JPH0836733A - 金属薄膜が設けられる支持体及びこの支持体に金属薄膜 を設ける成膜装置 - Google Patents
金属薄膜が設けられる支持体及びこの支持体に金属薄膜 を設ける成膜装置Info
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- JPH0836733A JPH0836733A JP17405694A JP17405694A JPH0836733A JP H0836733 A JPH0836733 A JP H0836733A JP 17405694 A JP17405694 A JP 17405694A JP 17405694 A JP17405694 A JP 17405694A JP H0836733 A JPH0836733 A JP H0836733A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 製造歩留りが高く、金属薄膜体、例えば磁気
記録媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。 【構成】 飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆積さ
せることにより金属薄膜を設ける装置であって、真空槽
と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段と、支持体
の巻取手段と供給手段との間を走行する支持体を案内す
る前記真空槽内に配置された冷却キャンロールと、この
冷却キャンロールの下方側に配置された金属粒子の飛来
源と、前記冷却キャンロールの両側に配置された突起
と、この突起を冷却キャンロールの軸芯方向に沿ってス
ライドさせることが出来るスライド機構とを具備してな
る成膜装置。
記録媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。 【構成】 飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆積さ
せることにより金属薄膜を設ける装置であって、真空槽
と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段と、支持体
の巻取手段と供給手段との間を走行する支持体を案内す
る前記真空槽内に配置された冷却キャンロールと、この
冷却キャンロールの下方側に配置された金属粒子の飛来
源と、前記冷却キャンロールの両側に配置された突起
と、この突起を冷却キャンロールの軸芯方向に沿ってス
ライドさせることが出来るスライド機構とを具備してな
る成膜装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば磁気記録媒体に
関するものである。
関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図５のように構成されているものが
一般的である。尚、図５中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空槽である。そして、真空槽３７内を
所定の真空度のものに排気した後、電子銃３８を作動さ
せてルツボ３５内の磁性金属３６を蒸発させ、ＰＥＴフ
ィルム３３に対して磁性金属３６の蒸発粒子を堆積（蒸
着）させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
媒体の製造装置は、図５のように構成されているものが
一般的である。尚、図５中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空槽である。そして、真空槽３７内を
所定の真空度のものに排気した後、電子銃３８を作動さ
せてルツボ３５内の磁性金属３６を蒸発させ、ＰＥＴフ
ィルム３３に対して磁性金属３６の蒸発粒子を堆積（蒸
着）させることによって磁気記録媒体が製造されてい
る。
【０００４】しかしながら、このようにして製造される
磁気記録媒体には皺が起きていることが頻繁にあり、製
造歩留りを低下させている。
磁気記録媒体には皺が起きていることが頻繁にあり、製
造歩留りを低下させている。
【０００５】
【発明の開示】前記の問題点に対する研究が鋭意押し進
められて行くうちに、製造歩留り低下の問題は巻取側ロ
ール３２ｂにＰＥＴフィルム３３を巻き取る際に起きて
いることが判って来た。すなわち、冷却キャンロール３
１に案内されて走行して来たＰＥＴフィルム３３が冷却
キャンロール３１に貼り付いていたりしてＰＥＴフィル
ム３３の走行性が低下し、これによってＰＥＴフィルム
３３に皺が発生し、このまま巻取側ロール３２ｂに巻き
取られて行くと、この皺が転写され、長い領域にわたっ
て皺が形成され、不良品の発生率が高くなることが判っ
て来たのである。
められて行くうちに、製造歩留り低下の問題は巻取側ロ
