JPH0845889A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 パイプの復元性による悪影響のない配管を備
えた洗浄装置を提供する。 【構成】 被処理体を洗浄するための洗浄液が充填され
た一または二以上の洗浄槽を備えると共に、該洗浄槽に
充填される洗浄液を供給、排出するための配管が設けら
れた洗浄装置において、配管を樹脂製のパイプによって
構成し、パイプの折り曲げ部には、その折り曲げ姿勢を
保持するための保持具を装着する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体ウェハな
どの被処理体を洗浄するための洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】例えばＬＳＩ等の半導体デバイスの製造
工程における洗浄処理を例にとって説明すると、従来か
ら半導体ウェハ表面のパーティクル、有機汚染物、金属
不純物等のコンタミネーションを除去するために洗浄装
置が使用されており、その中でもとりわけ、ウェット洗
浄装置は、パーティクルを効果的に除去できしかもバッ
チ処理が可能なため、広く普及している。

【０００３】かかるウェット洗浄装置においては、例え
ば２５枚の半導体ウェハを収納したカセットをロードす
るロード機構と、このロード機構によってロードされた
半導体ウェハを例えば５０枚ずつ搬送するウェハ搬送装
置と、このウェハ搬送装置によって搬送されたウェハを
一括して洗浄するように配列された複数の洗浄処理槽
と、各洗浄処理槽によって洗浄された半導体ウェハをア
ンロードするアンロード機構とを備えて構成されてい
る。

【０００４】そして、各洗浄処理槽には、例えば半導体
ウェハのフォトレジストを除去する薬液としての硫酸及
び活性化剤としての過酸化水素水、ウェハ表面に付着し
た有機分のパーティクルを除去する薬液としてのアンモ
ニア及び活性化剤としての過酸化水素水、金属分のパー
ティクルを除去する薬液としてのＨＣl及び活性化剤と
しての過酸化水素水、ＱＤＲ（クイックダンプリンス）
やファイナルリンスを行うための純水など、種々の洗浄
液が充填されている。また、それら各洗浄処理槽には、
例えば供給タンクなどから薬液や純水などを循環供給す
るための配管が多数接続されている。

【０００５】以上のような洗浄装置において用いられる
配管は、薬液に対する防食、防錆といった観点から、例
えばフッ素樹脂などの樹脂製のパイプが一般的に使用さ
れている。そして従来は、そのような樹脂製のパイプを
エルボなどの継手を用いて適宜接続し、各洗浄処理槽と
その供給タンクなどの間の配管を構成するようにしてい
る。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、このように
多数のパイプをエルボなどの継手を用いて接続すること
によって配管を構成した場合には、パイプと継手との接
続部分が緩んでそこから洗浄液がリークするといった問
題があった。更に、長期間使用している内にパイプが継
手から抜けてしまうようなこともあった。また、エルボ
などの継手は高価であり、継手を多数用いることにより
装置コストが嵩むといった問題もあった。

【０００７】一方、以上のような洗浄液のリーク、装置
コストの高騰といった問題を回避するためには、継手の
使用を極力少なくし、パイプを例えば熱成形するなどし
て所望の形状に折り曲げて配管を構成することが望まし
い。ところが、上記各洗浄処理槽に充填される薬液や純
水は、洗浄効率を高めるために高温に加熱されることも
あり、熱成形したパイプで配管を構成した場合には、洗
浄液の熱によってパイプが暖められることによりもとの
直線形状に復元しようとする。そして、このようにパイ
プがもとの直線形状に復元しようとすることにより、パ
イプやパイプと各洗浄処理槽との接続部分などに不意な
応力がかかり、洗浄液がリークするといった問題が発生
する。

