JPH08321538A - 突き上げ治具 - Google Patents
突き上げ治具Info
- Publication number
- JPH08321538A JPH08321538A JP15114595A JP15114595A JPH08321538A JP H08321538 A JPH08321538 A JP H08321538A JP 15114595 A JP15114595 A JP 15114595A JP 15114595 A JP15114595 A JP 15114595A JP H08321538 A JPH08321538 A JP H08321538A
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- jig
- needles
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ３本の突き上げ針を備えた突き上げ治具にお
いて、３本の突き上げ針の先端部を同一水平面上に揃え
て固定する作業を１回で簡単に行うことができるように
する。 【構成】 上治具本体２１の針取り付け孔２４に挿入し
た突き上げ針３１の下端部を下治具本体１１の針突き当
て面１５に突き当てると、３本の突き上げ針３１の先端
部が同一水平面上に揃えられる。次に、上治具本体２１
の針取り付け孔２４の上端部の部分に接着剤３３を塗布
すると、突き上げ針３１が固定される。この場合、すな
わち、接着剤３３を塗布して突き上げ針２４を固定する
とき、突き上げ針２４に不要な力が加わることがなく、
したがって突き上げ針２４が上方に向かって動くことも
ない。この結果、３本の突き上げ針２４の先端部を同一
水平面上に揃えて固定する作業を１回で簡単に行うこと
ができる。
いて、３本の突き上げ針の先端部を同一水平面上に揃え
て固定する作業を１回で簡単に行うことができるように
する。 【構成】 上治具本体２１の針取り付け孔２４に挿入し
た突き上げ針３１の下端部を下治具本体１１の針突き当
て面１５に突き当てると、３本の突き上げ針３１の先端
部が同一水平面上に揃えられる。次に、上治具本体２１
の針取り付け孔２４の上端部の部分に接着剤３３を塗布
すると、突き上げ針３１が固定される。この場合、すな
わち、接着剤３３を塗布して突き上げ針２４を固定する
とき、突き上げ針２４に不要な力が加わることがなく、
したがって突き上げ針２４が上方に向かって動くことも
ない。この結果、３本の突き上げ針２４の先端部を同一
水平面上に揃えて固定する作業を１回で簡単に行うこと
ができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、例えばＴＡＢ(Tape
Automated Bonding)技術において、ダイシング用シート
に載置されたウエハをダイシングして得られたチップを
ピッアップする際に使用される突き上げ治具に関する。
Automated Bonding)技術において、ダイシング用シート
に載置されたウエハをダイシングして得られたチップを
ピッアップする際に使用される突き上げ治具に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＴＡＢ技術では、ダイシング用シートに
載置されたウエハをダイシングして得られたチップのう
ち良品のチップのみをピッアップし、このピッアップし
たチップを直接インナリードボンディングするか、ある
いはチップ搬送用の粘着テープに移し換えてこの移し換
えたチップを再度ピッアップしてインナリードボンディ
ングしている。
載置されたウエハをダイシングして得られたチップのう
ち良品のチップのみをピッアップし、このピッアップし
たチップを直接インナリードボンディングするか、ある
いはチップ搬送用の粘着テープに移し換えてこの移し換
えたチップを再度ピッアップしてインナリードボンディ
ングしている。
【０００３】次に、このようなＴＡＢ技術において、ダ
イシング用シートからチップをピッアップする場合につ
いて説明する。まず、ダイシング用シートに載置された
ウエハをダイシングして個々のチップに分割した後、ピ
ッアップを容易とするために、ダイシング用シートを所
定の方法により拡張し、チップ間の間隔を広げる。次
に、ピッアップしようとするチップを後で説明する突き
上げ治具を用いてダイシング用シートの下面側から突き
上げ（この突き上げもピッアップを容易とするためであ
る。）、そしてこの突き上げたチップを真空吸着ヘッド
でピッアップしている。
イシング用シートからチップをピッアップする場合につ
いて説明する。まず、ダイシング用シートに載置された
ウエハをダイシングして個々のチップに分割した後、ピ
