JPH08327511A - Ｘ線顕微鏡用試料カプセル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 試料室全体を可視光で観察することができ、
試料の全体像を把握することができるＸ線顕微鏡用試料
カプセルの提供。 【構成】 それぞれがＸ線透過窓１０４およびそのＸ線
透過窓１０４を補強する支持部１０１ｂを具備して互い
に対向する一対のチップ１１と、所定距離に保持したチ
ップ１１間に形成された試料室とを備え、支持部１０１
ｂは可視光を透過する物質から成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はＸ線顕微鏡用試料カプセ
ルに関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、急速に進歩している医学や生物工
学の分野では、通常の可視光（波長λ＝約４００〜８０
０ｎｍ）を用いる顕微鏡よりも分解能が高く、しかも生
きた試料（以下、生物試料という）、例えば細胞，バク
テリア，精子，染色体，ミトコンドリア，べん毛などを
鮮明に観察することの出来る高解像度顕微鏡を要求する
声が日増しに高まっている。ところが、高い分解能を有
する電子顕微鏡では、生物試料を直接真空中に置かなけ
ればならず、生物試料を生きたままで観察することがで
きなかった。そこで、このような生物試料の観察を可能
とするために、可視光に代えて波長λ＝２〜５ｎｍの軟
Ｘ線を用いるＸ線顕微鏡が検討され、具体的にも開発さ
れつつある。

【０００３】軟Ｘ線領域では、図９に示すように、物質
によるＸ線の吸収はＸ線の波長，物質によって変化す
る。一般に、Ｘ線の波長が長いほど吸収されやすく、物
質の原子番号が大きいほど吸収されやすい。特に２．３
〜４．４ｎｍのＸ線波長域では、水は蛋白質などの炭素
を含んだ有機物に比べて透過率が大きく、水と蛋白質と
の間のＸ線吸収率の違いからコントラストが生じるた
め、染色することなく細胞の構造を観察することができ
る。このＸ線波長域を水の窓（Water Window）と呼び、
生物顕微鏡にとって非常に有用な領域である。なお、図
９において、Ｏ・端，Ｎ・端およびＣ・端はそれぞれ酸
素，窒素および炭素の吸収端であり、Ｘ線の線吸収係数
が極端に小さくなる波長である。

【０００４】図１０は、このようなＸ線顕微鏡の概略構
成を示したものである。図１０において、Ｘ線発生器１
の出力光軸上にＸ線照明光学系２、試料カプセル４が収
納されている試料容器３、Ｘ線拡大光学系５およびＸ線
撮像装置６が、排気装置９を備えた真空容器８の内部に
直列に配置されている。真空容器８は、空気によるＸ線
の吸収を避けるために、排気装置９により真空に保たれ
る。Ｘ線発生器１から射出されたＸ線は、Ｘ線照明光学
系２により集光され試料カプセル４に照射される。Ｘ線
は試料カプセル４内の試料を透過し、その透過像がＸ線
拡大光学系５によって拡大され、この拡大像が撮像装置
６に結像される。なお、Ｘ線発生器１からＸ線撮像装置
６までの光路長は２ｍ程度である。７は撮影モニターで
あり、Ｘ線撮像装置６に結像された拡大像を撮影モニタ
ー７により観察する。

【０００５】軟Ｘ線は大気に容易に吸収される（１気圧
下で２×１０^-3μｍ^-1程度の吸収率を有する）ため、Ｘ
線顕微鏡の光学系全体をその光路長に応じた高い真空度
に保つ必要がある。また、軟Ｘ線光路中に挿入される観
察試料を密封した試料カプセル４は、その試料層の厚さ
を薄くして軟Ｘ線の吸収を抑さえるとともに、気密を兼
ねた観察窓材にも軟Ｘ線に対する吸収が少ない材料を選
択する必要がある。一般には、観察窓材として軟Ｘ線に
対する線吸収係数が小さくて膜強度も高い窒化シリコン
などを薄膜形成したものが用いられる。

