JPH0841649A - 表面処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 被処理体の処理能率及び処理精度の向上を図
り、かつ被処理体への不純物等の付着を低減して歩留ま
りの向上を図る。 【構成】 対峙する吊持部材２に垂直方向に回転可能な
回転保持体１０を取付けると共に、回転保持体１０と同
心上の太陽歯車３０を固定する。回転保持体１０の外周
部に放射方向に開口する支持軸保持溝１２を設け、この
保持溝１２に、複数のディスクＤを間隔をおいて垂直状
に支持する支持軸１を着脱及び回転可能に嵌挿する。支
持軸１に固着される遊星歯車３１を太陽歯車３０に噛合
する。これにより、回転保持体１０の保持溝１２に支持
軸１を嵌挿してディスクＤをセットすることができ、セ
ット後に回転保持体１０の回転（公転）に伴ってディス
クＤを回転（自転）しつつ処理液中を移動して均一な表
面処理を行うことができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は表面処理装置に関する
もので、更に詳細には、例えば磁気ディスク等の被処理
体を無電解メッキ処理する表面処理装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従来の技術】従来、アルミニウム製の磁気ディスクの
表面に例えばニッケル燐を被覆する場合、図７に示すよ
うに、被処理体であるドーナツ状のディスク基板Ｄ（以
下にディスクという）を適宜間隔をおいて支持軸１に垂
直状に支持し、この支持軸１を対峙する吊持部材２間に
横架させ、そして、吊持部材２を下降させて処理槽であ
るメッキ槽３内のメッキ液４にディスクＤを浸漬して、
ディスクＤの表面にメッキ処理を施している。このよう
な表面処理によれば、一度に多数枚のディスクＤを同時
に表面処理することができ、また、吊持部材２を図示し
ない駆動手段にて上下（あるいは水平）に振動させるこ
とにより、ディスク表面に均一なメッキ膜を形成するこ
とができる。更に、複数本の支持軸１を同時に吊持部材
間に横架して、上述と同様に処理を行うことにより、更
に効率良く多数枚のディスクＤを処理することができ
る。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
この種の表面処理装置においては、支持軸１を対峙する
吊持部材２の対向する取付面に設けられた軸受５にスプ
リング６を介在させて取付けるか、あるいは、吊持部材
２の一方に保持孔を設け、支持軸１の端部を一端保持孔
に嵌挿した後、支持軸１の他端を軸受５に係合させるな
どの方法で支持軸１を吊持部材２間に横架するため、メ
ッキ処理中にスプリング６や保持孔等にもメッキされ
る。したがって、繰返して表面処理を行う間にスプリン
グ６等のメッキ部が剥離して粒子状不純物（パーティク
ル）が発生し、この不純物がディスクＤに付着した化学
反応（ケミカルコンタミネーション）を起こして、磁気
ディスクの特性や歩留まりの悪化を招くという問題があ
った。

【０００４】また、吊持部材２を上下動（あるいは水平
動）することによってディスクＤを固定した場合に較べ
てディスク表面とメッキ液との接触を多くすることがで
きるが、方向が一定な上下動（あるいは水平動）である
ため、ディスクＤの全面に均一にメッキを施しがたいと
いう問題があった。更には、支持軸１及びディスクＤの
セットが面倒であるという問題があった。

【０００５】この発明は上記事情に鑑みなされたもの
で、被処理体への不純物等の付着を低減して歩留まりの
向上を図れるようにし、かつ被処理体の表面処理を均一
に行えるようにした表面処理装置を提供することを目的
とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、この発明の表面処理装置は、複数の被処理体を間隔
をおいて垂直状に支持する支持軸を、対峙する吊持部材
に横架して処理液内に浸漬することにより、上記被処理
体の表面を処理する表面処理装置を前提とし、上記吊持
部材に固定される円形案内体と、上記円形案内体と同心
上にあって回転可能な回転保持体とを具備し、上記回転
保持体の外周部に、上記支持軸を着脱及び回転可能に嵌
挿すべく放射方向に開口する保持溝を形成し、上記支持
軸に上記円形案内体に係合して転動する回転子を固着し
てなることを特徴とするものである。

【０００７】この発明において、上記円形案内体と回転
子とは互いに係合して回転子が転動するものであれば、
例えば円形案内体と回転子とを互いに接触して摩擦力に
よって回転する摩擦円盤等にて形成することも可能であ
るが、好ましくは円形案内体を太陽歯車にて形成し、回
転子を太陽歯車に噛合する遊星歯車にて形成する方がよ
い。

【０００８】また、上記保持溝に着脱及び回転可能に嵌
挿される補助支持軸の軸方向に、被処理体を間隔をおい
て保持する間隔保持溝を列設することにより、被処理体
を間隔をおいて確実に支持することができる点で好まし
い。

