JPH08304602A - 反射防止コーティング - Google Patents
反射防止コーティングInfo
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- JPH08304602A JPH08304602A JP7114374A JP11437495A JPH08304602A JP H08304602 A JPH08304602 A JP H08304602A JP 7114374 A JP7114374 A JP 7114374A JP 11437495 A JP11437495 A JP 11437495A JP H08304602 A JPH08304602 A JP H08304602A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】 基材であるＰＥＴフィルム１３上に形成する
反射防止コーティング１０を、この反射防止コーティン
グ１０を構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、ＰＥＴフィルム１３の屈折
率より小さい屈折率及び略０．５λ0の光学的厚さを備
える第１の層１と、第３の層３の屈折率より小さい屈折
率及び略０．２５λ0より大きい光学的厚さを備える第
２の層２と、略２．２より大きい屈折率及び略０．２５
λ0より小さい光学的厚さを備える第３の層３と、ＰＥ
Ｔフィルム１３の屈折率より小さい屈折率及び略０．２
５λ0の光学的厚さを備える第４の層４とから形成す
る。 【効果】 導電性が高く、また、低コストで、迅速に大
量な製造を行うことが可能となる。
反射防止コーティング１０を、この反射防止コーティン
グ１０を構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、ＰＥＴフィルム１３の屈折
率より小さい屈折率及び略０．５λ0の光学的厚さを備
える第１の層１と、第３の層３の屈折率より小さい屈折
率及び略０．２５λ0より大きい光学的厚さを備える第
２の層２と、略２．２より大きい屈折率及び略０．２５
λ0より小さい光学的厚さを備える第３の層３と、ＰＥ
Ｔフィルム１３の屈折率より小さい屈折率及び略０．２
５λ0の光学的厚さを備える第４の層４とから形成す
る。 【効果】 導電性が高く、また、低コストで、迅速に大
量な製造を行うことが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、反射防止コーティング
に関し、特に導電性の反射防止コーティングに関する。
に関し、特に導電性の反射防止コーティングに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、反射防止コーティングは、例えば
空気とガラスとの光学的境界面における屈折率を減少さ
せることが好ましかったり、また、その必要がある光学
や電気光学の分野で広く使われている。これらの応用分
野としては、カメラのレンズ、コピー機械のプラテン
（原稿台）、機器用のカバーガラス、陰極線管いわゆる
ＣＲＴ用パネル、その他の表示装置等がある。
空気とガラスとの光学的境界面における屈折率を減少さ
せることが好ましかったり、また、その必要がある光学
や電気光学の分野で広く使われている。これらの応用分
野としては、カメラのレンズ、コピー機械のプラテン
（原稿台）、機器用のカバーガラス、陰極線管いわゆる
ＣＲＴ用パネル、その他の表示装置等がある。
【０００３】各種の応用分野で使われる光学的な薄膜コ
ーティングには、マグネシウムフッ化物から成るコーテ
ィング等の単一層コーティングや、Ｖコートと呼ばれ、
一つの波長領域における屈折率を最小にする２層のコー
ティングや、比較的広い波長領域例えば可視スペクトル
の範囲に亘って低い屈折率を生じる多層の広帯域コーテ
ィング等がある。さらに、最近では、電気的伝導性や高
い光学的透過性が必要なところで、透明な導電性コーテ
ィングも広く使われている。
ーティングには、マグネシウムフッ化物から成るコーテ
ィング等の単一層コーティングや、Ｖコートと呼ばれ、
一つの波長領域における屈折率を最小にする２層のコー
ティングや、比較的広い波長領域例えば可視スペクトル
の範囲に亘って低い屈折率を生じる多層の広帯域コーテ
ィング等がある。さらに、最近では、電気的伝導性や高
い光学的透過性が必要なところで、透明な導電性コーテ
ィングも広く使われている。
【０００４】このような目的のため、インジウム錫酸化
物（ＩＴＯ）やカドミウム錫酸塩、アンチモン酸化物等
の膜が、各種のディスプレイ、例えば液晶ディスプレイ
や航空機の窓に使う可視域透過窓の加熱要素、帯電防止
コーティング、電球の外囲ガラスに使われる熱保持用の
可視光透過コーティング等に用いられている。
物（ＩＴＯ）やカドミウム錫酸塩、アンチモン酸化物等
の膜が、各種のディスプレイ、例えば液晶ディスプレイ
や航空機の窓に使う可視域透過窓の加熱要素、帯電防止
コーティング、電球の外囲ガラスに使われる熱保持用の
可視光透過コーティング等に用いられている。
【０００５】具体的には、例えば基材としてポリエチレ
ンテレフタレートフィルムいわゆるＰＥＴフィルム上に
置かれる電気的伝導性のある反射防止コーティングにつ
いては、米国特許第５２７０８５８号に開示されている
ように、３つの材料を用いた５層から成る反射防止コー
ティングがある。
ンテレフタレートフィルムいわゆるＰＥＴフィルム上に
置かれる電気的伝導性のある反射防止コーティングにつ
いては、米国特許第５２７０８５８号に開示されている
ように、３つの材料を用いた５層から成る反射防止コー
ティングがある。
【０００６】表１には、この５層から成る反射防止コー
ティングを構成する各層の屈折率及び光学的厚さの概略
的な値を示す。
ティングを構成する各層の屈折率及び光学的厚さの概略
的な値を示す。
【０００７】
【表１】
【０００８】ここで、表１においては、第１の層が基材
のＰＥＴフィルムの次の層である。
のＰＥＴフィルムの次の層である。
【０００９】また、反射防止コーティングを構成する材
料が光をほとんど吸収しない範囲の波長を参照波長λ0
とし、この参照波長λ0の値を５５０ｎｍとしている。
表１の屈折率は上記参照波長λ0における屈折率を示
す。
料が光をほとんど吸収しない範囲の波長を参照波長λ0
とし、この参照波長λ0の値を５５０ｎｍとしている。
表１の屈折率は上記参照波長λ0における屈折率を示
す。
【００１０】また、上記反射防止コーティングは、比較
目的のために、屈折率が１．６のＰＥＴ上に形成されて
測定された値を示すものである。
目的のために、屈折率が１．６のＰＥＴ上に形成されて
測定された値を示すものである。
【００１１】また、他の５層から成る反射防止コーティ
ングの各層の屈折率及び光学的厚さの具体的な値を表２
に示す。
ングの各層の屈折率及び光学的厚さの具体的な値を表２
に示す。
【００１２】
【表２】
【００１３】尚、表２に示す値も、表１に示した各値を
得る条件と同様の条件で得たものである。
得る条件と同様の条件で得たものである。
【００１４】このように、反射防止コーティングの第２
の層は大変に薄くて低い屈折率の層である。また、第３
の層は電気的伝導性をもつ導電層であって、例えばＩＴ
Ｏから成る比較的薄い層である。また、第４の層は比較
的厚くて高い屈折率の層であり、この層の材料としては
ＴｉＯ2等が用いられる。
の層は大変に薄くて低い屈折率の層である。また、第３
の層は電気的伝導性をもつ導電層であって、例えばＩＴ
Ｏから成る比較的薄い層である。また、第４の層は比較
的厚くて高い屈折率の層であり、この層の材料としては
ＴｉＯ2等が用いられる。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、反射防止コ
ーティングの導電性は、第３の層を形成するＩＴＯの導
電性と厚さとによる。上記反射防止コーティングは、第
３の層に比較的薄い導電層をもつが、この導電層が薄い
ので導電性が低い。よって、上記反射防止コーティング
をＣＲＴ用パネル上に装着した場合には静電気の防止や
ＣＲＴ用パネルからの電磁波の出力防止に対する効力が
少ない。
ーティングの導電性は、第３の層を形成するＩＴＯの導
電性と厚さとによる。上記反射防止コーティングは、第
３の層に比較的薄い導電層をもつが、この導電層が薄い
ので導電性が低い。よって、上記反射防止コーティング
をＣＲＴ用パネル上に装着した場合には静電気の防止や
ＣＲＴ用パネルからの電磁波の出力防止に対する効力が
少ない。
【００１６】また、第４の層を形成するＴｉＯ2のよう
な高い屈折率の物質のスパッタレートは大変に遅いの
で、迅速に大量に製造することが困難である。
な高い屈折率の物質のスパッタレートは大変に遅いの
で、迅速に大量に製造することが困難である。
【００１７】さらに、第２層には大変に薄くて低い屈折
率の層をもつが、この層を正確に制御することは困難で
ある。
率の層をもつが、この層を正確に制御することは困難で
ある。
【００１８】そこで、本発明は上述の実情に鑑み、導電
性が高く、また、生産性の高い反射防止コーティングを
提供するものである。
性が高く、また、生産性の高い反射防止コーティングを
提供するものである。
【００１９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る反射防止コ
ーティングは、４つの隣接した層から成り、上記各層は
基材に最も近い層から順に第１の層、第２の層、第３の
層、及び第４の層として構成され、上記反射防止コーテ
ィングを構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、上記第１の層は、上記基材
の屈折率より小さい屈折率及び略０．５λ0の光学的厚
さを備え、上記第２の層は、上記第３の層の屈折率より
小さい屈折率及び略０．２５λ0より大きい光学的厚さ
を備え、上記第３の層は、略２．２より大きい屈折率及
び略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第
４の層は、上記基材の屈折率より小さい屈折率及び略
０．２５λ0の光学的厚さを備えることにより上述した
課題を解決する。
ーティングは、４つの隣接した層から成り、上記各層は
基材に最も近い層から順に第１の層、第２の層、第３の
層、及び第４の層として構成され、上記反射防止コーテ
ィングを構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、上記第１の層は、上記基材
の屈折率より小さい屈折率及び略０．５λ0の光学的厚
さを備え、上記第２の層は、上記第３の層の屈折率より
小さい屈折率及び略０．２５λ0より大きい光学的厚さ
を備え、上記第３の層は、略２．２より大きい屈折率及
び略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第
４の層は、上記基材の屈折率より小さい屈折率及び略
０．２５λ0の光学的厚さを備えることにより上述した
課題を解決する。
【００２０】また、本発明に係る反射防止コーティング
は、５つの隣接した層から成り、上記各層は基材に最も
近い層から順に第１の層、第２の層、第３の層、第４の
層、及び第５の層として構成され、上記反射防止コーテ
ィングを構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、上記第１の層は、上記基材
の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．５λ0より小さ
い光学的厚さを備え、上記第２の層は、上記基材の屈折
率よりも大きい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光
学的厚さを備え、上記第３の層は、上記基材の屈折率よ
りも小さい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光学的
厚さを備え、上記第４の層は、上記基材の屈折率よりも
大きい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備え、
上記第５の層は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率
及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えることにより上
述した課題を解決する。
は、５つの隣接した層から成り、上記各層は基材に最も
近い層から順に第１の層、第２の層、第３の層、第４の
層、及び第５の層として構成され、上記反射防止コーテ
ィングを構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、上記第１の層は、上記基材
の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．５λ0より小さ
い光学的厚さを備え、上記第２の層は、上記基材の屈折
率よりも大きい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光
学的厚さを備え、上記第３の層は、上記基材の屈折率よ
りも小さい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光学的
厚さを備え、上記第４の層は、上記基材の屈折率よりも
大きい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備え、
上記第５の層は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率
及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えることにより上
述した課題を解決する。
【００２１】
【作用】本発明においては、４層から成る反射防止コー
ティングであって、基材側から第２の層は透明導電膜で
あって、二酸化チタンから成る第３の層の屈折率より小
さい屈折率及び略０．２５λ0より大きい光学的厚さを
備え、上記第３の層は、略２．２より大きい屈折率及び
