JPH0843057A - 整列確認装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】２つの部品の位置ずれと傾きとを検出すること
が可能でありながら、コスト的に安い整列確認装置を提
供する。 【構成】２つの部品の間に挿入され、互いに逆方向に照
明光を照射して２つの部品の夫々を照明すると共に、２
つの部品から反射された反射光を受光するためのプリズ
ム１２と、照明光を発する光源１４と、光源１４からの
照明光をプリズム１２に導くための第１の光学系と、プ
リズム１２に入射した２つの部品からの反射光を同一光
路を通して同一位置に結像させるための第２の光学系
と、同一位置に結像された２つの部品からの反射光を受
光して、２つの部品の像が重畳された画像信号を生成す
るための１つの撮像素子４４とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、２つの部品を整列した
状態で接合するために、２つの部品を接合する前の段階
で互いの相対位置及び相対傾斜を確認出来る整列確認装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】ＬＳＩ等の製造においては、集積回路チ
ップをパターン基体等に取り付けるに当たり、集積回路
チップとパターン基体とを精密に位置合わせすることが
極めて重要である。この様な集積回路チップとパターン
基体とを精密に位置合わせする装置としては、例えば特
開平２−２４４６４９号が知られている。

【０００３】図７は、上記の従来の位置合わせ装置の構
成を示す図である。この位置合わせ装置は、２つの部
品、例えば集積回路チップとパターン基体の位置を検出
するための光学系と、これらの２つの部品の相対的な傾
きを検出する光学系とを備えている。図７は、主に位置
検出のための光学系を示した平面図であり、図中参照番
号１０２で示したものは、位置合わせする対象物である
集積回路チップとパターン基板とに照明光を出射すると
共に反射光を受光する出射受光プリズムであり、この出
射受光プリズム１０２の紙面に対して例えば手前側に集
積回路チップが位置し、向こう側にパターン基板が位置
している。

【０００４】光源１０４から出射された照明光はレンズ
系１０６と三角プリズム１０８を介して出射受光プリズ
ム１０２に入射し、出射受光プリズム１０２により光路
を紙面手前側に曲げられて集積回路チップに照射され
る。集積回路チップで反射された反射光は、照明光と逆
の経路をたどってビデオカメラ１１０に入射し、集積回
路チップのビデオ画像信号がミキサ１１２に入力され
る。

【０００５】一方、光源１１４から出射された照明光は
レンズ系１１６と三角プリズム１１８を介して出射受光
プリズム１０２に入射し、この出射受光プリズム１０２
により光路を紙面向こう側に曲げられてパターン基板に
照射される。パターン基板で反射された反射光は、照明
光と逆の経路をたどってビデオカメラ１２０に入射し、
パターン基板のビデオ画像信号がミキサ１１２に入力さ
れる。

【０００６】ミキサ１１２では、ビデオカメラ１１０か
らの集積回路チップの画像と、ビデオカメラ１２０から
のパターン基板の画像がミックスされ、このミックスさ
れた画像をモニタ１２２に表示する。これにより、１つ
のモニタ画面上で、集積回路チップとパターン基板が重
ねあわされた画像を見ることができ、両者の相対位置を
一目で確認することが出来る。

【０００７】また、図８は主に２つの部品の相対的な傾
きを検出する光学系を示した図である。図中参照番号１
３２で示したものは、傾きを検出する対象物である集積
回路チップとパターン基板とに照明光を出射すると共に
反射光を受光する出射受光プリズムであり、図７の場合
と同様に出射受光プリズム１３２の紙面に対して手前側
に集積回路チップが位置し、向こう側にパターン基板が
位置している。

【０００８】光源１３４からは、クロスヘアのパターン
像を含む照明光が出射され、この照明光はレンズ系１３
６と三角プリズム１３８を介して出射受光プリズム１３
２に入射し、出射受光プリズム１３２により光路を紙面
手前側に曲げられて集積回路チップに照射される。集積
回路チップで反射された反射光は、照明光と逆の経路を
たどってビデオカメラ１１０に入射し、クロスヘアのビ
デオ画像信号がミキサ１１２に入力される。

【０００９】一方、光源１４４からは、もう一つのクロ
スヘアのパターン像を含む照明光が出射され、この照明
光はレンズ系１４６と三角プリズム１４８を介して出射
受光プリズム１３２に入射し、この出射受光プリズム１
３２により光路を紙面向こう側に曲げられてパターン基
板に照射される。パターン基板で反射された反射光は、
照明光と逆の経路をたどってビデオカメラ１２０に入射
し、クロスヘアのビデオ画像信号がミキサ１１２に入力
される。

