JPH0841230A - 耐擦傷性と耐久性に優れた反射防止フィルム - Google Patents
耐擦傷性と耐久性に優れた反射防止フィルムInfo
- Publication number
- JPH0841230A JPH0841230A JP6200205A JP20020594A JPH0841230A JP H0841230 A JPH0841230 A JP H0841230A JP 6200205 A JP6200205 A JP 6200205A JP 20020594 A JP20020594 A JP 20020594A JP H0841230 A JPH0841230 A JP H0841230A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film
- mgf
- durability
- scratch resistance
- antireflection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
- Compounds Of Alkaline-Earth Elements, Aluminum Or Rare-Earth Metals (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Coating Of Shaped Articles Made Of Macromolecular Substances (AREA)
- Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
Abstract
優れた、低コスト反射防止フィルムを提供する。 【構成】 プラスチックフィルムの少なくとも片面に硬
化型樹脂膜を形成させた後に、プラズマ処理により表面
水接触角が30度以下の表面張力を付与させ、次いで屈
折率が1.36〜1.40のMgF2 膜を形成したた。 【効果】 反射防止機能の役目を充分にはたし、かつ耐
久性、耐擦傷性に優れているため画面への使用も可能で
ある。さらには、MgF2 蒸着膜が1層であるために生
産性、コスト面に優れ、その産業上の効果は極めて大き
い。
Description
が改良されたMgF2 系の反射防止フィルムであって、
液晶表示装置、眼鏡用、レンズ用、カメラ用レンズ、C
RT用フィルター等の用途に用いられる反射防止フィル
ムに関する。
ものがあり、種々様々な所に使用されるようになってき
た。例えば、今まで屋内用に用いられていた液晶表示装
置だけではなく、屋外にも使用されるようになってくる
と、該プラスチック表面と空気層との界面で生じる反射
光が非常に問題となり画面を見難いものとしていた。
膜を形成すれば、これらの要求を満足させられる。その
方法として単層反射防止膜があり、基材より低屈折率の
物質を、光学的厚みが光波長の1/4波長またはその奇
数倍になるように選択すれば最小の反射率が得られる。
低屈折率物質の選択方法に付いては、 n0 =n1 1/2 ここで n1 は、無反射物質の屈折率 n0 は、基材の屈折率 上記の式を満足するような材質であれば、光線の反射は
最小となることが知られている。
プラスチッフィルム/SiO2 膜/TiO2 膜/SiO
2 膜の構成の様に、高屈折率と低屈折率の物質を交互に
積層する方法が知られている。
射防止膜では、製造工程が複雑であり、実用上連続で生
産することは非常に困難であり、またコストも非常に高
いものとなる。また単層反射防止膜としてはSiO2 膜
やMgF2 膜を被覆することが一般的であるが、SiO
2 膜では反射防止効果としては不十分であり、MgF2
膜では反射防止効果としては充分であるが、耐久性、耐
擦傷性において不十分である。なお、MgF2 膜をガラ
スに被覆する場合は基盤温度を300℃以上にすれば、
耐久性、耐擦傷性に優れた膜ができることは良く知られ
ている。しかし、プラスチックフィルムの場合は基盤温
度を300℃以上にすることは事実上不可能である。す
なわち、従来の技術にはこれら多くの課題を有してい
た。
課題について改良すべく研究を行った結果、耐久性、耐
擦傷性に優れ、かつ連続で簡単にMgF2 膜を被覆する
方法を開発した。すなわち、この発明は、まずプラスチ
ックフィルムに硬化型樹脂膜を形成し、次いでグロー放
電プラズマ処理により硬化型樹脂膜の表面張力を水接触
角にて30度以下にした後、屈折率が1.36〜1.4
0のMgF2 膜を被覆するようにしたことにより、耐久
性、耐擦傷性に優れた反射防止フィルムが得られた。
ムとしては、特に制限はないが、用途的に考えれば高い
透明性を有するフィルムを使用することが好ましく、例
えば三酢酸セルロース、アセテート等のセルロース系樹
脂や、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフ
タレート等のポリエステル系樹脂や、ポリメチルメタア
クリレート等のアクリル系樹脂や、ポリカーボネート樹
脂類、ポリエーテルサルフォン系樹脂類、ポリノルボル
ネン系樹脂類、ポリ四フッ化エチレン、ポリフッ化ビニ
ル等のフッ素系樹脂類等の人造樹脂フィルムや合成樹脂
フィルムを使用することが好ましい。また、これらのプ
ラスチックフィルムに公知の添加剤、例えば潤滑剤、可