【０００９】

【作用】上記のように構成されるこの発明の表面処理装
置によれば、回転可能な回転保持体の外周方向に設けら
れた保持溝に支持軸を回転可能に嵌挿し、支持軸に固着
される回転子を回転保持体と同心上に固定された回転案
内体に係合することにより、多数枚の被処理体を支持し
た支持軸を容易にセットすることができる。また、回転
保持体の回転（公転）に伴って支持軸が回転（自転）す
ることができ、支持軸の回転に伴って回転（自転）する
被処理体の表面に処理液が均一に接触されて処理するこ
とができる。この場合、円形案内体を太陽歯車にて形成
し、回転子を太陽歯車に噛合する遊星歯車にて形成する
ことにより、支持軸の回転（自転）を更に確実にするこ
とができ、被処理体の表面処理を更に均一にすることが
できる。

【００１０】また、保持溝に着脱及び回転可能に嵌挿さ
れる補助支持軸の軸方向に、被処理体を間隔をおいて保
持する間隔保持溝を列設することにより、被処理体を間
隔をおいて確実に支持することができるので、小径で軽
量な被処理体であっても、処理液内の移動中に浮遊して
隣接間で接触することがなく、表面処理を確実に行うこ
とができる。

【００１１】

【実施例】以下にこの発明の実施例を図面に基いて詳細
に説明する。ここでは、この発明の表面処理装置をアル
ミニウム製磁気ディスクの無電解メッキ装置に適用した
場合について説明する。また、従来の表面処理装置と同
じ部分には同一符号を付して説明する。

【００１２】◎第一実施例 図１はこの発明の表面処理装置の第一実施例の概略側断
面図、図２は図１のＡ−Ａ断面図、図３は第一実施例の
要部の概略斜視図が示されている。

【００１３】この発明の表面処理装置は、図示しない搬
送機構から垂下されて対峙する一対の吊持部材２の対向
する面に取付けられる垂直方向に回転可能な回転保持体
１０と、吊持部材２に固定される回転保持体１０と同軸
上の円形案内体である太陽歯車３０と、両回転保持体１
０に略等間隔に設けられた支持軸保持溝１２に着脱及び
回転可能に嵌挿されると共に多数の被処理体であるディ
スクＤを適宜間隔をおいて垂直状に支持する支持軸１
と、この支持軸１に固着されると共に太陽歯車３０に係
合（噛合）する回転子である遊星歯車３１と、回転保持
体１０の外周近傍位置に配設されて支持軸１の落下を防
止するためのガイド２０とを具備してなる。なお、吊持
部材２、回転保持体１０及びガイド２０はメッキされ難
い合成樹脂製部材にて形成されており、支持軸１はステ
ンレス鋼製軸の表面を合成樹脂にて被覆した構造となっ
ている。

【００１４】この場合、上記回転保持体１０は、外周面
に歯部１１が設けられており、吊持部材２に貫通固定さ
れる軸１３にベアリング１４を介して回転可能に装着さ
れている。この回転保持体１０には第１の伝達歯車１５
が噛合し、この第１の伝達歯車１５に第２の伝達歯車１
６を介して駆動モータ１７の駆動軸１８に装着された駆
動歯車１９が噛合されている。したがって、駆動モータ
１７の回転により、駆動歯車１９、第２の伝達歯車１６
及び第１の伝達歯車１５を介して回転保持体１０が垂直
方向に回転することができる。また、回転保持体１０の
外周部には放射方向に開口する複数（図面では８個の場
合を示す）の支持軸保持溝１２が設けられており、この
保持溝１２内に支持軸１が着脱及び回転可能に嵌挿され
るようになっている。

【００１５】また、上記軸１３の先端は吊持部材２の対
向する面側に突出する断面四角形状に形成されており、
この断面四角部１３ａに太陽歯車３０が回転が阻止され
た状態で固着されており、この太陽歯車３０に、支持軸
１に固着された遊星歯車３１が噛合し得るようになって
いる。なおこの場合、軸１３の断面四角部１３ａの辺を
垂直方向に傾斜させることによって、軸１３に対するメ
ッキ液４の液切れを良好にすることができる。

【００１６】上記支持軸１には軸方向に沿って等間隔に
小径部１ａが設けられており、この小径部１ａにディス
クＤが係止されることにより、複数のディスクＤを間隔
をおいて垂直状に支持することができる（図４参照）。

【００１７】また、上記ガイド２０は、図２に示すよう
に、上部左右に９０°の角度をおいて上記保持溝１２と
合致する位置に開口溝２１を設け、それ以外の部分が回
転保持体１０の外周部近傍位置に配設されるように吊持
部材２に固定ピン２２をもって固定される（図２参
照）。したがって、回転保持体１０の回転に伴って垂直
方向に移動する支持軸１が下方に位置した際に保持溝１
２から脱落するのをガイド２０によって防止することが
できる。なおこの場合、開口溝２１が左右２箇所に設け
られているが、必ずしも開口溝２１は左右２箇所に設け
る必要はなく、少なくとも１箇所設けておけばよい。ま
た、ガイド２０は少なくとも回転保持体１０の下方部に
配設しておけばよい。

【００１８】次に、この発明の表面処理装置の動作態様
について説明する。まず、支持軸１に所定枚数のディス
クＤを予め支持しておき、このディスクＤを支持した支
持軸１をガイド２０の開口溝２１から回転保持体１０の
保持溝に落し込むように嵌挿すると共に、遊星歯車３１
を太陽歯車３０に係合（噛合）した後、回転保持体１０
を所定角度（４５°）回転しながら、順次他の支持軸１
を保持溝１２に嵌挿して、両回転保持体１０間に８本の
支持軸１を横架してディスクＤのセットを行う。

【００１９】上記のようにしてディスクＤをセットした
ものを図示しない搬送機構によって洗浄槽あるいは所定
の薬品槽に浸漬して前処理を行った後、メッキ槽３の上
方へ移動する。そして、吊持部材２を下降させて回転保
持体１０、支持軸１及びディスクＤをメッキ槽３内のメ
ッキ液４中に浸漬した後、駆動モータ１７を駆動する
と、駆動モータ１７の回転が駆動歯車１９、第２の伝達
歯車１６及び第１の伝達歯車１５を介して回転保持体１
０に伝達されて回転保持体１０が垂直方向に回転（公
転）する。この回転保持体１０の回転（公転）に伴って
支持軸１に固着された遊星歯車３１が太陽歯車３０上を
転動して回転（自転）する。したがって、支持軸１に支
持されているディスクＤは公転しながら自転してメッキ
液４中を移動するので、ディスクＤの表面に均一な膜厚
のメッキを施すことができる。

【００２０】上記のようにして、メッキ処理が行われた
後、吊持部材２が上昇してメッキ槽３から引き上げら
れ、次の処理工程へ搬送される。なおこの際、吊持部材
２の下端面に設けられた傾斜面２ａによってメッキ槽３
から吊持部材２が引上げられるときのメッキ液の液切れ
を良好にすることができる。そして、最終処理が施され
た後、上述した支持軸１のセットの手順と逆の手順にて
支持軸１が回転保持体１０から取外される。

【００２１】◎第二実施例 図５はこの発明の表面処理装置の第二実施例の要部の概
略側面図、図６は図５のＢ−Ｂ線に沿う拡大断面図が示
されている。

【００２２】第二実施例における表面処理装置は被処理
体であるディスクＤが小径かつ軽量のときの表面処理を
確実に行えるようにした場合である。すなわち、ディス
クＤが小径で軽量の場合に、上記第一実施例と同様にデ
ィスクＤをメッキ液４中を公転及び自転させながら移動
すると、ディスクＤが浮遊して支持軸１の小径部１ａか
ら外れて隣接するディスク同士が接触する虞れがあるの
で、このディスク同士の接触を防止するために隣接する
支持軸１１間に補助支持軸４０を配設し、この補助支持
軸４０の軸方向に列設された間隔保持溝４１内に各ディ
スクＤを位置させて、ディスクＤ間の間隔を保持させな
がらディスクＤを公転及び自転させる。なおこの場合、
保持溝１２は処理するディスクＤを支持する支持軸１の
本数の２倍の数が設けられている（本実施例では１６×
２＝３２（個）の保持溝１２が設けられている）。

【００２３】この場合、補助支持軸４０は上記支持軸１
と同様に回転保持体１０の保持溝１２内に着脱及び回転
可能に嵌挿されるのであるが、予め隣接する支持軸１を
保持溝１２を１つあけて嵌挿してディスクＤを垂直状に
配置した後に、その間の保持溝１２に補助支持軸４０を
嵌挿すると共に、間隔保持溝４１内に各ディスクＤを位
置させることにより、ディスクＤの間隔を確実に保持す
ることができる。

【００２４】なお、第二実施例において、その他の部分
は上記第一実施例と同じであるので、同一部分には、同
一符号を付してその説明は省略する。

【００２５】なお、上記実施例では、回転保持体１０の
回転を駆動モータ１７から歯車伝達機構を介して回転保
持体１０に回転を伝達する場合について説明したが、回
転手段は必ずしも歯車伝達機構である必要はなく、例え
ばワイヤ等の索条を用いて回転を行うようにしてもよ
い。また、上記実施例では、この発明の表面処理装置を
磁気ディスクの無電解メッキ処理の場合について説明し
たが、磁気ディスク以外のドーナツ状のディスク等の被
処理体のメッキ処理あるいはメッキ以外の表面処理にお
いても適用できることは勿論である。

