JPH0831021A - 光記録媒体用スタンパーの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 レプリカをオリジナル型から剥離するとき、
静電気の帯電を防止できゴミ、粉じん等の付着を低減
し、レプリカ表面のゴミ、キズ等の欠陥検査が容易で、
生産性良く光記録媒体用スタンパーを製造する方法を提
供する。 【構成】 オリジナル型１のプリフォーマット面２を転
写してレプリカ１０を作製し、これに電鋳して光記録媒
体用スタンパーを製造する方法において、オリジナル型
１のプリフォーマット面２に金属薄膜層８を形成した
後、レプリカ１０を作製し、レプリカ１０のプリフォー
マット転写面に前記金属薄膜層８を同時に転写する光記
録媒体用スタンパーの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、光記録媒体用基板の製
造に用いるスタンパーの製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来より光記録媒体用基板の製造方法
は、その代表的な方法として、電鋳法によってスタンパ
ーを作成し、このスタンパーを用いてコンプレッシヨン
法、光硬化性樹脂を用いた２Ｐ成形法、押し出し成形法
等により基板を作成している。

【０００３】上記のスタンパーは、表面上にプリフォー
マットを有するオリジナル型のプリフォーマット面を転
写したレプリカを形成してスタンパー用原盤を作製し、
そのスタンパー用原盤上にスパッタリング等により導電
性の金属薄膜を形成し、該金属薄膜を介して電鋳膜を形
成し、レプリカから剥離することによって作成する方法
が一般的である。

【０００４】そして、オリジナル型から、複製型いわゆ
るレプリカを作製する方法として、オリジナル型のプリ
フォーマット面に未硬化の光硬化性樹脂［以下２Ｐ（ｐ
ｈｏｔｏ ｐｏＩｙｍｅｒ）と略す］を滴下（以下、デ
ィスペンスと称す）し、ガラスあるいはプラスチック基
板と重ね合わせ、展伸（以下、スプレッドと称す）させ
た後、２Ｐを硬化させる方法や、オリジナル型とあらか
じめ注入口を設けたガラスあるいはプラスチック基板を
スペーサを介して対向させた後、未硬化の２Ｐを注入口
より注入して２Ｐを硬化させる方法が知られている。

【０００５】図４は従来のスタンパーの製造方法を示す
工程図である。同図に示す様に、従来のスタンパーの製
造方法においては、オリジナル型１とあらかじめ注入口
を設けたガラス原盤３をスペーサ材６を介して対向させ
て注形成形型を作成した後、未硬化２Ｐ樹脂４を注入口
より注入し、ＵＶ光７を照射して２Ｐを硬化させ、その
後脱型して２Ｐレプリカ原盤１０を作製する。次に、パ
ターニングされた２Ｐレプリカ上に導電化処理のために
金属をスパッターして金属薄膜層８を設ける。次に、こ
の金属薄膜層８上に電鋳によって電鋳膜９を設ける。次
に、スタンパーの厚みを一定にするために電鋳膜の裏面
（プリフォーマットのない面）を必要に応じて研磨加工
した後、レプリカから剥離してスタンパー１１を得る。

【０００６】このスタンパーを用いて光記録媒体用基板
を製造するためにはスタンパーの高精度が要求され、そ
のために、レプリカ形成工程、スパッタ工程、電鋳工程
の各工程でゴミ、キズ等の発生を防がなければならな
い。また、各工程ごとに欠陥検査を行ない、良品、不良
品の振り分けをなるべく早い段階（製造工程の上流）で
行わなければならない。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例では２Ｐレプリカの作製のときに、次のような欠
点があった。 （１）２Ｐ硬化後、オリジナル型から剥離するときに静
電気が発生し、ゴミや粉じんが２Ｐ面に付着してしま
う。 （２）２Ｐ樹脂は通常無色透明であるので、２Ｐレプリ
カのゴミ、キズ等の欠陥検査が非常に行ないにくい。同
じ理由でスパッタ工程の前検査も非常に行ないにくい。 （３）（１）、（２）の欠点により、スタンパーの製造
効率が悪化し、さらに、最終的な歩留りも低下する。