【０００８】従って、本発明の目的はパイプの復元性に
よる悪影響のない配管を備えた洗浄装置を提供すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、被処理
体を洗浄するための洗浄液が充填された一または二以上
の洗浄槽を備えると共に、該洗浄槽に充填される洗浄液
を供給、排出するための配管が設けられたものであっ
て、該配管を樹脂製のパイプによって構成し、該パイプ
の折り曲げ部には、その折り曲げ姿勢を保持するための
保持具を装着してなる洗浄装置が提供される。

【００１０】この洗浄装置は、更に次の特徴を備えるこ
とができる。 ・上記樹脂製のパイプをフッ素樹脂で構成したこと。 ・上記保持具は、パイプの折り曲げ姿勢を保持するため
の二以上の保持具片と、それら二以上の保持具片をパイ
プに装着した状態を維持させる止め具で構成されるこ
と。 ・上記保持具は、パイプの折り曲げ姿勢を保持するため
の二以上の保持具片で構成され、それら二以上の保持具
片をパイプに装着した状態を維持させるための係合手段
を該保持具片に形成したこと。

【００１１】

【作用】本発明の洗浄装置にあっては、たとえば各洗浄
処理槽とその供給タンクなどを接続する各種の配管を、
樹脂製のパイプを例えば熱成形するなどして所望の形状
に折り曲げて接続することにより構成し、エルボなどの
継手は極力使用しない。そして、パイプの折り曲げ部に
は保持具を装着し、その折り曲げ姿勢を保持する。従っ
て、本発明によれば洗浄液の熱によってパイプが暖めら
れてもとの直線形状に復元しようとするのを保持具によ
って妨げることが可能となり、洗浄装置内の配管構成は
良好に維持されるようになる。

【００１２】

【実施例】以下、本発明の実施例を、例えば半導体ウェ
ハの如き、被処理体Ｗを洗浄するための洗浄装置１に基
づいて説明する。図１に示すように、洗浄装置１は大別
して洗浄処理前の被処理体ＷをキャリアＣごと投入する
ための搬入部２と、被処理体Ｗの洗浄処理を行う洗浄処
理部３と、洗浄処理後の被処理体ＷをキャリアＣごと取
り出すための搬出部４からなっている。

【００１３】搬入部２には、これから洗浄処理しようと
する被処理体Ｗを所定枚数、例えば２５枚収納したキャ
リアＣを搬入、載置させる載置部５と、載置されたキャ
リアＣを整列部６へ移送するための移送装置７が設けら
れる。洗浄処理部３の前面側（図１における手前側）に
三つの搬送装置１１、１２、１３が配列され、これら各
搬送装置１１、１２、１３には、ウェハチャック１４、
１５、１６がそれぞれ設けられる。搬送装置１１のウェ
ハチャック１４は、整列部６に搬入された二つのキャリ
アＣから５０枚の被処理体Ｗをまとめて取り出し、その
後、その被処理体Ｗを洗浄処理槽２１〜２９へ適宜搬送
する。

【００１４】搬出部４には、載置部５とほぼ同様な構成
を備える載置部８、整列部６と同様な構成を備える図示
しない整列部、及び、移送装置７と同様な構成を備える
図示しない移送装置がそれぞれ設けられる。

【００１５】洗浄処理部３には、載置部５側から順に、
搬送装置１１のウェハチャック１４を洗浄、乾燥するチ
ャック洗浄・乾燥処理槽２１、被処理体Ｗの表面に付着
している有機汚染物、金属不純物、パーティクル等の不
純物質を薬液によって洗浄処理する薬液洗浄処理槽２
２、この薬液洗浄処理槽２２で洗浄された被処理体Ｗを
例えば純水を用いて洗浄する二つの水洗洗浄処理槽２
３、２４、薬液洗浄処理槽２２の薬液とは異なる薬液で
洗浄処理する薬液洗浄処理槽２５、この薬液洗浄処理槽
２５で洗浄された被処理体Ｗを例えば純水を用いて洗浄
する二つの水洗洗浄処理槽２６、２７、搬送装置１３の
ウェハチャック１６を洗浄、乾燥するチャック洗浄・乾
燥処理槽２８、及び、不純物質が除去された被処理体Ｗ
を例えばＩＰＡ（イソプロピルアルコール）などで蒸気
乾燥させる乾燥処理槽２９が配設される。