塑剤、紫外線吸収剤等が添加されていても良い。
に硬化型樹脂膜を塗布形成する硬化型樹脂膜としては、
特に制限はなく、通常の紫外線硬化型樹脂膜、熱硬化型
樹脂膜、電子線硬化型樹脂膜等が用いられ、この厚みと
しては1μm〜20μm、好ましくは3μm〜10μm
の厚みに設定される。但し硬化型樹脂膜としての性能と
しては下記ポイントに注意する必要がある。 1.硬化型樹脂膜としての硬さ ・鉛筆硬度 H以上 2.プラスチックフィルムとの密着性 ・碁盤目剥離(セロテープ剥離)にて 90/100以
上
されるMgF2 膜の硬さ、反射率、耐久性に影響を及ぼ
し、例えば鉛筆硬度H以下では、MgF2 膜の硬さもそ
れほど向上しない。また、プラスチックフィルムとの密
着性が悪ければ、最終製品としての価値が劣るので好ま
しくない。
吸収剤、透明性をあまり失わない程度のマット剤等が添
加されていても良い。
ムの面上に硬化型樹脂を塗布形成して得られた硬化型樹
脂膜の面上に、まずプラズマ処理を行ない表面水接触角
を30度以下、好ましくは20度以下の表面張力を付与
する。このプラズマ処理の方法としては、酸素またはア
ルゴンまたはその混合ガスを真空中に導入して得た低圧
下のガス雰囲気で、1.0×10-3W/cm2 〜100
W/cm2 のパワーを与え、この放電中の電子、イオ
ン、励起電子、励起分子、ラジカル等の活性粒子で上記
硬化型樹脂膜の表面を連続的にプラズマ処理する。プラ
ズマ処理のガス圧力は、10-6Torr〜100Tor
r、好ましくは10-3Torr〜1Torrに保持す
る。
表面の水接触角が30度以下の値を得るには、通常のコ
ロナ処理放電、紫外線処理、電子線処理では達成が困難
であり、前記のプラズマ処理でも、電極電圧、処理時
間、電極形状、電極配置等は十分な選択を必要とする。
印加電圧としては、特に限定はないが、直流、低周波、
高周波、マイクロ波等が使用でき、特には高電圧が得ら
れる直流を用いることが好ましい。
限定するものではないが長尺でフィルムを連続で処理で
きるものが好ましい。プラズマ処理に使用するガスとし
ては、酸素およびアルゴンまたはその混合ガスが好適に
用いられる。なお、酸素を含んだガス、例えばCO、C
O2 、NO、N2 O、SO2 、O3 等のガスも使用でき
る。
触角を30度以下、好適には20度以下の表面張力を有
する前記の硬化型樹脂膜を形成したプラスチックフィル
ムが用いられ、30度以上ではMgF2 膜の密着性が悪
く、摩耗性、耐久性に劣る。特に高温多湿の条件に耐え
うる為には、表面水接触角が10度以下であることが、
耐久性の点から好ましい。
蒸着法等の方法によって行ない、膜の厚さとしては特に
制限はなく、反射率の最低値が、λ=400nm〜60
0nmとなる72nmから101nmの膜厚とするのが
好ましい。
法としては、通常抵抗加熱蒸着法、電子線加熱蒸着法を
はじめ、イオンプレーティング法や、スパッタリング法
等の公知の真空蒸着技術がいずれも適用できる。なかで
も、高真空が得られ生産能力の高い抵抗加熱蒸着法、電
子線加熱蒸着法を用いることが好ましい。
膜を高密度に蒸着して屈折率を1.36〜1.40にす
る必要性から高真空、かつ低成膜速度にて蒸着すること
が好ましく、真空度としては1.0×10-3Torr以
上、好ましくは1.0×10-4Torr以上が好まし
い。次ぎに成膜速度は0.1〜100nm/秒、好まし
くは0.1〜50nm/秒とするのが好ましい。
36以下の場合、耐久性や耐擦傷性に弱い膜となり易
い。
は、耐久性、耐擦傷性に優れ、かつ反射防止効果として
も優れている。
的に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定す
るものではない。なお、上記反射防止フィルムの物性等
の評価もあわせて以下に述べる。
(帝人株式会社製、GSタイプ)に大日本インキ化学工
業株式会社製、紫外線硬化樹脂(WB−S1)を塗布
し、乾燥硬化後の塗膜の厚みを5μmとした。ついで、
硬化塗膜上にプラズマ処理を施した。処理は高電圧を印
加した棒状の電極に対して3cmの距離でフィルムを送
膜するプラズマ装置を使用し、Arガス圧O.O2To
rr、処理パワー10W/cm2 、シート速度3m/m
inとした。
加熱蒸着法にて、蒸着中の真空度5.0×10-5Tor
r、成膜速度30nm/秒にて厚み85nmになるよう
に蒸着形成して反射防止フィルムを得た。
代わりにO2 を使用した。その他は実施例1と同様に行
ない反射防止フィルムを得た。
形成した。その他は実施例1と同様に行ない反射防止フ
ィルムを得た。
500nm/秒にて蒸着した。その他は実施例1と同様
に行ない反射防止フィルムを得た。
(富士写真フィルム株式会社製)に大日精化工業株式会
社製、紫外線硬化樹脂(セイカビーム、EXF−37
T)を塗布し、乾燥硬化後の塗膜の厚みを5μmにし
た。その他は実施例1と同様に行ない反射防止フィルム
を得た。
代わりにO2 を使用し、MgF2 膜の成膜速度を50n
m/秒にて行なった。その他は実施例1と同様に行ない
反射防止フィルムを得た。
O2 の混合ガス(Ar:O2 =50:50)を使用し
た。その他は実施例1と同様に行ない反射防止フィルム
を得た。
×10-4Torrにて蒸着した。その他は実施例1と同
様に行ない反射防止フィルムを得た。