略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備えるので、透
明導電膜が厚く、二酸化チタンの層が薄い、４層の反射
防止コーティングを形成することができる。
ティングであって、基材側から第２の層は透明導電膜で
あって、二酸化チタンから成る第３の層の屈折率より小
さい屈折率及び略０．２５λ0より大きい光学的厚さを
備え、上記第３の層は、略２．２より大きい屈折率及び
略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備えるので、透
明導電膜が厚く、二酸化チタンの層が薄い、４層の反射
防止コーティングを形成することができる。
【００２２】また、５層から成る反射防止コーティング
であって、第２の層は基材の屈折率よりも大きい屈折率
及び略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備え、第４
の層は基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２５
λ0の光学的厚さを備えた透明導電膜であり、また、第
１の層は基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．５
λ0より小さい光学的厚さを備え、第３の層は基材の屈
折率よりも小さい屈折率及び略０．２５λ0より小さい
光学的厚さを備え、第５の層は基材の屈折率よりも小さ
い屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えた、二
酸化ケイ素から成る層であるので、２種類の材料によっ
て５層の反射防止コーティングを形成することができ
る。
であって、第２の層は基材の屈折率よりも大きい屈折率
及び略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備え、第４
の層は基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２５
λ0の光学的厚さを備えた透明導電膜であり、また、第
１の層は基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．５
λ0より小さい光学的厚さを備え、第３の層は基材の屈
折率よりも小さい屈折率及び略０．２５λ0より小さい
光学的厚さを備え、第５の層は基材の屈折率よりも小さ
い屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えた、二
酸化ケイ素から成る層であるので、２種類の材料によっ
て５層の反射防止コーティングを形成することができ
る。
【００２３】
【実施例】以下、本発明の好ましい実施例について、図
面を参照しながら説明する。図１には、本発明に係る反
射防止コーディングの概略的な断面図を示す。具体的に
は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上
に形成された反射防止コーティングを、さらに陰極線管
（ＣＲＴ）ガラス上に組み立てた場合の概略的な断面図
を示している。
面を参照しながら説明する。図１には、本発明に係る反
射防止コーディングの概略的な断面図を示す。具体的に
は、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィルム上
に形成された反射防止コーティングを、さらに陰極線管
（ＣＲＴ）ガラス上に組み立てた場合の概略的な断面図
を示している。
【００２４】この図１に示す反射防止コーティング１０
は、基材のための反射防止コーティングであって、４つ
の隣接した層から成り、上記各層は上記基材に最も近い
層から順に第１の層１、第２の層２、第３の層３、及び
第４の層４として構成され、上記反射防止コーティング
１０を構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内の
波長をλ0とするときに、上記第１の層１は、上記基材
の屈折率より小さい屈折率及び略０．５λ0の光学的厚
さを備え、上記第２の層２は、上記第３の層３の屈折率
より小さい屈折率及び略０．２５λ0より大きい光学的
厚さを備え、上記第３の層３は、略２．２より大きい屈
折率及び略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備え、
上記第４の層４は、上記基材の屈折率より小さい屈折率
及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えるものである。
は、基材のための反射防止コーティングであって、４つ
の隣接した層から成り、上記各層は上記基材に最も近い
層から順に第１の層１、第２の層２、第３の層３、及び
第４の層４として構成され、上記反射防止コーティング
１０を構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内の
波長をλ0とするときに、上記第１の層１は、上記基材
の屈折率より小さい屈折率及び略０．５λ0の光学的厚
さを備え、上記第２の層２は、上記第３の層３の屈折率
より小さい屈折率及び略０．２５λ0より大きい光学的
厚さを備え、上記第３の層３は、略２．２より大きい屈
折率及び略０．２５λ0より小さい光学的厚さを備え、
上記第４の層４は、上記基材の屈折率より小さい屈折率
及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えるものである。
【００２５】また、この反射防止コーティング１０は、
基材としてプラスチックフィルムを用いた場合に用いら
れるものであり、具体的にはＰＥＴフィルム１３を用い
ている。
基材としてプラスチックフィルムを用いた場合に用いら
れるものであり、具体的にはＰＥＴフィルム１３を用い
ている。
【００２６】第１の層１及び第４の層４は二酸化ケイ素
（ＳｉＯ2）から成る。第２の層２はインジウム錫酸化
物（ＩＴＯ）又は含アルミニウム酸化亜鉛から成る透明
導電膜、即ち導電層である。第３の層３は二酸化チタン
（ＴｉＯ2）から成る。
（ＳｉＯ2）から成る。第２の層２はインジウム錫酸化
物（ＩＴＯ）又は含アルミニウム酸化亜鉛から成る透明
導電膜、即ち導電層である。第３の層３は二酸化チタン
（ＴｉＯ2）から成る。
【００２７】例えば、基材であるＰＥＴフィルム１３の
屈折率が１．６のときに、反射防止コーティングの各層
の物理的な厚さとしては、第１の層１は１８１ｎｍ、第
２の層２は２１ｎｍ、第３の層３は８７ｎｍ、第４の層
４は９５ｎｍとなる。
屈折率が１．６のときに、反射防止コーティングの各層
の物理的な厚さとしては、第１の層１は１８１ｎｍ、第
２の層２は２１ｎｍ、第３の層３は８７ｎｍ、第４の層
４は９５ｎｍとなる。
【００２８】この反射防止コーディングが形成されるＰ
ＥＴフィルム１３は、厚さが約１８８μｍであって、比
較的柔らかいものである。よって、この反射防止コーテ
ィング１０をＰＥＴフィルム１３上に形成するときに
は、ＰＥＴフィルム１３と第１の層１との間に、堅いハ