【０００６】図１１は、Ｘ線顕微鏡に用いられる従来の
試料カプセル４および試料容器３の構造を示す図であ
り、図１１（ａ）は試料カプセル４の試料封入部分の平
面構造を示し、図１１（ｂ）は試料容器３とその内部の
試料カプセル４の断面構造を示す。試料カプセル４は、
Ｘ線透過窓１１ｃが形成された一対のチップ１１の間に
円環状のスペーサ１３を挟持したものであり、その内側
の密閉空間である試料室１０には観察試料を含んだ培養
液が充填される。チップ１１は、シリコン基板１１ａ上
に窒化シリコン（Ｓｉ₃Ｎ₄）薄膜１１ｂを形成した後、
Ｘ線透過窓１１ｃに対応する部分のシリコン基板をエッ
チングにより除去したものである。Ｘ線透過窓１１ｃ
は、０．２〜１ｍｍ角の正方形であり、その膜厚は０．
０５〜０．１μｍである。膜厚をこのように薄くするの
は、軟Ｘ線の吸収をできるだけ抑さえるためである。

【０００７】スペーサ１３は試料室１０内の試料層の厚
さを一定に保持しており、用途に応じて１〜１５μｍの
範囲内の適切な厚さのものが選択される。例えば、軟Ｘ
線の波長が２．３ｎｍの軟Ｘ線を用い、窒化シリコン薄
膜１１ｂの膜厚をそれぞれ０．１μｍ、試料層の厚さを
１０μｍとすれば、それぞれの軟Ｘ線透過率は３９％、
１２．３％となり、全体では約１１％の透過率となる。
スペーサ１３の表面１３ａ，１３ｂの各々にはシール面
が設けられ、チップ１１と密着して試料室１０の密封を
行う機能を兼ね備えている。チップ１１は、スペーサ１
３と一体に成型される場合もある。試料容器３を構成す
る押さえ板１５の凹部１５ａに試料カプセル４を納めた
後、押さえ板１６をネジ１７により固定することによ
り、Ｏリング１８を介して試料カプセル４に押圧力を与
えて試料容器３内に保持する。

【０００８】試料カプセル４に用いるＸ線透過窓１１ｃ
は、Ｘ線の吸収率を小さくするために非常に薄くしなけ
ればならず、その強度は非常に弱い。また、試料カプセ
ル４内には、生物試料が通常の状態で存在できるよう
に、培養液などの液体中に生物試料を入れた状態で密封
される。そのため、試料カプセル４内の圧力と真空容器
８内の圧力との差圧による応力がＸ線透過窓１１ｃに加
わり、Ｘ線透過窓１１ｃが膨らんだり、破損したりす
る。Ｘ線透過窓１１ｃの膨らみや破損を防ぐためには、
例えば、Ｘ線透過窓１１ｃに窒化シリコンを用いた場合
では、Ｘ線透過窓１１ｃの大きさを０．５〜０．１ｍｍ
角程度まで小さくする必要がある。

【０００９】ところが、Ｘ線透過窓１１ｃを小さくする
と観察領域が狭くなるため、例えば、大きな試料の場合
にはＸ線透過窓１１ｃの部分からは試料の一部分しか観
察できなくなり、一方、試料が小さな場合には、試料カ
プセル４に充填した試料が必ずしもＸ線透過窓１１ｃの
部分に来ないことがある。図１２は試料が大きな場合に
ついて示した図である。図において、７０３は神経細胞
であり、７０３ａおよび７０３ｂはニューロンの先端部
分である。また、領域７０１は試料室１０のＸ線透過窓
部分の領域で、領域７０２はシリコン基板部分の領域で
ある。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、Ｘ線顕微鏡
で観察している部分が試料のどの部分であるかを確認す
るために、例えば光学顕微鏡で試料カプセル４を観察し
ても、シリコン基板部分は可視光の透過率が非常に小さ
く不透明であるため、領域７０２の試料を観察すること
ができない。例えば、神経細胞などの生物試料の観察に
おいては、神経細胞７０３が図１２のような配置になっ
ていた場合、試料の全体像、すなわち、観察している神
経細胞が何本のニューロンを出しているか、ニューロン
の先端７０３ｂが他の神経細胞と接続されているか等を
把握する必要がある。しかしながら、上述した従来の試
料カプセル４では、Ｘ線透過窓１１ｃの支持部であるシ
リコン基板は、Ｘ線に対しても可視光に対しても不透明
であるため、Ｘ線顕微鏡，光学顕微鏡のいずれを用いて
も領域７０２を観察することができないという欠点があ
った。