実施例1と同様に行ない反射防止フィルムを得た。
実施例3と同様に行ない反射防止フィルムを得た。
た反射防止フィルムの耐擦傷性、密着性、屈折率及び反
射率について評価した。その結果を表1に示した。
さを調べた。 ・スチールウール性 スチールウール#0000にてMgF2 膜蒸着面を擦り傷つ
き具合を判定する。判定基準は、 A:強く摩擦しても傷がつかない。 B:かなり強く摩擦すると少し傷がつく。 C:弱い摩擦でも傷がつく。
mm間隔の碁盤目を綱ナイフで100個入れて、セロテ
ープ(ニチバン株式会社製)を強く張り付け、90度方
向に急速に剥離し、剥離の有無を確認した。
(株式会社島津製作所製、AEP-100 )にて測定した。
所製、UV3100-PC )にて反射率を測定した。なお、裏面
の反射を消去する為に、裏面をマジックインク(登録商
標)で黒く塗りつぶした。
高温高湿下の雰囲気に500時間放置した後の反射率の
変化を調べた。
ムは、反射防止機能の役目を充分にはたし、かつ耐久
性、耐擦傷性に優れているため画面への使用も可能であ
る。さらには、MgF2 膜の蒸着膜が1層であるために
生産性、コスト面に優れ、その産業上の効果は極めて大
きい。
略断面図である。
Claims (2)
- 【請求項1】 プラスチックフィルムの少なくとも片面
に硬化型樹脂膜を形成させた後に、プラズマ処理により
表面水接触角が30度以下の表面張力を付与させ、次い
で屈折率が1.36〜1.40のMgF2 膜を形成した
ことを特徴とする耐擦傷性と耐久性に優れた反射防止フ
ィルム。 - 【請求項2】 プラズマ処理の際使用するガスが酸素ガ
ス、アルゴンガスまたはその混合ガスであることを特徴
とする請求項第1項記載の反射防止フィルム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20020594A JP3433845B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 耐擦傷性と耐久性に優れた反射防止フィルム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20020594A JP3433845B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 耐擦傷性と耐久性に優れた反射防止フィルム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0841230A true JPH0841230A (ja) | 1996-02-13 |
| JP3433845B2 JP3433845B2 (ja) | 2003-08-04 |
Family
ID=16420556
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20020594A Expired - Fee Related JP3433845B2 (ja) | 1994-08-02 | 1994-08-02 | 耐擦傷性と耐久性に優れた反射防止フィルム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3433845B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001235604A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-08-31 | Nissan Chem Ind Ltd | 反射防止膜及び反射防止膜の形成方法並びに反射防止ガラス |
| JP2002507665A (ja) * | 1998-03-26 | 2002-03-12 | エシロール アンテルナショナル | マグネトロン・スパッタリングにより堆積される光学層を有する有機基体およびそれを製造する方法 |
| FR2817267A1 (fr) * | 2000-11-28 | 2002-05-31 | Essilor Int | Procede de depot de couche anti-reflets a froid sur substrat organique |
| JP2019113735A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | マクセル株式会社 | 膜付きレンズ、レンズユニットおよびカメラモジュール |
-
1994
- 1994-08-02 JP JP20020594A patent/JP3433845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002507665A (ja) * | 1998-03-26 | 2002-03-12 | エシロール アンテルナショナル | マグネトロン・スパッタリングにより堆積される光学層を有する有機基体およびそれを製造する方法 |
| JP2001235604A (ja) * | 1999-12-14 | 2001-08-31 | Nissan Chem Ind Ltd | 反射防止膜及び反射防止膜の形成方法並びに反射防止ガラス |
