JPH0845016A - 磁気ヘッド用非磁性磁器材料 - Google Patents
磁気ヘッド用非磁性磁器材料Info
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- JPH0845016A JPH0845016A JP6202751A JP20275194A JPH0845016A JP H0845016 A JPH0845016 A JP H0845016A JP 6202751 A JP6202751 A JP 6202751A JP 20275194 A JP20275194 A JP 20275194A JP H0845016 A JPH0845016 A JP H0845016A
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- mol
- magnetic head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気記録密度の高密度化を目的として、金属
磁性薄膜を積層形成した積層型磁気ヘッドにおいて、金
属磁性薄膜とほぼ同一の熱膨張係数を有する磁気ヘッド
用非磁性磁器材料を提供する。 【構成】 積層型磁気ヘッド１の金属磁性薄膜からなる
積層磁性膜２の非磁性磁器材料（スライダー）５に、Ｃ
ａＴｉＯ3が１５ｍｏｌ％より大きく８０ｍｏｌ％以
下、ＮｄＣｏＯ3が２０ｍｏｌ％以上５５ｍｏｌ％未
満、ＮｉＯが３０ｍｏｌ％未満の組成を持つ焼結体を用
いる。
磁性薄膜を積層形成した積層型磁気ヘッドにおいて、金
属磁性薄膜とほぼ同一の熱膨張係数を有する磁気ヘッド
用非磁性磁器材料を提供する。 【構成】 積層型磁気ヘッド１の金属磁性薄膜からなる
積層磁性膜２の非磁性磁器材料（スライダー）５に、Ｃ
ａＴｉＯ3が１５ｍｏｌ％より大きく８０ｍｏｌ％以
下、ＮｄＣｏＯ3が２０ｍｏｌ％以上５５ｍｏｌ％未
満、ＮｉＯが３０ｍｏｌ％未満の組成を持つ焼結体を用
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、コンピュータの外部記
憶装置であるハードディスク、フロッピーディスク用の
磁気ヘッドや、ＶＴＲ用磁気ヘッド、ディジタルオーデ
ィオ用の磁気ヘッドにおいて、アモルファス磁性膜や、
Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金、いわゆるセンダスト等の金属
磁性薄膜を積層し形成した積層型磁気ヘッドの基板とな
るスライダー材に使用する磁気ヘッド用非磁性磁器材料
に関する。
憶装置であるハードディスク、フロッピーディスク用の
磁気ヘッドや、ＶＴＲ用磁気ヘッド、ディジタルオーデ
ィオ用の磁気ヘッドにおいて、アモルファス磁性膜や、
Ｆｅ−Ａｌ−Ｓｉ系合金、いわゆるセンダスト等の金属
磁性薄膜を積層し形成した積層型磁気ヘッドの基板とな
るスライダー材に使用する磁気ヘッド用非磁性磁器材料
に関する。
【０００２】
【従来の技術】金属磁性薄膜を用いた外部記憶装置用の
積層型磁気ヘッドが実用化される迄は、磁気ヘッドの磁
気記録面に摺動する部分に用いられるスライダー材とし
ては、チタン酸バリウム系、又はチタン酸カルシウム系
のチタニア系磁器が用いられてきた。これらのチタニア
系磁器は、磁気ヘッド用磁性材料（コア材）として用い
られているＮｉ−Ｚｎフェライト系、及びＭｎ−Ｚｎフ
ェライト系の磁気ヘッド用磁性材料と熱膨張係数が合致
し、かつ適度の硬度と、平滑な表面と、良好な加工性を
有し、スライダー材としての条件を満足するものでなけ
ればならない。
積層型磁気ヘッドが実用化される迄は、磁気ヘッドの磁
気記録面に摺動する部分に用いられるスライダー材とし
ては、チタン酸バリウム系、又はチタン酸カルシウム系
のチタニア系磁器が用いられてきた。これらのチタニア
系磁器は、磁気ヘッド用磁性材料（コア材）として用い
られているＮｉ−Ｚｎフェライト系、及びＭｎ−Ｚｎフ
ェライト系の磁気ヘッド用磁性材料と熱膨張係数が合致
し、かつ適度の硬度と、平滑な表面と、良好な加工性を
有し、スライダー材としての条件を満足するものでなけ
ればならない。
【０００３】近年、記録媒体の高記録密度化の要求に対
応するため、これらの分野の磁気ヘッドとしては、磁性
材料に飽和磁束密度の大きいセンダスト等の金属磁性薄
膜を積層して使用した積層型磁気ヘッドが開発された。
応するため、これらの分野の磁気ヘッドとしては、磁性
材料に飽和磁束密度の大きいセンダスト等の金属磁性薄
膜を積層して使用した積層型磁気ヘッドが開発された。
【０００４】図１は、金属磁性薄膜を積層した積層磁性
体を記録再生のための磁性材料とした積層型磁気ヘッド
の一例であり、積層磁性膜２は、基板又はスライダーと
なる非磁性磁器材料５の上に、スパッタリング等によ
り、直接、積層、形成される。
体を記録再生のための磁性材料とした積層型磁気ヘッド
の一例であり、積層磁性膜２は、基板又はスライダーと
なる非磁性磁器材料５の上に、スパッタリング等によ
り、直接、積層、形成される。
【０００５】そのため、磁気ヘッド用非磁性磁器材料の
熱膨張係数が、１４０×１０-7／℃以上と、増大するに
至っている。例えば、センダスト薄膜の熱膨張係数は、
１６０×１０-7／℃である。磁気ヘッドを構成し積層す
る金属磁性薄膜の磁性材料と、金属磁性薄膜を積層する
基板で、かつスライダー材となる磁器材料の熱膨張係数
は、金属磁性薄膜とスライダー材の熱膨張係数が一致し
ていない場合、金属磁性膜を真空蒸着法、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法等の公知の物理蒸着技術
を用いてスライダー材に積層する際に、金属磁性薄膜の
剥離や、残留熱応力による磁気特性の劣化が生じる。更
に、動作時の温度変化による熱応力の発生を防止するた
めにも、磁性材料とスライダー材の熱膨張係数の整合は
不可欠な条件である。
熱膨張係数が、１４０×１０-7／℃以上と、増大するに
至っている。例えば、センダスト薄膜の熱膨張係数は、
１６０×１０-7／℃である。磁気ヘッドを構成し積層す
る金属磁性薄膜の磁性材料と、金属磁性薄膜を積層する
基板で、かつスライダー材となる磁器材料の熱膨張係数
は、金属磁性薄膜とスライダー材の熱膨張係数が一致し
ていない場合、金属磁性膜を真空蒸着法、スパッタリン
グ法、イオンプレーティング法等の公知の物理蒸着技術
を用いてスライダー材に積層する際に、金属磁性薄膜の
剥離や、残留熱応力による磁気特性の劣化が生じる。更
に、動作時の温度変化による熱応力の発生を防止するた
めにも、磁性材料とスライダー材の熱膨張係数の整合は
不可欠な条件である。
【０００６】これに対して、従来のチタニア系磁器で実
現できる熱膨張係数は、チタン酸カルシウムで、高々１
１８×１０-7／℃であり、金属磁性薄膜を利用する積層
型磁気ヘッドには適応することができなかった。このた
め、従来スライダー材についてはチタン酸カルシウム
（以下、ＣａＴｉＯ3と表す）に酸化ニッケル（以下、
ＮｉＯと表す）を添加した系について、特公平３−４５
０２４号等が、又酸化マンガン（ＭｎＯ）−ＮｉＯ系に
ついて、特開平１−１０８７１１号が、ＮｉＯ−酸化コ
バルト（ＣｏＯ）系について、特開平１−１５９６６２
号が提案され、いずれも室温付近での熱膨張係数、αｍ
ａｘ＝１４０×１０-7／℃を達成しているが、センダス
ト等の熱膨張係数の値には到達しておらず、これら磁性
薄膜の磁気特性を充分に引き出すことができなかった。
現できる熱膨張係数は、チタン酸カルシウムで、高々１
１８×１０-7／℃であり、金属磁性薄膜を利用する積層
型磁気ヘッドには適応することができなかった。このた
め、従来スライダー材についてはチタン酸カルシウム
（以下、ＣａＴｉＯ3と表す）に酸化ニッケル（以下、
ＮｉＯと表す）を添加した系について、特公平３−４５
０２４号等が、又酸化マンガン（ＭｎＯ）−ＮｉＯ系に
ついて、特開平１−１０８７１１号が、ＮｉＯ−酸化コ
バルト（ＣｏＯ）系について、特開平１−１５９６６２
号が提案され、いずれも室温付近での熱膨張係数、αｍ
ａｘ＝１４０×１０-7／℃を達成しているが、センダス
ト等の熱膨張係数の値には到達しておらず、これら磁性
薄膜の磁気特性を充分に引き出すことができなかった。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】近年、外部記憶装置の
更なる高記録密度化の要求に伴い、高磁束密度が得られ
る金属磁性薄膜を用いた磁気ヘッド用磁性材料の熱膨張
係数が、１４５×１０-7／℃以上へ増大するに至ってい
る。そのため、スライダー材のＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ
系、ＭｎＯ−ＮｉＯ系、ＮｉＯ−ＣｏＯ系材料と熱膨張
係数の不一致が生じ、磁気ヘッドに用いられた磁性材料
の磁気特性が劣化するという問題がある。
更なる高記録密度化の要求に伴い、高磁束密度が得られ
る金属磁性薄膜を用いた磁気ヘッド用磁性材料の熱膨張
係数が、１４５×１０-7／℃以上へ増大するに至ってい
る。そのため、スライダー材のＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ
系、ＭｎＯ−ＮｉＯ系、ＮｉＯ−ＣｏＯ系材料と熱膨張
係数の不一致が生じ、磁気ヘッドに用いられた磁性材料
の磁気特性が劣化するという問題がある。
【０００８】本発明は、センダスト等の金属磁性薄膜を
用いる積層型磁気ヘッドに適応するよう、熱膨張係数
が、１４５×１０-7／℃以上であり、かつスライダー材
として要求される他の基本条件であるヴィッカース硬
度、平滑な研磨面、良好な加工性、適度な比抵抗の値を
満足できる磁気ヘッド用非磁性磁器材料を提供すること
にある。
用いる積層型磁気ヘッドに適応するよう、熱膨張係数
が、１４５×１０-7／℃以上であり、かつスライダー材
として要求される他の基本条件であるヴィッカース硬
度、平滑な研磨面、良好な加工性、適度な比抵抗の値を
満足できる磁気ヘッド用非磁性磁器材料を提供すること
にある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記問題点を
解決したＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ系磁器に第３成分として
コバルト酸ネオジウム（ＮｄＣｏＯ3）を含有し形成し
た非磁性磁器材料で、ＣａＴｉＯ3が１５ｍｏｌ％より
大きく８０ｍｏｌ％以下、ＮｄＣｏＯ3が２０ｍｏｌ％
以上５５ｍｏｌ％未満、ＮｉＯが３０ｍｏｌ％未満（０
を含む）の範囲からなることを特徴とした磁気ヘッド用
非磁性磁器材料である。
解決したＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ系磁器に第３成分として
コバルト酸ネオジウム（ＮｄＣｏＯ3）を含有し形成し
た非磁性磁器材料で、ＣａＴｉＯ3が１５ｍｏｌ％より
大きく８０ｍｏｌ％以下、ＮｄＣｏＯ3が２０ｍｏｌ％
以上５５ｍｏｌ％未満、ＮｉＯが３０ｍｏｌ％未満（０
を含む）の範囲からなることを特徴とした磁気ヘッド用
非磁性磁器材料である。
【００１０】
【作用】以下、本発明の作用を具体的に説明する。前述
のように本発明の技術的課題は、金属磁性薄膜を積層し
て形成する積層型磁気ヘッドとしては、金属磁性薄膜を
積層する基板とスライダー材となる磁器材料が、熱膨張
係数が金属磁性薄膜を用いた積層型磁気ヘッドに対応し
た１４５×１０-7／℃以上の特性を有し、かつスライダ
ー材として要求される他の基本条件のヴィッカース硬
度、平滑な研磨面、良好な加工性、適度の比抵抗の全て
を満足できる非磁性磁器材料を提供することにある。
のように本発明の技術的課題は、金属磁性薄膜を積層し
て形成する積層型磁気ヘッドとしては、金属磁性薄膜を
積層する基板とスライダー材となる磁器材料が、熱膨張
係数が金属磁性薄膜を用いた積層型磁気ヘッドに対応し
た１４５×１０-7／℃以上の特性を有し、かつスライダ
ー材として要求される他の基本条件のヴィッカース硬
度、平滑な研磨面、良好な加工性、適度の比抵抗の全て
を満足できる非磁性磁器材料を提供することにある。
【００１１】本発明者らは、この目的のため、従来から
スライダー材として使用されて実績のあるＣａＴｉＯ3
−ＮｉＯ系をベースとして、熱膨張係数の向上を検討し
た。
スライダー材として使用されて実績のあるＣａＴｉＯ3
−ＮｉＯ系をベースとして、熱膨張係数の向上を検討し
た。
【００１２】ＣａＴｉＯ3は、周知の通り、ペロブスカ
イト構造を有する化合物である。そこで、ＣａＴｉＯ3
との複合化を目的として、他の一連のペロブスカイト構
造を有する酸化物の熱膨張係数を調査した。更に、これ
ら他のペロブスカイト構造酸化物とＣａＴｉＯ3を適当
な比率で混合焼結し、その物性を調査した。その結果、
ペロブスカイト構造を有し、特に、熱膨張係数の大きな
酸化物として、ＮｄＣｏＯ3の熱膨張係数が３１０×１
０-7／℃の値を示すことを見い出した。
イト構造を有する化合物である。そこで、ＣａＴｉＯ3
との複合化を目的として、他の一連のペロブスカイト構
造を有する酸化物の熱膨張係数を調査した。更に、これ
ら他のペロブスカイト構造酸化物とＣａＴｉＯ3を適当
な比率で混合焼結し、その物性を調査した。その結果、
ペロブスカイト構造を有し、特に、熱膨張係数の大きな
酸化物として、ＮｄＣｏＯ3の熱膨張係数が３１０×１
０-7／℃の値を示すことを見い出した。
【００１３】又、一方、ＣａＴｉＯ3とＮｄＣｏＯ3の混
合物から、緻密な焼結体が得られた。又、熱膨張係数
は、ＣａＴｉＯ3とＮｄＣｏＯ3の混合比を変えて焼結す
ることにより、必要とする１４５×１０-7／℃以上の熱
膨張係数が得られることを確認した。
合物から、緻密な焼結体が得られた。又、熱膨張係数
は、ＣａＴｉＯ3とＮｄＣｏＯ3の混合比を変えて焼結す
ることにより、必要とする１４５×１０-7／℃以上の熱
膨張係数が得られることを確認した。
【００１４】更に、第３の成分としてＮｉＯを混合して
も緻密な焼結体が得られ、かつ熱膨張曲線の直線性が著
しく改善されることが明らかになった。又、同時に、Ｎ
ｉＯを適当量混合することにより、金属磁性膜（特にセ
ンダスト）を用いた積層型磁気ヘッド用スライダー材に
要求される基本条件の１４５×１０-7／℃以上の熱膨張
係数と、適度なヴィッカース硬度と、平滑な研磨面と、
良好な加工製と、適度な比抵抗の全てを満足できる組成
域が存在することを見い出した。
も緻密な焼結体が得られ、かつ熱膨張曲線の直線性が著
しく改善されることが明らかになった。又、同時に、Ｎ
ｉＯを適当量混合することにより、金属磁性膜（特にセ
ンダスト）を用いた積層型磁気ヘッド用スライダー材に
要求される基本条件の１４５×１０-7／℃以上の熱膨張
係数と、適度なヴィッカース硬度と、平滑な研磨面と、
良好な加工製と、適度な比抵抗の全てを満足できる組成
域が存在することを見い出した。
【００１５】
【実施例】以下に、発明における実施例を説明する。Ｃ
ａＴｉＯ3の原料としては、市販の試薬である炭酸カル
シウム（ＣａＣＯ3）（９９％以上）、二酸化チタン
（ＴｉＯ2）（９９％以上）を所定の組成に従って秤量
し、樹脂ボールミル及び樹脂被覆膜ボールと純水とを用
いて２０時間以上混合した。次に、濾過乾燥後、アルミ
ナ匣鉢にいれて８００〜１２００℃の間で２時間以上、
電気炉で焼成し、ＣａＴｉＯ3粉を得た。
ａＴｉＯ3の原料としては、市販の試薬である炭酸カル
シウム（ＣａＣＯ3）（９９％以上）、二酸化チタン
（ＴｉＯ2）（９９％以上）を所定の組成に従って秤量
し、樹脂ボールミル及び樹脂被覆膜ボールと純水とを用
いて２０時間以上混合した。次に、濾過乾燥後、アルミ
ナ匣鉢にいれて８００〜１２００℃の間で２時間以上、
電気炉で焼成し、ＣａＴｉＯ3粉を得た。
【００１６】ＮｄＣｏＯ3の原料としては、市販の原料
である酸化ネオジウム（Ｎｄ2Ｏ3）（９９％）、酸化コ
バルト（ＣｏＯ）（９９％）を所定の組成に従って秤量
し、樹脂ボールミル及び樹脂被覆ボールと純水とを用い
て２０時間以上混合した。次に、濾過乾燥後、アルミナ
匣鉢にいれて８００〜１２００℃の間で２時間以上、電
気炉で焼成し、ＮｄＣｏＯ3粉を得た。
である酸化ネオジウム（Ｎｄ2Ｏ3）（９９％）、酸化コ
バルト（ＣｏＯ）（９９％）を所定の組成に従って秤量
し、樹脂ボールミル及び樹脂被覆ボールと純水とを用い
て２０時間以上混合した。次に、濾過乾燥後、アルミナ
匣鉢にいれて８００〜１２００℃の間で２時間以上、電
気炉で焼成し、ＮｄＣｏＯ3粉を得た。
【００１７】ＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯの原料
は、前述のＣａＴｉＯ3粉、ＮｄＣｏＯ3粉、及び市販の
試薬である酸化ニッケル（ＮｉＯ）（９９％以上）を所
定の組成に従って秤量し、樹脂ボールミル及び樹脂被覆
ボールと純水とを用いて２０時間以上混合した。次に、
濾過乾燥後、アルミナ匣鉢にいれて８００〜１２００℃
の間で２時間以上、電気炉で予焼した。この予焼粉を樹
脂ボールミル及び樹脂被覆ボールと純水とを用いて２０
時間以上混合した。濾過乾燥後、ポリビニールアルコー
ル（ＰＶＡ）８％溶液を１０重量％添加し、ライカイ器
で混合し、２８メッシュのふるいを通し、水分調整後油
圧プレスにて１ｔ／ｃｍ2の圧力で４０ｍｍ×５０ｍｍ
×１０ｍｍの直方体をプレスした。この後、プレス体を
大気中１２００〜１４００℃の間で２時間以上焼結し
た。
は、前述のＣａＴｉＯ3粉、ＮｄＣｏＯ3粉、及び市販の
試薬である酸化ニッケル（ＮｉＯ）（９９％以上）を所
定の組成に従って秤量し、樹脂ボールミル及び樹脂被覆
ボールと純水とを用いて２０時間以上混合した。次に、
濾過乾燥後、アルミナ匣鉢にいれて８００〜１２００℃
の間で２時間以上、電気炉で予焼した。この予焼粉を樹
脂ボールミル及び樹脂被覆ボールと純水とを用いて２０
時間以上混合した。濾過乾燥後、ポリビニールアルコー
ル（ＰＶＡ）８％溶液を１０重量％添加し、ライカイ器
で混合し、２８メッシュのふるいを通し、水分調整後油
圧プレスにて１ｔ／ｃｍ2の圧力で４０ｍｍ×５０ｍｍ
×１０ｍｍの直方体をプレスした。この後、プレス体を
大気中１２００〜１４００℃の間で２時間以上焼結し
た。
【００１８】このようにして得られた試料について、磁
気ヘッド用非磁性磁器材料として必要な諸特性を調査し
た。これらの結果を組成点については図２に、評価結果
については表１に、まとめて示す。尚、ＣａＴｉＯ3−
ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯの磁器材料を得るのに、あらかじ
めＣａＴｉＯ3、ＮｄＣｏＯ3、ＮｉＯの予焼粉末を得、
混合、予焼、焼成の工程を用することなく、炭酸カルシ
ウム、二酸化チタン、酸化ネオジウム（９９％）、酸化
コバルト（９９％）、及び酸化ニッケル（９９％以上）
の原料粉末を所定の組成比に従って秤量し、前述と同様
の手順で直に混合、仮焼、粉砕、焼結を行った場合に於
ても、以下に示す熱膨張係数と、硬度と、比抵抗の特性
に差は認められなかった。
気ヘッド用非磁性磁器材料として必要な諸特性を調査し
た。これらの結果を組成点については図２に、評価結果
については表１に、まとめて示す。尚、ＣａＴｉＯ3−
ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯの磁器材料を得るのに、あらかじ
めＣａＴｉＯ3、ＮｄＣｏＯ3、ＮｉＯの予焼粉末を得、
混合、予焼、焼成の工程を用することなく、炭酸カルシ
ウム、二酸化チタン、酸化ネオジウム（９９％）、酸化
コバルト（９９％）、及び酸化ニッケル（９９％以上）
の原料粉末を所定の組成比に従って秤量し、前述と同様
の手順で直に混合、仮焼、粉砕、焼結を行った場合に於
ても、以下に示す熱膨張係数と、硬度と、比抵抗の特性
に差は認められなかった。
【００１９】
【表１】
【００２０】表１から分かるように、ＣａＴｉＯ3−Ｎ
ｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系においては、ＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ
系、ＭｎＯ−ＮｉＯ系、ＮｉＯ−ＣｏＯ系において実現
できなかった熱膨張係数αの値が、α≧１４５×１０-7
／℃を実現している。それと同時に、ヴィッカース硬度
は、従来のＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ系の値と、ほぼ同じで
あり、６５０〜９００Ｋｇ／ｍｍ2と適度の値を示す組
成点を確認した（Ａ〜Ｄ，Ｇ，Ｈ，Ｋ〜Ｍ，Ｐ〜Ｕ，Ｗ
〜Ｙ）。ここで記すヴィッカース硬度は、その材料の耐
摩耗性に係わり、磁気ヘッド材として用いられている金
属磁性薄膜材料の硬度と比較的近く、スライダー材とし
て要求される条件を満たすものである。
ｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系においては、ＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ
系、ＭｎＯ−ＮｉＯ系、ＮｉＯ−ＣｏＯ系において実現
できなかった熱膨張係数αの値が、α≧１４５×１０-7
／℃を実現している。それと同時に、ヴィッカース硬度
は、従来のＣａＴｉＯ3−ＮｉＯ系の値と、ほぼ同じで
あり、６５０〜９００Ｋｇ／ｍｍ2と適度の値を示す組
成点を確認した（Ａ〜Ｄ，Ｇ，Ｈ，Ｋ〜Ｍ，Ｐ〜Ｕ，Ｗ
〜Ｙ）。ここで記すヴィッカース硬度は、その材料の耐
摩耗性に係わり、磁気ヘッド材として用いられている金
属磁性薄膜材料の硬度と比較的近く、スライダー材とし
て要求される条件を満たすものである。
【００２１】又、積層型磁気ヘッドを構成する上でスラ
イダー材に導電性がある場合、スライダー材自体に施さ
れた巻線によって短絡が生じることが考えられ、磁気ヘ
ッドの機能を損なう恐れがある。このため、スライダー
材には、一定値以上の比抵抗を有することが求められて
いる。一方、ある程度の導電性は、記録媒体と磁気ヘッ
ドが摺動する際の静電気の発生を抑制する効果があるた
め、スライダー材の比抵抗は、１０ＫΩ・ｃｍ〜１０Ｍ
Ω・ｃｍ程度であることが望ましいが、本件の実験範囲
内に比抵抗が、１０ＫΩ・ｃｍ〜１０ＭΩ・ｃｍ程度の
組成点（Ｅ〜Ｒ，Ｙ）が存在することを確認した。
イダー材に導電性がある場合、スライダー材自体に施さ
れた巻線によって短絡が生じることが考えられ、磁気ヘ
ッドの機能を損なう恐れがある。このため、スライダー
材には、一定値以上の比抵抗を有することが求められて
いる。一方、ある程度の導電性は、記録媒体と磁気ヘッ
ドが摺動する際の静電気の発生を抑制する効果があるた
め、スライダー材の比抵抗は、１０ＫΩ・ｃｍ〜１０Ｍ
Ω・ｃｍ程度であることが望ましいが、本件の実験範囲
内に比抵抗が、１０ＫΩ・ｃｍ〜１０ＭΩ・ｃｍ程度の
組成点（Ｅ〜Ｒ，Ｙ）が存在することを確認した。
【００２２】又、ＮｉＯには、熱膨張曲線の直線性を改
善する効果があることが認められた。即ち、ＮｉＯを混
合することで、１００〜２００℃の熱膨張係数α1と１
００〜４００℃の熱膨張係数α2の比α1／α2は、Ｎｉ
Ｏを含む物では１に近づく（Ａ，Ｂ，Ｅ〜Ｌ，Ｎ〜Ｑ，
Ｓ，Ｔ，Ｖ〜Ｙ）ことが判明した。従って、ＮｉＯ量を
調整することで、対象とする金属磁性薄膜の熱膨張曲線
の形態に対応して、ＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ
の組成比を変えることにより、金属磁性薄膜の熱膨張曲
線に対応させて磁器材料の熱膨張曲線を制御できる利点
がある。
善する効果があることが認められた。即ち、ＮｉＯを混
合することで、１００〜２００℃の熱膨張係数α1と１
００〜４００℃の熱膨張係数α2の比α1／α2は、Ｎｉ
Ｏを含む物では１に近づく（Ａ，Ｂ，Ｅ〜Ｌ，Ｎ〜Ｑ，
Ｓ，Ｔ，Ｖ〜Ｙ）ことが判明した。従って、ＮｉＯ量を
調整することで、対象とする金属磁性薄膜の熱膨張曲線
の形態に対応して、ＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ
の組成比を変えることにより、金属磁性薄膜の熱膨張曲
線に対応させて磁器材料の熱膨張曲線を制御できる利点
がある。
【００２３】ＣａＴｉＯ3量が８０ｍｏｌ％を越える
と、ＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系の熱膨張係数
は、従来のＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系、Ｍｎ
Ｏ−ＮｉＯ系、ＮｉＯ−ＣｏＯ系で得られている１３０
×１０-7／℃の範囲に入り、新規性に乏しく、また、比
抵抗が１０ＭΩ・ｃｍ以上となるため、本発明の範囲か
ら除外される（Ｔ，Ｕ）。同様にして、ＮｄＣｏＯ3が
２０ｍｏｌ％以下では、熱膨張係数が１４５×１０-7／
℃以下となり、新規性に乏しく、除外される（Ｓ，Ｔ，
Ｕ）。
と、ＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系の熱膨張係数
は、従来のＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系、Ｍｎ
Ｏ−ＮｉＯ系、ＮｉＯ−ＣｏＯ系で得られている１３０
×１０-7／℃の範囲に入り、新規性に乏しく、また、比
抵抗が１０ＭΩ・ｃｍ以上となるため、本発明の範囲か
ら除外される（Ｔ，Ｕ）。同様にして、ＮｄＣｏＯ3が
２０ｍｏｌ％以下では、熱膨張係数が１４５×１０-7／
℃以下となり、新規性に乏しく、除外される（Ｓ，Ｔ，
Ｕ）。
【００２４】ＮｄＣｏＯ3量が５５ｍｏｌ％を越える
と、ＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系の比抵抗は、
１０ｋΩ以下となり、本発明の範囲から除外される
（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｖ，Ｗ，Ｘ）。
と、ＣａＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系の比抵抗は、
１０ｋΩ以下となり、本発明の範囲から除外される
（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｖ，Ｗ，Ｘ）。
【００２５】ＮｉＯ量が３０ｍｏｌ％を越えると、Ｃａ
ＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系のヴィッカース硬度
は、６５０Ｋｇ／ｍｍ2以下となって、耐摩耗性が低下
し、本発明の範囲から除外される（Ｅ，Ｆ，Ｉ，Ｊ，
Ｎ，Ｏ，Ｖ）。
ＴｉＯ3−ＮｄＣｏＯ3−ＮｉＯ系のヴィッカース硬度
は、６５０Ｋｇ／ｍｍ2以下となって、耐摩耗性が低下
し、本発明の範囲から除外される（Ｅ，Ｆ，Ｉ，Ｊ，
Ｎ，Ｏ，Ｖ）。
【００２６】又、ＣａＴｉＯ3が１５ｍｏｌ％を下回る
と、必然的にＮｄＣｏＯ3が５５ｍｏｌ％を越えるがＮ
ｉＯが３０ｍｏｌ％を越える、あるいは、その双方とな
るため、本発明の範囲から除外される。以上の結果、本
発明の基本的組成は、ＣａＴｉＯ3が１５ｍｏｌ％より
大きく、８０ｍｏｌ％以下、ＮｄＣｏＯ3が２０ｍｏｌ
％以上５５ｍｏｌ％未満、ＮｉＯ３０ｍｏｌ％未満（０
を含む）である。この組成範囲を図３に示す。
と、必然的にＮｄＣｏＯ3が５５ｍｏｌ％を越えるがＮ
ｉＯが３０ｍｏｌ％を越える、あるいは、その双方とな
るため、本発明の範囲から除外される。以上の結果、本
発明の基本的組成は、ＣａＴｉＯ3が１５ｍｏｌ％より
大きく、８０ｍｏｌ％以下、ＮｄＣｏＯ3が２０ｍｏｌ
％以上５５ｍｏｌ％未満、ＮｉＯ３０ｍｏｌ％未満（０
を含む）である。この組成範囲を図３に示す。
【００２７】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明による磁
気ヘッド用非磁性磁器材料の熱膨張係数は、積層型磁気
ヘッドに用いる金属磁性薄膜が有する１４５×１０-7／
℃以上であり、今後、金属磁性薄膜の熱膨張係数が更に
増大しても、本発明の磁気ヘッド用非磁性磁器材料によ
り対応可能となる。かつ、本発明の非磁性磁器材料は、
スライダー材として要求される他の基本特性のヴィッカ
ース硬度と、平滑な研磨面と、良好な加工性と、適度な
比抵抗を持ち、積層型磁気ヘッドを構成する上で大きく
寄与するものであり、その工業的価値は極めて大であ
る。
気ヘッド用非磁性磁器材料の熱膨張係数は、積層型磁気
ヘッドに用いる金属磁性薄膜が有する１４５×１０-7／
℃以上であり、今後、金属磁性薄膜の熱膨張係数が更に
増大しても、本発明の磁気ヘッド用非磁性磁器材料によ
り対応可能となる。かつ、本発明の非磁性磁器材料は、
スライダー材として要求される他の基本特性のヴィッカ
ース硬度と、平滑な研磨面と、良好な加工性と、適度な
比抵抗を持ち、積層型磁気ヘッドを構成する上で大きく
寄与するものであり、その工業的価値は極めて大であ
る。
【図１】積層磁性膜を用いた磁気ヘッドの一例を示す外
観斜視図。
観斜視図。
【図２】実施例における組成点を示す組成三元図。
【図３】本発明の組成範囲を示す組成三元図。
１ 積層型磁気ヘッド ２ 積層磁性膜（金属磁性薄膜） ３ 磁気ギャップ ４ ガラス接合層 ５ 非磁性磁器材料（スライダー） ６ コイル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｇ１１Ｂ 5/127 Ｆ 7303−5Ｄ 5/255 7303−5Ｄ
Claims (1)
- 【請求項１】 チタン酸カルシウム（ＣａＴｉＯ3）が
１５ｍｏｌ％より大きく８０ｍｏｌ％以下、コバルト酸
ネオジウム（ＮｄＣｏＯ3）が２０ｍｏｌ％以上５５ｍ
ｏｌ％未満、酸化ニッケル（ＮｉＯ）が３０ｍｏｌ％未
満（０を含む）の組成比を有することを特徴とする磁気
ヘッド用非磁性磁器材料。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202751A JPH0845016A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 磁気ヘッド用非磁性磁器材料 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6202751A JPH0845016A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 磁気ヘッド用非磁性磁器材料 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0845016A true JPH0845016A (ja) | 1996-02-16 |
Family
ID=16462567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6202751A Pending JPH0845016A (ja) | 1994-08-03 | 1994-08-03 | 磁気ヘッド用非磁性磁器材料 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0845016A (ja) |
-
1994
- 1994-08-03 JP JP6202751A patent/JPH0845016A/ja active Pending
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