３は研削砥石５２
の加工面に対向設置されている。また、５４は（−）電
極５３と研削砥石５２加工面との間に供給される弱電性
クーラントである。
ス等の硬脆材料を研削加工する方法として、例えば特開
平１ー１８８２６６号公報記載の発明がある。上記発明
は、図５に示すように、電解インプロセスドレッシング
法を適用するための（＋）電極５１が研削砥石５２の台
金部に接続されている。（−）電極５３は研削砥石５２
の加工面に対向設置されている。また、５４は（−）電
極５３と研削砥石５２加工面との間に供給される弱電性
クーラントである。
【０００３】上記構成の装置は、研削砥石５２を回転さ
せつつ弱電性クーラント５４を供給し、（−）電極５３
および（＋）電極５１に電源装置５５からの電圧を印加
する。電圧の印加により、研削砥石５２の加工面が加工
中に電解ドレッシングされ、研削砥石５２が目詰まりを
起こすことなく研削加工が行われる。
せつつ弱電性クーラント５４を供給し、（−）電極５３
および（＋）電極５１に電源装置５５からの電圧を印加
する。電圧の印加により、研削砥石５２の加工面が加工
中に電解ドレッシングされ、研削砥石５２が目詰まりを
起こすことなく研削加工が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、前記従来技
術には以下のような欠点があった。すなわち、研削加工
を行う場合、研削砥石の回転速度を高速にして研削砥石
の回転周速を向上させた方が研削能率が向上する。しか
し、従来例のような電解インプロセスドレッシング研削
においては、砥石の回転数を高速（例えば、砥石の周速
を３０００ｍ／ｍｉｎ）にした場合、（−）電極と研削
砥石の加工面との間に空気層が形成され、弱電性クーラ
ントがドレス域に十分行き渡らず、ドレス電流値が低下
して安定した電解インプロセスドレッシングが行えなく
なる。
術には以下のような欠点があった。すなわち、研削加工
を行う場合、研削砥石の回転速度を高速にして研削砥石
の回転周速を向上させた方が研削能率が向上する。しか
し、従来例のような電解インプロセスドレッシング研削
においては、砥石の回転数を高速（例えば、砥石の周速
を３０００ｍ／ｍｉｎ）にした場合、（−）電極と研削
砥石の加工面との間に空気層が形成され、弱電性クーラ
ントがドレス域に十分行き渡らず、ドレス電流値が低下
して安定した電解インプロセスドレッシングが行えなく
なる。
【０００５】請求項１および２の目的は、研削砥石を高
速で回転させて加工を行っても、安定した電解インプロ
セスドレッシング研削の行える研削加工方法および装置
の提供を目的とする。
速で回転させて加工を行っても、安定した電解インプロ
セスドレッシング研削の行える研削加工方法および装置
の提供を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、回転
駆動されるカップ型研削砥石を電解インプロセスドレッ
シング法によりドレッシングしつつ回転駆動されるワー
クに当接して加工を行う方法において、加工中における
電解ドレス用電極面と研削砥石加工面との周速にたいし
ての相対速度を減少させて加工を行うことを特徴とする
研削加工方法である。
駆動されるカップ型研削砥石を電解インプロセスドレッ
シング法によりドレッシングしつつ回転駆動されるワー
クに当接して加工を行う方法において、加工中における
電解ドレス用電極面と研削砥石加工面との周速にたいし
ての相対速度を減少させて加工を行うことを特徴とする
研削加工方法である。
【０００７】請求項２の発明は、回転自在にワークを保
持するワークホルダと、回転駆動されるカップ型研削砥
石と、該砥石を電解インプロセスドレッシング法により
ドレッシングする手段とを具備した平面研削装置におい
て、加工中における電解ドレス用電極面と研削砥石加工
面との周速にたいしての相対速度が減少する駆動手段を
電解ドレス用電極に設けたことを特徴とする研削装置で
ある。
持するワークホルダと、回転駆動されるカップ型研削砥
石と、該砥石を電解インプロセスドレッシング法により
ドレッシングする手段とを具備した平面研削装置におい
て、加工中における電解ドレス用電極面と研削砥石加工
面との周速にたいしての相対速度が減少する駆動手段を
電解ドレス用電極に設けたことを特徴とする研削装置で
ある。
【０００８】
【作用】請求項１の作用は、加工中における電解ドレス
用電極面と研削砥石加工面との周速にたいしての相対速
度を減少させることにより、研削砥石の高速回転中に発
生する空気層を抑制して安定した研削加工を行う。