ール３２ｂにＰＥＴフィルム３３を巻き取る際に起きて
いることが判って来た。すなわち、冷却キャンロール３
１に案内されて走行して来たＰＥＴフィルム３３が冷却
キャンロール３１に貼り付いていたりしてＰＥＴフィル
ム３３の走行性が低下し、これによってＰＥＴフィルム
３３に皺が発生し、このまま巻取側ロール３２ｂに巻き
取られて行くと、この皺が転写され、長い領域にわたっ
て皺が形成され、不良品の発生率が高くなることが判っ
て来たのである。
【０００６】本発明はかかる点に鑑みてなされたもので
あり、製造歩留りが高く、金属薄膜体、例えば磁気記録
媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。この
本発明の目的は、飛来する金属粒子が付着・堆積するこ
とにより金属薄膜が設けられる支持体であって、この支
持体の両側部に所定のピッチで孔が構成されてなること
を特徴とする支持体によって達成される。
あり、製造歩留りが高く、金属薄膜体、例えば磁気記録
媒体を低廉なコストで提供することを目的とする。この
本発明の目的は、飛来する金属粒子が付着・堆積するこ
とにより金属薄膜が設けられる支持体であって、この支
持体の両側部に所定のピッチで孔が構成されてなること
を特徴とする支持体によって達成される。
【０００７】又、飛来する金属粒子を支持体上に付着・
堆積させることにより金属薄膜を設ける装置であって、
真空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段と、
支持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持体を
案内する前記真空槽内に配置された冷却キャンロール
と、この冷却キャンロールの下方側に配置された金属粒
子の飛来源と、前記冷却キャンロールの両側に配置され
た突起と、この突起を冷却キャンロールの軸芯方向に沿
ってスライドさせることが出来るスライド機構とを具備
してなることを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
堆積させることにより金属薄膜を設ける装置であって、
真空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段と、
支持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持体を
案内する前記真空槽内に配置された冷却キャンロール
と、この冷却キャンロールの下方側に配置された金属粒
子の飛来源と、前記冷却キャンロールの両側に配置され
た突起と、この突起を冷却キャンロールの軸芯方向に沿
ってスライドさせることが出来るスライド機構とを具備
してなることを特徴とする成膜装置によって達成され
る。
【０００８】尚、この成膜装置において、突起は冷却キ
ャンロールの両側に所定のピッチで環状に配設されてお
り、前記突起がスライド機構により外側にスライドさせ
られるよう構成されていることが好ましい。特に、冷却
キャンロールから離間する前段階にある支持体の孔に位
置している突起がスライド機構により外側にスライドさ
せられ、支持体に横方向の張力を作用させるよう構成さ
れていることが好ましい。尚、支持体の孔に位置してい
る突起全てが同時にスライドされるようにしておいても
良いが、少なくとも支持体が冷却キャンロールから離間
する手前側の位置で突起がスライドされるようにしてお
くことが好ましい。
ャンロールの両側に所定のピッチで環状に配設されてお
り、前記突起がスライド機構により外側にスライドさせ
られるよう構成されていることが好ましい。特に、冷却
キャンロールから離間する前段階にある支持体の孔に位
置している突起がスライド機構により外側にスライドさ
せられ、支持体に横方向の張力を作用させるよう構成さ
れていることが好ましい。尚、支持体の孔に位置してい
る突起全てが同時にスライドされるようにしておいても
良いが、少なくとも支持体が冷却キャンロールから離間
する手前側の位置で突起がスライドされるようにしてお
くことが好ましい。
【０００９】斯の如く構成させることによって、冷却キ
ャンロールに沿って案内されて来た支持体に皺が発生し
ていても、両側に引っ張られることから、皺が解消され
る。更には、支持体が冷却キャンロールに貼り付いてい
たとしても、両側に引っ張られた際に冷却キャンロール
への貼り付きを緩和でき、従って冷却キャンロールから
の支持体の剥離が効果的になされ、支持体の良好な走行
性が確保される。
ャンロールに沿って案内されて来た支持体に皺が発生し
ていても、両側に引っ張られることから、皺が解消され
る。更には、支持体が冷却キャンロールに貼り付いてい
たとしても、両側に引っ張られた際に冷却キャンロール
への貼り付きを緩和でき、従って冷却キャンロールから
の支持体の剥離が効果的になされ、支持体の良好な走行
性が確保される。
【００１０】そして、支持体を巻取手段に良好に巻き取
って行くことが出来、金属薄膜体、例えば磁気記録媒体
の製造歩留りが向上し、これが低廉なコストで得られる
ようになる。
って行くことが出来、金属薄膜体、例えば磁気記録媒体
の製造歩留りが向上し、これが低廉なコストで得られる
ようになる。
【００１１】
【実施例】図１〜図３は、本発明に係る成膜装置、例え
ば磁気記録媒体の製造装置の一実施例を示すもので、図
１は全体の概略図、図２は冷却キャンロールの部分の概
略図、図３はスライド機構の部分の概略図である。各図
中、１は金属製の冷却キャンロール、２ａは供給側ロー
ル、２ｂは巻取側ロールであり、ＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分
子材料からなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２００ｍｍ程
度の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出され、ガイ
ドローラ４を経て冷却キャンロール１に沿って巻き回さ
れ、この後ガイドローラ４を経て巻取側ロール２ｂに巻
き取られて行くようになっている。
ば磁気記録媒体の製造装置の一実施例を示すもので、図
１は全体の概略図、図２は冷却キャンロールの部分の概
略図、図３はスライド機構の部分の概略図である。各図
中、１は金属製の冷却キャンロール、２ａは供給側ロー
ル、２ｂは巻取側ロールであり、ＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分
子材料からなる非磁性の厚さ１０μｍ、幅２００ｍｍ程
度の支持体３が供給側ロール２ａから繰り出され、ガイ
ドローラ４を経て冷却キャンロール１に沿って巻き回さ
れ、この後ガイドローラ４を経て巻取側ロール２ｂに巻
き取られて行くようになっている。
【００１２】５は冷却キャンロール１の下方部に設けら
れたルツボ、６はルツボ５に充填されている磁性金属
（例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ
−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金
属）、７は磁性金属６に向けて電子ビームを照射する電
子銃、８は遮蔽板、９は酸化性ガス供給ノズル、１０は
真空槽である。
れたルツボ、６はルツボ５に充填されている磁性金属
（例えば、Ｆｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎ
ｉ合金、Ｃｏ−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ
−Ｃｏ合金、Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、
Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ
−Ｃｒ合金、あるいはこれらにＡｌやＴａ等の磁性金
属）、７は磁性金属６に向けて電子ビームを照射する電
子銃、８は遮蔽板、９は酸化性ガス供給ノズル、１０は
真空槽である。
【００１３】１１ａ，１１ｂは冷却キャンロール１の両
側部に設けられた環状体であり、この環状体１１ａ，１
１ｂは所定のピッチで短冊状部１１a1，１１a2，１１
a3，……１１b1，１１b2，１１b3，……に切り離されて
いる。そして、短冊状部１１a1，１１a2，１１a3，……
１１b1，１１b2，１１b3，……は、各々、独立して左右
方向にスライドできるように構成されている。
側部に設けられた環状体であり、この環状体１１ａ，１
１ｂは所定のピッチで短冊状部１１a1，１１a2，１１
a3，……１１b1，１１b2，１１b3，……に切り離されて
いる。そして、短冊状部１１a1，１１a2，１１a3，……
１１b1，１１b2，１１b3，……は、各々、独立して左右
方向にスライドできるように構成されている。
【００１４】短冊状部１１a1，１１a2，１１a3，……１
１b1，１１b2，１１b3，……の各表面中央部には、ピン
１２a1，１２a2，１２a3，……１２b1，１２b2，１２
b3，……が立設されている。１３は短冊状部１１a1，１
１a2，１１a3，……１１b1，１１b2，１１b3，……の下
面側に連結された回動アーム、１４は回動アーム１３を
冷却キャンロール１に取り付ける為の固定アームであ
る。１５は短冊状部１１a1，１１a2，１１a3，……１１
b1，１１b2，１１b3，……を冷却キャンロール１の側、
すなわち内側に付勢する為、回動アーム１３と冷却キャ
ンロール１との間に取り付けられたバネである。１６は
スリット部１７が形成されたガイド板であり、スリット
部１７に回動アーム１３が配置されており、回動アーム
１３の時計方向や反時計方向の回動を案内すると共に、
短冊状部１１a1，１１a2，１１a3，……１１b1，１１