【００１１】本発明の目的は、試料室全体を可視光で観
察することができ、試料の全体像を把握することができ
るＸ線顕微鏡用試料カプセルを提供することにある。

【００１２】

【課題を解決するための手段】実施例を示す図１および
図６に対応付けて説明する。図１に対応付けて説明する
と、請求項１の発明は、それぞれがＸ線透過窓１０４お
よびそのＸ線透過窓１０４を補強する支持部１０１ｂを
具備して互いに対向する一対の基板１１と、所定距離に
保持した基板１１間に形成された試料室とを備えるＸ線
顕微鏡用試料カプセルに適用され、支持部１０１ｂを可
視光を透過する物質で形成したことにより上述の目的を
達成する。図６に対応付けて説明すると、請求項２の発
明の試料カプセルでは、Ｘ線透過窓４０１ａおよび支持
部４０１ｂは可視光を透過する物質で一体に形成され、
Ｘ線透過窓４０１ａの厚さｔを０．０１μｍ≦ｔ≦１０
μｍとした。

【００１３】

【作用】請求項１の発明では、可視光はＸ線透過窓１０
４および支持部１０１ｂのいずれも透過する。請求項２
の発明では、Ｘ線は厚さｔが０．０１μｍ≦ｔ≦１０μ
ｍであるＸ線透過窓４０１ａを透過し、可視光はＸ線透
過窓４０１ａおよび支持部４０１ｂのいずれも透過す
る。

【００１４】なお、本発明の構成を説明する上記課題を
解決するための手段と作用の項では、本発明を分かり易
くするために実施例の図を用いたが、これにより本発明
が実施例に限定されるものではない。

【００１５】

【実施例】以下、図１〜図８を参照して本発明の実施例
を説明する。 −第１実施例− 図１は本発明による試料カプセルの第１実施例を説明す
る図であり、（ａ）は試料カプセルを構成するチップの
平面図、（ｂ）は断面図である。図１（ａ）に示すよう
に、矩形のチップ１１の中心部分に円形のＸ線透過窓１
０４が形成されている。Ｘ線透過窓１０４は窒化シリコ
ン層１０２ａからなり、可視光を透過するガラスの支持
部１０１ｂによって支持されている。支持部１０１ｂは
その両面に窒化シリコン層１０２ａおよび１０２ｂが形
成されているが、窒化シリコン層１０２ａおよび１０２
ｂの厚さがそれぞれ０．１μｍ程度であるため可視光の
透過率への影響は非常に小さい。なお、従来と同様、一
対のチップ１１を例えばリング状のスペーサを介して対
向配置し、試料カプセルとする。

【００１６】図２は図１に示したチップ１１の製造方法
を説明する図であり、（ａ）〜（ｅ）は各製造工程を示
す。図２（ａ）に示す工程でガラス基板１０１の表面を
洗浄した後に、図２（ｂ）に示すように、スパッタやＬ
Ｐ−ＣＶＤ（低圧ＣＶＤ）により窒化シリコン層１０２
ａ，１０２ｂをガラス基板１０１の両面に成膜する。図
２（ｃ）に示す工程では、フォトリソグラフィなどを用
いてＸ線透過窓１０４を形成するためのレジストや金属
等のマスクパターン１０３を窒化シリコン層１０２ｂ上
に形成する。次いで、図２（ｄ）に示すように、ドライ
エッチングによりマスクパターン１０３に基づいて窒化
シリコン層１０２ｂをエッチングした後、マスクパター
ン１０３を剥離する。その後、図２（ｅ）に示すよう
に、フッ酸などを用いたエッチングによりＸ線透過窓部
分のガラス基板を除去し、窒化シリコン層１０２ａによ
るＸ線透過窓１０４とそれを支持する支持部１０１ｂと
を形成する。このようにして、試料カプセルを構成する
チップ１１が得られる。