用電極面と研削砥石加工面との周速にたいしての相対速
度を減少させることにより、研削砥石の高速回転中に発
生する空気層を抑制して安定した研削加工を行う。
【０００９】請求項２の作用は、加工中における電解ド
レス用電極面と研削砥石加工面との周速にたいしての相
対速度を減少させることにより、研削砥石の高速回転中
に発生する空気層を抑制し、電解ドレス用電極面と研削
砥石加工面との間に安定して弱電性クーラントを供給す
る。
レス用電極面と研削砥石加工面との周速にたいしての相
対速度を減少させることにより、研削砥石の高速回転中
に発生する空気層を抑制し、電解ドレス用電極面と研削
砥石加工面との間に安定して弱電性クーラントを供給す
る。
【００１０】
【実施例１】図１および図２は本実施例を示し、図１は
概略構成図、図２は図１のＡ矢視図である。ワーク１は
ワークチャック２に保持されており、図示省略した駆動
装置によって回転可能なスピンドル３により、回転軸ｂ
を中心として回転駆動自在に構成されている。研削砥石
４は図示省略した駆動装置によって回転可能なスピンド
ル６により回転中心ａを中心に回転駆動自在に保持され
ている。また、ワーク１と研削砥石４とは図示省略した
駆動装置によって相対的に図１中矢印Ｙ方向に移動自在
に構成されている。
概略構成図、図２は図１のＡ矢視図である。ワーク１は
ワークチャック２に保持されており、図示省略した駆動
装置によって回転可能なスピンドル３により、回転軸ｂ
を中心として回転駆動自在に構成されている。研削砥石
４は図示省略した駆動装置によって回転可能なスピンド
ル６により回転中心ａを中心に回転駆動自在に保持され
ている。また、ワーク１と研削砥石４とは図示省略した
駆動装置によって相対的に図１中矢印Ｙ方向に移動自在
に構成されている。
【００１１】研削砥石（＃４０００）４は導電性を有
し、その加工面５はダイヤモンド粉末等の砥粒と銅，錫
および鉄等の金属粉末とを特殊配合し、熱処理した焼結
合金により構成されている。７は電解インプロセスドレ
ッシング法を行うための（−）電極で、銅あるいはカー
ボングラファイトで構成されている。この（−）電極７
は円盤形状に形成され、研削砥石４の加工面５と０．１
〜０．５ｍｍの間隔を有するように設置されている。ま
た、（−）電極７は研削砥石４の加工面５の外周近傍に
設けられたモーター８の回転軸に固定され、研削砥石４
の回転軸ａと平行な回転軸ｃを中心として回転するよう
に構成されている。
し、その加工面５はダイヤモンド粉末等の砥粒と銅，錫
および鉄等の金属粉末とを特殊配合し、熱処理した焼結
合金により構成されている。７は電解インプロセスドレ
ッシング法を行うための（−）電極で、銅あるいはカー
ボングラファイトで構成されている。この（−）電極７
は円盤形状に形成され、研削砥石４の加工面５と０．１
〜０．５ｍｍの間隔を有するように設置されている。ま
た、（−）電極７は研削砥石４の加工面５の外周近傍に
設けられたモーター８の回転軸に固定され、研削砥石４
の回転軸ａと平行な回転軸ｃを中心として回転するよう
に構成されている。
【００１２】９は（＋）電極で、研削砥石４の台金部に
接触するように設置されており、研削砥石４の加工面５
と電気的に接続している。１０はブラシ電極で、このブ
ラシ電極１０は（−）電極７と接触するように設置され
ている。
接触するように設置されており、研削砥石４の加工面５
と電気的に接続している。１０はブラシ電極で、このブ
ラシ電極１０は（−）電極７と接触するように設置され
ている。
【００１３】１３はノズルで、このノズル１３は図示省
略したクーラント装置に接続され、研削砥石４の加工面
５と（−）電極７との間に弱電性クーラント１２を供給
できるように設置されている。（−）電極７および
（＋）電極９は電源装置１１に接続されており、該電源
装置１１から各電極７，９に直流パルス電流を印加する
ことにより電解インプロセスドレッシングが行えるよう
に構成されている。
略したクーラント装置に接続され、研削砥石４の加工面
５と（−）電極７との間に弱電性クーラント１２を供給
できるように設置されている。（−）電極７および
（＋）電極９は電源装置１１に接続されており、該電源
装置１１から各電極７，９に直流パルス電流を印加する
ことにより電解インプロセスドレッシングが行えるよう
に構成されている。
【００１４】以上の構成からなる装置は、まず弱電性ク
ーラント１２を（−）電極７と研削砥石４の加工面５と
の間に研削砥石４の回転方向と同方向に供給しながら、
研削砥石４を加工面５の周速が５０００ｍ／ｍｉｎ（１
１０００ｒｐｍ）となるように回転させる。次に、電源