ードコート１４を約３〜４μｍの厚さで形成する。
ＥＴフィルム１３は、厚さが約１８８μｍであって、比
較的柔らかいものである。よって、この反射防止コーテ
ィング１０をＰＥＴフィルム１３上に形成するときに
は、ＰＥＴフィルム１３と第１の層１との間に、堅いハ
ードコート１４を約３〜４μｍの厚さで形成する。
【００２９】さらに、反射防止コーティング１０が形成
されたＰＥＴフィルム１３をＣＲＴガラス１１上に組み
立てる場合には、レジン１２を用いる。このレジン１２
は、厚さが約３０μｍであって、屈折率はＣＲＴガラス
１１とほぼ同じものである。
されたＰＥＴフィルム１３をＣＲＴガラス１１上に組み
立てる場合には、レジン１２を用いる。このレジン１２
は、厚さが約３０μｍであって、屈折率はＣＲＴガラス
１１とほぼ同じものである。
【００３０】ここで、基材としてＰＥＴフィルム１３を
用いたときの、反射防止コーティング１０を構成する各
層の屈折率及び光学的厚さの概略的な値を表３に示す。
用いたときの、反射防止コーティング１０を構成する各
層の屈折率及び光学的厚さの概略的な値を表３に示す。
【００３１】
【表３】
【００３２】表３においては、基材であるＰＥＴフィル
ム１３の屈折率を１．６としている。
ム１３の屈折率を１．６としている。
【００３３】また、反射防止コーティングを構成する材
料が光をほとんど吸収しない範囲の波長を参照波長λ0
とし、この参照波長λ0を４５０〜６５０ｎｍの間の波
長としている。表３に示す屈折率は上記参照波長λ0に
おける屈折率を示す。
料が光をほとんど吸収しない範囲の波長を参照波長λ0
とし、この参照波長λ0を４５０〜６５０ｎｍの間の波
長としている。表３に示す屈折率は上記参照波長λ0に
おける屈折率を示す。
【００３４】次に、表３に示した各層の屈折率及び光学
的厚さの値を満たす反射防止コーティングの各層の屈折
率及び光学的厚さの具体的な値を表４に示す。
的厚さの値を満たす反射防止コーティングの各層の屈折
率及び光学的厚さの具体的な値を表４に示す。
【００３５】
【表４】
【００３６】尚、表４に示す値も、表３に示した値を得
る条件と同様の条件で得たものである。
る条件と同様の条件で得たものである。
【００３７】このように、この実施例の第２層を構成す
る導電層の厚さは、表２に示すような従来の反射防止コ
ーティングの第３層の導電層の厚さよりも厚く、また、
ＴｉＯ2から成る第３層の厚さは、従来の反射防止コー
ティングの内のＴｉＯ2から成る第４層の厚さよりも薄
くなっている。
る導電層の厚さは、表２に示すような従来の反射防止コ
ーティングの第３層の導電層の厚さよりも厚く、また、
ＴｉＯ2から成る第３層の厚さは、従来の反射防止コー
ティングの内のＴｉＯ2から成る第４層の厚さよりも薄
くなっている。
【００３８】また、屈折率が１．６のＰＥＴフィルム１
３上に、各層が表４に示す値をもつ反射防止コーティン
グを形成したときの波長に対する理論的な反射率は図２
に示すものとなる。
３上に、各層が表４に示す値をもつ反射防止コーティン
グを形成したときの波長に対する理論的な反射率は図２
に示すものとなる。
【００３９】図２における曲線Ｂは、反射防止コーティ
ングの波長に対する反射率の典型的な値を示すものであ
り、曲線Ａ及び曲線Ｃは、反射防止コーティングの波長
に対する反射率の上限値及び下限値を示すものである。
これらは、反射防止コーティングの各層の厚さを、標準
偏差σが２％の値をもつガウス分布において、ランダム
に１００回変化させたときの上限値及び下限値である。
ングの波長に対する反射率の典型的な値を示すものであ
り、曲線Ａ及び曲線Ｃは、反射防止コーティングの波長
に対する反射率の上限値及び下限値を示すものである。
これらは、反射防止コーティングの各層の厚さを、標準
偏差σが２％の値をもつガウス分布において、ランダム
に１００回変化させたときの上限値及び下限値である。
【００４０】さらに、具体的に、屈折率が１．６３のＰ
ＥＴフィルム１３上に上記反射防止コーティングを形成
したときの波長に対する反射率の測定値は図３に示すも
のとなる。この測定値は、分光光度計で測定したもので
ある。
ＥＴフィルム１３上に上記反射防止コーティングを形成
したときの波長に対する反射率の測定値は図３に示すも
のとなる。この測定値は、分光光度計で測定したもので
ある。
【００４１】この実施例の反射防止コーティングにおい
ては、第３の層として形成される導電層によって、波長
４００〜７００ｎｍまでの理論的な平均値として、ＣＲ
Ｔスクリーンからの反射を４．５９％から０．２７％ま
で減少させることができる。即ち、ＣＲＴスクリーンの
反射を１／１７にすることができる。
ては、第３の層として形成される導電層によって、波長
４００〜７００ｎｍまでの理論的な平均値として、ＣＲ
Ｔスクリーンからの反射を４．５９％から０．２７％ま
で減少させることができる。即ち、ＣＲＴスクリーンの
反射を１／１７にすることができる。
【００４２】また、上記導電層を形成するＩＴＯが、４
×１０-4Ωｃｍの最良の導電性をもつときには、反射防
止コーティングの導電性は４４Ω／□であり、９×１０
-4Ωｃｍの最悪の導電性をもつときには、反射防止コー
ティングの導電性は１００Ω／□である。どちらの場合
にも、電磁的な放射及び静電気を制限するための典型的
な値である５００Ω／□よりも良い値をもつ。
×１０-4Ωｃｍの最良の導電性をもつときには、反射防
止コーティングの導電性は４４Ω／□であり、９×１０
-4Ωｃｍの最悪の導電性をもつときには、反射防止コー
ティングの導電性は１００Ω／□である。どちらの場合
にも、電磁的な放射及び静電気を制限するための典型的
な値である５００Ω／□よりも良い値をもつ。
【００４３】また、この反射防止コーティングは、４層
から成るので、低コストで大量に製造を行うことが可能
となる。また、通常、スパッタされ、恒久性のある物質
であるＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＩＴＯの３種類のみの材料で
形成されるので、典型的な広帯域の導電性の反射防止コ
ーティングよりも形成することが容易である。
から成るので、低コストで大量に製造を行うことが可能
となる。また、通常、スパッタされ、恒久性のある物質
であるＳｉＯ2、ＴｉＯ2、ＩＴＯの３種類のみの材料で
形成されるので、典型的な広帯域の導電性の反射防止コ
ーティングよりも形成することが容易である。
【００４４】また、迅速に大量生産するためには、第３
の層はできるだけ薄く形成する。しかし、この第３の層
が薄すぎると、十分に制御されることができず、波長の
吸収が増加しがちである。このＴｉＯ2の厚さの最良の
範囲は約１０〜３０ｎｍである。上述した実施例の反射
防止コーティングのＴｉＯ2の厚さは、生産性のために
上記最適な範囲内に保たれる。
の層はできるだけ薄く形成する。しかし、この第３の層
が薄すぎると、十分に制御されることができず、波長の
吸収が増加しがちである。このＴｉＯ2の厚さの最良の
範囲は約１０〜３０ｎｍである。上述した実施例の反射
防止コーティングのＴｉＯ2の厚さは、生産性のために
