JPH0830816B2 - 液晶表示装置の端子構造 - Google Patents
液晶表示装置の端子構造Info
- Publication number
- JPH0830816B2 JPH0830816B2 JP62168176A JP16817687A JPH0830816B2 JP H0830816 B2 JPH0830816 B2 JP H0830816B2 JP 62168176 A JP62168176 A JP 62168176A JP 16817687 A JP16817687 A JP 16817687A JP H0830816 B2 JPH0830816 B2 JP H0830816B2
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- JP
- Japan
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- liquid crystal
- terminal
- crystal display
- substrate
- terminal structure
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- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マトリクス状または類似の多数の画素を有
し、一方の基板に各画素に対応してMIM素子を配置する
液晶表示装置に関する。本発明は特に、MIM素子液晶表
示装置の製造工程を合理化する電極端子形状に関する。
し、一方の基板に各画素に対応してMIM素子を配置する
液晶表示装置に関する。本発明は特に、MIM素子液晶表
示装置の製造工程を合理化する電極端子形状に関する。
〔従来の技術〕 MIM素子は、金属（Metal）−絶縁物（Insulator）−
金属（Metal）の略で、非線形な電圧電流特性を示す物
質構造である。具体的にはTa−TaOx−Cr,Ta−TaOx−Ta,
Al−AlOx−Al等が使用される。この素子は、低電圧で高
抵抗、高電圧で低抵抗であり、スイッチング特性をも
ち、これを液晶表示装置内の各画素に配置することによ
り、各画素を準独立に制御・駆動することができる。少
なくとも、200×200画素以上の高密度マトリクス画面を
達成でき、キャラクターディスプレイ、TV画像表示等に
応用できるものである。
金属（Metal）の略で、非線形な電圧電流特性を示す物
質構造である。具体的にはTa−TaOx−Cr,Ta−TaOx−Ta,
Al−AlOx−Al等が使用される。この素子は、低電圧で高
抵抗、高電圧で低抵抗であり、スイッチング特性をも
ち、これを液晶表示装置内の各画素に配置することによ
り、各画素を準独立に制御・駆動することができる。少
なくとも、200×200画素以上の高密度マトリクス画面を
達成でき、キャラクターディスプレイ、TV画像表示等に
応用できるものである。
MIM素子の重要部分である、TaOxは、通常はTaを陽極
酸化することによって得られる。第３図に、MIM素子を
表示装置に配置した部分と、端子についての平面図を示
す。TaOxとTaは同一の平面的パターンであるが、陽極酸
化された部分の表面がTaOxとなる。MIM素子部33の下側
はTaで、表面はTaOxであり、Cr等による結合電極32が交
差し、MIM素子を形成する。さらに結合電極32はITO等の
画素電極31と結線される。画素電極31と、この対面に配
置される対向電極の間に、適当なる液晶層があり、表示
画素となる。
酸化することによって得られる。第３図に、MIM素子を
表示装置に配置した部分と、端子についての平面図を示
す。TaOxとTaは同一の平面的パターンであるが、陽極酸
化された部分の表面がTaOxとなる。MIM素子部33の下側
はTaで、表面はTaOxであり、Cr等による結合電極32が交
差し、MIM素子を形成する。さらに結合電極32はITO等の
画素電極31と結線される。画素電極31と、この対面に配
置される対向電極の間に、適当なる液晶層があり、表示
画素となる。
陽極酸化はTaのパターニングされた基板を、クエン酸
溶液等に浸し、他に陰極板を配置し、Taと陰極板の間に
約30Vの電圧を印加することによって得られる。通常
は、この工程段階では、Taパターンは全て結合されてお
り、一回の陽極酸化で終了させる。最終工程でガラス基
板をカッティングすることによって各端子毎に分離し完
了する。
溶液等に浸し、他に陰極板を配置し、Taと陰極板の間に
約30Vの電圧を印加することによって得られる。通常
は、この工程段階では、Taパターンは全て結合されてお
り、一回の陽極酸化で終了させる。最終工程でガラス基
板をカッティングすることによって各端子毎に分離し完
了する。
また、工程合理化のため、一枚の比較的大きな基板に
複数個の単位基板を配置し、最終工程でカッティングし
切り離す方法が採用される。この場合は、当然ながら、