装置１１から（＋）電極９および（−）電極７に直流パ
ルス電流を供給することで電解ドレスが行われ、ワーク
１が回転しながら研削砥石４と当接して平面研削加工が
行われる。
ーラント１２を（−）電極７と研削砥石４の加工面５と
の間に研削砥石４の回転方向と同方向に供給しながら、
研削砥石４を加工面５の周速が５０００ｍ／ｍｉｎ（１
１０００ｒｐｍ）となるように回転させる。次に、電源
装置１１から（＋）電極９および（−）電極７に直流パ
ルス電流を供給することで電解ドレスが行われ、ワーク
１が回転しながら研削砥石４と当接して平面研削加工が
行われる。
【００１５】この時、モーター８によって（−）電極７
は研削砥石４の回転方向とは逆方向に回転させる。すな
わち、研削砥石４の加工面５と（−）電極７とが重なり
合う対向部分においてはそれぞれの回転方向が同一方向
となるように回転させる（図２参照）。( −）電極７の
回転数は、前記対向部分で研削砥石４の加工面５との相
対速度が１０００ｍ／ｍｉｎとなる速度（１５０００ｒ
ｐｍ）で回転させる。
は研削砥石４の回転方向とは逆方向に回転させる。すな
わち、研削砥石４の加工面５と（−）電極７とが重なり
合う対向部分においてはそれぞれの回転方向が同一方向
となるように回転させる（図２参照）。( −）電極７の
回転数は、前記対向部分で研削砥石４の加工面５との相
対速度が１０００ｍ／ｍｉｎとなる速度（１５０００ｒ
ｐｍ）で回転させる。
【００１６】本実施例によれば、研削砥石が周速１００
０ｍ／ｍｉｎ以上の高速で回転する場合においても、
（−）電極と研削砥石の加工面との間の相対速度が電解
インプロセスドレッシングに最適な速度に維持される。
因って、研削砥石の高速回転による高能率加工を行う場
合においても安定した電解インプロセスドレッシングが
行える。
０ｍ／ｍｉｎ以上の高速で回転する場合においても、
（−）電極と研削砥石の加工面との間の相対速度が電解
インプロセスドレッシングに最適な速度に維持される。
因って、研削砥石の高速回転による高能率加工を行う場
合においても安定した電解インプロセスドレッシングが
行える。
【００１７】尚、本実施例においては（−）電極７の回
転軸を研削砥石４の加工面５の外周近傍に設けたが、本
発明はこれに限定することなく、（−）電極７の回転軸
を研削砥石４の加工面５の内側に設置しても同様な効果
が得られる。その場合、（−）電極７と研削砥石４との
回転方向を同一に設定する。
転軸を研削砥石４の加工面５の外周近傍に設けたが、本
発明はこれに限定することなく、（−）電極７の回転軸
を研削砥石４の加工面５の内側に設置しても同様な効果
が得られる。その場合、（−）電極７と研削砥石４との
回転方向を同一に設定する。
【００１８】
【実施例２】図３および図４は本実施例を示し、図３は
概略構成図、図４は図３のＢ矢視図である。本実施例
は、前記実施例１における（−）電極７の上面に弱電性
クーラントをドレス域に導くフィンを設けた点と、弱電
性クーラントを供給するノズル１３の設置位置を変更し
た点とが異なり、他の構成は同一な構成部分からなるも
ので、同一構成部分には同一番号を付してその説明を省
略する。
概略構成図、図４は図３のＢ矢視図である。本実施例
は、前記実施例１における（−）電極７の上面に弱電性
クーラントをドレス域に導くフィンを設けた点と、弱電
性クーラントを供給するノズル１３の設置位置を変更し
た点とが異なり、他の構成は同一な構成部分からなるも
ので、同一構成部分には同一番号を付してその説明を省
略する。
【００１９】本実施例の（−）電極７の上面には弱電性
クーラント１２をドレス域に導くためのフィン１４が形
成されている。また、ノズル１３はフィン１４へ弱電性
クーラントを供給しやすい位置に設置されている。
クーラント１２をドレス域に導くためのフィン１４が形
成されている。また、ノズル１３はフィン１４へ弱電性
クーラントを供給しやすい位置に設置されている。
【００２０】上記構成の装置は、ノズル１３より供給さ
れた弱電性クーラント１２が（−）電極７上面のフィン
１４によって高速でドレス域に供給される。他の作用
は、前記実施例１と同様な作用であり説明を省略する。
れた弱電性クーラント１２が（−）電極７上面のフィン
１４によって高速でドレス域に供給される。他の作用
は、前記実施例１と同様な作用であり説明を省略する。
【００２１】本実施例によれば、前記実施例１と同様な
効果が得られるとともに、弱電性クーラントがドレス域
の入り口へ確実に供給されることから、研削砥石の高速
回転による高能率加工を行う場合でも更に安定した電解