【００１６】これら洗浄処理槽２１〜２９は、何れも基
本的には同様の構成を備えており、以下その代表として
薬液洗浄処理槽２５の構成について説明する。図２に示
すように、薬液洗浄処理槽２５は、例えば石英などで構
成された容器３０の周囲にオーバーフロー容器３１を取
り付けた構成になっている。容器３０の上方には例えば
アンモニアなどのアルカリ薬液、もしくはＨＣlなどの
酸性薬液が入った供給タンク３２が配設され、該供給タ
ンク３２内に充填された新しい洗浄液３３がバルブ３８
の開操作によって例えばＰＴＦＥ、ＰＦＡ等のフッ素樹
脂などで構成されたパイプ３７を介して容器３０内に供
給される。また、容器３０の底面からは、ポンプ３４の
稼働によって、薬液加熱器４５で加熱されフィルター４
６で濾過された洗浄液３３が、例えばＰＴＦＥ、ＰＦＡ
等のフッ素樹脂などで構成されたパイプ３５を介して供
給されている。そして、容器３０内において例えば半導
体ウェハなどの被処理体Ｗを洗浄液３３の化学反応作用
を利用して洗浄する。こうして化学反応による洗浄を行
った洗浄液３３は、容器３０の上端開口から溢れてオー
バーフロー容器３１に受け取られ、例えばＰＴＦＥ、Ｐ
ＦＡ等のフッ素樹脂などで構成されたパイプ３６を介し
てポンプ３４に戻される。

【００１７】上記パイプ３５、３６、３７は、例えば熱
成形するなどして所望の形状に折り曲げられて配管さ
れ、容器３０と供給タンク３２の間などにおいて洗浄液
３３を適宜循環させるように構成されている。図３は、
それらパイプ３５、３６、３７の折り曲げ部４０を拡大
して示した図面であり、該折り曲げ部４０は例えばＰＴ
ＦＥ、ＰＦＡ等のフッ素樹脂などで構成されたパイプ３
５、３６、３７を熱成形などによって所望の角度に折り
曲げて構成されている。ところが、薬液洗浄処理槽２５
などに充填される洗浄液３３は、洗浄効率を高めるため
に例えば５０〜８０℃程度に加熱される場合も多く、そ
のような加熱された洗浄液３３をパイプ３５内などに流
通させた場合には、その熱によってパイプ３５等が暖め
られ、曲げ部４０はもとの直線形状４１に復元しようと
する。

【００１８】そこで、本発明においてはパイプの折り曲
げ部に、その折り曲げ姿勢を保持するための保持具を装
着することにより、パイプがもとの直線形状に復元しよ
うとするのを妨げて、洗浄装置内の配管構成を良好に維
持できるように構成している。以下に、本発明の洗浄装
置に好適に用いられる保持具の具体例を説明する。

【００１９】図４に示すように、保持具５０はパイプ３
５、３６、３７の折り曲げ部４０の内側と外側にそれぞ
れ脱着自在に装着される二つの保持具片５１及び保持具
片５２によって構成することができる。これら保持具片
５１及び保持具片５２の内面（折り曲げ部４０に接触す
る面）の形状は、折り曲げ部４０の内側と外側にそれぞ
れ一致する形状に構成されている。保持具片５１、５２
は、例えば樹脂、プラスチック、金属、木材、セラミッ
クなど、種々の材料で構成できるが、成形性及び耐腐食
性を考慮すると樹脂やプラスチック、セラミックなどが
好ましい。