【００１７】上述したように、本実施例の試料カプセル
を構成するチップ１１では、窒化シリコン層１０２ａの
Ｘ線透過窓１０４をガラスの支持部１０１ｂで支持して
いる。ガラスは、その厚さが０．１ｍｍ以上の場合には
Ｘ線をほとんど透過しないが、可視光に対しては厚さが
数ｍｍ以上であっても透過率が十分大きい。そのため、
機械的強度を持たせるために支持部１０１ｂの厚さを
０．５ｍｍ程度にした場合、Ｘ線透過窓１０４より大き
な試料に対しても光学顕微鏡を用いてその全景を観察す
ることができ、Ｘ線顕微鏡で観察した場合に試料のどの
部分を観察しているか容易に把握することができる。ま
た、従来のようにシリコンを支持部に用いた場合には、
異方性エッチングを利用するためＸ線透過窓の形は矩形
が一般的であるが、支持部にガラスを用いた場合にはエ
ッチングの方向性がないため、従来のような矩形だけで
なく本実施例のように強度のより強い形状である円形に
することができる。また、本実施例ではチップ１１の形
状を矩形としたが、チップ１１を円形にして試料カプセ
ル内でＸ線光学系の軸に関して回転できるようにしても
よい。なお、上述した例ではマスクパターン１０３を剥
離しているが、マスクとして用いたレジストや金属等が
可視光に対して透明であれば剥離しなくてもよい。

【００１８】上述した実施例では、支持部１０１ｂとし
てガラスを用いているが、ポリカーボネート等のプラス
チック材料や水晶を板状にしたものや、塩化ビニルやポ
リエチレン等をフィルム状にしたものを用いてもよい。
また、Ｘ線透過窓材として窒化シリコンを用いたが、酸
化シリコン，窒化ボロン，炭化シリコンおよびベリリウ
ム等を用いてもよい。

【００１９】−第２実施例− 図３は本発明による試料カプセルの第２実施例を説明す
る図であり、（ａ）は試料カプセルを構成するチップの
平面図、（ｂ）は断面図である。第１実施例と同様に、
矩形のチップ１１の中心部分に円形のＸ線透過窓２０６
が形成されている。窒化シリコン層２０３によるＸ線透
過窓２０６は、可視光を透過する物質である熱硬化性樹
脂のジエチレングリコールビスアリルカーボネートから
なる支持部２０５によって支持されている。

【００２０】図４は図３に示したチップ１１の製造方法
を説明する図であり、（ａ）〜（ｆ）は各製造工程を示
す。図４（ａ）の工程でシリコン，ガラス等の基板２０
１の表面を洗浄した後、図４（ｂ）に示すように、基板
２０１のいずれか一方の面にレジスト２０２を薄く塗布
する。この際、後述する工程でレジスト２０２を剥離し
やすいように基板２０１の塗布面に溝パターン等を施し
ておくと良い。次いで、図４（ｃ）に示すようにＬＰ−
ＣＶＤ等によりレジスト２０２上に窒化シリコン層２０
３を成膜する。そして、図４（ｄ）に示すように、窒化
シリコン層２０３上のＸ線透過窓に対応する部分にポリ
シリコン（多結晶シリコン）２０４を形成した後、図４
（ｅ）に示すように、熱硬化性の樹脂であるジエチレン
グリコールビスアリルカーボネートを均一の厚さに流し
込み、加熱固化させて支持部２０５を形成する。このと
き、Ｘ線透過窓に対応する部分の窒化シリコン層２０３
はポリシリコン２０４で覆われているため、この部分に
ジエチレングリコールビスアリルカーボネートが流れ込
むことはない。最後に、図４（ｆ）に示すように、Ｘ線
透過窓２０６の部分を覆っていたポリシリコン２０４を
除去した後、レジスト２０２を剥離して基板２０１を除
去することによりチップ１１が得られる。

【００２１】上述した第２実施例や図１に示した第１実
施例のようにＸ線透過窓材に窒化シリコンを用いた場合
には、Ｘ線透過窓の窒化シリコン層に発生する応力が引
っ張り応力となるため、Ｘ線透過窓を容易に形成するこ
とができるが、例えば、Ｘ線透過窓材に酸化シリコンを
用いた場合には、酸化シリコンはスパッタリング等の通
常の成膜では圧縮応力となるため、酸化シリコン層のＸ
線透過窓を形成することは難しい。しかし、本実施例の
チップ製造方法において、支持部２０５として固化時に
膨張するような樹脂を用いれば、支持部２０５が固化す
る際にＸ線透過窓材の酸化シリコン層に引っ張り応力を
与えることができ、酸化シリコン層のＸ線透過窓を容易
に得ることができる。また、固化時に収縮するような樹
脂を用いた場合であっても、例えば支持部をリング状に
形成してリングの直径と太さとを適当な条件に設定する
ことにより、支持部が収縮したときにリングの内側に形
成されたＸ線透過窓材が支持部から引っ張り応力を受け
るようにすることができる。

