JPH07320265A - 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 - Google Patents
磁気記録媒体の製造装置及び製造方法Info
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- JPH07320265A JPH07320265A JP6108797A JP10879794A JPH07320265A JP H07320265 A JPH07320265 A JP H07320265A JP 6108797 A JP6108797 A JP 6108797A JP 10879794 A JP10879794 A JP 10879794A JP H07320265 A JPH07320265 A JP H07320265A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 保磁力などの磁気特性に優れた磁気記録媒体
を提供することを目的とする。 【構成】 支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄膜型
の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する支持
体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛来源
と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防着部
材と、この防着部材の陰に設けられた磁性粒子の堆積に
際して酸化性のガスを照射するノズルとを具備してな
り、前記支持体に向かって飛来する磁性粒子の最低入射
角θ1 の方向と同方向に前記ノズルのノズル口があるよ
う設定されてなる磁気記録媒体の製造装置。
を提供することを目的とする。 【構成】 支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄膜型
の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する支持
体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛来源
と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防着部
材と、この防着部材の陰に設けられた磁性粒子の堆積に
際して酸化性のガスを照射するノズルとを具備してな
り、前記支持体に向かって飛来する磁性粒子の最低入射
角θ1 の方向と同方向に前記ノズルのノズル口があるよ
う設定されてなる磁気記録媒体の製造装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造装
置及び製造方法に関するものである。
置及び製造方法に関するものである。
【０００２】
【発明の背景】磁気テープ等の磁気記録媒体において
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
は、高密度記録化の要請から、非磁性支持体上に設けら
れる磁性層として、バインダ樹脂を用いた塗布型のもの
ではなく、バインダ樹脂を用いない金属薄膜型のものが
提案されている。すなわち、真空蒸着、スパッタリング
あるいはイオンプレーティングといった乾式メッキ手段
により磁性層を構成した磁気記録媒体が提案されている
ことは周知の通りである。そして、この種の磁気記録媒
体は磁性体の充填密度が高いことから、高密度記録に適
したものである。
【０００３】このような乾式メッキ手段による磁気記録
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空容器、３８は電子銃である。そし
て、真空容器３７内を所定の真空度のものに排気した
後、電子銃３８を作動させてルツボ３５内の磁性金属３
６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム３３に対して磁性金属３
６の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによって磁気記
録媒体が製造されている。
媒体の製造装置は、図２のように構成されているものが
一般的である。尚、図２中、３１は冷却キャンロール、
３２ａはポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）フィル
ム３３の供給側ロール、３２ｂはＰＥＴフィルム３３の
巻取側ロール、３４は遮蔽板、３５はルツボ、３６は磁
性金属、３７は真空容器、３８は電子銃である。そし
て、真空容器３７内を所定の真空度のものに排気した
後、電子銃３８を作動させてルツボ３５内の磁性金属３
６を蒸発させ、ＰＥＴフィルム３３に対して磁性金属３
６の蒸発粒子を堆積（蒸着）させることによって磁気記
録媒体が製造されている。
【０００４】ところで、このような斜め蒸着装置により
金属薄膜型の磁気記録媒体を製造するに際して、磁性粒
子の蒸着部分に酸素を供給し、磁気特性の向上を図ろう
とすることが試みられた。すなわち、ＰＥＴフィルム３
３の走行方向とは逆方向（１８０°）に酸素を供給する
ことが提案（特公昭６１−５６５６３号公報）されたの
である。そして、このものは、それなりの特長を奏する
ものであった。
金属薄膜型の磁気記録媒体を製造するに際して、磁性粒
子の蒸着部分に酸素を供給し、磁気特性の向上を図ろう
とすることが試みられた。すなわち、ＰＥＴフィルム３
３の走行方向とは逆方向（１８０°）に酸素を供給する
ことが提案（特公昭６１−５６５６３号公報）されたの
である。そして、このものは、それなりの特長を奏する
ものであった。
【０００５】
【発明の開示】しかしながら、前記提案のものでは満足
できていなかったことから、更なる検討を鋭意押し進め
て行った結果、磁気特性の向上効果は酸素ガスの照射位
置及び照射角度によって大きく変わることが見出される
に至った。すなわち、特公昭６１−５６５６３号公報の
提案の如く、磁性薄膜の堆積面に対して平行方向に酸素
ガスを供給するのではなく、最低入射角θ1 でもって飛
来する磁性粒子に沿って照射された場合には、磁気特性
が格段に向上するに至ることを見出したのである。
できていなかったことから、更なる検討を鋭意押し進め
て行った結果、磁気特性の向上効果は酸素ガスの照射位
置及び照射角度によって大きく変わることが見出される
に至った。すなわち、特公昭６１−５６５６３号公報の
提案の如く、磁性薄膜の堆積面に対して平行方向に酸素
ガスを供給するのではなく、最低入射角θ1 でもって飛
来する磁性粒子に沿って照射された場合には、磁気特性
が格段に向上するに至ることを見出したのである。
【０００６】このような知見を基にして本発明が達成さ
れたものであり、本発明は、保磁力などの磁気特性に優
れた磁気記録媒体を提供することを目的とする。この本
発明の目的は、支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄
膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する
支持体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛
来源と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防
着部材と、この防着部材の陰に設けられた磁性粒子の堆
積に際して酸化性のガスを照射するノズルとを具備して
なり、前記支持体に向かって飛来する磁性粒子の最低入
射角θ1 の方向と同方向に前記ノズルのノズル口がある
よう設定されてなることを特徴とする磁気記録媒体の製
造装置によって達成される。
れたものであり、本発明は、保磁力などの磁気特性に優
れた磁気記録媒体を提供することを目的とする。この本
発明の目的は、支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄
膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する
支持体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛
来源と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防
着部材と、この防着部材の陰に設けられた磁性粒子の堆
積に際して酸化性のガスを照射するノズルとを具備して
なり、前記支持体に向かって飛来する磁性粒子の最低入
射角θ1 の方向と同方向に前記ノズルのノズル口がある
よう設定されてなることを特徴とする磁気記録媒体の製
造装置によって達成される。
【０００７】又、走行する支持体上に磁性材料を堆積さ
せ、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法であっ
て、支持体に向かって磁性粒子が飛来し、堆積する堆積
工程と、前記支持体に向かって最低入射角θ1 をもって
飛来する磁性粒子の飛来行程に沿って、かつ、最低入射
角θ1 をもって飛来するポイントに近接して酸化性のガ
スを照射するガス照射工程とを具備することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法によって達成される。
せ、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法であっ
て、支持体に向かって磁性粒子が飛来し、堆積する堆積
工程と、前記支持体に向かって最低入射角θ1 をもって
飛来する磁性粒子の飛来行程に沿って、かつ、最低入射
角θ1 をもって飛来するポイントに近接して酸化性のガ
スを照射するガス照射工程とを具備することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法によって達成される。
【０００８】尚、ノズルのノズル口が防着部材の先端に
出来るだけ近接させられてなることが好ましい。すなわ
ち、酸化性のガスは、磁性粒子の蒸着終了直後の位置に
照射されるようにしておくことが好ましい。又、ノズル
口の角度θ2 が４０°〜７０°であるようノズルが設定
されてなることが好ましい。
出来るだけ近接させられてなることが好ましい。すなわ
ち、酸化性のガスは、磁性粒子の蒸着終了直後の位置に
照射されるようにしておくことが好ましい。又、ノズル
口の角度θ2 が４０°〜７０°であるようノズルが設定
されてなることが好ましい。
【０００９】そして、−１０°≦θ1 −θ2 ≦＋１０°
であることが好ましい。又、酸化性のガスの吹付量は、
磁性材料の種類、磁性膜の厚さ、堆積膜の横幅などによ
っても多少の相違は有るが、５〜５００ｃｃ／ｍｉｎ、
望ましくは５〜１００ｃｃ／ｍｉｎ程度である。以下、
具体的な実施例を挙げて説明する。
であることが好ましい。又、酸化性のガスの吹付量は、
磁性材料の種類、磁性膜の厚さ、堆積膜の横幅などによ
っても多少の相違は有るが、５〜５００ｃｃ／ｍｉｎ、
望ましくは５〜１００ｃｃ／ｍｉｎ程度である。以下、
具体的な実施例を挙げて説明する。
【００１０】
〔実施例１〕図１は、本発明になる磁気記録媒体の製造
装置の概略図である。同図中、１は冷却キャンロール、
２ａは非磁性の支持体（例えば、ＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分
子材料）３の供給側ロール、２ｂは支持体３の巻取側ロ
ール、４は遮蔽板、５は酸素ガス導入管、６はルツボ、
７はルツボ６に入れられている磁性合金（例えば、Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ
−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、
Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、
あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等）、
８は電子銃、９は真空容器である。
装置の概略図である。同図中、１は冷却キャンロール、
２ａは非磁性の支持体（例えば、ＰＥＴ等のポリエステ
ル、ポリアミド、ポリイミド、ポリスルフォン、ポリカ
ーボネート、ポリプロピレン等のオレフィン系の樹脂、
セルロース系の樹脂、塩化ビニル系の樹脂といった高分
子材料）３の供給側ロール、２ｂは支持体３の巻取側ロ
ール、４は遮蔽板、５は酸素ガス導入管、６はルツボ、
７はルツボ６に入れられている磁性合金（例えば、Ｆ
ｅ，Ｃｏ，Ｎｉ等の金属の他に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ
−Ｐｔ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐｔ合金、Ｆｅ−Ｃｏ合金、
Ｆｅ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｂ合金、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｆｅ−Ｂ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、
あるいはこれらにＡｌ等の金属を含有させたもの等）、
８は電子銃、９は真空容器である。
【００１１】尚、本発明においては、酸素ガス導入管
（ノズル）５の位置及び傾きに特徴があり、その他の点
については良く知られているから、詳細な説明は省略す
る。すなわち、本発明における最大の特徴は、ノズル５
が遮蔽板４の裏側（図中、上側）にあり、かつ、ノズル
５のノズル口５ａが遮蔽板４の先端部に出来るだけ近接
（酸素ガスの照射が、磁性膜の堆積終了直後の位置）さ
せてあり、そしてノズル口５ａの方向の角度がθ2 （飛
来する磁性粒子の最低入射角θ1 と同角度）であるよう
設定されていることにある。
（ノズル）５の位置及び傾きに特徴があり、その他の点
については良く知られているから、詳細な説明は省略す
る。すなわち、本発明における最大の特徴は、ノズル５
が遮蔽板４の裏側（図中、上側）にあり、かつ、ノズル
５のノズル口５ａが遮蔽板４の先端部に出来るだけ近接
（酸素ガスの照射が、磁性膜の堆積終了直後の位置）さ
せてあり、そしてノズル口５ａの方向の角度がθ2 （飛
来する磁性粒子の最低入射角θ1 と同角度）であるよう
設定されていることにある。
【００１２】そして、上記のように構成させてなる磁気
記録媒体製造装置を用いた金属薄膜型の磁気記録媒体の
製造について説明する。先ず、真空容器９内を１０-4〜
１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空
度に排気する。そして、供給側ロール２ａから繰り出さ
れ、冷却キャンロール１に添接され、そして巻取側ロー
ル２ｂに支持体（１０μｍ厚さのＰＥＴフィルム）３は
巻き取られて行く。この状態において、電子銃８からは
電子ビームが矢印で示す如く発射され、ルツボ６内のＣ
ｏ−Ｎｉ（８０：２０）磁性合金７に照射され、これに
よってＣｏ−Ｎｉ磁性合金７の粒子が蒸発し、最低入射
角θ1 が５５°の角度でもって冷却キャンロール１に添
接されている支持体３に飛来・付着し、１５００Å厚さ
堆積する。
記録媒体製造装置を用いた金属薄膜型の磁気記録媒体の
製造について説明する。先ず、真空容器９内を１０-4〜
１０-6Ｔｏｒｒ程度、例えば２×１０-5Ｔｏｒｒの真空
度に排気する。そして、供給側ロール２ａから繰り出さ
れ、冷却キャンロール１に添接され、そして巻取側ロー
ル２ｂに支持体（１０μｍ厚さのＰＥＴフィルム）３は
巻き取られて行く。この状態において、電子銃８からは
電子ビームが矢印で示す如く発射され、ルツボ６内のＣ
ｏ−Ｎｉ（８０：２０）磁性合金７に照射され、これに