【００２０】図５に示すように、これら保持具片５１、
５２をパイプ３５、３６、３７の折り曲げ部４０の内側
と外側にそれぞれ装着した状態で、保持具片５１、５２
の外側にリング形状の止め具５３、５４を嵌合させるこ
とにより、それら保持具片５１、５２をパイプ３５、３
６、３７に装着した状態を維持させることができる。な
お、このように保持具片５１、５２の外側に止め具５
３、５４を嵌合させた状態を保持するためには、例え
ば、図６に示すように一方の保持具片５２に突起５５を
形成することによって、止め具５３、５４が不意に外れ
てしまうことを防止する構成とすることが望ましい。

【００２１】このように保持具片５１、５２をパイプ３
５、３６、３７に装着して外側から止め具５３、５４を
嵌合させることにより、折り曲げ部４０の姿勢を保持す
ることができ、高温となったパイプ３５、３６、３７が
もとの直線形状に復元しようとすることを妨げることが
可能であるが、以上に説明した実施例のものは止め具５
３、５４がリング形状に形成されているために、これを
保持具片５１、５２の外側に嵌合させるに際してはパイ
プ３５、３６、３７の端部から止め具５３、５４を通し
て装着しなければならない。そこで、図７、８に示すよ
うに、パイプ３５、３６、３７の折り曲げ部４０に装着
した保持具片５１、５２の外側に例えば束線バンドなど
の如き、バンド５６を保持具片５１、５２に巻回し、バ
ンド５６の先端部５７をバンド５６後端に設けたストッ
パー部５８に係合させることにより、これら保持具片５
１、５２をパイプ３５、３６、３７の折り曲げ部４０の
周りに緊締固定する構成とすれば、かかる不具合は解消
される。なお、図示のように保持具片５１、５２にバン
ド通し５９を形成しておき、保持具片５１、５２を装着
するに際してこのバンド通し５９にバンド５６を通すよ
うにすれば、バンド５６が不意に外れてしまうことを防
止できる。

【００２２】また、図９に示すように保持具片５１、５
２は、角形の構成とすることももちろん可能である。こ
のように角形に構成された保持具片５１、５２を、図１
０に示すようにパイプ３５、３６、３７の折り曲げ部４
０の周りに装着して、その外側に止め具６０、６０を嵌
合させることによっても、折り曲げ部４０の姿勢を保持
することができ、パイプ３５、３６、３７の復元を防止
できる。なお、この実施例の止め具６０は保持具片５
１、５２の外形に一致すべく角筒形状に構成されること
はいうまでもないが、その他、先に図７、８で説明した
ような、束線バンドなどの如きバンド状の止め具を用い
て保持具片５１、５２を外側から緊締固定する構成とし
ても良い。

【００２３】次に、図１１に示す実施例は、折り曲げ部
４０の内側に装着される保持具片５１に係合突起６２と
ストッパー部６３を形成し、他方、折り曲げ部４０の外
側に装着される保持具片５２に係合突起６４とストッパ
ー部６５を形成した構成になっている。この実施例のも
のにあっては、保持具片５１の係合突起６２を保持具片
５２のストッパー部６５に係合させると共に、保持具片
５２の係合突起６４を保持具片５１のストッパー部６３
に係合させることによって、それら保持具片５１と保持
具片５２を合体させることが可能である。従って、この
実施例のものによれば、これら係合突起６２とストッパ
ー部６５、及び係合突起６４とストッパー部６３の係合
により合体させた保持具片５１と保持具片５２とによっ
てパイプ３５、３６、３７の折り曲げ部４０の姿勢を保
持することができ、特別な止め具を必要としないといっ
た利点がある。

【００２４】また、図１２に示す実施例の如く、折り曲
げ部４０の内側に装着される保持具片５１にはストッパ
ー部６６のみを形成し、折り曲げ部４０の外側に装着さ
れる保持具片５２には係合突起６７のみを形成する構成
としても良い。この実施例によれば、パイプ３５、３
６、３７の折り曲げ部４０に保持具片５１、５２を装着
するに際して、係合突起６７をストッパー部６６に係合
させるだけで良いので、装着操作が簡単であるといった
利点がある。なお、図示のものとは逆に、保持具片５１
に係合突起のみを形成し、保持具片５２にストッパー部
のみを形成する構成としても良いことはもちろんであ
る。

【００２５】かくして、以上に説明した何れの実施例に
よっても、保持具片５１、５２をパイプ３５、３６、３
７に装着することにより、折り曲げ部４０の姿勢を保持
することができ、高温となったパイプ３５などがもとの
直線形状に復元しようとすることを妨げることが可能と
なる。なお、以上の実施例においては、保持具を二つの
保持具片によって構成したものを説明したが、保持具を
三つあるいはそれ以上の個数の保持具片によって構成す
ることも可能である。また、本発明実施例を半導体ウエ
ハの洗浄装置における洗浄処理槽に適用した場合につい
て説明したが、本発明はこれに限らず、被処理体を洗浄
するための洗浄液が充填された洗浄槽を備えた、他の一
般の洗浄装置や、その他、洗浄装置とは別ユニットとし
て設けられる純水加温装置、薬液加温装置などにも適用
可能である。

【００２６】

【発明の効果】本発明によれば、折り曲げ部に装着した
保持具片によって高温となったパイプがもとの直線形状
に復元しようとすることを妨げることが可能となる。本
発明によれば、洗浄処理槽に対して洗浄液を供給、排出
する配管を、パイプを例えば熱成形するなどして所望の
形状に折り曲げて構成することができるので、従来の配
管において多用されていたエルボなどの継手を極力少な
くすることができ、洗浄液のリーク、装置コストの高騰
といった問題を回避することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

【図１】洗浄処理装置の斜視図

【図２】洗浄処理槽の配管構成を簡略化して示した図面

【図３】パイプの折り曲げ部の拡大図

【図４】本発明実施例の保持具を構成する二つの保持具
片の斜視図

【図５】本発明実施例の保持具をパイプの折り曲げ部に
装着した状態を示す図面

【図６】突起を形成した保持具の実施例を示す図面

【図７】バンド状の止め具を用いて外側から緊締固定す
る構成とした保持具の実施例を示す図面

【図８】図７Ａ−Ａ断面矢視図

【図９】角形の構成とした保持具の実施例を示す斜視図

【図１０】図９の実施例の保持具の装着状態を示す図面

【図１１】保持具片の両方に係合突起とストッパー部を
形成した保持具の実施例を示す斜視図

【図１２】保持具片の一方に係合突起を形成し、他方に
ストッパー部を形成した保持具の実施例を示す斜視図

【符号の説明】

Ｗ 被処理体 ３３ 洗浄液 ２５ 洗浄槽 ３５、３６、３７ 配管

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 被処理体を洗浄するための洗浄液が充填
   された一または二以上の洗浄槽を備えると共に、該洗浄
   槽に充填される洗浄液を供給、排出するための配管が設
   けられたものであって、該配管を樹脂製のパイプによっ
   て構成し、該パイプの折り曲げ部には、その折り曲げ姿
   勢を保持するための保持具を装着してなる洗浄装置。
2. 【請求項２】 上記樹脂製のパイプをフッ素樹脂で構成
   してなる請求項１に記載の洗浄装置。
3. 【請求項３】 上記保持具は、パイプの折り曲げ姿勢を
   保持するための二以上の保持具片と、それら二以上の保
   持具片をパイプに装着した状態を維持させる止め具で構
   成される請求項１または２に記載の洗浄装置。
4. 【請求項４】 上記保持具は、パイプの折り曲げ姿勢を
   保持するための二以上の保持具片で構成され、それら二
   以上の保持具片をパイプに装着した状態を維持させるた
   めの係合手段を該保持具片に形成してなる請求項１〜３
   の何れかに記載の洗浄装置。