JPH0843233A - 圧力センサ - Google Patents
圧力センサInfo
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- JPH0843233A JPH0843233A JP17883694A JP17883694A JPH0843233A JP H0843233 A JPH0843233 A JP H0843233A JP 17883694 A JP17883694 A JP 17883694A JP 17883694 A JP17883694 A JP 17883694A JP H0843233 A JPH0843233 A JP H0843233A
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- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 コネクタをボディに固定したことにより、圧
力検出精度に悪影響を与えないようにする。 【構成】 金属製のボディ1 と、ボディ1 に装着される
圧力センサチップ2 と、圧力センサチップ2 と外部機器
との間の信号を入出力し得るようボディ1 に固定される
樹脂製のコネクタ7 と、を備えた圧力センサにおいて、
前記ボディ1 との間に前記コネクタ7 を挟持した状態で
前記ボディ1 に溶接固定される金属製の固定部材9 を設
けた構成にしてある。
力検出精度に悪影響を与えないようにする。 【構成】 金属製のボディ1 と、ボディ1 に装着される
圧力センサチップ2 と、圧力センサチップ2 と外部機器
との間の信号を入出力し得るようボディ1 に固定される
樹脂製のコネクタ7 と、を備えた圧力センサにおいて、
前記ボディ1 との間に前記コネクタ7 を挟持した状態で
前記ボディ1 に溶接固定される金属製の固定部材9 を設
けた構成にしてある。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、コネクタを有する圧力
センサに関する。
センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の圧力センサとして、図6
に示す構成のものが存在する。このものは、金属製のボ
ディA と、ボディA に装着される圧力センサチップB
と、圧力センサチップB と外部機器との間の信号を入出
力し得るようボディA に固定される樹脂製のコネクタC
と、を備えてなっている。
に示す構成のものが存在する。このものは、金属製のボ
ディA と、ボディA に装着される圧力センサチップB
と、圧力センサチップB と外部機器との間の信号を入出
力し得るようボディA に固定される樹脂製のコネクタC
と、を備えてなっている。
【0003】さらに詳しくは、この圧力センサは、歪み
ゲージである圧力センサチップB に圧力が加わると、そ
のときの歪みで圧力を検出するようになっている。そし
て、ボディA は、中央に設けた凹部A1に、圧力センサチ
ップB 等の圧力を検出するための各構成部材を収容する
とともに、その凹部A1の開口部にコネクタC を嵌挿した
状態で、開口部の周縁部A2を外方から加圧変形すること
によって、コネクタCを周縁部A2によりかしめ固定して
ある。
ゲージである圧力センサチップB に圧力が加わると、そ
のときの歪みで圧力を検出するようになっている。そし
て、ボディA は、中央に設けた凹部A1に、圧力センサチ
ップB 等の圧力を検出するための各構成部材を収容する
とともに、その凹部A1の開口部にコネクタC を嵌挿した
状態で、開口部の周縁部A2を外方から加圧変形すること
によって、コネクタCを周縁部A2によりかしめ固定して
ある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の圧力セ
ンサにあっては、コネクタC は、ボディA に設けた凹部
A1の開口部の周縁部A2を外方から加圧変形することによ
って、ボディA にかしめ固定してあるから、その加圧変
形した際の残留応力がボディA に装着されている圧力セ
ンサチップB の歪みゲージに加わり、正確な圧力を検出
できないことがある。
ンサにあっては、コネクタC は、ボディA に設けた凹部
A1の開口部の周縁部A2を外方から加圧変形することによ
って、ボディA にかしめ固定してあるから、その加圧変
形した際の残留応力がボディA に装着されている圧力セ
ンサチップB の歪みゲージに加わり、正確な圧力を検出
できないことがある。
【0005】本発明は、上記事由に鑑みてなしたもの
で、その目的とするところは、コネクタをボディに固定
したことにより、圧力検出精度に悪影響を与えない圧力
センサを提供することにある。
で、その目的とするところは、コネクタをボディに固定
したことにより、圧力検出精度に悪影響を与えない圧力
センサを提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記した課題を解決する
ために、請求項1記載のものは、金属製のボディと、ボ
ディに装着される圧力センサチップと、圧力センサチッ
プと外部機器との間の信号を入出力し得るようボディに
固定される樹脂製のコネクタと、を備えた圧力センサに
おいて、前記ボディとの間に前記コネクタを挟持した状
態で前記ボディに溶接固定される金属製の固定部材を設
けた構成にしてある。
ために、請求項1記載のものは、金属製のボディと、ボ
ディに装着される圧力センサチップと、圧力センサチッ
プと外部機器との間の信号を入出力し得るようボディに
固定される樹脂製のコネクタと、を備えた圧力センサに
おいて、前記ボディとの間に前記コネクタを挟持した状
態で前記ボディに溶接固定される金属製の固定部材を設
けた構成にしてある。
【0007】また、請求項2のものは、請求項1記載の
ものにおいて、前記固定部材と前記コネクタとの間を封
止する封止部材を付設した構成にしてある。
ものにおいて、前記固定部材と前記コネクタとの間を封
止する封止部材を付設した構成にしてある。
【0008】また、請求項3のものは、請求項1記載の
ものにおいて、前記固定部材は、前記コネクタに嵌合し
て位置規制される嵌合部を有した構成にしてある。
ものにおいて、前記固定部材は、前記コネクタに嵌合し
て位置規制される嵌合部を有した構成にしてある。
【0009】
【作用】請求項1記載のものによれば、コネクタをボデ
ィに固定する際、金属製の固定部材でもって樹脂製のコ
ネクタを金属製のボディとの間に挟持した状態で、その
固定部材をボディに溶接固定するだけであるから、かし
め固定のために加圧変形力がボディに加わる従来例と違
って、ボディには応力が加わり難い。
ィに固定する際、金属製の固定部材でもって樹脂製のコ
ネクタを金属製のボディとの間に挟持した状態で、その
固定部材をボディに溶接固定するだけであるから、かし
め固定のために加圧変形力がボディに加わる従来例と違
って、ボディには応力が加わり難い。
【0010】請求項2記載のものによれば、ボディと固
定部材との間は溶接固定によって封止可能であるから、
コネクタと固定部材との間を封止部材でもって封止する
と、防水構造にすることができる。
定部材との間は溶接固定によって封止可能であるから、
コネクタと固定部材との間を封止部材でもって封止する
と、防水構造にすることができる。
【0011】請求項3記載のものによれば、固定部材
は、その嵌合部をコネクタに嵌合するだけで位置規制さ
れ、溶接固定がやり易い。
は、その嵌合部をコネクタに嵌合するだけで位置規制さ
れ、溶接固定がやり易い。
【0012】
【実施例】本発明の一実施例を図1乃至図4に基づいて
以下に説明する。
以下に説明する。
【0013】1 はボディで、鋼又はステンレス等の金属
により、一方面側に同心円状の段を有する凹部1aを設け
て六角ボルト状に形成され、その凹部1aは、開口部分を
円筒部1bにより形成されるとともに、中心位置には圧力
を測定する対象物が流入する流入孔1cが外部まで貫通し
て設けられている。
により、一方面側に同心円状の段を有する凹部1aを設け
て六角ボルト状に形成され、その凹部1aは、開口部分を
円筒部1bにより形成されるとともに、中心位置には圧力
を測定する対象物が流入する流入孔1cが外部まで貫通し
て設けられている。
【0014】2 は圧力センサチップで、シリコンダイヤ
フラム上に拡散抵抗を配することによって歪みゲージを
形成されている。この圧力センサチップ2 は、図3に示
すように、金属台座2aに接合されたガラス台座2b上に接
合して搭載された状態で、その金属台座2aをレーザ溶接
によりボディ1 の凹部1a内に固定される。
フラム上に拡散抵抗を配することによって歪みゲージを
形成されている。この圧力センサチップ2 は、図3に示
すように、金属台座2aに接合されたガラス台座2b上に接
合して搭載された状態で、その金属台座2aをレーザ溶接
によりボディ1 の凹部1a内に固定される。
【0015】3 はプリント基板で、温度補償や増幅等の
回路が配され、その中央に設けた角孔3aに圧力センサチ