b2，１１b3，……の左右方向のスライドを案内するよう
構成されている。尚、短冊状部の左右方向のスライドを
スムーズなものとする為、ガイド板にはベアリング１８
が配設されている。
１b1，１１b2，１１b3，……の各表面中央部には、ピン
１２a1，１２a2，１２a3，……１２b1，１２b2，１２
b3，……が立設されている。１３は短冊状部１１a1，１
１a2，１１a3，……１１b1，１１b2，１１b3，……の下
面側に連結された回動アーム、１４は回動アーム１３を
冷却キャンロール１に取り付ける為の固定アームであ
る。１５は短冊状部１１a1，１１a2，１１a3，……１１
b1，１１b2，１１b3，……を冷却キャンロール１の側、
すなわち内側に付勢する為、回動アーム１３と冷却キャ
ンロール１との間に取り付けられたバネである。１６は
スリット部１７が形成されたガイド板であり、スリット
部１７に回動アーム１３が配置されており、回動アーム
１３の時計方向や反時計方向の回動を案内すると共に、
短冊状部１１a1，１１a2，１１a3，……１１b1，１１
b2，１１b3，……の左右方向のスライドを案内するよう
構成されている。尚、短冊状部の左右方向のスライドを
スムーズなものとする為、ガイド板にはベアリング１８
が配設されている。
【００１５】１９は回動アーム１３の下端部に構成され
た凸部、２０は円板である。２１は、短冊状部１１a1，
１１a2，１１a3，……１１b1，１１b2，１１b3，……の
表面に貼り付けられたゴム等の滑り防止材である。上記
のように構成させた斜め蒸着装置において、真空槽１０
内を１０-4〜１０ -6Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排気
した後、電子銃７を作動させてルツボ５内の磁性金属６
を溶融、蒸発させ、冷却キャンロール１に添接されてい
るＰＥＴフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μ
ｍ厚さ磁性金属を蒸着させることによって金属薄膜型の
磁気記録媒体が製造される。尚、金属磁性薄膜の形成に
際して蒸着部分に酸素を供給しており、金属磁性薄膜の
表層部分が酸化され、酸化膜による保護層が形成される
と共に磁気特性の向上が図られている。
た凸部、２０は円板である。２１は、短冊状部１１a1，
１１a2，１１a3，……１１b1，１１b2，１１b3，……の
表面に貼り付けられたゴム等の滑り防止材である。上記
のように構成させた斜め蒸着装置において、真空槽１０
内を１０-4〜１０ -6Ｔｏｒｒ程度の真空度のものに排気
した後、電子銃７を作動させてルツボ５内の磁性金属６
を溶融、蒸発させ、冷却キャンロール１に添接されてい
るＰＥＴフィルム等の支持体３に対して０．０４〜１μ
ｍ厚さ磁性金属を蒸着させることによって金属薄膜型の
磁気記録媒体が製造される。尚、金属磁性薄膜の形成に
際して蒸着部分に酸素を供給しており、金属磁性薄膜の
表層部分が酸化され、酸化膜による保護層が形成される
と共に磁気特性の向上が図られている。
【００１６】この後、支持体３は巻取側ロール２ｂに巻
き取られて行く。この時、支持体３には皺が発生してい
ることがある。特に、支持体３には電子ビームからの散
乱電子が付着したりして静電気を帯びており、これが為
に支持体３の走行性が低下して皺が発生したり、冷却キ
ャンロール１に貼り付いてしまったりする。しかるに、
このような皺が付いたままで巻取側ロール２ｂに巻き取
られて行くと、この皺が転写され、ますます不良率が大
きくなる。
き取られて行く。この時、支持体３には皺が発生してい
ることがある。特に、支持体３には電子ビームからの散
乱電子が付着したりして静電気を帯びており、これが為
に支持体３の走行性が低下して皺が発生したり、冷却キ
ャンロール１に貼り付いてしまったりする。しかるに、
このような皺が付いたままで巻取側ロール２ｂに巻き取
られて行くと、この皺が転写され、ますます不良率が大
きくなる。
【００１７】しかしながら、支持体３の両側部には孔２
２a1，２２a2，２２a3，……２２b1，２２b2，２２b3，
……が所定のピッチで形成されており、冷却キャンロー
ル１に支持体３が案内されて来ると、前記孔２２a1，２
２a2，２２a3，……２２b1，２２b2，２２b3，……にピ
ン１２a1，１２a2，１２a3，……１２b1，１２b2，１２
b3，……が嵌合する。そして、冷却キャンロール１の回
転と共に走行して行く。ところで、支持体３に金属磁性
薄膜が斜め蒸着手段により形成され、冷却キャンロール
１の回転と共に走行して来た支持体３が冷却キャンロー
ル１から離間する直前の位置に到来すると、その位置に
来た短冊状部１１ａk ，１１ｂk に連結されている回動
アーム１３の凸部１９が円板２０に当接するようになる
から、短冊状部１１ａk は右側（外側）に、短冊状部１
１ｂk は左側（外側）にスライドさせられる。従って、
支持体３が冷却キャンロール１から離間する直前の位置
に到来すると、支持体３は左右方向に引っ張られ、皺が
発生していても、引き伸ばされ、皺は解消されるように
なる。かつ、静電気の帯電により支持体３が冷却キャン
ロール１に貼り付いていても、この貼り付きも弱められ
る。従って、支持体３は冷却キャンロール１からスムー
ズに離間し、かつ、離間した段階では皺がないから、巻
取側ロール２ｂに良好に巻き取られる。
２a1，２２a2，２２a3，……２２b1，２２b2，２２b3，
……が所定のピッチで形成されており、冷却キャンロー
ル１に支持体３が案内されて来ると、前記孔２２a1，２
２a2，２２a3，……２２b1，２２b2，２２b3，……にピ
ン１２a1，１２a2，１２a3，……１２b1，１２b2，１２
b3，……が嵌合する。そして、冷却キャンロール１の回
転と共に走行して行く。ところで、支持体３に金属磁性
薄膜が斜め蒸着手段により形成され、冷却キャンロール
１の回転と共に走行して来た支持体３が冷却キャンロー
ル１から離間する直前の位置に到来すると、その位置に
来た短冊状部１１ａk ，１１ｂk に連結されている回動
アーム１３の凸部１９が円板２０に当接するようになる
から、短冊状部１１ａk は右側（外側）に、短冊状部１
１ｂk は左側（外側）にスライドさせられる。従って、
支持体３が冷却キャンロール１から離間する直前の位置
に到来すると、支持体３は左右方向に引っ張られ、皺が
発生していても、引き伸ばされ、皺は解消されるように
なる。かつ、静電気の帯電により支持体３が冷却キャン
ロール１に貼り付いていても、この貼り付きも弱められ
る。従って、支持体３は冷却キャンロール１からスムー
ズに離間し、かつ、離間した段階では皺がないから、巻
取側ロール２ｂに良好に巻き取られる。
【００１８】このようにして、良好な金属磁性薄膜が構
成された支持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂ
を取り出し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラッ
ク及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとから
なるバインダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗
料をダイレクトグラビア法により磁性層とは反対側の支
持体３面上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコ
ート層を設ける。
成された支持体３が巻き取られてなる巻取側ロール２ｂ
を取り出し、そして平均粒径２０ｎｍのカーボンブラッ
ク及び塩化ビニル系樹脂とウレタンプレポリマーとから
なるバインダ樹脂を分散させてなるバックコート用の塗
料をダイレクトグラビア法により磁性層とは反対側の支
持体３面上に塗布し、乾燥厚さが０．５μｍのバックコ
ート層を設ける。
【００１９】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００２０】この後、所定の幅にスリットすることによ
って磁気テープなどが得られる。尚、上記の実施例では
短冊状部１１ａk ，１１ｂk （ピン１２ａk ，１２
ｂk）をスライドさせる為にカム機構を利用したが、カ
ム機構でなくても構成できる。例えば、図３中、仮想線
で示す如く、傾斜バー２３を設けておき、この傾斜バー
に沿って当接する回動アーム１３が、図３中、反時計方
向に変位するようにしておけば、傾斜バーを通過する度
に短冊状部１１ａk ，１１ｂk （ピン１２ａk，１２ｂ
k ）は外側にスライドし、通過後にはバネ１５によって
元の位置に復帰する。そして、傾斜バーを長く設けてお
けば、冷却キャンロール１に添接されている支持体３を
広範囲にわたって外側に引っ張っておくことが出来る。
って磁気テープなどが得られる。尚、上記の実施例では
短冊状部１１ａk ，１１ｂk （ピン１２ａk ，１２
ｂk）をスライドさせる為にカム機構を利用したが、カ
ム機構でなくても構成できる。例えば、図３中、仮想線
で示す如く、傾斜バー２３を設けておき、この傾斜バー
に沿って当接する回動アーム１３が、図３中、反時計方
向に変位するようにしておけば、傾斜バーを通過する度
に短冊状部１１ａk ，１１ｂk （ピン１２ａk，１２ｂ
k ）は外側にスライドし、通過後にはバネ１５によって
元の位置に復帰する。そして、傾斜バーを長く設けてお
けば、冷却キャンロール１に添接されている支持体３を
広範囲にわたって外側に引っ張っておくことが出来る。
【００２１】
【効果】高性能な磁気記録媒体が歩留り良く得られる。
【図１】成膜装置（磁気記録媒体の製造装置）の全体概
略図
略図
【図２】冷却キャンロールの部分の概略図
【図３】スライド機構の部分の概略図
【図４】支持体の平面図
