JPH08330406A - ウエーハボート - Google Patents
ウエーハボートInfo
- Publication number
- JPH08330406A JPH08330406A JP13132595A JP13132595A JPH08330406A JP H08330406 A JPH08330406 A JP H08330406A JP 13132595 A JP13132595 A JP 13132595A JP 13132595 A JP13132595 A JP 13132595A JP H08330406 A JPH08330406 A JP H08330406A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- groove
- support rod
- boat
- parallel support
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Packaging Frangible Articles (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 収納したウエハーががたつかず、未熱処理部
分が少なく、製品の歩留り良いウエハーボートを提供す
る。 【構成】 本発明のウエハーボートは、ウエハー１の下
部を両側から支持する上部平行支持棒２，３と、下部平
行支持棒４，５の各々に設けた複数の溝を幅広にし、上
記支持棒の各々に対向して設けられた複数の溝が、溝幅
からウエハーの厚みを差し引いた分、支持棒の長手方向
に互いにずらして形成させた構成である。
分が少なく、製品の歩留り良いウエハーボートを提供す
る。 【構成】 本発明のウエハーボートは、ウエハー１の下
部を両側から支持する上部平行支持棒２，３と、下部平
行支持棒４，５の各々に設けた複数の溝を幅広にし、上
記支持棒の各々に対向して設けられた複数の溝が、溝幅
からウエハーの厚みを差し引いた分、支持棒の長手方向
に互いにずらして形成させた構成である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエーハの熱処
理時にウエーハの保持用として使用されるウエーハボー
トの改良に関するものである。
理時にウエーハの保持用として使用されるウエーハボー
トの改良に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハ保持用のボートは、従来
から様々なタイプのものが使用されている。たとえば、
図４、図５に示すようなボートは、ウエーハ１１の下部
周縁部を、左右で上下２段の平行支持棒１２に設けられ
た複数の溝１３に、挿入して垂直に保持させるもので、
上記溝幅は、ウエーハの出し入れに支障がなく、しかも
収納したウエーハがボート内でがたつかないように形成
されている。
から様々なタイプのものが使用されている。たとえば、
図４、図５に示すようなボートは、ウエーハ１１の下部
周縁部を、左右で上下２段の平行支持棒１２に設けられ
た複数の溝１３に、挿入して垂直に保持させるもので、
上記溝幅は、ウエーハの出し入れに支障がなく、しかも
収納したウエーハがボート内でがたつかないように形成
されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな公知のウエーハボートには、以下のような問題があ
った。 １）加熱炉による熱処理工程において、ウエーハボート
と収納ウエーハが変形するが、両者の熱膨張の違いによ
り、その応力によリウエーハに歪みが生じ、ウエーハの
周縁部が支持棒の溝内壁に当たって、最悪の場合破損す
る。 ２）熱処理時に生じるスラッジのため、ウエーハが溝に
固着し、その取りはずしが困難である。 ３）支持棒に保持されたウエーハと溝の間の隙間が乏し
く、処理ガスが入りにくいため、未処理部分が大きく製
品の歩留りが悪い。 ４）ウエーハボートの移動時に、収納したウエーハがが
たつき、溝内に配置されたウエーハの周縁部が破損する
場合がある。
うな公知のウエーハボートには、以下のような問題があ
った。 １）加熱炉による熱処理工程において、ウエーハボート
と収納ウエーハが変形するが、両者の熱膨張の違いによ
り、その応力によリウエーハに歪みが生じ、ウエーハの
周縁部が支持棒の溝内壁に当たって、最悪の場合破損す
る。 ２）熱処理時に生じるスラッジのため、ウエーハが溝に
固着し、その取りはずしが困難である。 ３）支持棒に保持されたウエーハと溝の間の隙間が乏し
く、処理ガスが入りにくいため、未処理部分が大きく製
品の歩留りが悪い。 ４）ウエーハボートの移動時に、収納したウエーハがが
たつき、溝内に配置されたウエーハの周縁部が破損する
場合がある。
【０００４】本発明のウエーハボートは、上記の点に鑑
みてなされたもので、その技術的課題とするところは、
ウエーハボートの支持棒に設けられる溝の幅を広くし
て、しかもウエーハを安定に保持できる構成にすること
にある。
みてなされたもので、その技術的課題とするところは、
ウエーハボートの支持棒に設けられる溝の幅を広くし
て、しかもウエーハを安定に保持できる構成にすること