上記最適な範囲内に保たれる。
【００４５】尚、上記実施例では、反射防止コーティン
グの基材としてＰＥＴフィルムを用いた場合について説
明しているが、基材としてはＰＥＴフィルムに限定され
るものではなく、例えばＢＫ７ガラス等を用いることも
可能である。
グの基材としてＰＥＴフィルムを用いた場合について説
明しているが、基材としてはＰＥＴフィルムに限定され
るものではなく、例えばＢＫ７ガラス等を用いることも
可能である。
【００４６】また、この実施例の反射防止コーティング
の導通を取る場合の一例について、図４を用いて説明す
る。
の導通を取る場合の一例について、図４を用いて説明す
る。
【００４７】図４に示す反射防止コーティング１０は、
図１に示した反射防止コーティングと同様のものであ
る。この反射防止コーティング１０を基材２０上に形成
した場合に導通を取るときには、この反射防止コーティ
ングの短部において、第１の層１の短部よりも第２の層
２及び第３の層３の短部を短くし、第３の層３の短部よ
りも第４の層４の端部を短くする。ここで、ハンダ３０
を、第３の層３の上部から第１の層１の上部までを覆う
ように盛り、第１の層１及び第３の層３を接地すること
により、導通を取ることができる。
図１に示した反射防止コーティングと同様のものであ
る。この反射防止コーティング１０を基材２０上に形成
した場合に導通を取るときには、この反射防止コーティ
ングの短部において、第１の層１の短部よりも第２の層
２及び第３の層３の短部を短くし、第３の層３の短部よ
りも第４の層４の端部を短くする。ここで、ハンダ３０
を、第３の層３の上部から第１の層１の上部までを覆う
ように盛り、第１の層１及び第３の層３を接地すること
により、導通を取ることができる。
【００４８】また、反射防止コーティングの製造工程を
考慮した場合に、より簡易に製造するための反射防止コ
ーティングの他の実施例を説明する。
考慮した場合に、より簡易に製造するための反射防止コ
ーティングの他の実施例を説明する。
【００４９】図５には、この他の実施例の反射防止コー
ティングの断面図を示す。具体的には、ＰＥＴフィルム
上に形成された反射防止コーティングの概略的な断面図
を示している。
ティングの断面図を示す。具体的には、ＰＥＴフィルム
上に形成された反射防止コーティングの概略的な断面図
を示している。
【００５０】この反射防止コーティング４０は、基材の
ための反射防止コーティングであって、５つの隣接した
層から成り、上記各層は上記基材に最も近い層から順に
第１の層４１、第２の層４２、第３の層４３、第４の層
４４、及び第５の層４５として構成され、上記反射防止
コーティング４０を構成する材料が光をほとんど吸収し
ない範囲内の波長をλ0とするときに、上記第１の層４
１は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．
５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第２の層４２
は、上記基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２
５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第３の層４３
は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．２
５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第４の層４４
は、上記基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２
５λ0の光学的厚さを備え、上記第５の層４５は、上記
基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．２５λ0の
光学的厚さを備えるものである。
ための反射防止コーティングであって、５つの隣接した
層から成り、上記各層は上記基材に最も近い層から順に
第１の層４１、第２の層４２、第３の層４３、第４の層
４４、及び第５の層４５として構成され、上記反射防止
コーティング４０を構成する材料が光をほとんど吸収し
ない範囲内の波長をλ0とするときに、上記第１の層４
１は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．
５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第２の層４２
は、上記基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２
５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第３の層４３
は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．２
５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第４の層４４
は、上記基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２
５λ0の光学的厚さを備え、上記第５の層４５は、上記
基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．２５λ0の
光学的厚さを備えるものである。
【００５１】また、第１の層４１、第３の層４３、及び
第５の層４５は二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）から成り、第
２の層４２及び第４の層４４はインジウム錫酸化物（Ｉ
ＴＯ）又は含アルミニウム酸化亜鉛から成る透明導電
膜、即ち導電層である。
第５の層４５は二酸化ケイ素（ＳｉＯ2）から成り、第
２の層４２及び第４の層４４はインジウム錫酸化物（Ｉ
ＴＯ）又は含アルミニウム酸化亜鉛から成る透明導電
膜、即ち導電層である。
【００５２】また、この反射防止コーティング４０は、
基材としてプラスチックフィルムを用いた場合に用いら
れるものであり、具体的にはＰＥＴフィルム１３を用い
ている。
基材としてプラスチックフィルムを用いた場合に用いら
れるものであり、具体的にはＰＥＴフィルム１３を用い
ている。
【００５３】ここで、基材としてＰＥＴフィルム１３を
用いたときの、反射防止コーティングを構成する各層の
屈折率及び光学的厚さの概略的な値を表５に示す。
用いたときの、反射防止コーティングを構成する各層の
屈折率及び光学的厚さの概略的な値を表５に示す。
【００５４】
【表５】
【００５５】表５においては、基材であるＰＥＴフィル
ムの屈折率を１．６としている。
ムの屈折率を１．６としている。
【００５６】また、反射防止コーティングを構成する材
料が光をほとんど吸収しない範囲の波長を参照波長λ0
とし、この参照波長λ0を４５０〜６５０ｎｍの間の波
長としている。表５に示す屈折率は上記参照波長λ0に
おける屈折率を示す。
料が光をほとんど吸収しない範囲の波長を参照波長λ0