【００２６】

【発明の効果】以上に説明したように、この発明の表面
処理装置によれば、上記のにように構成されているの
で、以下のような効果が得られる。

【００２７】１）請求項１記載の表面処理装置によれ
ば、回転可能な回転保持体の外周方向に設けられた保持
溝に支持軸を回転可能に嵌挿し、支持軸に固着された回
転子を回転保持体と同心上に固定された回転案内体に係
合するので、多数枚の被処理体を支持した支持軸を容易
にセットすることができる。また、支持軸の支持部の接
触面積を少なくすることができるので、被処理体へのパ
ーティクル等の不純物の付着を少なくすることができ、
歩留まりの向上を図ることができる。更に、被処理体を
公転しつつ自転することができるので、被処理体の表面
に処理液を均一に接触して処理することができると共
に、処理精度の向上を図ることができる。

【００２８】２）請求項２記載の表面処理装置によれ
ば、円形案内体を太陽歯車にて形成し、回転子を太陽歯
車に噛合する遊星歯車にて形成するので、被処理体の回
転（自転）を更に確実にして被処理体の表面処理を更に
均一にすることができる。

【００２９】３）請求項３記載の表面処理装置によれ
ば、保持溝に着脱及び回転可能に嵌挿される補助支持軸
の軸方向に、被処理体を間隔をおいて保持する間隔保持
溝を列設するので、被処理体を間隔をおいて確実に支持
することができ、小径で軽量な被処理体の表面処理を確
実に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の表面処理装置の第一実施例の概略側
断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】この発明の要部を示す概略斜視図である。

【図４】第一実施例における被処理体と支持軸を示す斜
視図である。

【図５】この発明の表面処理装置の第二実施例の概略側
面図である。

【図６】図５のＢ−Ｂ線に沿う拡大断面図である。

【図７】従来の表面処理装置の一例を示す概略断面図で
ある。

【符号の説明】

Ｄ ディスク（被処理体） １ 支持軸 ２ 吊持部材 ３ メッキ槽（処理槽） ４ メッキ液（処理液） １０ 回転保持体 １２ 支持軸保持溝 ２０ 支持軸落下防止用ガイド ３０ 太陽歯車（円形案内体） ３１ 遊星歯車（回転子） ４０ 補助支持軸 ４１ 間隔保持溝

【図１】

【図２】

【図３】

【図４】

【図５】

【図６】

【図７】

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成５年１０月１２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の表面処理装置の第一実施例の概略側
断面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。

【図３】この発明の要部を示す概略斜視図である。

【図４】第一実施例における被処理体と支持軸を示す斜
視図である。

【図５】この発明の表面処理装置の第二実施例の概略側
面図である。

【図６】図５のＢ−Ｂ線に沿う拡大断面図である。

【図７】従来の表面処理装置の一例を示す概略断面図で
ある。

【符号の説明】 Ｄ ディスク（被処理体） １ 支持軸 ２ 吊持部材 ３ メッキ槽（処理槽） ４ メッキ液（処理液） １０ 回転保持体 １２ 支持軸保持溝 ２０ 支持軸落下防止用ガイド ３０ 太陽歯車（円形案内体） ３１ 遊星歯車（回転子） ４０ 補助支持軸 ４１ 間隔保持溝

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】全図

【補正方法】追加

【補正内容】

【図１】

【図２】

【図３】

【図４】

【図６】

【図５】

【図７】

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の被処理体を間隔をおいて垂直状に
   支持する支持軸を、対峙する吊持部材に横架して処理液
   内に浸漬することにより、上記被処理体の表面を処理す
   る表面処理装置において、 上記吊持部材に固定される円形案内体と、 上記円形案内体と同心上にあって回転可能な回転保持体
   とを具備し、 上記回転保持体の外周部に、上記支持軸を着脱及び回転
   可能に嵌挿すべく放射方向に開口する保持溝を形成し、 上記支持軸に上記円形案内体に係合して転動する回転子
   を固着してなることを特徴とする表面処理装置。
2. 【請求項２】 円形案内体を太陽歯車にて形成し、回転
   子を上記太陽歯車に噛合する遊星歯車にて形成してなる
   ことを特徴とする請求項１記載の表面処理装置。
3. 【請求項３】 保持溝に着脱及び回転可能に嵌挿される
   補助支持軸の軸方向に、被処理体を間隔をおいて保持す
   る間隔保持溝を列設してなることを特徴とする請求項１
   記載の表面処理装置。