よってＣｏ−Ｎｉ磁性合金７の粒子が蒸発し、最低入射
角θ1 が５５°の角度でもって冷却キャンロール１に添
接されている支持体３に飛来・付着し、１５００Å厚さ
堆積する。
【００１３】この磁性薄膜の形成に際しては、θ2 が５
５°に設定されたノズル５のノズル口５ａから酸素ガス
（純度９９．９９％）が磁性合金の蒸着部分に６０ｃｃ
／ｍｉｎ程度の割合で照射され、磁性薄膜は強制酸化さ
せられる。尚、図１からも判る通り、ノズル５のノズル
口５ａから照射される酸素ガスは最低入射角θ1 （５５
°）の角度でもって飛来する磁性合金粒子に沿って、か
つ、この最低入射角θ 1 でもって飛来する磁性合金粒子
に近接して照射される。
５°に設定されたノズル５のノズル口５ａから酸素ガス
（純度９９．９９％）が磁性合金の蒸着部分に６０ｃｃ
／ｍｉｎ程度の割合で照射され、磁性薄膜は強制酸化さ
せられる。尚、図１からも判る通り、ノズル５のノズル
口５ａから照射される酸素ガスは最低入射角θ1 （５５
°）の角度でもって飛来する磁性合金粒子に沿って、か
つ、この最低入射角θ 1 でもって飛来する磁性合金粒子
に近接して照射される。
【００１４】このようにして磁性薄膜が形成され、又、
酸化処理が施され、巻取側ロール２ｂに巻き取られた
後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そして平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥厚さが０．
５μｍのバックコート層を設ける。
酸化処理が施され、巻取側ロール２ｂに巻き取られた
後、巻取側ロール２ｂを取り出し、そして平均粒径２０
ｎｍのカーボンブラック及び塩化ビニル系樹脂とウレタ
ンプレポリマーとからなるバインダ樹脂を分散させてな
るバックコート用の塗料をダイレクトグラビア法により
磁性層とは反対側の支持体３に塗布し、乾燥厚さが０．
５μｍのバックコート層を設ける。
【００１５】そして、フッ素パーフルオロポリエーテル
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
（グレード：ＦＯＭＢＬＩＮ ＺＤＩＡＣ カルボキシ
ル基変性、日本モンテジソン社製）をフッ素不活性液体
（フロリナート、ＦＣ−８４、住友スリーエム社製）に
０．１％となるよう希釈・分散させた塗料をダイ塗工方
式により乾燥後の厚さが２０Å程度となるよう磁性面に
塗布し、７０℃で乾燥させる。
【００１６】この後、所定の幅にスリットし、磁気テー
プにする。 〔実施例２〕実施例１において、酸素ガス照射量を４０
ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行った。 〔実施例３〕実施例１において、酸素ガス照射量を８０
ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行った。
プにする。 〔実施例２〕実施例１において、酸素ガス照射量を４０
ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行った。 〔実施例３〕実施例１において、酸素ガス照射量を８０
ｃｃ／ｍｉｎとした他は同様に行った。
【００１７】〔実施例４〕実施例１において、飛来する
磁性粒子の最低入射角θ1 が４０°となるよう遮蔽板４
を設定し、又、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの
照射角度θ2 が４０°となるようノズル５を設定し、そ
の他は同様に行った。 〔実施例５〕実施例１において、飛来する磁性粒子の最
低入射角θ1 が７０°となるよう遮蔽板４を設定し、
又、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの照射角度θ
2 が７０°となるようノズル５を設定し、その他は同様
に行った。
磁性粒子の最低入射角θ1 が４０°となるよう遮蔽板４
を設定し、又、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの
照射角度θ2 が４０°となるようノズル５を設定し、そ
の他は同様に行った。 〔実施例５〕実施例１において、飛来する磁性粒子の最
低入射角θ1 が７０°となるよう遮蔽板４を設定し、
又、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの照射角度θ
2 が７０°となるようノズル５を設定し、その他は同様
に行った。
【００１８】〔比較例１〕実施例１において、飛来する
磁性粒子の最低入射角θ1 が５５°となるよう遮蔽板４
を設定し、又、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの
照射角度θ2 が７０°となるようノズル５を設定し、そ
の他は同様に行った。 〔特性〕上記各例で得た磁気テープについて、その磁気
特性（保磁力、飽和磁束密度）、耐久性並びに耐蝕性を
調べたので、その結果を表−１に示す。
磁性粒子の最低入射角θ1 が５５°となるよう遮蔽板４
を設定し、又、ノズル口５ａから照射される酸素ガスの
照射角度θ2 が７０°となるようノズル５を設定し、そ
の他は同様に行った。 〔特性〕上記各例で得た磁気テープについて、その磁気