とし、この参照波長λ0を４５０〜６５０ｎｍの間の波
長としている。表５に示す屈折率は上記参照波長λ0に
おける屈折率を示す。
【００５７】次に、表５に示した各層の屈折率及び光学
的厚さの値を満たす反射防止コーティングの各層の屈折
率及び光学的厚さの典型的な値を表６に示す。
的厚さの値を満たす反射防止コーティングの各層の屈折
率及び光学的厚さの典型的な値を表６に示す。
【００５８】
【表６】
【００５９】尚、表６に示す値も、表５に示した値を得
る条件と同様の条件で得たものである。
る条件と同様の条件で得たものである。
【００６０】このように、この他の実施例の反射防止コ
ーティングは、従来の反射防止コーティングにおいて形
成されていた高い屈折率のＴｉＯ2から成る層を含んで
おらず、高い屈折率ではない２つの材料のみを用いて形
成される。
ーティングは、従来の反射防止コーティングにおいて形
成されていた高い屈折率のＴｉＯ2から成る層を含んで
おらず、高い屈折率ではない２つの材料のみを用いて形
成される。
【００６１】また、屈折率が１．６３のＰＥＴフィルム
１３上に、この他の実施例の反射防止コーティングを形
成したときの波長に対する理論的な反射率は図６に示す
ものとなる。
１３上に、この他の実施例の反射防止コーティングを形
成したときの波長に対する理論的な反射率は図６に示す
ものとなる。
【００６２】図６における曲線Ｂは、反射防止コーティ
ングの波長に対する反射率の典型的な値を示すものであ
り、曲線Ａ及び曲線Ｃは、反射防止コーティングの波長
に対する反射率の上限値及び下限値を示すものである。
これらは、反射防止コーティングの各層の厚さを、標準
偏差σが２％の値をもつガウス分布において、ランダム
に１００回変化させたときの上限値及び下限値である。
ングの波長に対する反射率の典型的な値を示すものであ
り、曲線Ａ及び曲線Ｃは、反射防止コーティングの波長
に対する反射率の上限値及び下限値を示すものである。
これらは、反射防止コーティングの各層の厚さを、標準
偏差σが２％の値をもつガウス分布において、ランダム
に１００回変化させたときの上限値及び下限値である。
【００６３】さらに、具体的に、屈折率が１．６３のＰ
ＥＴフィルム１３上に上記反射防止コーティングを形成
したときの波長に対する反射率の測定値は図７に示すも
のとなる。この測定値は、分光光度計で測定したもので
ある。この反射率は、参照用ＢＫ７ガラスを用いて１５
度の範囲の鏡面反射体で測定したものである。この参照
用ＢＫ７ガラス及びサンプルのＰＥＴフィルムには、背
面からの反射を防止するため、背面には屈折率が調整さ
れた黒色塗料が塗られている。尚、測定値の推測される
正確さは＋０．１〜−０．１％である。
ＥＴフィルム１３上に上記反射防止コーティングを形成
したときの波長に対する反射率の測定値は図７に示すも
のとなる。この測定値は、分光光度計で測定したもので
ある。この反射率は、参照用ＢＫ７ガラスを用いて１５
度の範囲の鏡面反射体で測定したものである。この参照
用ＢＫ７ガラス及びサンプルのＰＥＴフィルムには、背
面からの反射を防止するため、背面には屈折率が調整さ
れた黒色塗料が塗られている。尚、測定値の推測される
正確さは＋０．１〜−０．１％である。
【００６４】この他の実施例の反射防止コーティング
は、波長４３０〜６５０ｎｍまでの理論的な平均値とし
て、ＣＲＴスクリーンからの反射を４．５９％から０．
２２％まで減少させることができる。即ち、ＣＲＴスク
リーンの反射を約１／２１にすることができる。
は、波長４３０〜６５０ｎｍまでの理論的な平均値とし
て、ＣＲＴスクリーンからの反射を４．５９％から０．
２２％まで減少させることができる。即ち、ＣＲＴスク
リーンの反射を約１／２１にすることができる。
【００６５】また、このＰＥＴフィルムの導電性はＩＴ
Ｏの導電性と厚さとに依存する。適切な導電性を保証す
るためには、上記反射防止コーティングの第２の層及び
第４の層を形成するＩＴＯをできるだけ厚く形成する。
導電層を形成するＩＴＯが、４×１０-4Ωｃｍの最良の
導電性をもつときには、反射防止コーティングの導電性
は４４Ω／□であり、９×１０-4Ωｃｍの最悪の導電性
をもつときには、反射防止コーティングの導電性は１０
０Ω／□である。どちらの場合にも、電磁的な放射及び
静電気を制限するための典型的な値である５００Ω／□
よりも良い値をもつ。
Ｏの導電性と厚さとに依存する。適切な導電性を保証す
るためには、上記反射防止コーティングの第２の層及び
第４の層を形成するＩＴＯをできるだけ厚く形成する。
導電層を形成するＩＴＯが、４×１０-4Ωｃｍの最良の
導電性をもつときには、反射防止コーティングの導電性
は４４Ω／□であり、９×１０-4Ωｃｍの最悪の導電性
をもつときには、反射防止コーティングの導電性は１０
０Ω／□である。どちらの場合にも、電磁的な放射及び
静電気を制限するための典型的な値である５００Ω／□
よりも良い値をもつ。
【００６６】また、ＴｉＯ2のような高い屈折率の材料
のスパッタ生成レートは非常に遅いので、この反射防止
コーティングでは高い屈折率の材料は使用されず、低コ
ストで大量に製造を行うことが可能となる。また、通
常、スパッタされ、恒久性のある物質であるＳｉＯ2、
ＩＴＯの２種類のみの材料で形成されるので、カソード
の数を減らすことができ、典型的な広帯域の導電性の反
射防止コーティングよりも形成することが容易である。
のスパッタ生成レートは非常に遅いので、この反射防止
コーティングでは高い屈折率の材料は使用されず、低コ
ストで大量に製造を行うことが可能となる。また、通
常、スパッタされ、恒久性のある物質であるＳｉＯ2、
ＩＴＯの２種類のみの材料で形成されるので、カソード
の数を減らすことができ、典型的な広帯域の導電性の反
射防止コーティングよりも形成することが容易である。
【００６７】また、ハードコート１４をプラスチックフ
ィルム上に用いるときに、ハードコート１４の屈折率は
プラスチックフィルムの屈折率よりも小さくなることが
ある。これは、反射防止コーティングが施されたＰＥＴ
フィルム１３にリップルを加える薄膜干渉効果を生成す
る。このリップルは、低い反射を得るために最小にされ
なければならない。この他の実施例の反射防止コーティ
ングは、このような状況に適合するために考えられたも
のである。即ち、第１の層の厚さを減少すること及び第
１の層以外の他の層の厚さをできるだけ最適化すること
によって、ハードコート１４の効果を明らかに減少させ
ることができる。この２つの材料から成る反射防止コー
ティングは、特にハードコート１４のリップル効果の影
響を受けることはない。
ィルム上に用いるときに、ハードコート１４の屈折率は
プラスチックフィルムの屈折率よりも小さくなることが
ある。これは、反射防止コーティングが施されたＰＥＴ
フィルム１３にリップルを加える薄膜干渉効果を生成す
る。このリップルは、低い反射を得るために最小にされ
なければならない。この他の実施例の反射防止コーティ
ングは、このような状況に適合するために考えられたも
のである。即ち、第１の層の厚さを減少すること及び第
１の層以外の他の層の厚さをできるだけ最適化すること