【００１０】ミキサ１１２では、ビデオカメラ１１０か
らの一方のクロスヘアの画像と、ビデオカメラ１２０か
らのもう一方のクロスヘアの画像がミックスされ、この
ミックスされた画像をモニタ１２２に表示する。これに
より、１つのモニタ画面上で、２つのクロスヘアが重ね
あわされた画像を見ることができ、両者の位置ずれを確
認することにより、集積回路チップとパターン基板との
相対的な傾きを検出することが出来る。

【００１１】上記の様な構成により、従来の位置合わせ
装置においては、互いに対向して配置された２つの部品
の位置ずれと相対的な傾きを検出することが出来る。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来例においては、２つの部品の位置ずれを検出する光
学系と、２つの部品の傾きを検出する光学系とが夫々独
立して設けられているので、光学系を構成する光学部品
の部品点数が多くコストが高くなるという問題点があ
る。また、２つの部品の画像を合成するために、２つの
ビデオカメラとビデオ信号を合成するビデオ混合手段が
必要となるため、これも装置のコストを高くする原因と
なっている。

【００１３】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的とするところは、２つの部
品の位置ずれと傾きとを検出することが可能でありなが
ら、コスト的に安い整列確認装置を提供することにあ
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上述の課題を解決し、目
的を達成するために、本発明の整列確認装置は、互いに
対向した２つの部品が互いに整列された状態にあるか否
かを確認するための整列確認装置であって、前記２つの
部品の間に挿入され、互いに逆方向に照明光を照射して
前記２つの部品の夫々を照明すると共に、該２つの部品
から反射された反射光を受光するためのプローブと、前
記照明光を発する光源と、該光源からの照明光を前記プ
ローブの照明光照射部位に導くための第１の光学系と、
前記プローブの受光部位に入射した前記２つの部品から
の反射光を同一光路を通して同一位置に結像させるため
の第２の光学系と、前記同一位置に結像された前記２つ
の部品からの反射光を受光して、前記２つの部品の像が
重畳された画像信号を生成するための１つの撮像素子と
を具備することを特徴としている。

【００１５】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記第２の光学系中に配置され、前記撮像素子か
ら出力される画像信号を、前記２つの部品をあたかも同
一方向から透かしてみた様にするために、前記２つの部
品からの反射光のうちの一方を反転させるための光学プ
リズムを更に具備することを特徴としている。

【００１６】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記２つの部品を夫々支持するための第１及び第
２の支持体と、該支持体の表面に夫々設けられた２つの
反射面と、前記第１の光学系中に配置され光透過性の基
板上に所定のパターンを形成したチャートとを更に具備
し、該チャートの像の情報を含む照明光を前記プローブ
から前記２つの反射面に照射し、該２つの反射面から反
射したチャート像を前記第２の光学系を通して前記撮像
素子上に結像させ、前記２つの反射面で夫々反射された
チャート像のずれから前記第１及び第２の支持体の表面
の相対的な傾きを確認出来ることを特徴としている。

【００１７】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記第１の光学系は、前記チャートの像の情報を
含む照射光を前記反射面を介さずに直接前記第２の光学
系に入射させて前記撮像素子上に結像させ、基準チャー
ト像を形成するための光学手段を備え、前記基準チャー
ト像と前記２つの反射面で夫々反射されたチャート像の
ずれから前記第１及び第２の支持体の表面の傾きを夫々
別々に確認出来ることを特徴としている。

【００１８】また、この発明に係わる整列確認装置にお
いて、前記２つの部品の一方は小型電子部品であり、他
方は該小型電子部品を実装するための基板であることを
特徴としている。

【００１９】

【作用】以上の様に、この発明に係わる整列確認装置は
構成されているので、２つの部品の反射像を同一の光路
を介して同一の位置に結像させることにより、光学系が
単純化され光学部品の部品点数を減少させることが出来
ると共に、撮像素子も１つで済み、且つビデオ信号を合
成する手段も必要ないので、装置のローコスト化を図る
ことが出来る。

【００２０】また、２つの部品の画像のうちの一方を反
転させるためのプリズムを有しているので、最終的に得
られるビデオ画像は、あたかも２つの部品を透かしてみ
ている様な状態となり、２つの部品の位置ずれの視認性
が極めて向上する。

