JPH01157548A - ペレット突き上げ装置 - Google Patents
ペレット突き上げ装置Info
- Publication number
- JPH01157548A JPH01157548A JP62315166A JP31516687A JPH01157548A JP H01157548 A JPH01157548 A JP H01157548A JP 62315166 A JP62315166 A JP 62315166A JP 31516687 A JP31516687 A JP 31516687A JP H01157548 A JPH01157548 A JP H01157548A
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- JP
- Japan
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- peripheral
- push
- holder
- pin holder
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
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- B25B11/005—Vacuum work holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25B—TOOLS OR BENCH DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, FOR FASTENING, CONNECTING, DISENGAGING OR HOLDING
- B25B11/00—Work holders not covered by any preceding group in the subclass, e.g. magnetic work holders, vacuum work holders
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/11—Methods of delaminating, per se; i.e., separating at bonding face
- Y10T156/1168—Gripping and pulling work apart during delaminating
- Y10T156/1189—Gripping and pulling work apart during delaminating with shearing during delaminating
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T279/00—Chucks or sockets
- Y10T279/11—Vacuum
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Dicing (AREA)
- Walking Sticks, Umbrellas, And Fans (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、ウェハーシート上のペレットを吸着ノズルで
吸着してピックアップする際に、ピックアップされるペ
レットを突き上げピンで突き上げるペレット突き上げ装
置に関する。
吸着してピックアップする際に、ピックアップされるペ
レットを突き上げピンで突き上げるペレット突き上げ装
置に関する。
［従来の技術］
従来、ペレットを安定して突き上げるために、例えば特
開昭６２−９８６３８号に示すように、複数本の周辺突
き上げピンを用いたものが知られている。この場合、ペ
レットの大きさが異なると、それに応じて周辺突き」二
げピンがペレットの周辺部を突き上げるようにその配置
位置を変える必要がある。」＝記従来技術は、この点に
ついては何ら配慮がされていない。
開昭６２−９８６３８号に示すように、複数本の周辺突
き上げピンを用いたものが知られている。この場合、ペ
レットの大きさが異なると、それに応じて周辺突き」二
げピンがペレットの周辺部を突き上げるようにその配置
位置を変える必要がある。」＝記従来技術は、この点に
ついては何ら配慮がされていない。
［発明が解決しようとする問題点］
上記従来技術は、周辺突き上げピンが固定されるピンホ
ルダーの所定位置に設けた周辺ピン挿入穴に周辺突き上