【０００８】本発明は、この様な従来技術の欠点を改善
するためになされたものであり、オリジナル型のプリフ
ォーマット面に金属薄膜層を形成し、レプリカの作製時
に、プリフォーマット転写面に金属薄膜層も同時に転写
させることにより、レプリカをオリジナル型から剥離す
るとき、静電気の帯電を防止できゴミ、粉じん等の付着
を低減し、さらにレプリカ表面が金属層であるためゴ
ミ、キズ等の欠陥検査が容易で、生産性良く光記録媒体
用スタンパーを製造する方法を提供することを目的とす
るものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】即ち、本発明は、オリジ
ナル型のプリフォーマット面を転写してレプリカを作製
し、これに電鋳して光記録媒体用スタンパーを製造する
方法において、オリジナル型のプリフォーマット面に金
属薄膜層を形成した後、レプリカを作製し、レプリカの
プリフォーマット転写面に前記金属薄膜層を同時に転写
することを特徴とする光記録媒体用スタンパーの製造方
法である。

【００１０】以下、本発明を詳細に説明する。本発明
は、プリフォーマットを有するオリジナル型のレプリカ
を作製し、このレプリカに電鋳してスタンパーを製造す
る工程において、レプリカを作製する前に、あらかじめ
オリジナル型のプリフォーマットを有する面にスパッタ
リング等により金属薄膜層を形成してレプリカを作製
し、レプリカのプリフォーマット転写面に前記金属薄膜
層も同時に転写させることにより、レプリカのプリフォ
ーマット転写面は金属薄膜層で覆われた状態となる。こ
のようにレプリカのプリフォーマット転写面に金属薄膜
層を形成することにより、レプリカをオリジナル型から
剥離するとき、静電気による帯電を防止でき、そのため
にゴミ等の付着も低減できる。さらに、金属薄膜層が不
透明であるためにゴミ、キズ等の欠陥検査がスムーズに
できるようになり検査効率の向上につながり、最終的な
歩留りも向上する。

【００１１】次に、図面に基づいて本発明を説明する。
図１は本発明の光記録媒体用スタンパーの製造方法の一
例を示す工程図である。

【００１２】同図において、本発明の光記録媒体用スタ
ンパーの製造方法は、まずプリフォーマットを有するオ
リジナル型１にスパッターあるいは蒸着により金属薄膜
層８を設ける。このとき用いる金属は、特に制限はない
が、例えばニッケル、銀、銅が適当である。金属薄膜層
の膜厚は、その表面のプリフォーマット寸法が直接光記
録媒体の基板の寸法・形状となるため、オリジナル型の
プリフォーマットの寸法に合わせて膜厚を設定しなけれ
ばならない。通常５００〜５０００Åが適切な膜厚であ
る。このオリジナル型１にスペーサ材６を介してガラス
原盤３を対向せしめ、未硬化２Ｐ樹脂４を注入（注入
法）したのち、ＵＶ光７を照射して硬化２Ｐ樹脂５を得
る（図１（ａ），（ｂ）参照）。

【００１３】未硬化２Ｐ樹脂の充填は、オリジナル型１
上に一定量の未硬化２Ｐ樹脂をディスペンスしたのちガ
ラス原盤３を重ね合わせてスプレッドするディスペンス
法でもよい。

【００１４】次に、硬化２Ｐ樹脂５をオリジナル型１か
ら剥離して、２Ｐレプリカ原盤１０を得る（図１（ｃ）
参照）。このとき、オリジナル型１の表面上に設けられ
た金属薄膜層８は、完全に硬化２Ｐ樹脂５の表面に転写
される。