【図５】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略図
１ 冷却キャンロール ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 支持体 ５ ルツボ ６ 磁性金属 １１a1，１１a2，１１a3，１１b1，１１b2，１１b3
短冊状部 １２a1，１２a2，１２a3，１２b1，１２b2，１２b3
ピン １３ 回動アーム １５ バネ １６ ガイド板 １９ 凸部 ２０ 円板 ２１ 滑り防止材 ２２a1，２２a2，２２a3，２２b1，２２b2，２２b3
孔
短冊状部 １２a1，１２a2，１２a3，１２b1，１２b2，１２b3
ピン １３ 回動アーム １５ バネ １６ ガイド板 １９ 凸部 ２０ 円板 ２１ 滑り防止材 ２２a1，２２a2，２２a3，２２b1，２２b2，２２b3
孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 飛来する金属粒子が付着・堆積すること
により金属薄膜が設けられる支持体であって、この支持
体の両側部に所定のピッチで孔が構成されてなることを
特徴とする支持体。 - 【請求項２】 飛来する金属粒子を支持体上に付着・堆
積させることにより金属薄膜を設ける装置であって、真
空槽と、支持体の巻取手段と、支持体の供給手段と、支
持体の巻取手段と供給手段との間を走行する支持体を案
内する前記真空槽内に配置された冷却キャンロールと、
この冷却キャンロールの下方側に配置された金属粒子の
飛来源と、前記冷却キャンロールの両側に配置された突
起と、この突起を冷却キャンロールの軸芯方向に沿って
スライドさせることが出来るスライド機構とを具備して
なることを特徴とする成膜装置。 - 【請求項３】 突起は冷却キャンロールの両側に所定の
ピッチで環状に配設されており、前記突起がスライド機
構により外側にスライドさせられるよう構成されている
ことを特徴とする請求項２の成膜装置。 - 【請求項４】 冷却キャンロールから離間する前段階に
ある支持体の孔に位置している突起がスライド機構によ
り外側にスライドさせられ、支持体に横方向の張力を作
用させるよう構成されていることを特徴とする請求項２
または請求項３の成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17405694A JPH0836733A (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 金属薄膜が設けられる支持体及びこの支持体に金属薄膜 を設ける成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17405694A JPH0836733A (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 金属薄膜が設けられる支持体及びこの支持体に金属薄膜 を設ける成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0836733A true JPH0836733A (ja) | 1996-02-06 |
Family
ID=15971852
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17405694A Pending JPH0836733A (ja) | 1994-07-26 | 1994-07-26 | 金属薄膜が設けられる支持体及びこの支持体に金属薄膜 を設ける成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0836733A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100872048B1 (ko) * | 2007-05-10 | 2008-12-05 | 안우영 | 전해도금용 캐소드 콘택트 롤 및 이를 이용한연성회로기판의 동도금방법 |
| KR101893320B1 (ko) * | 2018-01-05 | 2018-08-29 | (주) 제니아 | 프레스 장치용 보빈 |
-
1994
- 1994-07-26 JP JP17405694A patent/JPH0836733A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100872048B1 (ko) * | 2007-05-10 | 2008-12-05 | 안우영 | 전해도금용 캐소드 콘택트 롤 및 이를 이용한연성회로기판의 동도금방법 |
| KR101893320B1 (ko) * | 2018-01-05 | 2018-08-29 | (주) 제니아 | 프레스 장치용 보빈 |
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