によって、ハードコート１４の効果を明らかに減少させ
ることができる。この２つの材料から成る反射防止コー
ティングは、特にハードコート１４のリップル効果の影
響を受けることはない。
【００６８】
【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明に係る反射防止コーティングは、４つの隣接した層か
ら成り、上記各層は基材に最も近い層から順に第１の
層、第２の層、第３の層、及び第４の層として構成さ
れ、上記反射防止コーティングを構成する材料が光をほ
とんど吸収しない範囲内の波長をλ0とするときに、上
記第１の層は、上記基材の屈折率より小さい屈折率及び
略０．５λ0の光学的厚さを備え、上記第２の層は、上
記第３の層の屈折率より小さい屈折率及び略０．２５λ
0より大きい光学的厚さを備え、上記第３の層は、略
２．２より大きい屈折率及び略０．２５λ0より小さい
光学的厚さを備え、上記第４の層は、上記基材の屈折率
より小さい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備
えることにより、導電性が高く、また、従来の反射防止
コーティングよりも容易に形成することができるので、
低コストで、迅速に大量な製造を行うことが可能とな
る。
明に係る反射防止コーティングは、４つの隣接した層か
ら成り、上記各層は基材に最も近い層から順に第１の
層、第２の層、第３の層、及び第４の層として構成さ
れ、上記反射防止コーティングを構成する材料が光をほ
とんど吸収しない範囲内の波長をλ0とするときに、上
記第１の層は、上記基材の屈折率より小さい屈折率及び
略０．５λ0の光学的厚さを備え、上記第２の層は、上
記第３の層の屈折率より小さい屈折率及び略０．２５λ
0より大きい光学的厚さを備え、上記第３の層は、略
２．２より大きい屈折率及び略０．２５λ0より小さい
光学的厚さを備え、上記第４の層は、上記基材の屈折率
より小さい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備
えることにより、導電性が高く、また、従来の反射防止
コーティングよりも容易に形成することができるので、
低コストで、迅速に大量な製造を行うことが可能とな
る。
【００６９】また、本発明に係る反射防止コーティング
は、５つの隣接した層から成り、上記各層は基材に最も
近い層から順に第１の層、第２の層、第３の層、第４の
層、及び第５の層として構成され、上記反射防止コーテ
ィングを構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、上記第１の層は、上記基材
の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．５λ0より小さ
い光学的厚さを備え、上記第２の層は、上記基材の屈折
率よりも大きい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光
学的厚さを備え、上記第３の層は、上記基材の屈折率よ
りも小さい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光学的
厚さを備え、上記第４の層は、上記基材の屈折率よりも
大きい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備え、
上記第５の層は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率
及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えることにより、
導電性が高く、また、従来の反射防止コーティングより
も容易に形成することができるので、低コストで、迅速
に大量な製造を行うことが可能となる。
は、５つの隣接した層から成り、上記各層は基材に最も
近い層から順に第１の層、第２の層、第３の層、第４の
層、及び第５の層として構成され、上記反射防止コーテ
ィングを構成する材料が光をほとんど吸収しない範囲内
の波長をλ0とするときに、上記第１の層は、上記基材
の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．５λ0より小さ
い光学的厚さを備え、上記第２の層は、上記基材の屈折
率よりも大きい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光
学的厚さを備え、上記第３の層は、上記基材の屈折率よ
りも小さい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光学的
厚さを備え、上記第４の層は、上記基材の屈折率よりも
大きい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備え、
上記第５の層は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率
及び略０．２５λ0の光学的厚さを備えることにより、
導電性が高く、また、従来の反射防止コーティングより
も容易に形成することができるので、低コストで、迅速
に大量な製造を行うことが可能となる。
【図１】本発明に係る反射防止コーティングの概略的な
断面図である。
断面図である。
【図２】図１の反射防止コーティングの反射率の理論値
を示す図である。
を示す図である。
【図３】図１の反射防止コーティングの反射率の測定値
を示す図である。
を示す図である。
【図４】反射防止コーティングの導通を説明するための
図である。
図である。
【図５】本発明に係る反射防止コーティングの他の実施
例の断面図である。
例の断面図である。
【図６】図５の反射防止コーティングの反射率の理論値
を示す図である。
を示す図である。
【図７】図５の反射防止コーティングの反射率の測定値
を示す図である。
を示す図である。
【符号の説明】 １、４１ 第１の層 ２、４２ 第２の層 ３、４３ 第３の層 ４、４４ 第４の層 ５、４５ 第５の層 １０、４０ 反射防止コーティング
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２３Ｃ 14/06 Ｃ２３Ｃ 14/06 Ｒ
Claims (17)
- 【請求項１】 基材のための反射防止コーティングであ
って、 ４つの隣接した層から成り、 上記各層は上記基材に最も近い層から順に第１の層、第
２の層、第３の層、及び第４の層として構成され、 上記反射防止コーティングを構成する材料が光をほとん
ど吸収しない範囲内の波長をλ0とするときに、上記第
１の層は、上記基材の屈折率より小さい屈折率及び略
０．５λ0の光学的厚さを備え、上記第２の層は、上記
第３の層の屈折率より小さい屈折率及び略０．２５λ0
より大きい光学的厚さを備え、上記第３の層は、略２．
２より大きい屈折率及び略０．２５λ0より小さい光学
的厚さを備え、上記第４の層は、上記基材の屈折率より
小さい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを備える
ことを特徴とする反射防止コーティング。 - 【請求項２】 上記第２の層は、透明導電膜であること
を特徴とする請求項１記載の反射防止コーティング。 - 【請求項３】 上記基材はプラスチックフィルムから成
ることを特徴とする請求項１記載の反射防止コーティン
グ。 - 【請求項４】 上記基材はポリエチエンテレフタレート
フィルムから成ることを特徴とする請求項３記載の反射
防止コーティング。 - 【請求項５】 上記波長λ0は４５０〜６５０ｎｍの間
の波長であることを特徴とする請求項１記載の反射防止
コーティング。 - 【請求項６】 上記第２の層は、インジウム錫酸化物又
は含アルミニウム酸化亜鉛から成ることを特徴とする請
求項１記載の反射防止コーティング。 - 【請求項７】 上記第１の層及び第４の層は、二酸化ケ
イ素から成ることを特徴とする請求項１記載の反射防止
コーティング。 - 【請求項８】 上記第３の層は、二酸化チタンから成る
ことを特徴とする請求項１記載の反射防止コーティン
グ。 - 【請求項９】 基材のための反射防止コーティングであ
って、 ５つの隣接した層から成り、 上記各層は上記基材に最も近い層から順に第１の層、第
２の層、第３の層、第４の層、及び第５の層として構成
され、 上記反射防止コーティングを構成する材料が光をほとん
ど吸収しない範囲内の波長をλ0とするときに、上記第
１の層は、上記基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略
０．５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第２の層
は、上記基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２
５λ0より小さい光学的厚さを備え、上記第３の層は、
上記基材の屈折率よりも小さい屈折率及び略０．２５λ
0より小さい光学的厚さを備え、上記第４の層は、上記
基材の屈折率よりも大きい屈折率及び略０．２５λ0の
光学的厚さを備え、上記第５の層は、上記基材の屈折率
よりも小さい屈折率及び略０．２５λ0の光学的厚さを
備えることを特徴とする反射防止コーティング。 - 【請求項１０】 上記第２の層は、透明導電膜であるこ
とを特徴とする請求項９記載の反射防止コーティング。 - 【請求項１１】 上記第４の層は、透明導電膜であるこ
とを特徴とする請求項９記載の反射防止コーティング。 - 【請求項１２】 上記基材はプラスチックフィルムから
成ることを特徴とする請求項９記載の反射防止コーティ
ング。 - 【請求項１３】 上記基材はポリエチエンテレフタレー
トフィルムから成ることを特徴とする請求項１２記載の
反射防止コーティング。 - 【請求項１４】 上記波長λ0は４５０〜６５０ｎｍの
間の波長であることを特徴とする請求項９記載の反射防
止コーティング。 - 【請求項１５】 上記第２の層は、インジウム錫酸化物
又は含アルミニウム酸化亜鉛から成ることを特徴とする
請求項９記載の反射防止コーティング。 - 【請求項１６】 上記第４の層は、インジウム錫酸化物
又は含アルミニウム酸化亜鉛から成ることを特徴とする
請求項９記載の反射防止コーティング。 - 【請求項１７】 上記第１の層、第３の層、及び第５の
層は、二酸化ケイ素から成ることを特徴とする請求項９
記載の反射防止コーティング。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7114374A JPH08304602A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 反射防止コーティング |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7114374A JPH08304602A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 反射防止コーティング |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08304602A true JPH08304602A (ja) | 1996-11-22 |
Family
ID=14636101
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7114374A Withdrawn JPH08304602A (ja) | 1995-05-12 | 1995-05-12 | 反射防止コーティング |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08304602A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997026566A1 (fr) * | 1996-01-18 | 1997-07-24 | Toyo Metallizing Co., Ltd. | Article optique en plastique a film anti-reflet multicouches |
| US5875756A (en) * | 1996-08-28 | 1999-03-02 | Mitsubishi Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Ignition timing control system for in-cylinder injection internal combustion engine |
| JP2007182024A (ja) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Kitagawa Ind Co Ltd | 防眩フィルム |
-
1995
- 1995-05-12 JP JP7114374A patent/JPH08304602A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1997026566A1 (fr) * | 1996-01-18 | 1997-07-24 | Toyo Metallizing Co., Ltd. | Article optique en plastique a film anti-reflet multicouches |
| US5875756A (en) * | 1996-08-28 | 1999-03-02 | Mitsubishi Jidosha Kogyo Kabushiki Kaisha | Ignition timing control system for in-cylinder injection internal combustion engine |
| JP2007182024A (ja) * | 2006-01-10 | 2007-07-19 | Kitagawa Ind Co Ltd | 防眩フィルム |
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