インプロセスドレッシングが行える。
効果が得られるとともに、弱電性クーラントがドレス域
の入り口へ確実に供給されることから、研削砥石の高速
回転による高能率加工を行う場合でも更に安定した電解
インプロセスドレッシングが行える。
【００２２】
【発明の効果】請求項１および２の効果は、研削砥石を
高速で回転させて高能率な研削加工を行う際、安定した
電解インプロセスドレッシングが行える。
高速で回転させて高能率な研削加工を行う際、安定した
電解インプロセスドレッシングが行える。
【図１】実施例１を示す概略構成図である。
【図２】図１のＡ矢視図である。
【図３】実施例２を示す概略構成図である。
【図４】図３のＢ矢視図である。
【図５】従来例を示す概略構成図である。
１ ワーク ２ ワークチャック ３，６ スピンドル ４ 研削砥石 ５ 加工面 ７ （−）電極 ８ モーター ９ （＋）電極 １０ ブラシ電極 １１ 電源装置 １２ 弱電性クーラント １３ ノズル
Claims (2)
- 【請求項１】 回転駆動されるカップ型研削砥石を電解
インプロセスドレッシング法によりドレッシングしつつ
回転駆動されるワークに当接して加工を行う方法におい
て、加工中における電解ドレス用電極面と研削砥石加工
面との周速にたいしての相対速度を減少させて加工を行
うことを特徴とする研削加工方法。 - 【請求項２】 回転自在にワークを保持するワークホル
ダと、回転駆動されるカップ型研削砥石と、該砥石を電
解インプロセスドレッシング法によりドレッシングする
手段とを具備した平面研削装置において、加工中におけ
る電解ドレス用電極面と研削砥石加工面との周速にたい
しての相対速度が減少する駆動手段を電解ドレス用電極
に設けたことを特徴とする研削装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8365595A JPH08276363A (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 研削加工方法および装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8365595A JPH08276363A (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 研削加工方法および装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08276363A true JPH08276363A (ja) | 1996-10-22 |
Family
ID=13808478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8365595A Withdrawn JPH08276363A (ja) | 1995-04-10 | 1995-04-10 | 研削加工方法および装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08276363A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003071719A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Inst Of Physical & Chemical Res | メタルレスボンド砥石とそれによる電解ドレッシング研削方法及び装置 |
| SG109419A1 (en) * | 1999-04-14 | 2005-03-30 | Riken | Table-top elid processing apparatus |
-
1995
- 1995-04-10 JP JP8365595A patent/JPH08276363A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| SG109419A1 (en) * | 1999-04-14 | 2005-03-30 | Riken | Table-top elid processing apparatus |
| JP2003071719A (ja) * | 2001-09-04 | 2003-03-12 | Inst Of Physical & Chemical Res | メタルレスボンド砥石とそれによる電解ドレッシング研削方法及び装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020702 |