【００２２】本実施例においても、可視光の透過率が十
分大きな物質を支持部に用いているため、第１実施例と
同様の効果を得ることができる。さらに、第１実施例で
は、予め板状に形成したガラス基板１０１を支持部１０
１ｂの材料としているが、本実施例では窒化シリコン層
２０３上に樹脂を硬化させて支持部２０５を形成してい
るため、第１実施例のように支持部材である樹脂を予め
板状やフィルム状に形成しておかなくても良く、製作コ
ストの低減を図ることができる。なお、本実施例では樹
脂としてジエチレングリコールビスアリルカーボネート
を用いたが、ポリカーボネート，紫外線硬化性樹脂，エ
ポキシ樹脂等の可視光を透過する樹脂を用いてもよい。

【００２３】−第２実施例の変形例− 図５は第２実施例の変形例であり、（ａ）〜（ｅ）には
チップ１１の各製造工程を示した。チップ１１の構造
は、図５（ｅ）に示すように窒化シリコン層３０２によ
るＸ線透過窓３０６を熱硬化性樹脂であるポリカーボネ
ートの支持部３０５で支持するものであり、第２実施例
と同様の構造であるが、チップ１１の製造方法が第２実
施例と異なる。図５（ａ）に示す工程では、図４（ａ）
と同様にシリコンの基板３０１の表面を洗浄した後、基
板３０１のいずれか一方の面に窒化シリコン層３０２形
成し、その後、レジスト３０３，３０４をそれぞれ塗布
する。次に、図５（ｂ）に示すように、フォトリソグラ
フィによりＸ線透過窓に対応する部分のレジスト３０３
ａのみを残す。そして、図５（ｃ）に示すように、エッ
チングによりＸ線透過窓に対応する部分の基板３０１を
島状に残す。次いで、図５（ｄ）に示すようにポリカー
ボネートを均一の厚さに流し込み、加熱固化させて支持
部３０５を形成する。最後に、図５（ｅ）に示すように
レジスト３０３ａ，３０４を剥離した後、シリコン基板
３０１を１０〜７０ｗｔ％程度の水酸化カリウム水溶液
（ＫＯＨ）でエッチングして除去する。

【００２４】−第３実施例− 図６は本発明による試料カプセルの第３実施例を説明す
る図であり、（ａ）は試料カプセルを構成するチップの
平面図、（ｂ）は断面図である。矩形のチップ１１はガ
ラスから成り、可視光に対する透過率が十分大きい。４
０１ａはチップ１１の中心部分に形成された円形のＸ線
透過窓であり、図６（ｂ）に示すように板状のガラス基
板の厚みを０．１μｍ程度にし、Ｘ線透過率が十分大き
くなるようにしている。４０１ｂはＸ線透過窓４０１ａ
の周辺部のガラス基板であり、Ｘ線透過窓４０１ａの支
持部を形成している。

【００２５】図７は図６に示したチップ１１の製造方法
を説明する図であり、（ａ）〜（ｄ）は各製造工程を示
す。図７（ａ）に示す工程でガラス基板４０１の表面を
洗浄した後に、図７（ｂ）に示すように、ガラス基板４
０１の両面にレジスト４０２ａ，４０２ｂを塗布した
後、レジスト４０２ｂのＸ線透過窓に対応する部分を除
去したマスクパターンをフォトリソグラフィにより形成
する。次に、図７（ｃ）に示すように、フッ酸等を用い
てＸ線透過窓に対応する部分のガラス基板４０１を、厚
さが０．１μｍ程度になるまでエチングしてＸ線透過窓
４０１ａおよび支持部４０１ｂを形成する。最後に、図
７（ｄ）に示すように、レジスト４０２ａ，４０２ｂを
剥離することにより、Ｘ線透過窓４０１ａと支持部４０
１ｂとが一体となったチップ１１が得られる。