にある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のウエーハボートは、ウエーハの下部を両側
から支持する上部平行支持棒と下部平行支持棒の各々に
設けた複数の溝を幅広にし、上記支持棒の各々に対向し
て設けられた複数の溝が、溝幅からウエーハの厚みを差
し引いた分、支持棒の長手方向に互いにずらして形成さ
せている。
に、本発明のウエーハボートは、ウエーハの下部を両側
から支持する上部平行支持棒と下部平行支持棒の各々に
設けた複数の溝を幅広にし、上記支持棒の各々に対向し
て設けられた複数の溝が、溝幅からウエーハの厚みを差
し引いた分、支持棒の長手方向に互いにずらして形成さ
せている。
【０００６】以下、これを図面について詳しく説明する
と、本発明のウエーハボートは、図１および図２に示す
ように、ウエーハ１の下部周縁に位置して、これを上下
２段で保持する、上段の平行支持棒２，３と下段の平行
支持棒４，５からなり、上段の平行支持棒２，３には複
数の溝６，７が、下段の平行支持棒４，５には複数の溝
８と９がある。
と、本発明のウエーハボートは、図１および図２に示す
ように、ウエーハ１の下部周縁に位置して、これを上下
２段で保持する、上段の平行支持棒２，３と下段の平行
支持棒４，５からなり、上段の平行支持棒２，３には複
数の溝６，７が、下段の平行支持棒４，５には複数の溝
８と９がある。
【０００７】本発明の特異点は、上記溝幅を従来よりも
広くし、上記の平行支持棒の溝を、溝幅から収納したウ
エーハの厚みを差し引いた分、支持棒の長手方向に、互
いにずらして形成したことにある。図２はこれを明らか
にするもので、たとえば、上部平行支持棒２，３の溝６
と７、及び下部平行支持棒４，５の溝８と９は、互いに
溝幅から収納したウエーハ１の厚みを差し引いた分Ｗだ
け、支持棒の長手方向にずらして配置されている。
広くし、上記の平行支持棒の溝を、溝幅から収納したウ
エーハの厚みを差し引いた分、支持棒の長手方向に、互
いにずらして形成したことにある。図２はこれを明らか
にするもので、たとえば、上部平行支持棒２，３の溝６
と７、及び下部平行支持棒４，５の溝８と９は、互いに
溝幅から収納したウエーハ１の厚みを差し引いた分Ｗだ
け、支持棒の長手方向にずらして配置されている。
【０００８】このような構成とすることによって、収納
されるウエーハ１は、上段平行支持棒２，３と下段平行
支持棒４，５の両側の溝に挿入された場合、例えば、図
２、図３に示すように、支持棒２の溝６の内壁面６ａ
と、支持棒４の溝８の内壁面８ｂに当接し、また、支持
棒３の溝７の内壁面７ｂと、下段の支持棒５の溝９の内
壁面９ａに当接する。これによって、ウエーハ１は、上
下４つの溝の内壁面で確実に保持され、処理ガスは広く
された溝６〜９の内部まで流通できる。
されるウエーハ１は、上段平行支持棒２，３と下段平行
支持棒４，５の両側の溝に挿入された場合、例えば、図
２、図３に示すように、支持棒２の溝６の内壁面６ａ
と、支持棒４の溝８の内壁面８ｂに当接し、また、支持
棒３の溝７の内壁面７ｂと、下段の支持棒５の溝９の内
壁面９ａに当接する。これによって、ウエーハ１は、上
下４つの溝の内壁面で確実に保持され、処理ガスは広く
された溝６〜９の内部まで流通できる。
【０００９】なお上記溝の溝幅から収納ウエーハの厚み
を差し引いた分は、狭過ぎると処理ガスが入らず、広過
ぎるとウエーハの収納スペースが無駄になるため、０．
３ｍｍ〜４．０ｍｍ幅、好ましくは０．５ｍｍ〜２．０
ｍｍ幅に形成するとよい。
を差し引いた分は、狭過ぎると処理ガスが入らず、広過
ぎるとウエーハの収納スペースが無駄になるため、０．
３ｍｍ〜４．０ｍｍ幅、好ましくは０．５ｍｍ〜２．０
ｍｍ幅に形成するとよい。
【００１０】
【作用】本発明のウエーハボートの支持棒に設けられた
複数の溝は、従来の溝幅より幅広に形成されている。そ
れ故、ウエーハの弾性内で熱応力が支持溝内に逃げるこ
とができるので、ウエーハが破損することはなく、また
熱処理に際し、ガスが溝内に入り込むので、歩留りが良
くなり、さらに、熱処理時に生じるスラッジが、各支持
棒の当接面にのみ付着するので、ウエーハの溝部におけ
る固着率が低下し、取りはずしが容易になる。
複数の溝は、従来の溝幅より幅広に形成されている。そ
れ故、ウエーハの弾性内で熱応力が支持溝内に逃げるこ
とができるので、ウエーハが破損することはなく、また
熱処理に際し、ガスが溝内に入り込むので、歩留りが良
くなり、さらに、熱処理時に生じるスラッジが、各支持
棒の当接面にのみ付着するので、ウエーハの溝部におけ
る固着率が低下し、取りはずしが容易になる。
【００１１】また、上部平行支持棒と下部平行支持棒の
各々に設けられた溝は、支持棒の長手方向にずらして対
向配置され、溝に入れられたウエーハは、溝の壁面に押
圧状に保持されるため、収納後にウエーハががたつくこ
とはない。
各々に設けられた溝は、支持棒の長手方向にずらして対
向配置され、溝に入れられたウエーハは、溝の壁面に押
圧状に保持されるため、収納後にウエーハががたつくこ
とはない。
【００１２】
【実施例】溝幅３．０ｍｍの溝をもった図２に示すウエ
ーハボートに、外径１５０ｍｍの半導体ウエーハを収納
し、１１５０℃で４時間の熱処理の条件で１０００枚熱
処理した。比較のため、溝幅３．０ｍｍをもった図５に
示すウエーハボートに、同一径の半導体ウエーハを収納
し、１１５０℃で４時間の熱処理の条件で１０００枚熱
処理したところ、下表に示す結果が得られた。
ーハボートに、外径１５０ｍｍの半導体ウエーハを収納
し、１１５０℃で４時間の熱処理の条件で１０００枚熱
処理した。比較のため、溝幅３．０ｍｍをもった図５に
示すウエーハボートに、同一径の半導体ウエーハを収納
し、１１５０℃で４時間の熱処理の条件で１０００枚熱
処理したところ、下表に示す結果が得られた。
【００１３】
【表１】 上記結果より、本発明のウエーハボートの有効性が確認
できた。
できた。
【００１４】
【発明の効果】本発明のウエーハボートによれば、以下
のような利点が得られる。 １）収納ウエーハの破損率が従来に比べて非常に低くな
る。 ２）ウエーハの収納及び取り出しが容易になる。 ３）処理ガスが溝の内部にまで入り込むので、従来に比
べて歩留りが良くなる。 ４）移動時の揺れ等により収納ウエーハが破損すること
はない。
のような利点が得られる。 １）収納ウエーハの破損率が従来に比べて非常に低くな
る。 ２）ウエーハの収納及び取り出しが容易になる。 ３）処理ガスが溝の内部にまで入り込むので、従来に比
べて歩留りが良くなる。 ４）移動時の揺れ等により収納ウエーハが破損すること
はない。
【図１】本発明のウエーハボートの一例を示す斜視図で
ある。
ある。
【図２】図１のウエーハボートの平面図である。
【図３】図２のウエーハボートのＡ−Ａ矢視線にそう断
面図である。
面図である。
【図４】従来のウエーハボートの斜視図である。
【図５】従来のウエーハボートの平面図である。
１，１１ ウエーハ ２，３ 上段平行支持棒 ４，５ 下段平行支持棒 ６，７ 上段平行支持棒の溝 ８，９ 下段平行支持棒の溝 ６ａ 溝６の内壁面 ７ｂ 溝７の内壁面 ８ｂ 溝８の内壁面 ９ａ 溝９の内壁面 １２ 平行支持棒 １３ 溝
Claims (2)
- 【請求項１】 ウエーハの下部を両側から支持する上部
平行支持棒と下部平行支持棒の各々に対向して設けられ
た複数の溝が、それぞれウエーハの厚みより幅広であ
り、溝幅からウエーハの厚みを差し引いた分、支持棒の
長手方向に互いにずらして形成されていることを特徴と
するウエーハボート。 - 【請求項２】 支持溝に挿入されたウエーハは、溝の片
側内壁面に当接し、上部平行支持棒と下部平行支持棒、
及びこれら両側の溝内での当接面が反対側に対向するた
め、ウエーハは上下および両側の当接面の四面で確実に
支持されることを特徴とする請求項１に記載のウエーハ
ボート。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13132595A JPH08330406A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | ウエーハボート |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13132595A JPH08330406A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | ウエーハボート |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08330406A true JPH08330406A (ja) | 1996-12-13 |
Family
ID=15055318
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13132595A Pending JPH08330406A (ja) | 1995-05-30 | 1995-05-30 | ウエーハボート |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08330406A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005015612A1 (fr) * | 2003-07-28 | 2005-02-17 | Semco Engineering S.A | Support de plaquettes, convertible pouvant recevoir au moins deux types de plaquettes differencies par la dimension des plaquettes |
-
1995
- 1995-05-30 JP JP13132595A patent/JPH08330406A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005015612A1 (fr) * | 2003-07-28 | 2005-02-17 | Semco Engineering S.A | Support de plaquettes, convertible pouvant recevoir au moins deux types de plaquettes differencies par la dimension des plaquettes |
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