【００１５】この２Ｐ原盤１０に電鋳法により電鋳膜９
を設け（図１（ｄ）参照）た後、必要に応じて電鋳膜の
裏面を研磨加工して、２Ｐレプリカ原盤１０から金属薄
膜層８と電鋳膜９を剥離することにより金属スタンパー
１１を得る（図１（ｅ）参照）。

【００１６】電鋳膜９には、特に制限はなく一般に用い
られているものでよいが、例えば作り易さや表面硬度等
の点からニッケルが用いられる。

【００１７】

【実施例】以下に実施例を挙げて本発明を具体的に説明
する。

【００１８】実施例１ 図１〜３に示す方法により光記録媒体用スタンパーを製
造した。鏡面を有する、たて３００×よこ３００ｍｍ、
厚さ１０ｍｍのガラスの板の上にスパッタリング法によ
りクロム膜を形成した。このクロム膜をフォトリソ法に
よりパターニングし、トラックピッチ１２μｍ、グルー
ブ線幅２．２μｍのプリフォーマットパターンを形成し
てオリジナル型１を作製した。

【００１９】このオリジナル型のプリフォーマット形成
面上にスパッタリング法により厚さ１０００Åのニッケ
ル膜を形成した。このときのプリフォーマットパターン
のトラックピッチは１２μｍ、線幅は２．０μｍであ
り、光カード用プリグルーブに対応するパターンとなっ
た。

【００２０】次に、オリジナル型１の外周部に、スペー
サ材６として光硬化性樹脂（電気化学工業社製、ハード
ロックＯＰ−４５１５）に平均粒子径４０μｍのマイク
ロスフェア（日本フェライト社製、エクスパンセルＤ
Ｕ）を５重量％分散したものを、前記オリジナル型の外
周部にディスペンサーによりディスペンスしたのち、図
２に示す様に、たて３４０×よこ３４０ｍｍの注入口を
有するガラス原盤３を重ね合わせ、前記光硬化性樹脂に
ＵＶ照射して硬化させセル１２を形成した。セルの有効
エリアは２７０×２７０ｍｍであった。

【００２１】次に、図３に示す方法により、キャピティ
１７に光硬化性樹脂（２Ｐ）を封入した。まず、図３
（ａ）に示す様に、前記セル１２の注入口１３をテフロ
ン（登録商標）チューブ１６でロート１４と接続し真空
チャンバー１８内に配置した。さらに、２Ｐ（日本化薬
社製、ＩＮＣ１１８）がロート１４内に滴下可能なよう
に、別途ロート１４′を配置して、該ロート１４′を電
磁弁１５によってチャンバー外部より開閉操作ができる
ようにした。

【００２２】次に、チャンバー内の空気を排気し、キャ
ビティ１７内部の圧力を０．１Ｔｏｒｒとし、その真空
度で３０分間保持し、２Ｐを脱泡した。つぎに、図３
（ｂ）に示すように、電磁弁１５を開き、２Ｐをロート
１４に滴下したのち、チャンパー１８内に空気を除々に
リークさせた。リーク開始後８時間でチャンバー内は大
気圧となり、２Ｐはセル内に注入されていた。又目視に
よる検査の結果セル内には気泡は認められなかった。な
お、本実施例に於いて２Ｐとしては、未硬化の状態で７
００ｃｐｓの粘度を有し硬化後の体積収縮率が３％であ
るアクリル系紫外線硬化樹脂を用いた。

【００２３】次いで、前記セル注入口からテフロンチュ
ーブ１６を取りはずし、ガラス原盤３側からＵＶ光７を
照射し、２Ｐを硬化させた。目視による検査の結果、ス
ペーサ材の周辺部で幅最大１０ｍｍの「浮き」が発生し
ていたが、「ひけ」は認められなかった。オリジナル型
１とガラス原盤３を剥離したところ、ニッケルスパッタ
膜は完全に硬化２Ｐ表面に転写され、かつオリジナル型
のプリフォーマットパターンが完全に転写された２Ｐレ
プリカ原盤１０が得られた。