ッアップを容易とするために、ダイシング用シートを所
定の方法により拡張し、チップ間の間隔を広げる。次
に、ピッアップしようとするチップを後で説明する突き
上げ治具を用いてダイシング用シートの下面側から突き
上げ（この突き上げもピッアップを容易とするためであ
る。）、そしてこの突き上げたチップを真空吸着ヘッド
でピッアップしている。
【０００４】次に、図２（Ａ）及び（Ｂ）は従来のこの
ようなＴＡＢ技術で使用されている突き上げ治具を示し
たものである。この突き上げ治具は、図示しない突き上
げ装置の上下動部材に取り外し可能に取り付けられる円
柱状の治具本体１を備えている。治具本体１の上部中央
部には、同一円周上の等間隔ずつ離間する所定の３個所
に、つまり正三角形の各頂点に対応する位置に、針取り
付け孔２が設けられている。また、３つの針取り付け孔
２に対応する部分における治具本体１の上部側部にはね
じ孔３が針取り付け孔２に達するように設けられてい
る。針取り付け孔２には突き上げ針４が挿入され、この
挿入された突き上げ針４はねじ孔３にねじ込まれたねじ
５によって固定されている。そして、３本の突き上げ針
４により、図示していないが、ダイシング用シートの下
面側からピッアップしようとするチップを真上に突き上
げることになる。
ようなＴＡＢ技術で使用されている突き上げ治具を示し
たものである。この突き上げ治具は、図示しない突き上
げ装置の上下動部材に取り外し可能に取り付けられる円
柱状の治具本体１を備えている。治具本体１の上部中央
部には、同一円周上の等間隔ずつ離間する所定の３個所
に、つまり正三角形の各頂点に対応する位置に、針取り
付け孔２が設けられている。また、３つの針取り付け孔
２に対応する部分における治具本体１の上部側部にはね
じ孔３が針取り付け孔２に達するように設けられてい
る。針取り付け孔２には突き上げ針４が挿入され、この
挿入された突き上げ針４はねじ孔３にねじ込まれたねじ
５によって固定されている。そして、３本の突き上げ針
４により、図示していないが、ダイシング用シートの下
面側からピッアップしようとするチップを真上に突き上
げることになる。
【０００５】ところで、チップを真上に突き上げるに
は、３本の突き上げ針４の先端部を同一水平面上に揃え
る必要がある。次に、このようにするための作業につい
て説明する。まず、図３に示すように、全体がほぼコ字
状であって上部を二俣とされた平行度調整治具６を用意
し、この用意した平行度調整治具６を作業テーブル７上
に固定する。次に、図２（Ｂ）に示す治具本体１の針取
り付け孔２に突き上げ針４をねじ５を緩めた状態で挿入
し、次いでこの状態を維持しながら図２（Ｂ）に示す治
具本体１の上下を逆とし、この上下を逆とした治具本体
１を図３に示すように平行度調整治具６の上面に載置す
る。すると、３本の突き上げ針４は、平行度調整治具６
の上部二俣部の間に配置され、自重により下降して、そ
の各先端部が平行度調整治具６の下部上面に当接する状
態となる。これにより、３本の突き上げ針４の先端部は
同一水平面上に揃えられることになる。次に、ねじ５を
締め付けると、作業が終了する。
は、３本の突き上げ針４の先端部を同一水平面上に揃え
る必要がある。次に、このようにするための作業につい
て説明する。まず、図３に示すように、全体がほぼコ字
状であって上部を二俣とされた平行度調整治具６を用意
し、この用意した平行度調整治具６を作業テーブル７上
に固定する。次に、図２（Ｂ）に示す治具本体１の針取
り付け孔２に突き上げ針４をねじ５を緩めた状態で挿入
し、次いでこの状態を維持しながら図２（Ｂ）に示す治
具本体１の上下を逆とし、この上下を逆とした治具本体
１を図３に示すように平行度調整治具６の上面に載置す
る。すると、３本の突き上げ針４は、平行度調整治具６
の上部二俣部の間に配置され、自重により下降して、そ
の各先端部が平行度調整治具６の下部上面に当接する状
態となる。これにより、３本の突き上げ針４の先端部は
同一水平面上に揃えられることになる。次に、ねじ５を
締め付けると、作業が終了する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
このような突き上げ治具では、図３に示すように、突き
上げ針４の先端部を平行度調整治具６の下部上面にただ
単に当接させた状態でねじ５を締め付けているので、ね
じ５の締め付けに伴う回転力より突き上げ針４が上方に
向かって動きやすく、したがって３本の突き上げ針４の
先端部を同一水平面上に揃える作業が極めて困難である
ばかりでなく、このような作業のやり直しを何回も行う
ことが多く、かなりの時間がかかるという問題があっ
た。この発明の目的は、複数の突き上げ針の先端部を同
一水平面上に揃えて固定する作業を１回で簡単に行うこ
とができる突き上げ治具を提供することにある。
このような突き上げ治具では、図３に示すように、突き
上げ針４の先端部を平行度調整治具６の下部上面にただ
単に当接させた状態でねじ５を締め付けているので、ね
じ５の締め付けに伴う回転力より突き上げ針４が上方に
向かって動きやすく、したがって３本の突き上げ針４の
先端部を同一水平面上に揃える作業が極めて困難である
ばかりでなく、このような作業のやり直しを何回も行う
ことが多く、かなりの時間がかかるという問題があっ
た。この発明の目的は、複数の突き上げ針の先端部を同
一水平面上に揃えて固定する作業を１回で簡単に行うこ
とができる突き上げ治具を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明は、上面側に針
突き当て面を有する下治具本体と、上下方向に貫通する
複数の針取り付け孔を有し、前記下治具本体の上部に取
り外し可能に取り付けられ、かつ取り付けられた状態に
おいて前記針取り付け孔の部分の下面が前記下治具本体
の前記針突き当て面上に位置する上治具本体と、前記上
治具本体の前記針取り付け孔に挿入されて下端部を前記
下治具本体の前記針突き当て面に突き当てられた複数の
突き上げ針と、前記突き上げ針を固定するために前記上
治具本体の前記針取り付け孔の上端部の部分に塗布され
た接着剤を具備したものである。
突き当て面を有する下治具本体と、上下方向に貫通する
複数の針取り付け孔を有し、前記下治具本体の上部に取
り外し可能に取り付けられ、かつ取り付けられた状態に
おいて前記針取り付け孔の部分の下面が前記下治具本体
の前記針突き当て面上に位置する上治具本体と、前記上
治具本体の前記針取り付け孔に挿入されて下端部を前記
下治具本体の前記針突き当て面に突き当てられた複数の
突き上げ針と、前記突き上げ針を固定するために前記上
治具本体の前記針取り付け孔の上端部の部分に塗布され
た接着剤を具備したものである。
【０００８】
【作用】この発明によれば、上治具本体の針取り付け孔
に挿入した突き上げ針の下端部を下治具本体の針突き当
て面に突き当てると、複数の突き上げ針の先端部が同一
水平面上に揃えられ、この状態で上治具本体の針取り付
け孔の上端部の部分に接着剤を塗布すると、突き上げ針
が固定されることになる。この場合、すなわち、接着剤
を塗布して突き上げ針を固定するとき、突き上げ針に不
要な力が加わらないようにすることができ、したがって
突き上げ針が上方に向かって動かないようにすることが
でき、この結果複数の突き上げ針の先端部を同一水平面
上に揃えて固定する作業を１回で簡単に行うことができ
る。
に挿入した突き上げ針の下端部を下治具本体の針突き当
て面に突き当てると、複数の突き上げ針の先端部が同一
水平面上に揃えられ、この状態で上治具本体の針取り付
け孔の上端部の部分に接着剤を塗布すると、突き上げ針
が固定されることになる。この場合、すなわち、接着剤
を塗布して突き上げ針を固定するとき、突き上げ針に不
要な力が加わらないようにすることができ、したがって
突き上げ針が上方に向かって動かないようにすることが
でき、この結果複数の突き上げ針の先端部を同一水平面
上に揃えて固定する作業を１回で簡単に行うことができ
る。
【０００９】
【実施例】図１（Ａ）及び（Ｂ）はこの発明の一実施例
における突き上げ治具を示したものである。この突き上
げ治具は、下治具本体１１、上治具本体２１、３本の突
き上げ針３１等を備えている。このうち下治具本体１１
は、図示しない突き上げ装置の上下動部材に取外し可能
に取り付けられるものであって、下円柱部１２の上部に
この下円柱部１２よりも大径の上円柱部１３が設けら
れ、上円柱部１３の上面側中央部に上治具本体取り付け
溝１４が設けられているとともに、この上治具本体取り
付け溝１４の底面を水平な針突き当て面１５とされ、さ
らに上円柱部１３の一方の側部の所定の個所にねじ孔１
６が上治具本体取り付け溝１４に達するように設けら
れ、また上円柱部１３の他方の側部の上面側の所定の個
所に設けられたピン孔１７に位置決めピン１８が圧入さ
れた構造となっている。
における突き上げ治具を示したものである。この突き上
げ治具は、下治具本体１１、上治具本体２１、３本の突
き上げ針３１等を備えている。このうち下治具本体１１
は、図示しない突き上げ装置の上下動部材に取外し可能
に取り付けられるものであって、下円柱部１２の上部に
この下円柱部１２よりも大径の上円柱部１３が設けら
れ、上円柱部１３の上面側中央部に上治具本体取り付け
溝１４が設けられているとともに、この上治具本体取り
付け溝１４の底面を水平な針突き当て面１５とされ、さ
らに上円柱部１３の一方の側部の所定の個所にねじ孔１
６が上治具本体取り付け溝１４に達するように設けら
れ、また上円柱部１３の他方の側部の上面側の所定の個
所に設けられたピン孔１７に位置決めピン１８が圧入さ
れた構造となっている。
【００１０】上治具本体２１は、下治具本体１１の上円
柱部１３の外径と同じ外径の円柱部２２の下部中央部
に、下治具本体１１の上治具本体取り付け溝１４にほぼ
対応する形状の取り付け部２３が設けられ、円柱部２２
と取り付け部２３の同一円周上の等間隔ずつ離間する所
定の３個所に、つまり正三角形の各頂点に対応する位置
に、上下方向に貫通する３つの針取り付け孔２４が設け
られ、さらに円柱部２２の下面の所定の個所に位置決め
孔２５が設けられた構造となっている。なお、取り付け
部２３の高さは、下治具本体１１の上治具本体取り付け
溝１４の深さよりも若干小さくなっている。
柱部１３の外径と同じ外径の円柱部２２の下部中央部
に、下治具本体１１の上治具本体取り付け溝１４にほぼ
対応する形状の取り付け部２３が設けられ、円柱部２２
と取り付け部２３の同一円周上の等間隔ずつ離間する所
定の３個所に、つまり正三角形の各頂点に対応する位置
に、上下方向に貫通する３つの針取り付け孔２４が設け
られ、さらに円柱部２２の下面の所定の個所に位置決め
孔２５が設けられた構造となっている。なお、取り付け
部２３の高さは、下治具本体１１の上治具本体取り付け
溝１４の深さよりも若干小さくなっている。
【００１１】次に、この突き上げ治具の残りの構造につ
いて、その組立方法と併せ説明する。まず、上治具本体
２１の取り付け部２３を下治具本体１１の上治具本体取
り付け溝１４に挿入するとともに、上治具本体２１の位
置決め孔２５を下治具本体１１の位置決めピン１８に相
対的に挿入し、次いで上治具本体２１のねじ孔１６にね
じ３２をねじ込むことにより、上治具本体２１を下治具
本体１１の上部に取り付ける。この状態では、上治具本
体２１の針取り付け孔２４の部分の下面つまり取り付け
部２３の下面が下治具本体１１の針突き当て面１５の上
方に位置する状態となる。次に、３本の突き上げ針３１
を上治具本体２１の針取り付け孔２４に挿入して、その
各下端部を下治具本体１１の針突き当て面１５に突き当
てる。これにより、３本の突き上げ針３１の先端部は同
一水平面上に揃えられることになる。次に、上治具本体
２１の針取り付け孔２４の上端部の部分に接着剤３３を
塗布し、この塗布した接着剤３３によって突き上げ針３
１を固定する。かくして、この突き上げ治具の組立が終
了する。
いて、その組立方法と併せ説明する。まず、上治具本体
２１の取り付け部２３を下治具本体１１の上治具本体取
り付け溝１４に挿入するとともに、上治具本体２１の位
置決め孔２５を下治具本体１１の位置決めピン１８に相
対的に挿入し、次いで上治具本体２１のねじ孔１６にね
じ３２をねじ込むことにより、上治具本体２１を下治具
本体１１の上部に取り付ける。この状態では、上治具本
体２１の針取り付け孔２４の部分の下面つまり取り付け
部２３の下面が下治具本体１１の針突き当て面１５の上
方に位置する状態となる。次に、３本の突き上げ針３１
を上治具本体２１の針取り付け孔２４に挿入して、その
各下端部を下治具本体１１の針突き当て面１５に突き当
てる。これにより、３本の突き上げ針３１の先端部は同
一水平面上に揃えられることになる。次に、上治具本体
２１の針取り付け孔２４の上端部の部分に接着剤３３を
塗布し、この塗布した接着剤３３によって突き上げ針３
１を固定する。かくして、この突き上げ治具の組立が終
了する。
【００１２】このように、この突き上げ治具では、上治
具本体２１の針取り付け孔２４に挿入した突き上げ針３
１の下端部を下治具本体１１の針突き当て面１５に突き
当てると、３本の突き上げ針３１の先端部が同一水平面
上に揃えられ、この状態で上治具本体２１の針取り付け
孔２４の上端部の部分に接着剤３３を塗布すると、突き
上げ針３１が固定されることになる。この場合、すなわ
ち、接着剤３３を塗布して突き上げ針２４を固定すると
き、突き上げ針２４に不要な力が加わらないようにする
ことができ、したがって突き上げ針２４が上方に向かっ
て動かないようにすることができ、この結果３本の突き
上げ針２４の先端部を同一水平面上に揃えて固定する作
業を１回で簡単に行うことができる。
具本体２１の針取り付け孔２４に挿入した突き上げ針３
１の下端部を下治具本体１１の針突き当て面１５に突き
当てると、３本の突き上げ針３１の先端部が同一水平面
上に揃えられ、この状態で上治具本体２１の針取り付け
孔２４の上端部の部分に接着剤３３を塗布すると、突き
上げ針３１が固定されることになる。この場合、すなわ
ち、接着剤３３を塗布して突き上げ針２４を固定すると
き、突き上げ針２４に不要な力が加わらないようにする
ことができ、したがって突き上げ針２４が上方に向かっ
て動かないようにすることができ、この結果３本の突き
上げ針２４の先端部を同一水平面上に揃えて固定する作
業を１回で簡単に行うことができる。
【００１３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、接着剤を塗布して突き上げ針を固定するとき、突き
上げ針に不要な力が加わらないようにすることができる
ので、複数の突き上げ針の先端部を同一水平面上に揃え
て固定する作業を１回で簡単に行うことができる。
ば、接着剤を塗布して突き上げ針を固定するとき、突き
上げ針に不要な力が加わらないようにすることができる
ので、複数の突き上げ針の先端部を同一水平面上に揃え
て固定する作業を１回で簡単に行うことができる。
【図１】（Ａ）はこの発明の一実施例における突き上げ
治具の平面図、（Ｂ）はそのＢ−Ｂ線に沿う断面図。
治具の平面図、（Ｂ）はそのＢ−Ｂ線に沿う断面図。
【図２】（Ａ）は従来の突き上げ治具の平面図、（Ｂ）
はそのＢ−Ｂ線に沿う断面図。
はそのＢ−Ｂ線に沿う断面図。
【図３】従来の突き上げ治具において３本の突き上げ針
の先端部を同一水平面上に揃えて固定する場合を説明す
るために示す断面図。
の先端部を同一水平面上に揃えて固定する場合を説明す
るために示す断面図。
１１ 下治具本体 １５ 針突き当て面 ２１ 上治具本体 ２４ 針取り付け孔 ３１ 突き上げ針 ３３ 接着剤
Claims (3)
- 【請求項１】 上面側に針突き当て面を有する下治具本
体と、上下方向に貫通する複数の針取り付け孔を有し、
前記下治具本体の上部に取り外し可能に取り付けられ、
かつ取り付けられた状態において前記針取り付け孔の部
分の下面が前記下治具本体の前記針突き当て面上に位置
する上治具本体と、前記上治具本体の前記針取り付け孔
に挿入されて下端部を前記下治具本体の前記針突き当て
面に突き当てられた複数の突き上げ針と、前記突き上げ
針を固定するために前記上治具本体の前記針取り付け孔
の上端部の部分に塗布された接着剤とを具備することを
特徴とする突き上げ治具。 - 【請求項２】 請求項１記載の発明において、前記突き
上げ針は３本であって正三角形の各頂点に対応する位置
に配置されていることを特徴とする突き上げ治具。 - 【請求項３】 請求項１または２記載の発明において、
前記上治具本体は前記下治具本体に、これら治具本体の
一方に設けられた位置決めピンが他方に設けられた位置
決め孔に挿入された状態で、ねじによって取り付けられ
ていることを特徴とする突き上げ治具。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15114595A JPH08321538A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 突き上げ治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15114595A JPH08321538A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 突き上げ治具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08321538A true JPH08321538A (ja) | 1996-12-03 |
Family
ID=15512360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15114595A Pending JPH08321538A (ja) | 1995-05-26 | 1995-05-26 | 突き上げ治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08321538A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117334603A (zh) * | 2023-09-15 | 2024-01-02 | 东莞市德镌精密设备有限公司 | 一种针刺头快换结构、针刺机构及针刺机构的测量方法 |
-
1995
- 1995-05-26 JP JP15114595A patent/JPH08321538A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117334603A (zh) * | 2023-09-15 | 2024-01-02 | 东莞市德镌精密设备有限公司 | 一种针刺头快换结构、针刺机构及针刺机构的测量方法 |
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