【００２１】更には、２つの部品の位置ずれを検出する
ための光学系と、傾きを検出するための光学系が共通で
あるため、部品点数を更に減少させることが出来る。

【００２２】

【実施例】以下、本発明の好適な一実施例について、添
付図面を参照して詳細に説明する。

【００２３】図１及び図２は、本発明の整列確認装置の
一実施例の構成を示す図である。この整列確認装置は、
２つの部品、例えば集積回路チップとパターン基板の位
置を検出する機能と、これらの２つの部品の相対的な傾
きを検出する機能とを備えている。

【００２４】図１は、２つの部品の位置検出を行なう場
合の光の経路を示した図であり、図中参照番号１２で示
したものは、位置合わせする対象物である集積回路チッ
プとパターン基板とに照明光を出射すると共に反射光を
受光する出射受光部であり、ミラーキューブビームスプ
リッタから構成されている。このビームスプリッタ１２
の紙面に対して例えば手前側に集積回路チップが位置
し、向こう側にパターン基板が位置している。すなわ
ち、この整列確認装置は、図３に示す様に、ビームスプ
リッタ１２の部分を集積回路チップＣとパターン基板Ｐ
の間に挿入し、これらの２つの部品の相対位置及び相対
傾きを検出するものである。

【００２５】まず、図１を参照して、整列確認装置の構
成について説明する。

【００２６】図１において、参照番号１４は集積回路チ
ップＣとパターン基板Ｐを照明するためのコールドライ
ト等の光源であり、光源１４からの照明光は、これを集
光させるための照明用レンズ系１６に入射される。照明
用レンズ系１６から出射した照明光は、フィルター１８
に入射する。フィルター１８では、位置測定の対象物で
ある集積回路チップＣとパターン基板Ｐの画像の解像力
を向上させるために照明光が単色光に変換される。フィ
ルター１８により単色光にされた照明光は、後述する様
に集積回路チップＣとパターン基板Ｐの傾きを検出する
ために用いられるクロスヘア（クロスチャート）２０を
透過して、コリメートレンズ系２２に入射する。コリメ
ートレンズ系２２では、照明光が平行光に変換され、そ
の平行光はハーフキューブビームスプリッタ２４に入射
する。

【００２７】ハーフキューブビームスプリッタ２４は、
ハーフミラー面２４ａを有しており、照明光はこのハー
フミラー面２４ａで一部が透過し一部が反射される。ハ
ーフミラー面２４ａを透過した照明光は三角プリズム２
８により光路を直角に折り曲げられ、ハーフキューブビ
ームスプリッタ３０に入射する。また、ハーフミラー面
２４ａで反射された光は、２０％前後の反射率を持つ減
反射ミラー２６で更に反射され、再びハーフミラー面２
４ａに入射し、これを透過した照明光がハーフキューブ
ビームスプリッタ３２に入射する。そして、この照明光
はハーフキューブビームスプリッタ３２のハーフミラー
面３２ａで反射され、後述する結像レンズ４２で撮像素
子４４上に結像される。このように、ハーフキューブビ
ームスプリッタ２４、ハーフキューブビームスプリッタ
３２、結像レンズ４２を経由して撮像素子４４に入射す
る照明光は、クロスヘアの基準像を直接撮像素子４４上
に結像させるためのものである。

【００２８】一方、ハーフキューブビームスプリッタ３
０は、ハーフミラー面３０ａを有しており、三角プリズ
ム２８からの照明光はこのハーフミラー面３０ａで一部
が透過し一部が反射される。ハーフミラー面３０ａで反
射された照明光は、集積回路チップＣとパターン基板Ｐ
で反射された夫々の光の光路長を合わせるためのダミー
ガラス３４に入射する。ダミーガラス３４から出射した
照明光は、三角プリズム３６で方向を１８０°反転され
て、ミラーキューブビームスプリッタ１２に入射する。
ミラーキューブビームスプリッタ１２は、紙面に対して
手前側と向こう側とに光を反射する様に反射面１２ａを
有しており（図３参照）、三角プリズム３６からの照明
光は、紙面手前側に反射され、集積回路チップＣに照射
される。

【００２９】また、ハーフキューブビームスプリッタ３
０を透過した照明光は、ペンタプリズム３８に入射し、
反射面３８ａ，３８ｂで反射された後、ミラーキューブ
ビームスプリッタ１２に入射する。ペンタプリズム３８
からの照明光は、ミラーキューブビームスプリッタ１２
により紙面向こう側に反射され、パターン基板Ｐに照射
される。

【００３０】この様にして、光源１４からの照明光が、
集積回路チップＣとパターン基板Ｐとに夫々照射され
る。

【００３１】この様にして照射された照明光のうち集積
回路チップＣで反射された光は、ミラーキューブビーム
スプリッタ１２に入射し、三角プリズム３６の方向に反
射され、三角プリズム３６で１８０°方向を反転され
て、ダミーガラス３４に入射する。ダミーガラス３４で
光路長を調整された反射光は、ハーフキューブビームス
プリッタ３０に入射し、ハーフミラー面３０ａを透過し
た反射光が対物レンズ４０に入射する。対物レンズ４０
を透過した反射光は、ハーフキューブビームスプリッタ
３２のハーフミラー面３２ａを透過し、結像レンズ４２
により撮像素子４４上に結像される。すなわち集積回路
チップＣの像が撮像素子４４上に結像されることとな
る。

【００３２】一方、パターン基板Ｐで反射された反射光
は、ミラーキューブビームスプリッタ１２に入射し、ペ
ンタプリズム３８の方向に反射され、ペンタプリズム３
８の反射面３８ｂ，３８ａで更に反射されて、パターン
基板Ｐの像（反射光）は反転される。ペンタプリズム３
８から出射した反射光は、ハーフキューブビームスプリ
ッタ３０に入射し、ハーフミラー面３０ａで反射された
反射光が対物レンズ４０に入射する。対物レンズ４０を
透過した反射光は、ハーフキューブビームスプリッタ３
２のハーフミラー面３２ａを透過し、結像レンズ４２に
より撮像素子４４上に結像される。すなわちパターン基
板Ｐの像が集積回路チップＣの像と重なり合った状態で
撮像素子４４上に結像されることとなる。なお、このと
き、パターン基板Ｐの像は、ペンタプリズム３８により
反転されているので、撮像素子４４上に形成される集積
回路チップＣの像とパターン基板Ｐの像は、これらの両
者をあたかも同方向から透かしてみた様な像となる。そ
してこの両者の像を光電変換した画像信号が撮像素子か
ら出力され、モニタ４６上に映し出される。

【００３３】なお、図３に示す様に集積回路チップＣと
パターン基板Ｐを支持するための支持体５０，５２が設
けられており、この支持体５０，５２の表面は鏡面に形
成され、前述したクロスヘア２０の像を反射出来る様に
なされている。このクロスヘア２０の反射像も撮像素子
４４上に結像され、支持体５０から反射されるクロスヘ
ア像と支持体５２から反射されるクロスヘア像のずれか
ら支持体５０と支持体５２の表面同士の相対傾きが検出
出来る。集積回路チップＣとパターン基板Ｐは、支持体
５０，５２に密着した状態で配置されるので、支持体５
０と支持体５２の相対傾きを検出するということは実質
的に集積回路チップＣとパターン基板Ｐの相対傾きを検
出することに相当する。また、クロスヘア２０は、図４
に示す様に、透明な基板上に十字状のパターンが印刷等
により形成されて構成されている。

【００３４】また、支持体５０，５２の両脇には、集積
回路チップＣとパターン基板Ｐを照明するための照明装
置５４，５６が配設されている。

【００３５】また、配列確認装置の光路の各部には、各
光路を閉鎖するためのシャッター５８，６０，６２，６
４が設けられている。このシャッターの作用については
後述する。

【００３６】次に、図５は上記の様に構成される整列確
認装置を分解して示した斜視図である。図５に示す様
に、整列確認装置１０は、ケース７０，７２に収納され
て１つのプローブユニットとして構成されている。そし
て、このプローブユニット状の整列確認装置１０を集積
回路チップＣとパターン基板Ｐとの間に挿入して、両者
の位置ずれを検出する様になされている。

【００３７】次に、上記の様に構成される整列確認装置
における整列確認動作について説明する。

【００３８】まず、集積回路チップＣとパターン基板Ｐ
の位置ずれを検出する動作について説明する。

【００３９】集積回路チップＣとパターン基板Ｐの位置
ずれを検出する場合には、図１に破線で示す様にシャッ
ター５８を閉じた状態にしておき、クロスヘア２０の照
明像が結像レンズ４２に直接進入しない様にする。これ
により集積回路チップＣとパターン基板Ｐの像に不要光
によるかぶりが生じない様にする。この状態で光源１４
を発光させて、既に述べた様な光路で、集積回路チップ
Ｃとパターン基板Ｐの像を撮像素子４４上に結像させ
る。このとき集積回路チップＣとパターン基板Ｐの像
は、既に述べた様にあたかも同一方向から透かしてみた
様にモニター４６上に映し出されるので、集積回路チッ
プＣとパターン基板Ｐの位置ずれを容易に確認すること
が出来る。この様子を示した図が図６である。図６で
は、集積回路チップの代わりに三角形状の部材にＫとい
う文字を印刷したチャートを用い、パターン基板の代わ
りにＢという文字を印刷したチャートを用いた例を示し
ているが、これらの２つのチャートを本実施例の配列確
認装置１０で見ると、図６（ｂ）に示す様に、あたかも
２つのチャートを同一方向から見た様に見える状態とな
る。

【００４０】なお、この集積回路チップＣとパターン基
板Ｐの位置ずれを確認する動作において、どちらか一方
の像だけを見る必要が生じた場合には、シャッター６
２，６４のうちの一方を閉じることにより、集積回路チ
ップＣのみを観察したり、パターン基板Ｐのみを観察し
たりすることも可能である。また、必要な場合には、ど
ちらの像も撮像しない様にすることも可能である。

【００４１】次に、集積回路チップＣとパターン基板Ｐ
の傾きを検出する動作について説明する。

【００４２】集積回路チップＣとパターン基板Ｐの傾き
を検出する場合には、図２に示す様にシャッター６０を
閉じた状態とする。光源１４により照明されたクロスヘ
ア２０の像を含む照明光が、ハーフキューブビームスプ
リッタ２４に入射すると、その一部がハーフミラー面２
４ａと減反射ミラー２６で反射されて、ハーフキューブ
ビームスプリッタ３２に入射する。この照明光は、ハー
フキューブビームスプリッタ３２のハーフミラー面３２
ａにより反射されて、クロスヘア２０の基準像が撮像素
子４４上に結像される。

【００４３】一方、ハーフキューブビームスプリッタ２
４を透過した照明光は、既に述べた様な光路で、集積回
路チップＣとパターン基板Ｐに照射される。この照射光
は、集積回路チップＣとパターン基板Ｐを支持する支持
体５０，５２の表面で反射されて、元の光路をたどって
ハーフキューブビームスプリッタ２４に再び入射する。
そして、この反射光はハーフキューブビームスプリッタ
２４のハーフミラー面２４ａで反射され、ハーフキュー
ブビームスプリッタ３２と結像レンズ４２を介して撮像
素子４４上に結像される。従って、撮像素子４４上に
は、支持体５０と支持体５２の夫々で反射されたクロス
ヘアの像が結像されることになる。これらのクロスヘア
像のずれをモニター４６上で確認することにより、支持
体５０と支持体５２の相対傾きを検出することが出来
る。また、既に述べた様に、撮像素子４４には、集積回
路チップＣとパターン基板Ｐをバイパスして、ハーフキ
ューブビームスプリッタ２４，３２を介して直接結像さ
れたクロスヘア２０の基準像が撮像されているので、こ
の基準像と、支持体５０，５２の夫々で反射されたクロ
スヘア像とのずれを確認することにより、支持体５０，
５２の夫々の単独の傾きを検出することも可能である。

【００４４】以上説明した様に、本実施例の整列確認装
置によれば、２つの部品の位置ずれと相対傾きを検出す
ることが可能でありながら、部品点数を減らしたローコ
ストな整列確認装置が提供される。

【００４５】なお、本発明はその主旨を逸脱しない範囲
で、上記実施例を修正または変形したものに適用可能で
ある。

【００４６】例えば、上記実施例では、集積回路チップ
とパターン基板の位置ずれと相対傾きを検出する場合に
ついて説明したが、本発明の装置は、これに限定される
ことなく、互いに対向する２つの部品の内側面同士の相
対位置を検出する場合であれば、どのようなものにも適
用可能である。

【００４７】

【発明の効果】以上説明した様に、本発明の整列確認装
置によれば、２つの部品の反射像を同一の光路を介して
同一の位置に結像させることにより、光学系が単純化さ
れ光学部品の部品点数を減少させることが出来ると共
に、撮像素子も１つで済み、且つビデオ信号を合成する
手段も必要ないので、装置のローコスト化を図ることが
出来る。

【００４８】また、２つの部品の画像のうちの一方を反
転させるためのプリズムを有しているので、最終的に得
られるビデオ画像は、あたかも２つの部品を透かしてみ
ている様な状態となり、２つの部品の位置ずれの視認性
が極めて向上する。

【００４９】更には、２つの部品の位置ずれを検出する
ための光学系と、傾きを検出するための光学系が共通で
あるため、部品点数を更に減少させることが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の整列確認装置の一実施例の構成を示す
図である。

【図２】本発明の整列確認装置の一実施例の構成を示す
図である。

【図３】２つの部品の間に、整列確認装置を挿入した状
態を示した図である。

【図４】クロスヘアのパターンを示した図である。

【図５】整列確認装置の分解斜視図である。

【図６】２つの部品を整列確認装置で観察した場合の見
え方を示した図である。

【図７】従来例を示した図である。

【図８】従来例を示した図である。

【符号の説明】

１２ ミラーキューブビームスプリッタ １４ 光源 １６ 照明用レンズ系 １８ フィルター ２０ クロスヘア ２２ コリメートレンズ ２４ ハーフキューブビームスプリッタ ２８ 三角プリズム ３０，３２ ハーフキューブビームスプリッタ ３４ ダミーガラス ３６ 三角プリズム ３８ ペンタプリズム ４０ 対物レンズ ４２ 結像レンズ ４４ 撮像素子 ４６ モニター ５０，５２ 支持体 ５４，５６ 照明 ５８，６０，６２，６４ シャッター ７０，７２ ケース

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成７年５月２２日

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】図面の簡単な説明

【補正方法】変更

【補正内容】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の整列確認装置の一実施例の構成を示す
図である。

【図２】本発明の整列確認装置の一実施例の構成を示す
図である。

【図３】２つの部品の間に、整列確認装置を挿入した状
態を示した図である。

【図４】クロスヘアのパターンを示した図である。

【図５】整列確認装置の分解斜視図である。

【図６】２つの部品を整列確認装置で観察した場合の見
え方を示した図である。

【図７】従来例を示した図である。

【図８】従来例を示した図である。

【符号の説明】 １２ ミラーキューブビームスプリッタ １４ 光源 １６ 照明用レンズ系 １８ フィルター ２０ クロスヘア ２２ コリメートレンズ ２４ ハーフキューブビームスプリッタ ２６ 減反射ミラー ２８ 三角プリズム ３０，３２ ハーフキューブビームスプリッタ ３４ ダミーガラス ３６ 三角プリズム ３８ ペンタプリズム ４０ 対物レンズ ４２ 結像レンズ ４４ 撮像素子 ４６ モニター ５０，５２ 支持体 ５４，５６ 照明 ５８，６０，６２，６４ シャッター ７０，７２ ケース

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図１

【補正方法】変更

【補正内容】

【図１】

【手続補正２】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図２】

【手続補正３】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図５

【補正方法】変更

【補正内容】

【図５】

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 互いに対向した２つの部品が互いに整列
   された状態にあるか否かを確認するための整列確認装置
   であって、 前記２つの部品の間に挿入され、互いに逆方向に照明光
   を照射して前記２つの部品の夫々を照明すると共に、該
   ２つの部品から反射された反射光を受光するためのプロ
   ーブと、 前記照明光を発する光源と、 該光源からの照明光を前記プローブの照明光照射部位に
   導くための第１の光学系と、 前記プローブの受光部位に入射した前記２つの部品から
   の反射光を同一光路を通して同一位置に結像させるため
   の第２の光学系と、 前記同一位置に結像された前記２つの部品からの反射光
   を受光して、前記２つの部品の像が重畳された画像信号
   を生成するための１つの撮像素子とを具備することを特
   徴とする整列確認装置。
2. 【請求項２】 前記第２の光学系中に配置され、前記撮
   像素子から出力される画像信号を、前記２つの部品をあ
   たかも同一方向から透かしてみた様にするために、前記
   ２つの部品からの反射光のうちの一方を反転させるため
   の光学プリズムを更に具備することを特徴とする請求項
   １に記載の整列確認装置。
3. 【請求項３】 前記２つの部品を夫々支持するための第
   １及び第２の支持体と、該支持体の表面に夫々設けられ
   た２つの反射面と、前記第１の光学系中に配置され光透
   過性の基板上に所定のパターンを形成したチャートとを
   更に具備し、該チャートの像の情報を含む照明光を前記
   プローブから前記２つの反射面に照射し、該２つの反射
   面から反射したチャート像を前記第２の光学系を通して
   前記撮像素子上に結像させ、前記２つの反射面で夫々反
   射されたチャート像のずれから前記第１及び第２の支持
   体の表面の相対的な傾きを確認出来ることを特徴とする
   請求項１に記載の整列確認装置。