【００２４】このとき、２Ｐレプリカ原盤１０の表面は
金属薄膜層８で覆われているため剥離時の帯電はほとん
どなく、ゴミ、粉じん等の付着もほとんど認められなか
った。また、金属反射があるため、欠陥検査も効率よく
スムーズに行なうことができた。

【００２５】この２Ｐレプリカ原盤１０をスルファミン
酸ニッケル電鋳液中で、３０ｒｐｍで回転させながら、
通電電流の時間積分値３４ＡＨの条件で厚さ２００μｍ
のニッケル金属を析出させ、電鋳膜９を形成した。電鋳
膜９を研摩して膜厚を均一にしたのち、スタンパーを２
Ｐ面より剥離して、金属スタンパー１１を得た。

【００２６】実施例２ 実施例１と同様のパターンが形成されたオリジナル型に
スパッタリング法により厚さ１０００Åの銀膜を形成し
た。このオリジナル型のプリフォーマット面上にあらか
じめ、０．１Ｔｏｒｒ以下の減圧下で真空脱泡しておい
た光硬化性樹脂（実施例１と同一のもの）を一定量でデ
ィスペンスしたのちガラス原盤を重ね合わせて光硬化性
樹脂をスプレッドした。これにガラス原盤側からＵＶ光
を照射し、２Ｐを硬化させた。以下の工程は実施例１と
同様に行ないスタンパーを得た。

【００２７】実施例１と同様に、２Ｐレプリカ原盤の表
面は金属薄膜層で覆われているため剥離時の帯電はほと
んどなく、ゴミ、粉じん等の付着もほとんど認められな
かった。また、金属反射があるため、欠陥検査も効率よ
くスムーズに行なうことができた。

【００２８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
オリジナル型のプリフォーマット面に金属薄膜層を形成
し、レプリカ作製時に、プリフォーマット転写面に金属
薄膜層も同時に転写されることにより、レプリカをオリ
ジナル型から剥離するとき、静電気の帯電を防止でき、
ゴミ、粉じん等の付着を低減できる。

【００２９】さらに、レプリカ表面が金属層であるため
（２Ｐ樹脂のように無色透明ではない）、ゴミ、キズ等
の欠陥検査がスムーズにでき、検査効率の向上につなが
り、生産性良く光記録媒体用スタンパーを製造できると
いう効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の光記録媒体用スタンパーの製造方法の
一例を示す工程図である。

【図２】２Ｐレプリカの製造方法に用いるセルの形状の
一例を示し、図２（ａ）はセルの平面図、図２（ｂ）は
Ａ−Ａ′線断面図である。

【図３】２Ｐ樹脂の注入方法を示す図である。

【図４】従来のスタンパーの製造方法を示す工程図であ
る。

【符号の説明】

１ オリジナル型 ２ プリフォーマット面 ３ ガラス原盤 ４ 未硬化２Ｐ樹脂 ５ 硬化２Ｐ樹脂 ６ スペーサ材 ７ ＵＶ光 ８ 金属薄膜層 ９ 電鋳膜 １０ （２Ｐ）レプリカ原盤 １１ （金属）スタンパー １２ セル １３ 注入口 １４，１４′ ロート １５ 電磁弁 １６ テフロン（登録商標）チューブ １７ キャビティ １８ チャンバー

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 オリジナル型のプリフォーマット面を転
   写してレプリカを作製し、これに電鋳して光記録媒体用
   スタンパーを製造する方法において、オリジナル型のプ
   リフォーマット面に金属薄膜層を形成した後、レプリカ
   を作製し、レプリカのプリフォーマット転写面に前記金
   属薄膜層を同時に転写することを特徴とする光記録媒体
   用スタンパーの製造方法。