| FR2817267A1 (fr) * | 2000-11-28 | 2002-05-31 | Essilor Int | Procede de depot de couche anti-reflets a froid sur substrat organique |
| WO2002044440A1 (fr) * | 2000-11-28 | 2002-06-06 | Essilor International | Procede de depot de couche anti-reflets a froid |
| AU2002222043B2 (en) * | 2000-11-28 | 2006-10-12 | Essilor International | Method for cold process deposition of an antiglare layer |
| US7175878B2 (en) | 2000-11-28 | 2007-02-13 | Essilor International | Cold antireflection layer deposition process |
| JP2019113735A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | マクセル株式会社 | 膜付きレンズ、レンズユニットおよびカメラモジュール |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3433845B2 (ja) | 2003-08-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN101939669A (zh) | 用于光学显示滤光片的带电磁干扰屏蔽的多层堆叠光学带通膜 | |
| JP3464785B2 (ja) | 改良された反射防止複合材料 | |
| JPWO2005100014A1 (ja) | 透明ガスバリア性積層フィルム | |
| JP2000214302A (ja) | 反射防止フィルム及びその製造方法 | |
| JP2001295032A (ja) | 光学複合薄膜の形成方法およびそれを用いた光学物品 | |
| JP3433845B2 (ja) | 耐擦傷性と耐久性に優れた反射防止フィルム | |
| KR102792148B1 (ko) | Ptfe를 반사방지층으로 포함하고 원스텝으로 제조된 반사방지막 및 이의 제조방법 | |
| JP6425598B2 (ja) | 透明導電性フィルム及びタッチパネル | |
| JP3835261B2 (ja) | 機能性薄膜の形成方法、機能性薄膜積層体、光学フィルム及び画像表示素子 | |
| JPH09197102A (ja) | 多層反射防止膜を有するプラスティック製光学物品 | |
| KR20200065912A (ko) | 눈부심 방지 기능을 갖는 고투명 배리어 필름 및 그 제조방법 | |
| JP3723682B2 (ja) | 反射防止フイルム | |
| JP2000338305A (ja) | 反射防止フィルム | |
| JPH09197103A (ja) | 多層反射防止膜を有するプラスティック製光学物品 | |
| JP4023142B2 (ja) | 反射防止材料およびその製造方法 | |
| JP3541606B2 (ja) | 低反射樹脂基材 | |
| JP7758816B1 (ja) | 反射防止フィルムおよび反射防止フィルムの製造方法 | |
| JP2000028804A (ja) | 反射防止積層体およびその製造方法 | |
| JP4407099B2 (ja) | 積層体 | |
| JPH0545503A (ja) | 光学素子およびその製造方法 | |
| JPH1095638A (ja) | 被覆構造、光学的装置又は素子、及びこれらの製造方法 | |
| JPH07159602A (ja) | 反射防止フィルム及びその製造方法 | |
| JP2025146328A (ja) | 反射防止フィルム | |
| JP2009234167A (ja) | 積層ポリエステルフィルム | |
| JPH09277426A (ja) | 透明導電フィルム及びその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090530 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090530 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100530 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110530 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120530 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130530 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140530 Year of fee payment: 11 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |