JPH0831360A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
- Publication number
- JPH0831360A JPH0831360A JP6169607A JP16960794A JPH0831360A JP H0831360 A JPH0831360 A JP H0831360A JP 6169607 A JP6169607 A JP 6169607A JP 16960794 A JP16960794 A JP 16960794A JP H0831360 A JPH0831360 A JP H0831360A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- loader chamber
- electron microscope
- heating means
- halogen lamp
- Prior art date
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- Withdrawn
Links
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 12
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims abstract description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ローダ室内に試料の加熱手段を設け、試料の
観察を容易かつ確実に行なえる電子顕微鏡を提供する。 【構成】 ローダ室１内に、ハロゲンランプ３、拡散板
４および反射板５からなる加熱手段を設け、ローダ室１
内を真空状態にすると同時に上記加熱手段で試料７を加
熱して乾燥させる。
観察を容易かつ確実に行なえる電子顕微鏡を提供する。 【構成】 ローダ室１内に、ハロゲンランプ３、拡散板
４および反射板５からなる加熱手段を設け、ローダ室１
内を真空状態にすると同時に上記加熱手段で試料７を加
熱して乾燥させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子顕微鏡に関するもの
である。
である。
【０００２】
【従来の技術】電子顕微鏡では、試料の映像を鮮明に写
し出すために鏡体部内を真空状態にしてある。鏡体部に
試料を入れる場合は、まずローダ室に試料を入れ、この
ローダ室内を真空状態にしてから、ローダ室と鏡体部の
遮蔽を解除して鏡体部内に試料を入れる。
し出すために鏡体部内を真空状態にしてある。鏡体部に
試料を入れる場合は、まずローダ室に試料を入れ、この
ローダ室内を真空状態にしてから、ローダ室と鏡体部の
遮蔽を解除して鏡体部内に試料を入れる。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】例えば、半導体装置を
形成するウェハをエッチング後に洗浄し、このエッチン
グした結果を観察することがあるが、電子顕微鏡は、水
分が付着している試料を鏡体部内に入れると水分によっ
て真空度が低下し、試料の鮮明な映像を得ることができ
ないため、従来は試料を別の乾燥炉等で予め乾燥させて
から電子顕微鏡のローダ室に入れていた。
形成するウェハをエッチング後に洗浄し、このエッチン
グした結果を観察することがあるが、電子顕微鏡は、水
分が付着している試料を鏡体部内に入れると水分によっ
て真空度が低下し、試料の鮮明な映像を得ることができ
ないため、従来は試料を別の乾燥炉等で予め乾燥させて
から電子顕微鏡のローダ室に入れていた。
【０００４】本発明は、ローダ室内に加熱手段を設ける
ことにより、試料の鮮明な映像を容易に得られる電子顕
微鏡を提供することを目的としている。
ことにより、試料の鮮明な映像を容易に得られる電子顕
微鏡を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、鏡体部に対す
る試料の出入れを行なうためのローダ室内に、上記試料
を加熱する加熱手段を設けることにより、上記課題を解
決するものである。
る試料の出入れを行なうためのローダ室内に、上記試料
を加熱する加熱手段を設けることにより、上記課題を解
決するものである。
【０００６】なお、上記加熱手段はハロゲンランプであ
ることが好ましい。
ることが好ましい。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
明する。
【０００８】図１において、１は鏡体部２に対して試料
の出入れを行なうローダ室であり、ローダ室１内には、
ハロゲンランプ３、拡散板４、反射板５からなる加熱手
段と、試料を載置する試料ホルダ６が設けてある。７は
半導体装置を形成するウェハ等の試料である。
の出入れを行なうローダ室であり、ローダ室１内には、
ハロゲンランプ３、拡散板４、反射板５からなる加熱手
段と、試料を載置する試料ホルダ６が設けてある。７は
半導体装置を形成するウェハ等の試料である。
【０００９】図２は図１に示した一点鎖線Ａにおけるロ
ーダ室１の内部断面を示したものである。同図において
図１と同じ符号のものは同じものを示している。ハロゲ
ンランプ３の上側に反射板５を設け、下側に拡散板４を
設けてある。
ーダ室１の内部断面を示したものである。同図において
図１と同じ符号のものは同じものを示している。ハロゲ
ンランプ３の上側に反射板５を設け、下側に拡散板４を
設けてある。
【００１０】つぎに、試料７を鏡体部２内に入れる際の
動作を説明する。
動作を説明する。
【００１１】まず、試料７を試料ホルダ６に載置し、ロ
ーダ室１を密閉する。つぎに排気手段（図示せず。）を
駆動するとともにハロゲンランプ３を点灯する。これに
より、ローダ室１内を真空状態にするのと並行して、ハ
ロゲンランプ３の点灯によって発生する熱により試料７
を加熱して乾燥させる。
ーダ室１を密閉する。つぎに排気手段（図示せず。）を
駆動するとともにハロゲンランプ３を点灯する。これに
より、ローダ室１内を真空状態にするのと並行して、ハ
ロゲンランプ３の点灯によって発生する熱により試料７
を加熱して乾燥させる。
【００１２】ハロゲンランプ２からの光線は反射板５で
反射し、拡散板４により拡散されて試料７の全面に均一
に照射される。ハロゲンランプ２の点灯によって発生す
る熱は１５０〜２００℃程度である。
反射し、拡散板４により拡散されて試料７の全面に均一
に照射される。ハロゲンランプ２の点灯によって発生す
る熱は１５０〜２００℃程度である。
【００１３】試料６が乾燥し、ローダ室１内が真空状態
になったら、ローダ室１と鏡体部２との遮蔽を解除して
試料７を鏡体部２内に移動する。
になったら、ローダ室１と鏡体部２との遮蔽を解除して
試料７を鏡体部２内に移動する。
【００１４】以上のように、ローダ室１内を真空状態に
するのと並行して試料７を乾燥させてから鏡体部２内に
入れる。
するのと並行して試料７を乾燥させてから鏡体部２内に
入れる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、ローダ室内にハロゲン
ランプ等の加熱手段を設け、ローダ室内を真空状態にす
るのと並行して試料を乾燥させるので、電子顕微鏡と別
に設けた乾燥手段で試料を予め乾燥させる手間をかける
ことなく、試料の鮮明な画像を得られ、確実な観察を行
なうことができる。
ランプ等の加熱手段を設け、ローダ室内を真空状態にす
るのと並行して試料を乾燥させるので、電子顕微鏡と別
に設けた乾燥手段で試料を予め乾燥させる手間をかける
ことなく、試料の鮮明な画像を得られ、確実な観察を行
なうことができる。
【図１】本発明による電子顕微鏡の要部構成を示した説
明図
明図
【図２】本発明による電子顕微鏡の要部構成を示した説
明図
明図
１ ローダ室 ２ 鏡体部 ３ ハロゲンランプ ４ 拡散板 ５ 反射板 ７ 試料
Claims (2)
- 【請求項１】 鏡体部に対する試料の出入れを行なうた
めのローダ室内に、上記試料を加熱する加熱手段を設け
たことを特徴とする電子顕微鏡。 - 【請求項２】 請求項１に記載の電子顕微鏡において、
上記加熱手段はハロゲンランプであることを特徴とする
電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6169607A JPH0831360A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6169607A JPH0831360A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0831360A true JPH0831360A (ja) | 1996-02-02 |
Family
ID=15889640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6169607A Withdrawn JPH0831360A (ja) | 1994-07-21 | 1994-07-21 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0831360A (ja) |
-
1994
- 1994-07-21 JP JP6169607A patent/JPH0831360A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20011002 |