特性（保磁力、飽和磁束密度）、耐久性並びに耐蝕性を
調べたので、その結果を表−１に示す。
【００１９】 表−１ 保磁力（Oe) 飽和磁束密度 (Ｇ) 耐久性 (dB) 耐蝕性 (％) 実施例１ １３５０ ５６００ −０．３ ２ 実施例２ １２６０ ５９００ −０．５ ４ 実施例３ １２８０ ５０５０ −０．２ ２ 実施例４ １１９０ ５７００ −０．３ ２ 実施例５ １２７０ ５１００ −０．２ ３ 比較例１ ９６０ ４３００ −１．０ ７ 比較例２ １１８０ ５３００ −０．２ ９ 比較例３ ４６０ ８８００ − １６ ＊比較例２は、特公昭６１−５６５６３号公報提案の技
術の如くにした場合 ＊比較例３は、酸素ガスを吹き付けない場合 ＊耐久性は３時間スチル再生した場合の再生出力の低下
で表示 ＊耐蝕性は温度６０℃、湿度９０％ＲＨ下に３０日間放
置後の飽和磁束密度の低下で表示 これによれば、蒸着手段で磁性薄膜を形成するに際し
て、酸素ガスの照射具合によって磁気特性などが大幅に
変わることが判り、しかも本発明の如くに照射すれば電
磁変換特性に優れた磁気記録媒体の得られることが判
る。
術の如くにした場合 ＊比較例３は、酸素ガスを吹き付けない場合 ＊耐久性は３時間スチル再生した場合の再生出力の低下
で表示 ＊耐蝕性は温度６０℃、湿度９０％ＲＨ下に３０日間放
置後の飽和磁束密度の低下で表示 これによれば、蒸着手段で磁性薄膜を形成するに際し
て、酸素ガスの照射具合によって磁気特性などが大幅に
変わることが判り、しかも本発明の如くに照射すれば電
磁変換特性に優れた磁気記録媒体の得られることが判
る。
【００２０】
【効果】本発明によれば、電磁変換特性に優れた高性能
な磁気記録媒体が簡単に得られる。
な磁気記録媒体が簡単に得られる。
【図１】本発明になる磁気記録媒体の製造装置の概略説
明図
明図
【図２】従来の磁気記録媒体の製造装置の概略説明図
１ 冷却キャンロール ２ａ 供給側ロール ２ｂ 巻取側ロール ３ 非磁性支持体 ４ 遮蔽板 ５ 酸素ガス導入管（ノズル） ５ａ ノズル口 ６ ルツボ ７ 磁性合金 ８ 電子銃
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 若林 繁美 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内 (72)発明者 志賀 章 栃木県芳賀郡市貝町大字赤羽2606 花王株 式会社情報科学研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 支持体上に磁性材料を堆積させ、金属薄
膜型の磁気記録媒体を製造する装置であって、走行する
支持体と、この支持体に向かって磁性粒子が飛来する飛
来源と、この飛来源と前記支持体との間に設けられた防
着部材と、この防着部材の陰に設けられた磁性粒子の堆
積に際して酸化性のガスを照射するノズルとを具備して
なり、前記支持体に向かって飛来する磁性粒子の最低入
射角θ 1 の方向と同方向に前記ノズルのノズル口がある
よう設定されてなることを特徴とする磁気記録媒体の製
造装置。 - 【請求項２】 ノズルのノズル口が防着部材の先端に出
来るだけ近接させられてなることを特徴とする請求項１
の磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項３】 ノズルのノズル口角度θ2 が４０°〜７
０°であるようノズルが設定されてなることを特徴とす
る請求項１または請求項２の磁気記録媒体の製造装置。 - 【請求項４】 走行する支持体上に磁性材料を堆積さ
せ、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する方法であっ
て、支持体に向かって磁性粒子が飛来し、堆積する堆積
工程と、前記支持体に向かって最低入射角θ1 をもって
飛来する磁性粒子の飛来行程に沿って、かつ、最低入射
角θ1 をもって飛来するポイントに近接して酸化性のガ
スを照射するガス照射工程とを具備することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6108797A JPH07320265A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6108797A JPH07320265A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07320265A true JPH07320265A (ja) | 1995-12-08 |
Family
ID=14493733
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6108797A Pending JPH07320265A (ja) | 1994-05-23 | 1994-05-23 | 磁気記録媒体の製造装置及び製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07320265A (ja) |
-
1994
- 1994-05-23 JP JP6108797A patent/JPH07320265A/ja active Pending
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