JPH08327564A - Ｘ線回折装置用試料ホルダ - Google Patents
Ｘ線回折装置用試料ホルダInfo
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- JPH08327564A JPH08327564A JP7138074A JP13807495A JPH08327564A JP H08327564 A JPH08327564 A JP H08327564A JP 7138074 A JP7138074 A JP 7138074A JP 13807495 A JP13807495 A JP 13807495A JP H08327564 A JPH08327564 A JP H08327564A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】簡易に試料面とナイフエッジとの間隔を精度良
く設定でき、しかも高い位置再現性をもってそれを決定
することができる機能を備えたＸ線回折装置用試料ホル
ダを提供する。 【構成】本発明の試料ホルダは、試料６を取付ける試料
支持面１ｂと該試料支持面１ｂに直交する面１ｃに設け
られた溝部１ａを有する支持部材１と、支持部材１の溝
部１ａにスライド可能に固定され試料面６ａに対して垂
直方向に移動可能なナイフエッジ２を備え、且つ試料６
の取付け前に支持部材１の試料支持面１ｂに取付けられ
ナイフエッジ２と試料面との間隔を位置決めするための
治具５を有し、ナイフエッジ２の位置決め時には、支持
部材１の試料支持面１ｂに治具５を取付け、支持部材１
の溝部１ａに沿ってナイフエッジ２をスライドし、治具
５の突起部５ａにナイフエッジ２を接触させることによ
りナイフエッジ２と試料面６ａとの間隔Ａを決定する。
く設定でき、しかも高い位置再現性をもってそれを決定
することができる機能を備えたＸ線回折装置用試料ホル
ダを提供する。 【構成】本発明の試料ホルダは、試料６を取付ける試料
支持面１ｂと該試料支持面１ｂに直交する面１ｃに設け
られた溝部１ａを有する支持部材１と、支持部材１の溝
部１ａにスライド可能に固定され試料面６ａに対して垂
直方向に移動可能なナイフエッジ２を備え、且つ試料６
の取付け前に支持部材１の試料支持面１ｂに取付けられ
ナイフエッジ２と試料面との間隔を位置決めするための
治具５を有し、ナイフエッジ２の位置決め時には、支持
部材１の試料支持面１ｂに治具５を取付け、支持部材１
の溝部１ａに沿ってナイフエッジ２をスライドし、治具
５の突起部５ａにナイフエッジ２を接触させることによ
りナイフエッジ２と試料面６ａとの間隔Ａを決定する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線回折装置用試料ホ
ルダに関し、特に、試料に対してＸ線を低角入射して測
定する場合に用いられるＸ線回折装置用試料ホルダに関
する。
ルダに関し、特に、試料に対してＸ線を低角入射して測
定する場合に用いられるＸ線回折装置用試料ホルダに関
する。
【０００２】
【従来の技術】図３（ａ）はＸ線回折装置の一構成例を
示す図であって、この例では、Ｘ線源１０からのＸ線を
分光結晶１１で分光し、分光された特定波長のＸ線を試
料ホルダ１２に支持された試料６に入射し、試料６によ
って反射（回折）されたＸ線を検出器１４により検出す
るものである。図示を省略しているが、試料ホルダ１２
と検出器１４との関係は公知のデフレクトメーター構造
となっており、試料ホルダ１２はゴニオメータの回転台
に載置され、図３（ｂ）に示すように、中心軸Ｏを中心
に回転できるようになっている。また、検出器１４も中
心軸Ｏを中心に試料の周りを回転できる機構で支持され
ており、試料と検出器は中心軸Ｏのまわりにモーター駆
動あるいは手動により１：２の速度比で、所謂θ−２θ
の関係で回転するようになっている。
示す図であって、この例では、Ｘ線源１０からのＸ線を
分光結晶１１で分光し、分光された特定波長のＸ線を試
料ホルダ１２に支持された試料６に入射し、試料６によ
って反射（回折）されたＸ線を検出器１４により検出す
るものである。図示を省略しているが、試料ホルダ１２
と検出器１４との関係は公知のデフレクトメーター構造
となっており、試料ホルダ１２はゴニオメータの回転台
に載置され、図３（ｂ）に示すように、中心軸Ｏを中心
に回転できるようになっている。また、検出器１４も中
心軸Ｏを中心に試料の周りを回転できる機構で支持され
ており、試料と検出器は中心軸Ｏのまわりにモーター駆
動あるいは手動により１：２の速度比で、所謂θ−２θ
の関係で回転するようになっている。
【０００３】ところで、図３に示すような構成のＸ線回
折装置で、Ｘ線反射率測定法や小角散乱法等により測定
を行う場合、すなわち、試料６の回転が低角領域の場合
（θの走査範囲が０〜１ｄｅｇ．程度）、Ｘ線の試料６
への入射角が小さいため、試料で反射（回折）されたＸ
線の他に、分光結晶１１からのＸ線が検出器１４に直接
入射してしまうという不具合が生じる。このため、Ｘ線
の試料への入射角が小さい場合の測定では、低角入射時
におけるダイレクトビームを遮断するためのナイフエッ
ジ１３を設けた試料ホルダ１２が用いられている。
折装置で、Ｘ線反射率測定法や小角散乱法等により測定
を行う場合、すなわち、試料６の回転が低角領域の場合
（θの走査範囲が０〜１ｄｅｇ．程度）、Ｘ線の試料６
への入射角が小さいため、試料で反射（回折）されたＸ
線の他に、分光結晶１１からのＸ線が検出器１４に直接
入射してしまうという不具合が生じる。このため、Ｘ線
の試料への入射角が小さい場合の測定では、低角入射時
におけるダイレクトビームを遮断するためのナイフエッ
ジ１３を設けた試料ホルダ１２が用いられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、Ｘ線
回折におけるナイフエッジは元々低角入射時におけるダ
イレクトビームを遮断するために設けられたものであ
り、試料面とナイフエッジとの間隔は通常固定である
が、その間隔の初期設定や設定値の変更時には、一般的
にマイクロメータ等によって調整するものであった。し
かし、マイクロメータを使用した場合、位置再現性が悪
く、間隔をマイクロオーダで調整する場合、精度決定す
ることができなかった。
回折におけるナイフエッジは元々低角入射時におけるダ
イレクトビームを遮断するために設けられたものであ
り、試料面とナイフエッジとの間隔は通常固定である
が、その間隔の初期設定や設定値の変更時には、一般的
にマイクロメータ等によって調整するものであった。し
かし、マイクロメータを使用した場合、位置再現性が悪
く、間隔をマイクロオーダで調整する場合、精度決定す
ることができなかった。
【０００５】本発明は上記事情に鑑みなされたものであ
って、特別な調整機構を用いずに簡易に試料面とナイフ
エッジとの間隔を精度良く設定でき、しかも高い位置再
現性をもってそれを決定することができる機能を備えた
Ｘ線回折装置用試料ホルダを提供することを目的とす
る。
って、特別な調整機構を用いずに簡易に試料面とナイフ
エッジとの間隔を精度良く設定でき、しかも高い位置再
現性をもってそれを決定することができる機能を備えた
Ｘ線回折装置用試料ホルダを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明によるＸ線回折装置用試料ホルダは、試料を
取り付ける試料支持面と該試料支持面に直交する面に設
けられた溝部を有する支持部材と、該支持部材の溝部に
スライド可能に固定され試料面に対して垂直方向に移動
可能なナイフエッジを備え、且つ、試料の取付け前に前
記支持部材の試料支持面に取り付けられ前記ナイフエッ
ジと試料面との間隔を位置決めするための治具を有し、
ナイフエッジの位置決め時には、支持部材の試料支持面
に前記治具を取り付け、支持部材の溝部に沿ってナイフ
エッジをスライドし、前記治具にナイフエッジを接触さ
せることによりナイフエッジと試料面との間隔を決定す
ることを特徴としている（請求項１）。
め、本発明によるＸ線回折装置用試料ホルダは、試料を
取り付ける試料支持面と該試料支持面に直交する面に設
けられた溝部を有する支持部材と、該支持部材の溝部に
スライド可能に固定され試料面に対して垂直方向に移動
可能なナイフエッジを備え、且つ、試料の取付け前に前
記支持部材の試料支持面に取り付けられ前記ナイフエッ
ジと試料面との間隔を位置決めするための治具を有し、
ナイフエッジの位置決め時には、支持部材の試料支持面
に前記治具を取り付け、支持部材の溝部に沿ってナイフ
エッジをスライドし、前記治具にナイフエッジを接触さ
せることによりナイフエッジと試料面との間隔を決定す
ることを特徴としている（請求項１）。
【０００７】また、前記位置決め用の治具は、ナイフエ
ッジと試料面との間隔に等しい高さの突起部を備えてい
る（請求項２）。
ッジと試料面との間隔に等しい高さの突起部を備えてい
る（請求項２）。
【０００８】さらに、本発明のＸ線回折装置用試料ホル
ダにおいては、ナイフエッジ先端の治具との接触部に電
極を設け、該電極と治具とを電気回路に接続し、ナイフ
エッジと治具との接触を電気的に検知する（請求項
３）。
ダにおいては、ナイフエッジ先端の治具との接触部に電
極を設け、該電極と治具とを電気回路に接続し、ナイフ
エッジと治具との接触を電気的に検知する（請求項
３）。
【０００９】また、ナイフエッジ先端の電極は所定の間
隔を隔てて２箇所に設けら、該２つの電極と治具とを電
気回路に接続し、ナイフエッジと治具との接触及び平行
度を電気的に検知する（請求項４）。
隔を隔てて２箇所に設けら、該２つの電極と治具とを電
気回路に接続し、ナイフエッジと治具との接触及び平行
度を電気的に検知する（請求項４）。
【００１０】さらに、前記電気回路は、前記２つの電極
にそれぞれ一端側を接続され他端側を共通端子とした２
つの抵抗からなる並列回路と、該並列回路の共通端子に
接続された電源及び電流計からなり、該電流計でナイフ
エッジと治具との接触及び平行度を検知する（請求項
５）。
にそれぞれ一端側を接続され他端側を共通端子とした２
つの抵抗からなる並列回路と、該並列回路の共通端子に
接続された電源及び電流計からなり、該電流計でナイフ
エッジと治具との接触及び平行度を検知する（請求項
５）。
【００１１】また、前記並列回路の２つの抵抗には抵抗
値の異なる抵抗を使用し、前記電流計で計測される電流
の変化を検知することにより治具と接触している側の電
極を特定できるようにした（請求項６）。
値の異なる抵抗を使用し、前記電流計で計測される電流
の変化を検知することにより治具と接触している側の電
極を特定できるようにした（請求項６）。
【００１２】
【作用】本発明によるＸ線回折装置用試料ホルダにおい
ては、特別な調整機構を必要としない治具を用い、ナイ
フエッジの位置決め時には、支持部材の試料支持面に前
記治具を取り付け、支持部材の溝部に沿ってナイフエッ
ジをスライドし、前記治具にナイフエッジを接触させ
る、という簡単な調整のみで試料面とナイフエッジとの
間隔を設定することができる。
ては、特別な調整機構を必要としない治具を用い、ナイ
フエッジの位置決め時には、支持部材の試料支持面に前
記治具を取り付け、支持部材の溝部に沿ってナイフエッ
ジをスライドし、前記治具にナイフエッジを接触させ
る、という簡単な調整のみで試料面とナイフエッジとの
間隔を設定することができる。
【００１３】また、前記位置決め用の治具は、ナイフエ
ッジと試料面との間隔に等しい高さの突起部を備えてい
るため、治具の突起部にナイフエッジを接触させた状態
でナイフエッジを固定し、試料ホルダの試料支持面から
治具を外して該試料支持面に試料を取り付けるという簡
単な作業で、位置再現性良く試料面とナイフエッジとの
間隔が設定される。尚、突起部の高さを変えた治具を多
種類用意しておくことにより、容易に間隔の設定値を変
更することができる。
ッジと試料面との間隔に等しい高さの突起部を備えてい
るため、治具の突起部にナイフエッジを接触させた状態
でナイフエッジを固定し、試料ホルダの試料支持面から
治具を外して該試料支持面に試料を取り付けるという簡
単な作業で、位置再現性良く試料面とナイフエッジとの
間隔が設定される。尚、突起部の高さを変えた治具を多
種類用意しておくことにより、容易に間隔の設定値を変
更することができる。
【００１４】ところで、上記のようにナイフエッジを治
具に接触させて位置決めする際に、ナイフエッジを治具
に押しつけた状態で過剰な力を加えると位置精度が悪く
なる恐れがある。そこで本発明では、ナイフエッジ先端
の治具との接触部に電極を設け、該電極と治具とを電気
回路に接続し、ナイフエッジと治具との接触を電気的に
検知することにより、わずかな接触も検知できるように
なり、過剰な押しつけによる位置精度の悪化を防止する
ことができる。
具に接触させて位置決めする際に、ナイフエッジを治具
に押しつけた状態で過剰な力を加えると位置精度が悪く
なる恐れがある。そこで本発明では、ナイフエッジ先端
の治具との接触部に電極を設け、該電極と治具とを電気
回路に接続し、ナイフエッジと治具との接触を電気的に
検知することにより、わずかな接触も検知できるように
なり、過剰な押しつけによる位置精度の悪化を防止する
ことができる。
【００１５】また、ナイフエッジと治具を接触させて位
置決めする際に、それらの平行度が悪いと位置精度が悪
くなる。そこで本発明では、ナイフエッジ先端の電極を
所定の間隔を隔てて２箇所に設け、該２つの電極と治具
とを電気回路に接続し、ナイフエッジと治具との接触及
び平行度を電気的に検知する、すなわち、２つの電極と
治具との接触を電気的に検知することにより、ナイフエ
ッジと治具との接触のみならず平行度を検知することが
できる。より具体的には、前記電気回路は、前記２つの
電極にそれぞれ一端側を接続され他端側を共通端子とし
た２つの抵抗からなる並列回路と、該並列回路の共通端
子に接続された電源及び電流計からなり、前記並列回路
の２つの抵抗には抵抗値の異なる抵抗を使用し、前記電
流計で計測される電流の変化を検知することにより、治
具と接触している側の電極を特定することができ、ナイ
フエッジと治具との平行度を容易に且つ正確に検知する
ことができる。
置決めする際に、それらの平行度が悪いと位置精度が悪
くなる。そこで本発明では、ナイフエッジ先端の電極を
所定の間隔を隔てて２箇所に設け、該２つの電極と治具
とを電気回路に接続し、ナイフエッジと治具との接触及
び平行度を電気的に検知する、すなわち、２つの電極と
治具との接触を電気的に検知することにより、ナイフエ
ッジと治具との接触のみならず平行度を検知することが
できる。より具体的には、前記電気回路は、前記２つの
電極にそれぞれ一端側を接続され他端側を共通端子とし
た２つの抵抗からなる並列回路と、該並列回路の共通端
子に接続された電源及び電流計からなり、前記並列回路
の２つの抵抗には抵抗値の異なる抵抗を使用し、前記電
流計で計測される電流の変化を検知することにより、治
具と接触している側の電極を特定することができ、ナイ
フエッジと治具との平行度を容易に且つ正確に検知する
ことができる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。図１は本発明の一実施例を示すＸ線回折装置用試
料ホルダの説明図であり、（ａ）は支持部材の試料支持
面に治具を取り付けた状態を示す試料ホルダの斜視図、
（ｂ）はナイフエッジの位置設定後、支持部材の試料支
持面から治具を外して試料を取り付けた状態を示す試料
ホルダの斜視図である。図１において、方形ブロック状
に形成された支持部材１は、クリップ止めやネジ止め等
の固定方法（図示を省略）により試料６を取り付ける試
料支持面１ｂと該試料支持面１ｂに直交する面１ｃに設
けられた溝部１ａを有しており、支持部材１の溝部１ａ
にはナイフエッジ２がスライド可能に固定され試料面６
ａに対して垂直方向に移動可能となっている。また、こ
の試料ホルダには、試料６の取付け前に支持部材１の試
料支持面１ｂに取り付けられナイフエッジ２と試料面６
ａとの間隔を位置決めするための治具５が具備されてお
り、ナイフエッジ２の位置決め時には、図１（ａ）のよ
うに、支持部材１の試料支持面１ｂにクリップ止めやネ
ジ止め等の固定方法（図示を省略）により治具５を取り
付け、支持部材１の溝部１ａに沿ってナイフエッジ２を
スライドし、治具５にナイフエッジ２を接触させること
によりナイフエッジ２と試料面との間隔を決定すること
ができる。
する。図１は本発明の一実施例を示すＸ線回折装置用試
料ホルダの説明図であり、（ａ）は支持部材の試料支持
面に治具を取り付けた状態を示す試料ホルダの斜視図、
（ｂ）はナイフエッジの位置設定後、支持部材の試料支
持面から治具を外して試料を取り付けた状態を示す試料
ホルダの斜視図である。図１において、方形ブロック状
に形成された支持部材１は、クリップ止めやネジ止め等
の固定方法（図示を省略）により試料６を取り付ける試
料支持面１ｂと該試料支持面１ｂに直交する面１ｃに設
けられた溝部１ａを有しており、支持部材１の溝部１ａ
にはナイフエッジ２がスライド可能に固定され試料面６
ａに対して垂直方向に移動可能となっている。また、こ
の試料ホルダには、試料６の取付け前に支持部材１の試
料支持面１ｂに取り付けられナイフエッジ２と試料面６
ａとの間隔を位置決めするための治具５が具備されてお
り、ナイフエッジ２の位置決め時には、図１（ａ）のよ
うに、支持部材１の試料支持面１ｂにクリップ止めやネ
ジ止め等の固定方法（図示を省略）により治具５を取り
付け、支持部材１の溝部１ａに沿ってナイフエッジ２を
スライドし、治具５にナイフエッジ２を接触させること
によりナイフエッジ２と試料面との間隔を決定すること
ができる。
【００１７】尚、治具５には、ナイフエッジ２と試料面
との間隔Ａに等しい高さの突起部５ａが設けられてお
り、ナイフエッジ２を治具５の突起部５ａに接触させて
位置決めした後、治具５を支持部材１の試料支持面１ｂ
から取り外し、図１（ｂ）に示すように、支持部材１の
試料支持面１ｂに試料６を取り付ければ、自動的に試料
面６ａとナイフエッジ２との間隔Ａが精度良く設定され
る。
との間隔Ａに等しい高さの突起部５ａが設けられてお
り、ナイフエッジ２を治具５の突起部５ａに接触させて
位置決めした後、治具５を支持部材１の試料支持面１ｂ
から取り外し、図１（ｂ）に示すように、支持部材１の
試料支持面１ｂに試料６を取り付ければ、自動的に試料
面６ａとナイフエッジ２との間隔Ａが精度良く設定され
る。
【００１８】前述の従来技術においては、ナイフエッジ
と試料面との間隔を設定する場合、一般的にはマイクロ
メータなどが用いられてきたが、この場合、間隔の精度
はマイクロメータの機械的精度に大きく依存し、マイク
ロオーダでの位置再現性は期待できなかったが、図１に
示すような本発明の試料ホルダを用いれば、ナイフエッ
ジ２と試料面との間隔は治具５の突起部５ａの高さＡで
決まり、ナイフエッジ２を治具５の突起部５ａに過剰な
力で押しつけない限り従来法より高い精度で間隔設定す
ることができ、また位置再現性も高い。
と試料面との間隔を設定する場合、一般的にはマイクロ
メータなどが用いられてきたが、この場合、間隔の精度
はマイクロメータの機械的精度に大きく依存し、マイク
ロオーダでの位置再現性は期待できなかったが、図１に
示すような本発明の試料ホルダを用いれば、ナイフエッ
ジ２と試料面との間隔は治具５の突起部５ａの高さＡで
決まり、ナイフエッジ２を治具５の突起部５ａに過剰な
力で押しつけない限り従来法より高い精度で間隔設定す
ることができ、また位置再現性も高い。
【００１９】ところで、ナイフエッジ２を治具５の突起
部５ａに接触させて位置決めする際に、過剰な力を加え
ない方法としては、ナイフエッジに電極を設け、ナイフ
エッジと治具とを電気回路に接続し、ナイフエッジの電
極と治具との間の導通を検知することにより、わずかな
接触でも検知することが可能となる。すなわち、マイク
ロオーダで間隔を設定する場合、目視による方法は困難
であるが、ナイフエッジと治具との接触を電気的に検知
することにより高い精度で間隔を設定することができ
る。さらに、図１に示す実施例のように、ナイフエッジ
２の先端の上部と下部の２箇所に電極３，４を設け、２
つの電極３，４と治具５の突起部５ａとの接触を電気的
に検知することにより、ナイフエッジ２と治具５との平
行度を確保でき、治具５を外して支持部材１に試料６を
取り付けた際のナイフエッジ２と試料６との平行性を確
保することができる。以下、図１（ａ）、図２によりそ
の具体的な実施例について述べる。
部５ａに接触させて位置決めする際に、過剰な力を加え
ない方法としては、ナイフエッジに電極を設け、ナイフ
エッジと治具とを電気回路に接続し、ナイフエッジの電
極と治具との間の導通を検知することにより、わずかな
接触でも検知することが可能となる。すなわち、マイク
ロオーダで間隔を設定する場合、目視による方法は困難
であるが、ナイフエッジと治具との接触を電気的に検知
することにより高い精度で間隔を設定することができ
る。さらに、図１に示す実施例のように、ナイフエッジ
２の先端の上部と下部の２箇所に電極３，４を設け、２
つの電極３，４と治具５の突起部５ａとの接触を電気的
に検知することにより、ナイフエッジ２と治具５との平
行度を確保でき、治具５を外して支持部材１に試料６を
取り付けた際のナイフエッジ２と試料６との平行性を確
保することができる。以下、図１（ａ）、図２によりそ
の具体的な実施例について述べる。
【００２０】図１（ａ）における治具５とナイフエッジ
２の先端の上下２箇所に設けられた電極３，４は図２に
示すような電気回路に接続されている。尚、この場合、
治具５（あるいは治具５の突起部５ａ）は金属等の導電
体で形成されている。前述したように、ナイフエッジ２
は支持部材１に設けられた溝１ａに沿ってスライドし、
治具５は、支持部材１のナイフエッジ２の移動方向に垂
直な面（試料支持面）１ｂに固定されており、治具５に
設けられた突起部５ａの高さＡが設定する試料面とナイ
フエッジ２との間隔に相当する。
２の先端の上下２箇所に設けられた電極３，４は図２に
示すような電気回路に接続されている。尚、この場合、
治具５（あるいは治具５の突起部５ａ）は金属等の導電
体で形成されている。前述したように、ナイフエッジ２
は支持部材１に設けられた溝１ａに沿ってスライドし、
治具５は、支持部材１のナイフエッジ２の移動方向に垂
直な面（試料支持面）１ｂに固定されており、治具５に
設けられた突起部５ａの高さＡが設定する試料面とナイ
フエッジ２との間隔に相当する。
【００２１】図２に示すように、電気回路は、ナイフエ
ッジ２の２つの電極３，４にそれぞれ一端側を接続され
他端側を共通端子とした２つの抵抗Ｒ１，Ｒ２からなる
並列回路と、該並列回路の共通端子に接続された直流電
源８、及び直流電源８と治具５との間に接続された電流
計７からなる。また、並列回路の２つの抵抗には抵抗値
の異なる抵抗（例えば、Ｒ１＝１．５ｋΩ、Ｒ２＝３．
０ｋΩ）が使用されている。
ッジ２の２つの電極３，４にそれぞれ一端側を接続され
他端側を共通端子とした２つの抵抗Ｒ１，Ｒ２からなる
並列回路と、該並列回路の共通端子に接続された直流電
源８、及び直流電源８と治具５との間に接続された電流
計７からなる。また、並列回路の２つの抵抗には抵抗値
の異なる抵抗（例えば、Ｒ１＝１．５ｋΩ、Ｒ２＝３．
０ｋΩ）が使用されている。
【００２２】図１（ａ）において、治具５の突起部５ａ
とナイフエッジ２の先端が平行ならば、電極３と電極４
は同時に接触する。その場合、図２の電流計７には１．
５ｍＡの電流値が表示される。次に、治具５とナイフエ
ッジ２の先端が平行でなく、ナイフエッジ２の下部より
上部の方が間隔が広い場合、下部側の電極４のみが治具
５の突起部５ａと接触する。その時、電流計７には０．
５ｍＡの電流値が表示される。同様に、ナイフエッジ２
の上部より下部の方が間隔が広い場合には、上部側の電
極３のみが治具５の突起部５ａと接触し、電流計７には
１．０ｍＡの電流値が表示される。
とナイフエッジ２の先端が平行ならば、電極３と電極４
は同時に接触する。その場合、図２の電流計７には１．
５ｍＡの電流値が表示される。次に、治具５とナイフエ
ッジ２の先端が平行でなく、ナイフエッジ２の下部より
上部の方が間隔が広い場合、下部側の電極４のみが治具
５の突起部５ａと接触する。その時、電流計７には０．
５ｍＡの電流値が表示される。同様に、ナイフエッジ２
の上部より下部の方が間隔が広い場合には、上部側の電
極３のみが治具５の突起部５ａと接触し、電流計７には
１．０ｍＡの電流値が表示される。
【００２３】このように、ナイフエッジ２の先端の上部
と下部に２つの電極３，４を設け、図２のように異なっ
た抵抗値の抵抗Ｒ１，Ｒ２をそれぞれ接続して並列回路
とすることにより、ナイフエッジ２と治具５の突起部５
ａとの平行性を１つの電流計７の電流値の変化から検知
でき、ナイフエッジ２と治具５の突起部５ａとの接触及
び平行性を容易に検知することができる。従って、図２
の例では、電流計７の電流値が１．５ｍＡとなるように
調整すれば、ナイフエッジ２と治具５との間隔及び平行
性が確保でき、ナイフエッジ２の固定後、治具５を外し
て図１（ｂ）のように試料６を取り付ければ、ナイフエ
ッジ２と試料面６ａとの間隔Ａ及び平行度が正確に設定
できる。
と下部に２つの電極３，４を設け、図２のように異なっ
た抵抗値の抵抗Ｒ１，Ｒ２をそれぞれ接続して並列回路
とすることにより、ナイフエッジ２と治具５の突起部５
ａとの平行性を１つの電流計７の電流値の変化から検知
でき、ナイフエッジ２と治具５の突起部５ａとの接触及
び平行性を容易に検知することができる。従って、図２
の例では、電流計７の電流値が１．５ｍＡとなるように
調整すれば、ナイフエッジ２と治具５との間隔及び平行
性が確保でき、ナイフエッジ２の固定後、治具５を外し
て図１（ｂ）のように試料６を取り付ければ、ナイフエ
ッジ２と試料面６ａとの間隔Ａ及び平行度が正確に設定
できる。
【００２４】尚、図１において、試料面６ａとナイフエ
ッジ２との間隔を調整（変更）する場合には、突起部５
ａの高さＡが異なる治具５に交換する。すなわち試料面
６ａとナイフエッジ２との間隔を例えば１０μｍに設定
するならば、突起部５ａの高さＡ＝１０μｍの治具を使
用し、１５μｍに設定するならば、突起部５ａの高さＡ
＝１５μｍの治具を使用する。従って、突起部５ａの高
さを異ならせた治具を多種類用意しておけば、試料面６
ａとナイフエッジ２との間隔を種々に設定可能となる。
ッジ２との間隔を調整（変更）する場合には、突起部５
ａの高さＡが異なる治具５に交換する。すなわち試料面
６ａとナイフエッジ２との間隔を例えば１０μｍに設定
するならば、突起部５ａの高さＡ＝１０μｍの治具を使
用し、１５μｍに設定するならば、突起部５ａの高さＡ
＝１５μｍの治具を使用する。従って、突起部５ａの高
さを異ならせた治具を多種類用意しておけば、試料面６
ａとナイフエッジ２との間隔を種々に設定可能となる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１のＸ線回
折装置用試料ホルダにおいては、特別な調整機構を必要
としない治具を具備し、ナイフエッジの位置決め時に
は、支持部材の試料支持面に前記治具を取り付け、支持
部材の溝部に沿ってナイフエッジをスライドし、前記治
具にナイフエッジを接触させる、という簡単な調整のみ
で試料面とナイフエッジとの間隔を設定できるので、容
易に且つ高い位置再現性を持って試料面とナイフエッジ
との間隔を決定することができる。
折装置用試料ホルダにおいては、特別な調整機構を必要
としない治具を具備し、ナイフエッジの位置決め時に
は、支持部材の試料支持面に前記治具を取り付け、支持
部材の溝部に沿ってナイフエッジをスライドし、前記治
具にナイフエッジを接触させる、という簡単な調整のみ
で試料面とナイフエッジとの間隔を設定できるので、容
易に且つ高い位置再現性を持って試料面とナイフエッジ
との間隔を決定することができる。
【００２６】請求項２のＸ線回折装置用試料ホルダにお
いては、前記位置決め用の治具は、ナイフエッジと試料
面との間隔に等しい高さの突起部を備えているため、治
具にナイフエッジを接触させた状態でナイフエッジを固
定し、試料ホルダの試料支持面から治具を外して該試料
支持面に試料を取り付けるという簡単な作業で、位置再
現性良く試料面とナイフエッジとの間隔を設定すること
ができる。さらに、突起部の高さを変えた治具を予め多
種類用意しておくことにより、任意の間隔に設定するこ
とができる。
いては、前記位置決め用の治具は、ナイフエッジと試料
面との間隔に等しい高さの突起部を備えているため、治
具にナイフエッジを接触させた状態でナイフエッジを固
定し、試料ホルダの試料支持面から治具を外して該試料
支持面に試料を取り付けるという簡単な作業で、位置再
現性良く試料面とナイフエッジとの間隔を設定すること
ができる。さらに、突起部の高さを変えた治具を予め多
種類用意しておくことにより、任意の間隔に設定するこ
とができる。
【００２７】請求項３のＸ線回折装置用試料ホルダにお
いては、ナイフエッジ先端の治具との接触部に電極を設
け、該電極と治具とを電気回路に接続し、ナイフエッジ
と治具との接触を電気的に検知することにより、わずか
な接触も検知できるようになり、過剰な押しつけによる
位置精度の悪化を防止することができる。
いては、ナイフエッジ先端の治具との接触部に電極を設
け、該電極と治具とを電気回路に接続し、ナイフエッジ
と治具との接触を電気的に検知することにより、わずか
な接触も検知できるようになり、過剰な押しつけによる
位置精度の悪化を防止することができる。
【００２８】請求項４のＸ線回折装置用試料ホルダにお
いては、ナイフエッジ先端の電極を所定の間隔を隔てて
２箇所に設け、該２つの電極と治具とを電気回路に接続
し、ナイフエッジと治具との接触及び平行度を電気的に
検知する、すなわち、２つの電極と治具との接触を電気
的に検知することにより、ナイフエッジと治具との接触
のみならず平行度を検知することができる。
いては、ナイフエッジ先端の電極を所定の間隔を隔てて
２箇所に設け、該２つの電極と治具とを電気回路に接続
し、ナイフエッジと治具との接触及び平行度を電気的に
検知する、すなわち、２つの電極と治具との接触を電気
的に検知することにより、ナイフエッジと治具との接触
のみならず平行度を検知することができる。
【００２９】請求項５のＸ線回折装置用試料ホルダにお
いては、前記電気回路は、前記２つの電極にそれぞれ一
端側を接続され他端側を共通端子とした２つの抵抗から
なる並列回路と、該並列回路の共通端子に接続された電
源及び電流計からなるため、簡単な回路構成で且つ１つ
の電流計で２つの電極の接触状態を同時に検知すること
ができる。
いては、前記電気回路は、前記２つの電極にそれぞれ一
端側を接続され他端側を共通端子とした２つの抵抗から
なる並列回路と、該並列回路の共通端子に接続された電
源及び電流計からなるため、簡単な回路構成で且つ１つ
の電流計で２つの電極の接触状態を同時に検知すること
ができる。
【００３０】請求項６のＸ線回折装置用試料ホルダにお
いては、前記並列回路の２つの抵抗には抵抗値の異なる
抵抗を使用し、前記電流計で計測される電流の変化を検
知することにより、治具と接触している側の電極を特定
することができ、ナイフエッジと治具との平行度を容易
に且つ正確に検知することができ、平行度調整も容易と
なる。
いては、前記並列回路の２つの抵抗には抵抗値の異なる
抵抗を使用し、前記電流計で計測される電流の変化を検
知することにより、治具と接触している側の電極を特定
することができ、ナイフエッジと治具との平行度を容易
に且つ正確に検知することができ、平行度調整も容易と
なる。
【図１】本発明の一実施例を示すＸ線回折装置用試料ホ
ルダの説明図であり、（ａ）は支持部材の試料支持面に
治具を取り付けた状態を示す試料ホルダの斜視図、
（ｂ）はナイフエッジの位置設定後、支持部材の試料支
持面から治具を外して試料を取り付けた状態を示す試料
ホルダの斜視図である。
ルダの説明図であり、（ａ）は支持部材の試料支持面に
治具を取り付けた状態を示す試料ホルダの斜視図、
（ｂ）はナイフエッジの位置設定後、支持部材の試料支
持面から治具を外して試料を取り付けた状態を示す試料
ホルダの斜視図である。
【図２】本発明の一実施例を示す図であって、ナイフエ
ッジに設けた２つの電極と治具との接触を検知するため
の電気回路の構成例を示す回路図である。
ッジに設けた２つの電極と治具との接触を検知するため
の電気回路の構成例を示す回路図である。
【図３】本発明の試料ホルダが用いられるＸ線回折装置
の説明図である。
の説明図である。
１ ：支持部材 １ａ ：溝部 １ｂ ：試料支持面 １ｃ ：試料支持面に直交する面 ２ ：ナイフエッジ ３，４：電極 ５ ：治具 ５ａ ：突起部 ６ ：試料 ６ａ ：試料面 ７ ：電流計 ８ ：直流電源 １０ ：Ｘ線源 １１ ：分光結晶 １２ ：試料ホルダ １３ ：ナイフエッジ １４ ：検出器
Claims (6)
- 【請求項１】Ｘ線を試料面に低角で入射し試料面で回折
（反射）されたＸ線を検出器で検出するＸ線回折装置用
の試料ホルダにおいて、 試料を取り付ける試料支持面と該試料支持面に直交する
面に設けられた溝部を有する支持部材と、該支持部材の
溝部にスライド可能に固定され試料面に対して垂直方向
に移動可能なナイフエッジを備え、且つ、試料の取付け
前に前記支持部材の試料支持面に取り付けられ前記ナイ
フエッジと試料面との間隔を位置決めするための治具を
有し、ナイフエッジの位置決め時には、支持部材の試料
支持面に前記治具を取り付け、支持部材の溝部に沿って
ナイフエッジをスライドし、前記治具にナイフエッジを
接触させることによりナイフエッジと試料面との間隔を
決定することを特徴とするＸ線回折装置用試料ホルダ。 - 【請求項２】請求項１記載のＸ線回折装置用試料ホルダ
において、前記位置決め用の治具は、ナイフエッジと試
料面との間隔に等しい高さの突起部を備えたことを特徴
とするＸ線回折装置用試料ホルダ。 - 【請求項３】請求項２記載のＸ線回折装置用試料ホルダ
において、ナイフエッジ先端の治具との接触部に電極を
設け、該電極と治具とを電気回路に接続し、ナイフエッ
ジと治具との接触を電気的に検知することを特徴とする
Ｘ線回折装置用試料ホルダ。 - 【請求項４】請求項３記載のＸ線回折装置用試料ホルダ
において、ナイフエッジ先端の電極は所定の間隔を隔て
て２箇所に設けら、該２つの電極と治具とを電気回路に
接続し、ナイフエッジと治具との接触及び平行度を電気
的に検知することを特徴とするＸ線回折装置用試料ホル
ダ。 - 【請求項５】請求項４記載のＸ線回折装置用試料ホルダ
において、前記電気回路は、前記２つの電極にそれぞれ
一端側を接続され他端側を共通端子とした２つの抵抗か
らなる並列回路と、該並列回路の共通端子に接続された
電源及び電流計からなり、該電流計でナイフエッジと治
具との接触及び平行度を検知することを特徴とするＸ線
回折装置用試料ホルダ。 - 【請求項６】請求項５記載のＸ線回折装置用試料ホルダ
において、前記並列回路の２つの抵抗には抵抗値の異な
る抵抗を使用し、前記電流計で計測される電流の変化を
検知することにより治具と接触している側の電極を特定
できるようにしたことを特徴とするＸ線回折装置用試料
ホルダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7138074A JPH08327564A (ja) | 1995-06-05 | 1995-06-05 | Ｘ線回折装置用試料ホルダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7138074A JPH08327564A (ja) | 1995-06-05 | 1995-06-05 | Ｘ線回折装置用試料ホルダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08327564A true JPH08327564A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15213361
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7138074A Pending JPH08327564A (ja) | 1995-06-05 | 1995-06-05 | Ｘ線回折装置用試料ホルダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08327564A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2866709A1 (fr) * | 2004-02-19 | 2005-08-26 | Production Et De Rech S Appliq | Dispositif perfectionne de mesure non destructive par rayons x de caracteristiques d'echantillon, en reflectivite rasante |
| JP2012177688A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-09-13 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置 |
-
1995
- 1995-06-05 JP JP7138074A patent/JPH08327564A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2866709A1 (fr) * | 2004-02-19 | 2005-08-26 | Production Et De Rech S Appliq | Dispositif perfectionne de mesure non destructive par rayons x de caracteristiques d'echantillon, en reflectivite rasante |
| JP2012177688A (ja) * | 2011-01-31 | 2012-09-13 | Rigaku Corp | Ｘ線回折装置 |
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