ップ2 を位置させてボディ1 の凹部1aにシリコン系接着
剤により固定されるとともに、圧力センサチップ2 とは
ワイヤボンディングで接続される。
回路が配され、その中央に設けた角孔3aに圧力センサチ
ップ2 を位置させてボディ1 の凹部1aにシリコン系接着
剤により固定されるとともに、圧力センサチップ2 とは
ワイヤボンディングで接続される。
【0016】4 はシールドキャップで、金属材料によ
り、円形の箱型に形成され、図4に示すように、その底
部に開けた孔に貫通コンデンサ4aを設けてあり、ボディ
1 の凹部1aに固定される。このとき、プリント基板3 に
予めはんだ付けした端子片4bが、貫通コンデンサ4aに通
して、はんだ付けして固定される。
り、円形の箱型に形成され、図4に示すように、その底
部に開けた孔に貫通コンデンサ4aを設けてあり、ボディ
1 の凹部1aに固定される。このとき、プリント基板3 に
予めはんだ付けした端子片4bが、貫通コンデンサ4aに通
して、はんだ付けして固定される。
【0017】5 は端子ブロックで、コネクタ用端子5aを
同時成形して形成され、シールドキャップ4 上に搭載さ
れる。このとき、コネクタ用端子5aに設けた接続部5bに
端子片4bがはんだ接続される。
同時成形して形成され、シールドキャップ4 上に搭載さ
れる。このとき、コネクタ用端子5aに設けた接続部5bに
端子片4bがはんだ接続される。
【0018】6 は防水キャップで、ゴム系材料により、
貫通孔6aを有して平板状に形成され、その貫通孔6aにコ
ネクタ用端子5aを挿通して端子ブロック5 に装着され
る。
貫通孔6aを有して平板状に形成され、その貫通孔6aにコ
ネクタ用端子5aを挿通して端子ブロック5 に装着され
る。
【0019】7 はコネクタで、合成樹脂により、角筒状
の着脱部7aと、その着脱部7aの外形よりも大きな径の円
形段部7cを着脱部7aの一端部に連設した円筒状の台座部
7bとを有して形成され、台座部7bの円形段部7cには周回
するリング状の溝7dが設けられている。このコネクタ7
は、台座部7bがボディ1 の凹部1aの内側に嵌挿され、こ
のとき端子ブロック5 のコネクタ用端子5aが着脱部7aの
筒内に突出して導出されるとともに、そのコネクタ用端
子5aは防水キャップ6 により防水構造になっており、ま
た円形段部7cはボディ1 の円筒部1bの端面と同一高さに
なっている。
の着脱部7aと、その着脱部7aの外形よりも大きな径の円
形段部7cを着脱部7aの一端部に連設した円筒状の台座部
7bとを有して形成され、台座部7bの円形段部7cには周回
するリング状の溝7dが設けられている。このコネクタ7
は、台座部7bがボディ1 の凹部1aの内側に嵌挿され、こ
のとき端子ブロック5 のコネクタ用端子5aが着脱部7aの
筒内に突出して導出されるとともに、そのコネクタ用端
子5aは防水キャップ6 により防水構造になっており、ま
た円形段部7cはボディ1 の円筒部1bの端面と同一高さに
なっている。
【0020】8 は封止部材で、ゴム系材料により、リン
グ状に形成され、コネクタ7 の溝7dに嵌挿される。この
とき、封止部材8 は、頂部が溝7dから少しはみ出した状
態になっている。
グ状に形成され、コネクタ7 の溝7dに嵌挿される。この
とき、封止部材8 は、頂部が溝7dから少しはみ出した状
態になっている。
【0021】9 は固定部材で、金属材料により、中央に
コネクタ7 の着脱部7aの外形に合った貫通穴(嵌合部)
9aを有して円板状に形成され、その貫通穴(嵌合部)9a
を着脱部7aに嵌合することによって台座部7bの円形段部
7c詳しくは封止部材8 上に位置規制された状態で配設さ
れる。そしてこの固定部材9 は、封止部材8 を溝7d内に
押し込むよう、台座部7bをボディ1 の凹部1aとの間に挟
持した状態で、円形段部7cと同一高さにあるボディ1 の
円筒部1bの端面に、レーザ光を照射して溶接固定され
る。このとき、ボディ1 と固定部材9 との間はレーザ溶
接で、コネクタ7と固定部材9 との間は封止部材8 で、
それぞれ封止されることによって防水構造となってい
る。
コネクタ7 の着脱部7aの外形に合った貫通穴(嵌合部)
9aを有して円板状に形成され、その貫通穴(嵌合部)9a
を着脱部7aに嵌合することによって台座部7bの円形段部
7c詳しくは封止部材8 上に位置規制された状態で配設さ
れる。そしてこの固定部材9 は、封止部材8 を溝7d内に
押し込むよう、台座部7bをボディ1 の凹部1aとの間に挟