げピンを挿入し、ねじで固定しているので、ペレットの
大きさに応じた数のピンホルダーを用意しなければなら
ない。また中心又は周辺突き上げピンが折れた時にはそ
の交換が困難であった。
ルダーの所定位置に設けた周辺ピン挿入穴に周辺突き上
げピンを挿入し、ねじで固定しているので、ペレットの
大きさに応じた数のピンホルダーを用意しなければなら
ない。また中心又は周辺突き上げピンが折れた時にはそ
の交換が困難であった。
また大きなペレット用のピンホルダーは、その大きさが
周辺部材の関係で制限され、周辺突き上げピンをピンホ
ルダーの周辺部に配置することになるので、周辺突き上
げピン固定用のねじを螺合させるねじ穴を周辺ピン挿入
穴よりできるだけ離れたピンホルダーの外周より形成す
る必要があり、また複数本のねじ穴は交差しないように
設ける必要があり、ピン止め構造が非常に複雑であった
。また周辺突き上げピンの固定用ねじは上記したピンホ
ルダーの構造上小さくなるので、締付は力が弱く、ねじ
の緩みにより周辺突き上げピンが落下するという問題を
有する。
周辺部材の関係で制限され、周辺突き上げピンをピンホ
ルダーの周辺部に配置することになるので、周辺突き上
げピン固定用のねじを螺合させるねじ穴を周辺ピン挿入
穴よりできるだけ離れたピンホルダーの外周より形成す
る必要があり、また複数本のねじ穴は交差しないように
設ける必要があり、ピン止め構造が非常に複雑であった
。また周辺突き上げピンの固定用ねじは上記したピンホ
ルダーの構造上小さくなるので、締付は力が弱く、ねじ
の緩みにより周辺突き上げピンが落下するという問題を
有する。
本発明の目的は、１個のピンホルダーで数種類の大きさ
のペレットに対処でき、また突き上げピンが折れてもそ
の交換が容易で、かつ突き上げピンを強固に固定するこ
とができるペレット突き上げ装置を提供することにある
。
のペレットに対処でき、また突き上げピンが折れてもそ
の交換が容易で、かつ突き上げピンを強固に固定するこ
とができるペレット突き上げ装置を提供することにある
。
［問題点を解決するための手段］
上記従来技術の問題点は、平面より見てＸ字状の線上に
複数個の周辺ピン挿入穴を設け、かつ前記Ｘ字状線↑囲
まれた左右部分を７字状に切欠いた切欠き部を有し、上
下駆動手段で上下駆動されるピンホルダーと、前記周辺
ピン挿入穴に挿入された周辺突き上げピンと、この周辺
突き上げピンを前記ピンホルダーの切欠き部の内側面に
押付けるように前記ピンホルダーに固定されたＶ字形状
の駒とを備えた構成にすることにより解決される。
複数個の周辺ピン挿入穴を設け、かつ前記Ｘ字状線↑囲
まれた左右部分を７字状に切欠いた切欠き部を有し、上
下駆動手段で上下駆動されるピンホルダーと、前記周辺
ピン挿入穴に挿入された周辺突き上げピンと、この周辺
突き上げピンを前記ピンホルダーの切欠き部の内側面に
押付けるように前記ピンホルダーに固定されたＶ字形状
の駒とを備えた構成にすることにより解決される。
［作用］
ペレットの大きさが変った場合、または周辺突き上げピ
ンが折れた場合には、駒の固定を緩め、ペレットの大き
さに適合するピンホルダーの周辺ピン挿入穴に周辺突き
上げピンを挿入し、駒を締付けると、周辺突き上げピン
はピンホルダーに固定される。
ンが折れた場合には、駒の固定を緩め、ペレットの大き
さに適合するピンホルダーの周辺ピン挿入穴に周辺突き
上げピンを挿入し、駒を締付けると、周辺突き上げピン
はピンホルダーに固定される。
［実施例］
以下、本発明の一実施例を図により説明する。
第１図乃至第３図に示すように、図示しない上下駆動手
段で上下動させられるピンホルダー上下駆動軸１の頭部
には、ピンホルダー２が着脱自在に装着されている。ま
たピンホルダー上下駆動軸１に対してピンホルダー２の
回転方向を位置決めするために、ピンホルダー上下駆動
軸１には両側に突出して位置決めピン３が固定されてお
り、ピンホルダー２には位置決めピン３に挿入される溝
２ａが形成されている。そして、ピンホルダー２はねじ
４でピンホルダー上下駆動軸１に固定されている。
段で上下動させられるピンホルダー上下駆動軸１の頭部
には、ピンホルダー２が着脱自在に装着されている。ま
たピンホルダー上下駆動軸１に対してピンホルダー２の
回転方向を位置決めするために、ピンホルダー上下駆動
軸１には両側に突出して位置決めピン３が固定されてお
り、ピンホルダー２には位置決めピン３に挿入される溝
２ａが形成されている。そして、ピンホルダー２はねじ
４でピンホルダー上下駆動軸１に固定されている。
ピンホルダー２は、第４図に示すように、ピンホルダー
上下駆動軸１へ装着される軸装着部２ｂの上部にピン装
着部２Ｃを有する。ピン装着部２Ｃには、中心部に上面
から垂直に貫通して中心ピン挿入穴２ｄ−０が形成され
ている。中心ピン挿入穴２ｄ−０を交点としてＸ字状に
伸びた線上に、中心ピン挿入穴２ｄ−０より等距離の位
置に上面から垂直に貫通して複数個の第１、第２、第３
の周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３が形成
されている。即ち、第１、第２、第３の周辺ピン挿入穴
２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３はそれぞれ４個づつ形成
されている。そして、中心ピン挿入穴２ｄ−０、周辺ピ
ン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３を結ぶＸ字状線
で囲まれる相対向した左右の上面部分は、中心ピン挿入
穴２ｄ−０の周辺を残して７字状に切欠かれた切欠き部
２ｅが形成されている。
上下駆動軸１へ装着される軸装着部２ｂの上部にピン装
着部２Ｃを有する。ピン装着部２Ｃには、中心部に上面
から垂直に貫通して中心ピン挿入穴２ｄ−０が形成され
ている。中心ピン挿入穴２ｄ−０を交点としてＸ字状に
伸びた線上に、中心ピン挿入穴２ｄ−０より等距離の位
置に上面から垂直に貫通して複数個の第１、第２、第３
の周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３が形成
されている。即ち、第１、第２、第３の周辺ピン挿入穴
２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３はそれぞれ４個づつ形成
されている。そして、中心ピン挿入穴２ｄ−０、周辺ピ
ン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３を結ぶＸ字状線
で囲まれる相対向した左右の上面部分は、中心ピン挿入
穴２ｄ−０の周辺を残して７字状に切欠かれた切欠き部
２ｅが形成されている。
再び第１図乃至第３図に戻って、図には中心ピン挿入穴
２ｄ−０，４個の第２の周辺ピン挿入穴２ｄ−２にそれ
ぞれ中心突き上げピン５及び周辺突き上げピン６が挿入
されている。そして、ピンホルダー２の左右の切欠き部
２ｅには、この切欠き部２ｅの内側面に沿った外側面を
有する７字状の駒７がそれぞれ配設され、駒７はねじ８
でピンホルダー２に固定され、駒７で周辺突き上げピン
６をピンホルダー２に押付けている。前記中心突き上げ
ピン５はピンホルダー２に螺合されたねじ９で直接固定
されている。
２ｄ−０，４個の第２の周辺ピン挿入穴２ｄ−２にそれ
ぞれ中心突き上げピン５及び周辺突き上げピン６が挿入
されている。そして、ピンホルダー２の左右の切欠き部
２ｅには、この切欠き部２ｅの内側面に沿った外側面を
有する７字状の駒７がそれぞれ配設され、駒７はねじ８
でピンホルダー２に固定され、駒７で周辺突き上げピン
６をピンホルダー２に押付けている。前記中心突き上げ
ピン５はピンホルダー２に螺合されたねじ９で直接固定
されている。
前記ピンホルダー上下駆動軸１、ピンホルダー２、中心
突き上げピン５、周辺突き上げピン６はカップ状をした
吸着ステージ１５に内臓されている。吸着ステージ１５
の頂部には中心突き上げピン５、周辺突き上げピン６に
対応した位置に中心突き上げピン５、周辺突き上げピン
６の逃げ穴を兼ねた吸着穴１５ａが形成されている。ま
た吸着ステージ１５の吸着穴１５ａを中心突き上げピン
５、周辺突き上げピン６に対応した位置に位置決めする
ために、吸着ステージ１５にはガイドピン１６が固定さ
れ、このガイドピン１６はピンホルダー２及びピンホル
タ−」１下駆動軸１側面にピンホルダー２の上面より垂
直に連通して形成された縦溝２ｆ、１ａに挿入されてい
る。吸着ステージ１５は図示しない駆動手段で上下駆動
されるステージホルダー上下駆動筒１７にねじ１８で固
定されている。
突き上げピン５、周辺突き上げピン６はカップ状をした
吸着ステージ１５に内臓されている。吸着ステージ１５
の頂部には中心突き上げピン５、周辺突き上げピン６に
対応した位置に中心突き上げピン５、周辺突き上げピン
６の逃げ穴を兼ねた吸着穴１５ａが形成されている。ま
た吸着ステージ１５の吸着穴１５ａを中心突き上げピン
５、周辺突き上げピン６に対応した位置に位置決めする
ために、吸着ステージ１５にはガイドピン１６が固定さ
れ、このガイドピン１６はピンホルダー２及びピンホル
タ−」１下駆動軸１側面にピンホルダー２の上面より垂
直に連通して形成された縦溝２ｆ、１ａに挿入されてい
る。吸着ステージ１５は図示しない駆動手段で上下駆動
されるステージホルダー上下駆動筒１７にねじ１８で固
定されている。
またステージホルダー上下駆動筒１７には図示しない真
空ポンプに接続された継手１９が取付けられており、真
空圧は、ステージホルダー上下駆動筒１７とピンホルダ
ー上下駆動軸１との隙間２０、ステージホルダー上下駆
動筒１７とピンホルダー２との隙間２１を通って吸着穴
１５ａに通じるようになっている。
空ポンプに接続された継手１９が取付けられており、真
空圧は、ステージホルダー上下駆動筒１７とピンホルダ
ー上下駆動軸１との隙間２０、ステージホルダー上下駆
動筒１７とピンホルダー２との隙間２１を通って吸着穴
１５ａに通じるようになっている。
次に作用について説明する。中心突き上げピン５、周辺
突き上げピン６及び吸着ステージ１５は従来と同様に作
動するので簡単に説明する。吸着ステージ１５で図示し
ないウェハーシートを吸着した状態でピンホルダー上下
駆動軸１が」１昇させられると、ピンホルダー２と共に
中心突き上げピン５及び周辺突き上げピン６が吸着ステ
ージ１５の吸着穴１５ａを通して上方に」−昇し、ウェ
ハ−シートに粘着されている図示しないペレットを突き
上げ、このペレットは図示しない吸着ノズルによってピ
ツクア・ンプされる。その後、ピ、ホ、、夕・−上下駆
動軸ｌが下降させられて中心突き上げピン５及び周辺突
き」−げピン６も下降し、またウェハーシートを吸着し
ている真空圧もオフとなる。
突き上げピン６及び吸着ステージ１５は従来と同様に作
動するので簡単に説明する。吸着ステージ１５で図示し
ないウェハーシートを吸着した状態でピンホルダー上下
駆動軸１が」１昇させられると、ピンホルダー２と共に
中心突き上げピン５及び周辺突き上げピン６が吸着ステ
ージ１５の吸着穴１５ａを通して上方に」−昇し、ウェ
ハ−シートに粘着されている図示しないペレットを突き
上げ、このペレットは図示しない吸着ノズルによってピ
ツクア・ンプされる。その後、ピ、ホ、、夕・−上下駆
動軸ｌが下降させられて中心突き上げピン５及び周辺突
き」−げピン６も下降し、またウェハーシートを吸着し
ている真空圧もオフとなる。
ところで、図示の場合には、中心ピン挿入穴２ｄ−０及
び周辺ピン挿入穴２ｄ−２に中心突き上げピン５及び周
辺突き上げピン６を取イ」けてなるので、第５図（ｂ）
に示す大きさのペレット３１に適する。そこで、第５図
（ａ）に示す大きさのベレッ）・３０に適合させるには
、周辺ピン挿入穴２ｄ−１に周辺突き上げピン６を取付
ければ良く、また同図（Ｃ）に示す大きさのベレッ）・
３２に適合させるには、同様に周辺ピン挿入穴２ｄ−３
に周辺突き上げピン６を取付ければ良い。このようにペ
レット３０．３１．３２の大きさに適合するように周辺
突き上げピン６を取付けるには、ねじ８を緩めて駒７を
後退させておき、ベレッ）３０．３］、３２に適合する
周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３に周辺突
き上げピン６を挿入し、ねじ８を締めイ」けることによ
り簡単に行える。
び周辺ピン挿入穴２ｄ−２に中心突き上げピン５及び周
辺突き上げピン６を取イ」けてなるので、第５図（ｂ）
に示す大きさのペレット３１に適する。そこで、第５図
（ａ）に示す大きさのベレッ）・３０に適合させるには
、周辺ピン挿入穴２ｄ−１に周辺突き上げピン６を取付
ければ良く、また同図（Ｃ）に示す大きさのベレッ）・
３２に適合させるには、同様に周辺ピン挿入穴２ｄ−３
に周辺突き上げピン６を取付ければ良い。このようにペ
レット３０．３１．３２の大きさに適合するように周辺
突き上げピン６を取付けるには、ねじ８を緩めて駒７を
後退させておき、ベレッ）３０．３］、３２に適合する
周辺ピン挿入穴２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３に周辺突
き上げピン６を挿入し、ねじ８を締めイ」けることによ
り簡単に行える。
なお、第５図（ｄ）は非常に小さなペレット３３の場合
に中心突き」二げピン５のみ用いた場合を示す。また同
図（ａ）〜（Ｃ）の場合には、周辺突き上げピン６と共
に中心突き上げピン５を用いだが、周辺突き」二げピン
６のみを用いても良い。
に中心突き」二げピン５のみ用いた場合を示す。また同
図（ａ）〜（Ｃ）の場合には、周辺突き上げピン６と共
に中心突き上げピン５を用いだが、周辺突き」二げピン
６のみを用いても良い。
また周辺突き上げピン６はピンホルダー２に駒７で押付
けられて固定する構造であるので、その構造は単純で、
かつ強固に固定できる。
けられて固定する構造であるので、その構造は単純で、
かつ強固に固定できる。
またピンホルダー」１下駆動軸１及びピンホルダー２に
設けた縦溝２ｆ、１ａに吸着ステージ１５を設けたガイ
ドピン１６を挿入するようになっているので、ピンホル
ダー２に吸着ステージ１５をはめ込む時に、ガイドピン
１６を縦溝２ｆ、ｌａに挿入することにより、周辺突き
上げピン６に吸着ステージ１５の吸着穴１５ａが対応す
ること゛）こなる。これにより、ピンホルダー２に吸着
ステージ１５をはめ込む時に周辺突き上げピン６の先端
が吸着ステージ１５に当って２ｄ−２の先端を痛めるこ
ともない。
設けた縦溝２ｆ、１ａに吸着ステージ１５を設けたガイ
ドピン１６を挿入するようになっているので、ピンホル
ダー２に吸着ステージ１５をはめ込む時に、ガイドピン
１６を縦溝２ｆ、ｌａに挿入することにより、周辺突き
上げピン６に吸着ステージ１５の吸着穴１５ａが対応す
ること゛）こなる。これにより、ピンホルダー２に吸着
ステージ１５をはめ込む時に周辺突き上げピン６の先端
が吸着ステージ１５に当って２ｄ−２の先端を痛めるこ
ともない。
［発明の効果］
以」二の説明から明らかなように、本発明によれば、１
（Ｐ！のピンホルダーで数種類の大きさのペレットに対
処でき、また突き上げピンが折れてもその交換が容易で
、かつ突き上げピンを強固に固定することができる。
（Ｐ！のピンホルダーで数種類の大きさのペレットに対
処でき、また突き上げピンが折れてもその交換が容易で
、かつ突き上げピンを強固に固定することができる。
第１図は本発明の一実施例を示す一部断面平面図、第２
図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ
線断面図、第４図はピンホルダーを示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は −断面図、
第５図 （ａ）乃至（ｄ）はそれぞれペレットの大きさに適合す
るように周辺突き上げピンを取付けた平面説明図である
。 ２：ビンホルダー、 ２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ
−３二周辺ピン挿入穴、 ２ｅ：切欠き部、６：周
辺突き上げピン、 ７：駒。 コ Σ 帥。 ＬｎｂＬ−、−名 ご 第４ （ｃ） （ｂ） ２：ピンホνレデ一 ２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３゜ ：周辺ヒ０ン神へへ ２ｅ：七刀欠き部
図は第１図のＡ−Ａ線断面図、第３図は第１図のＢ−Ｂ
線断面図、第４図はピンホルダーを示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は −断面図、
第５図 （ａ）乃至（ｄ）はそれぞれペレットの大きさに適合す
るように周辺突き上げピンを取付けた平面説明図である
。 ２：ビンホルダー、 ２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ
−３二周辺ピン挿入穴、 ２ｅ：切欠き部、６：周
辺突き上げピン、 ７：駒。 コ Σ 帥。 ＬｎｂＬ−、−名 ご 第４ （ｃ） （ｂ） ２：ピンホνレデ一 ２ｄ−１，２ｄ−２，２ｄ−３゜ ：周辺ヒ０ン神へへ ２ｅ：七刀欠き部
Claims (1)
- 平面より見てＸ字状の線上に複数個の周辺ピン挿入穴
を設け、かつ前記Ｘ字状線で囲まれた左右部分をＶ字状
に切欠いた切欠き部を有し、上下駆動手段で上下駆動さ
れるピンホルダーと、前記周辺ピン挿入穴に挿入された
周辺突き上げピンと、この周辺突き上げピンを前記ピン
ホルダーの切欠き部の内側面に押付けるように前記ピン
ホルダーに固定されたＶ字形状の駒とを備えていること
を特徴とするペレット突き上げ装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315166A JPH01157548A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | ペレット突き上げ装置 |
| KR1019880013649A KR910007107B1 (ko) | 1987-12-15 | 1988-10-20 | 펠릿 돌상(突上)장치 |
| US07/284,133 US4907790A (en) | 1987-12-15 | 1988-12-14 | Pellet-lifting apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62315166A JPH01157548A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | ペレット突き上げ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01157548A true JPH01157548A (ja) | 1989-06-20 |
| JPH0581179B2 JPH0581179B2 (ja) | 1993-11-11 |
Family
ID=18062217
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62315166A Granted JPH01157548A (ja) | 1987-12-15 | 1987-12-15 | ペレット突き上げ装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4907790A (ja) |
| JP (1) | JPH01157548A (ja) |
| KR (1) | KR910007107B1 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0224549U (ja) * | 1988-07-29 | 1990-02-19 | ||
| JP2008016680A (ja) * | 2006-07-06 | 2008-01-24 | Shibaura Mechatronics Corp | 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 |
Families Citing this family (5)
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|---|---|---|---|---|
| DE102006025361A1 (de) * | 2006-05-31 | 2007-12-06 | Siemens Ag | Ausstoßeinheit zum Abtrennen von Bauelementen aus einer im Wesentlichen ebenen Anordnung von Bauelementen |
| DE102007041911A1 (de) * | 2007-09-04 | 2009-03-05 | Siemens Ag | Vorrichtung zum Ablösen von elektronischen Bauelementen von eienr Montagefolie |
| US9835533B2 (en) | 2011-10-25 | 2017-12-05 | Sotax Ag | Tablet testing device |
| EP2587261A1 (de) | 2011-10-25 | 2013-05-01 | Pharmatron AG | Tablettenteststation |
| CN108312088B (zh) * | 2018-01-29 | 2019-12-03 | 重庆市长寿区惠峰汽车修理有限公司 | 汽车配件夹紧装置 |
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| JPS6298638A (ja) * | 1985-10-24 | 1987-05-08 | Shinkawa Ltd | ダイボンデイング装置 |
-
1987
- 1987-12-15 JP JP62315166A patent/JPH01157548A/ja active Granted
-
1988
- 1988-10-20 KR KR1019880013649A patent/KR910007107B1/ko not_active Expired
- 1988-12-14 US US07/284,133 patent/US4907790A/en not_active Expired - Lifetime
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