【００２６】本実施例では、チップ１１のＸ線透過窓４
０１ａと支持部４０１ｂとを可視光を透過するガラスで
一体に形成し、Ｘ線透過窓４０１ａの部分の厚さをＸ線
透過率が十分大きくなる程度（本実施例では０．１μ
ｍ）に薄くしているため、光学顕微鏡等で試料の全体像
を観察することができる。本実施例ではチップ１１の物
質としてガラスを用いたが、ガラスに限らず可視光を透
過する物質で厚さを０．１μｍ程度にしたときにＸ線を
十分透過するものであれば良い。その様な物質の例を図
８に数種類示した。図８は、可視光に関して透明な物質
のＸ線透過率を、Ｘ線窓部材として用いられる窒化シリ
コン（Ｓｉ₃Ｎ₄）と比較して示したものであり、横軸が
物質の厚みである。この図からも分かるように、各物質
とも厚さが０．１μｍ程度になるとＸ線透過率が十分大
きくなるため、Ｘ線透過窓４０１ａを通してＸ線顕微鏡
により試料を観察することができる。なお、図８のデー
タによれば、各物質とも厚さが１μｍ以上になるとＸ線
透過率がかなり小さくなっているが、各物質とも低密度
化することで、厚さ１０μｍでもＸ線透過率の低下を抑
制することができる。

【００２７】本実施例において、レジスト４０２ａ，４
０２ｂの代りに金属等を用いたマスクパターンを形成す
るようにしてもよい。なお、マスクとして用いたレジス
ト４０２ａ，４０２ｂがＸ線および可視光に対して影響
のない程度に十分な透過率を有する場合には、図７
（ｃ）に示す状態でチップとして用いても良い。

【００２８】以上説明した実施例と特許請求の範囲との
対応において、チップ１１は基板を構成する。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
試料カプセルの支持部が可視光を透過するため、可視光
を用いて試料の全体像を観察することができ、Ｘ線顕微
鏡で観察している部分が試料全体のどの部分か把握する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による試料カプセルの第１実施例を説明
する図であり、（ａ）は試料カプセルを構成するチップ
１１の平面図、（ｂ）は断面図である。

【図２】図１のチップ１１の製造方法を説明する図であ
り、（ａ）〜（ｅ）は各製造工程を示す。

【図３】本発明による試料カプセルの第２実施例を説明
する図であり、（ａ）は試料カプセルを構成するチップ
１１の平面図、（ｂ）は断面図である。

【図４】図３のチップ１１の製造方法を説明する図であ
り、（ａ）〜（ｆ）は各製造工程を示す。

【図５】第２実施の変形例を説明する図で、チップ１１
の製造方法を示しており、（ａ）〜（ｅ）は各製造工程
を示す。

【図６】本発明による試料カプセルの第３実施例を説明
する図であり、（ａ）は試料カプセルを構成するチップ
１１の平面図、（ｂ）は断面図である。

【図７】図６のチップ１１の製造方法を説明する図であ
り、（ａ）〜（ｄ）は各製造工程を示す。

【図８】物質の厚みとＸ線透過率の関係を示す図。

【図９】物質によるＸ線の線吸収係数を説明する図。

【図１０】Ｘ線顕微鏡の概略構成図。

【図１１】従来の試料カプセルおよび試料容器の構造を
示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は断面図であ
る。

【図１２】従来の試料カプセルを用いたときの観察領域
を説明する図。

【符号の説明】 ４ 試料カプセル １０ 試料室 １１ チップ １０１ｂ，２０５，３０５，４０１ｂ 支持部 １０４，２０６，３０６，４０１ａ Ｘ線透過窓

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 それぞれがＸ線透過窓およびそのＸ線透
   過窓を補強する支持部を具備して互いに対向する一対の
   基板と、所定距離に保持した前記基板間に形成された試
   料室とを備えるＸ線顕微鏡用試料カプセルにおいて、 前記支持部を可視光を透過する物質で形成したことを特
   徴とするＸ線顕微鏡用試料カプセル。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のＸ線顕微鏡用試料カプ
   セルにおいて、 前記Ｘ線透過窓および前記支持部は可視光を透過する物
   質で一体に形成され、前記Ｘ線透過窓の厚さｔを０．０
   １μｍ≦ｔ≦１０μｍとしたことを特徴とするＸ線顕微
   鏡用試料カプセル。