持した状態で、円形段部7cと同一高さにあるボディ1 の
円筒部1bの端面に、レーザ光を照射して溶接固定され
る。このとき、ボディ1 と固定部材9 との間はレーザ溶
接で、コネクタ7と固定部材9 との間は封止部材8 で、
それぞれ封止されることによって防水構造となってい
る。
【0022】上記した圧力センサは、コネクタ7 の着脱
部7aに、外部機器に接続された被着脱部を着脱自在に挿
着して使用され、圧力を測定する対象物が外部からボデ
ィ1の流入孔1cに流入すると、その圧力が歪みゲージで
ある圧力センサチップ2 に加わり、そのときの歪みで圧
力を検出するようになっており、その検出出力信号及び
外部機器から入力信号がコネクタ7 詳しくはコネクタ用
端子5aを介して伝送される。
部7aに、外部機器に接続された被着脱部を着脱自在に挿
着して使用され、圧力を測定する対象物が外部からボデ
ィ1の流入孔1cに流入すると、その圧力が歪みゲージで
ある圧力センサチップ2 に加わり、そのときの歪みで圧
力を検出するようになっており、その検出出力信号及び
外部機器から入力信号がコネクタ7 詳しくはコネクタ用
端子5aを介して伝送される。
【0023】かかる圧力センサにあっては、上記したよ
うに、コネクタ7 をボディ1 に固定する際、金属製の固
定部材9 でもって樹脂製のコネクタ7 を金属製のボディ
1 との間に挟持した状態で、その固定部材9 をボディ1
にレーザ溶接固定するだけであるから、かしめ固定のた
めに加圧変形力がボディに加わる従来例と違って、ボデ
ィ1 には応力が加わり難く、従って、ボディ1 に装着さ
れている圧力センサチップ2 の歪みゲージにも応力が働
かず、正確な圧力を検出できる。
うに、コネクタ7 をボディ1 に固定する際、金属製の固
定部材9 でもって樹脂製のコネクタ7 を金属製のボディ
1 との間に挟持した状態で、その固定部材9 をボディ1
にレーザ溶接固定するだけであるから、かしめ固定のた
めに加圧変形力がボディに加わる従来例と違って、ボデ
ィ1 には応力が加わり難く、従って、ボディ1 に装着さ
れている圧力センサチップ2 の歪みゲージにも応力が働
かず、正確な圧力を検出できる。
【0024】また、レーザ溶接によりボディ1 と固定部
材9 との間を封止するとともに、封止部材8 によりコネ
クタ7 と固定部材9 との間を封止しているから、防水構
造にできる。
材9 との間を封止するとともに、封止部材8 によりコネ
クタ7 と固定部材9 との間を封止しているから、防水構
造にできる。
【0025】また、固定部材9 は、その貫通穴(嵌合
部)9aをコネクタ7 の着脱部7aに嵌合するだけで位置規
制され、レーザ溶接するときの固定がやり易い。
部)9aをコネクタ7 の着脱部7aに嵌合するだけで位置規
制され、レーザ溶接するときの固定がやり易い。
【0026】なお、本実施例では、封止部材8 は、コネ
クタ7 の台座部7bの円形段部7cに配設されているが、図
5に示すように、台座部7bの外側面に配設してもよく、
この場合は、封止部材8 はボディ1 の円筒部1bの内側面
に押し込まれることによってコネクタ7 と固定部材9 と
の間を封止することになる。
クタ7 の台座部7bの円形段部7cに配設されているが、図
5に示すように、台座部7bの外側面に配設してもよく、
この場合は、封止部材8 はボディ1 の円筒部1bの内側面
に押し込まれることによってコネクタ7 と固定部材9 と
の間を封止することになる。
【0027】また、封止部材8 は、防水構造にする必要
がない場合は設けなくてもよく、固定部材9 は、別の手
段で位置規制できる場合は、貫通穴(嵌合部)9aを設け
なくてもよい。
がない場合は設けなくてもよく、固定部材9 は、別の手
段で位置規制できる場合は、貫通穴(嵌合部)9aを設け
なくてもよい。
【0028】
【発明の効果】請求項1記載のものは、コネクタをボデ
ィに固定する際、金属製の固定部材でもって樹脂製のコ
ネクタを金属製のボディとの間に挟持した状態で、その
固定部材をボディに溶接固定するだけであるから、かし
め固定のために加圧変形力がボディに加わる従来例と違
って、ボディには応力が加わり難く、従ってボディに装
着されている圧力センサチップにも応力が働かず、正確
な圧力を検出できる。
ィに固定する際、金属製の固定部材でもって樹脂製のコ
ネクタを金属製のボディとの間に挟持した状態で、その
固定部材をボディに溶接固定するだけであるから、かし
め固定のために加圧変形力がボディに加わる従来例と違
って、ボディには応力が加わり難く、従ってボディに装