単位基板の切り離しと各端子の切離しは同時に可能なパ
ターンとする。また、大基板のTaの線は、全部結合され
ているパターンにして、陽極酸化工程の合理化も実施さ
れている。大基板に配置される単位基板の数は４〜９個
が取扱い上は良く、採用されている。第４図には４個配
置の模式図を示す。数の省略されたTa線と、周囲のTa面
を表わす。単位基板41,42,43,44のTa線は、すべて一本
のTaパターンとなっている。破線は、カッティングの線
を示している。この例で示されているが、単位基板の端
子引出しは両側に実施されている。これは両側に引出す
ことで、端子間隔が広くとれ、製造上有利となるためで
ある。
複数個の単位基板を配置し、最終工程でカッティングし
切り離す方法が採用される。この場合は、当然ながら、
単位基板の切り離しと各端子の切離しは同時に可能なパ
ターンとする。また、大基板のTaの線は、全部結合され
ているパターンにして、陽極酸化工程の合理化も実施さ
れている。大基板に配置される単位基板の数は４〜９個
が取扱い上は良く、採用されている。第４図には４個配
置の模式図を示す。数の省略されたTa線と、周囲のTa面
を表わす。単位基板41,42,43,44のTa線は、すべて一本
のTaパターンとなっている。破線は、カッティングの線
を示している。この例で示されているが、単位基板の端
子引出しは両側に実施されている。これは両側に引出す
ことで、端子間隔が広くとれ、製造上有利となるためで
ある。
第４図の中央部の基板41と42の間、あるいは43と44の
間の部分を拡大したのが、第５図である。縦線51はその
左右の端子部に連らなるTa線の陽極酸化を実施させるた
めの結合線である。この線巾は陽極酸化を確実に行なう
ため数十μｍ以上は必要である。破線で狭まれる部分は
カッティングにより切り落とす部分である。この場合、
スクライバー装置によりカッティングは、細い切込み線
を入れて割る方法であるので、結合線51は必ずどちらか
に残存し、採用することができない。高速回転の砥石に
よるダイシング法では一定巾で切り落とすことができる
ので、この場合には有効となる。
間の部分を拡大したのが、第５図である。縦線51はその
左右の端子部に連らなるTa線の陽極酸化を実施させるた
めの結合線である。この線巾は陽極酸化を確実に行なう
ため数十μｍ以上は必要である。破線で狭まれる部分は
カッティングにより切り落とす部分である。この場合、
スクライバー装置によりカッティングは、細い切込み線
を入れて割る方法であるので、結合線51は必ずどちらか
に残存し、採用することができない。高速回転の砥石に
よるダイシング法では一定巾で切り落とすことができる
ので、この場合には有効となる。
従来は、ダイシング法により切り落としを行なってい
たが、スクライブ法よりも、処理能力が悪かった。
たが、スクライブ法よりも、処理能力が悪かった。
本発明は、MIM素子液晶表示装置の製造工程におい
て、大基板から単位基板を切り離す場合にスクライブ法
により可能となる、基板上の電極端子形状を提供するこ
とを目的としている。
て、大基板から単位基板を切り離す場合にスクライブ法
により可能となる、基板上の電極端子形状を提供するこ
とを目的としている。
スクライブ法を全面的に取入れることにより、工程能
力を向上させることができる。
力を向上させることができる。
本発明の液晶表示装置の端子構造は、一対の基板間に
液晶を挾持し、前記一対の基板のうち一方の基板上には
複数の信号電極が形成されてなる液晶表示装置の端子構
造であって、前記一方の基板上の前記信号電極終端の端
子部はへこみを有し、前記へこみは前記電極端子の長さ
方向に対し平行に形成され、かつ前記電極端子の幅方向
の中央部に位置することを特徴とする。
液晶を挾持し、前記一対の基板のうち一方の基板上には
複数の信号電極が形成されてなる液晶表示装置の端子構
造であって、前記一方の基板上の前記信号電極終端の端
子部はへこみを有し、前記へこみは前記電極端子の長さ
方向に対し平行に形成され、かつ前記電極端子の幅方向
の中央部に位置することを特徴とする。
第１図に本発明の実施例を示す。２つの電極端子を代
表的に示す。右側の破線は基板の外形線である。これは
右端の部分であり、左端では対称な形状となる。寸法
（ａ＋ｂ）は端子配置のピッチとなり、ａは端子巾であ
り、ｂは端子間巾である。端子間巾と同一寸法のへこみ
部分11を端子パターンに有する。寸法ｃはへこみ部分11
の長さである。
表的に示す。右側の破線は基板の外形線である。これは
右端の部分であり、左端では対称な形状となる。寸法
（ａ＋ｂ）は端子配置のピッチとなり、ａは端子巾であ
り、ｂは端子間巾である。端子間巾と同一寸法のへこみ
部分11を端子パターンに有する。寸法ｃはへこみ部分11
の長さである。
第２図は、２個の単位基板が結合した様子を示したも
のである。破線はカッティングの線、すなわちスクライ
ブ線である。左右の端子は半ピッチずれた状態で結合
し、結果として上から下までTa結は一本に結線されてい
る。しかも細いスクライブ線によってカッティングして
も、余分なTa線は残ることはない。
のである。破線はカッティングの線、すなわちスクライ
ブ線である。左右の端子は半ピッチずれた状態で結合
し、結果として上から下までTa結は一本に結線されてい
る。しかも細いスクライブ線によってカッティングして
も、余分なTa線は残ることはない。
以上説明した通り、本発明の液晶表示装置の端子構造
は、一対の基板間に液晶を挾持し、前記一対の基板のう
ち一方の基板上には複数の信号電極が形成されてなる液
晶表示装置の端子構造であって、前記一方の基板上の前
記信号電極終端の端子部はへこみを有し、前記へこみは
前記電極端子の長さ方向に対し平行に形成され、かつ前
記電極端子の幅方向の中央部に位置することにより、大
基板に複数個の単位基板を配置し、一度にTa線を陽極酸
化することができ、さらにスクライブにより簡単に切り
離しの可能な、MIM素子基板の製法を確保できる。
は、一対の基板間に液晶を挾持し、前記一対の基板のう
ち一方の基板上には複数の信号電極が形成されてなる液
晶表示装置の端子構造であって、前記一方の基板上の前
記信号電極終端の端子部はへこみを有し、前記へこみは
前記電極端子の長さ方向に対し平行に形成され、かつ前
記電極端子の幅方向の中央部に位置することにより、大
基板に複数個の単位基板を配置し、一度にTa線を陽極酸
化することができ、さらにスクライブにより簡単に切り
離しの可能な、MIM素子基板の製法を確保できる。
すなわち、MIM素子基板の製造コストを低くおさえる
ことができる。
ことができる。
第１図は本発明の実施例の電極端子形状を示す図。第
２図は実施例の説明図。第３図は従来のMIM素子と端子
の配置列を示す図。第４図は大基板に配置された基板の
説明図を示す。第５図は従来の基板の電極端子部の説明
図。
２図は実施例の説明図。第３図は従来のMIM素子と端子
の配置列を示す図。第４図は大基板に配置された基板の
説明図を示す。第５図は従来の基板の電極端子部の説明
図。
Claims (1)
- 【請求項１】一対の基板間に液晶を挾持し、前記一対の
基板のうち一方の基板上には複数の信号電極が形成され
てなる液晶表示装置の端子構造であって、前記一方の基
板上の前記信号電極終端の端子部はへこみを有し、前記
へこみは前記電極端子の長さ方向に対し平行に形成さ
れ、かつ前記電極端子の幅方向の中央部に位置すること
を特徴とする液晶表示装置の端子構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62168176A JPH0830816B2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | 液晶表示装置の端子構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62168176A JPH0830816B2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | 液晶表示装置の端子構造 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7027997A Division JP2737758B2 (ja) | 1997-03-24 | 1997-03-24 | 液晶表示装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6413120A JPS6413120A (en) | 1989-01-18 |
| JPH0830816B2 true JPH0830816B2 (ja) | 1996-03-27 |
Family
ID=15863203
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62168176A Expired - Lifetime JPH0830816B2 (ja) | 1987-07-06 | 1987-07-06 | 液晶表示装置の端子構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0830816B2 (ja) |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63180935A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-26 | Hitachi Ltd | 薄膜トランジスタ液晶表示装置 |
-
1987
- 1987-07-06 JP JP62168176A patent/JPH0830816B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6413120A (en) | 1989-01-18 |
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