着されている圧力センサチップにも応力が働かず、正確
な圧力を検出できる。
【0029】請求項2記載のものは、請求項1記載のも
のの効果に加えて、ボディと固定部材との間は溶接固定
によって封止可能であるから、コネクタと固定部材との
間を封止部材でもって封止すると、防水構造にすること
ができる。
のの効果に加えて、ボディと固定部材との間は溶接固定
によって封止可能であるから、コネクタと固定部材との
間を封止部材でもって封止すると、防水構造にすること
ができる。
【0030】請求項3記載のものは、請求項1記載のも
のの効果に加えて、固定部材は、その嵌合部をコネクタ
に嵌合するだけで位置規制され、溶接固定がやり易い。
のの効果に加えて、固定部材は、その嵌合部をコネクタ
に嵌合するだけで位置規制され、溶接固定がやり易い。
【図1】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図2】同上の分解斜視図である。
【図3】同上の圧力センサチップの部分を示す断面図で
ある。
ある。
【図4】同上のプリント基板及びシールドキャップの接
続状態を示す断面図である。
続状態を示す断面図である。
【図5】同上の変形例を示す断面図である。
【図6】従来例を示す断面図である。
1 ボディ 2 圧力センサチップ 7 コネクタ 8 封止部材 9 固定部材 9a 嵌合部 (詳しくは貫通穴)
Claims (3)
- 【請求項1】 金属製のボディと、ボディに装着される
圧力センサチップと、圧力センサチップと外部機器との
間の信号を入出力し得るようボディに固定される樹脂製
のコネクタと、を備えた圧力センサにおいて、 前記ボディとの間に前記コネクタを挟持した状態で前記
ボディに溶接固定される金属製の固定部材を設けたこと
を特徴とする圧力センサ。 - 【請求項2】 前記固定部材と前記コネクタとの間を封
止する封止部材を付設したことを特徴とする請求項1記
載の圧力センサ。 - 【請求項3】 前記固定部材は、前記コネクタに嵌合し
て位置規制される嵌合部を有することを特徴とする請求
項1記載の圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17883694A JPH0843233A (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17883694A JPH0843233A (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0843233A true JPH0843233A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16055520
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17883694A Withdrawn JPH0843233A (ja) | 1994-07-29 | 1994-07-29 | 圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0843233A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017037039A (ja) * | 2015-08-12 | 2017-02-16 | 富士電機株式会社 | 物理量センサ装置および物理量センサ装置の製造方法 |
| WO2022230699A1 (ja) * | 2021-04-28 | 2022-11-03 | 長野計器株式会社 | 物理量測定装置 |
-
1994
- 1994-07-29 JP JP17883694A patent/JPH0843233A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017037039A (ja) * | 2015-08-12 | 2017-02-16 | 富士電機株式会社 | 物理量センサ装置および物理量センサ装置の製造方法 |
| WO2022230699A1 (ja) * | 2021-04-28 | 2022-11-03 | 長野計器株式会社 | 物理量測定装置 |
| JP2022170094A (ja) * | 2021-04-28 | 2022-11-10 | 長野計器株式会社 | 物理量測定装置 |
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