JPH084974Y2 - 複合電解研磨装置 - Google Patents
複合電解研磨装置Info
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- JPH084974Y2 JPH084974Y2 JP1992056358U JP5635892U JPH084974Y2 JP H084974 Y2 JPH084974 Y2 JP H084974Y2 JP 1992056358 U JP1992056358 U JP 1992056358U JP 5635892 U JP5635892 U JP 5635892U JP H084974 Y2 JPH084974 Y2 JP H084974Y2
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- pad
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 24
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 claims description 17
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- 239000003792 electrolyte Substances 0.000 claims description 11
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
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- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
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Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は電解液を送入しながら電
解研磨を行うと共に機械研磨を行う複合電解研磨装置に
関する。
解研磨を行うと共に機械研磨を行う複合電解研磨装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】バフ研磨に代表される機械研磨は粗研磨
に、まためっきの前処理に適した電解研磨は微細な研磨
に用いられており、これらの長所を兼ね備えた複合電解
研磨装置が実用化されている。図１は従来の複合電解研
磨装置におけるワーク部（回転部）を示す模式的断面図
である。図中１はステンレス鋼製の回転軸であり、先端
部は雄ネジになっており他方は図示しないモータに接続
されている。この回転軸１に銅製の電極２，スポンジか
らなるパッド３が取り付けられワーク部を形成してい
る。
に、まためっきの前処理に適した電解研磨は微細な研磨
に用いられており、これらの長所を兼ね備えた複合電解
研磨装置が実用化されている。図１は従来の複合電解研
磨装置におけるワーク部（回転部）を示す模式的断面図
である。図中１はステンレス鋼製の回転軸であり、先端
部は雄ネジになっており他方は図示しないモータに接続
されている。この回転軸１に銅製の電極２，スポンジか
らなるパッド３が取り付けられワーク部を形成してい
る。
【０００３】電極２は中空の円板状であり、断面形状は
略台形をなしている。この電極２の上面中央部は前記回
転軸１より大きな開口部2aを有している。また下面中央
部は断面が台形状の凹部を有し、さらにその中心部は雌
ネジになっており、回転軸１に螺合されている。この電
極２のリング状の底部、即ち下面の凹部以外の部分には
周方向に複数の孔2bが開設してある。図２に電極２の下
面図を示す。またこの電極２は回転軸１を介して図示し
ない電源に接続されている。
略台形をなしている。この電極２の上面中央部は前記回
転軸１より大きな開口部2aを有している。また下面中央
部は断面が台形状の凹部を有し、さらにその中心部は雌
ネジになっており、回転軸１に螺合されている。この電
極２のリング状の底部、即ち下面の凹部以外の部分には
周方向に複数の孔2bが開設してある。図２に電極２の下
面図を示す。またこの電極２は回転軸１を介して図示し
ない電源に接続されている。
【０００４】この電極２の下側に、電極２の下面形状に
対応する形状を有し、中央に回転軸１が嵌合する孔が開
設された円形のパッド３を嵌合し、その下側からステン
レス鋼製のナット４でパッド３を固定している。この固
定部は前記凹部に収まっており、被研磨材を傷つけない
ようになしてある。
対応する形状を有し、中央に回転軸１が嵌合する孔が開
設された円形のパッド３を嵌合し、その下側からステン
レス鋼製のナット４でパッド３を固定している。この固
定部は前記凹部に収まっており、被研磨材を傷つけない
ようになしてある。
【０００５】また電解液を電極２内へ送入するためのウ
レタン製のパイプ５が前記開口部2aへ臨ませて配設され
ている。そして図示しないモータにより回転軸１を駆動
させ、電解液の送入を行う。電解液は電極２底部の孔2b
を通ってパッド３へ供給され、電流が流れることにより
機械研磨と電解研磨が同時的に行われる。
レタン製のパイプ５が前記開口部2aへ臨ませて配設され
ている。そして図示しないモータにより回転軸１を駆動
させ、電解液の送入を行う。電解液は電極２底部の孔2b
を通ってパッド３へ供給され、電流が流れることにより
機械研磨と電解研磨が同時的に行われる。
【０００６】
【考案が解決しようとする課題】ところが上述の如き従
来装置はパッド３の中央部では研磨を行い得ず、作業面
積が小さく、電流の流量も少なかった。このため、長い
研磨時間を必要とし、生産能率が低かった。ここでパッ
ド３の中央部を被研磨材に接触させることとして作業面
積を増大させることが考えられるが、従来装置において
このような工夫をするだけでは問題は解決されなかっ
た。すなわち電解液がパッド３の周辺部にしか供給され
ないため、ワーク部が回転すると遠心力により電解液は
外側へ押しやられパッド３の中央部には電解液が十分に
供給されない。この場合は電流分布が不均一となるた
め、生産能率が上がらないばかりか製品品質も低下す
る。本考案は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、
パッドの作業面積を拡大し電解液の供給経路を多岐にす
ることにより、生産能率及び製品品質の向上を可能とす
る複合電解研磨装置を提供することを目的とする。
来装置はパッド３の中央部では研磨を行い得ず、作業面
積が小さく、電流の流量も少なかった。このため、長い
研磨時間を必要とし、生産能率が低かった。ここでパッ
ド３の中央部を被研磨材に接触させることとして作業面
積を増大させることが考えられるが、従来装置において
このような工夫をするだけでは問題は解決されなかっ
た。すなわち電解液がパッド３の周辺部にしか供給され
ないため、ワーク部が回転すると遠心力により電解液は
外側へ押しやられパッド３の中央部には電解液が十分に
供給されない。この場合は電流分布が不均一となるた
め、生産能率が上がらないばかりか製品品質も低下す
る。本考案は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、
パッドの作業面積を拡大し電解液の供給経路を多岐にす
ることにより、生産能率及び製品品質の向上を可能とす
る複合電解研磨装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本考案に係る複合電解研
磨装置は、回転軸と、内部が中空であって、底部壁の中
央部に内側に凹む凹み部を備え、周縁部に電解液を流す
複数の孔を備え、前記凹み部を形成した部分の底部の壁
を貫通して前記回転軸の先端部が固定された第１の電極
と、該第１の電極の底部壁の外面に固定された機械研磨
用のパッドとからなるワーク部を回転させ、前記底部壁
周縁部の孔を介して前記パッドへ電解液を供給しながら
電解研磨を行う複合電解研磨装置において、前記機械研
磨用のパッドはスポンジ製であって、前記第１の電極の
底部壁外面に前記孔及び凹み部を覆うよう固定され、ま
た前記回転軸は電解液を通流すべく中空に形成され、そ
の先端部を前記底部壁を貫通して凹み部内に臨ませ、前
記凹み部内に位置させて前記回転軸の先端に第２の電極
を設けると共に、前記回転軸の周壁又は先端には、前記
パッドに電解液を供給すべく、前記第１の電極の底部壁
の孔及び凹み部内夫々に連通する電解液供給用の孔を設
けたことを特徴とする。
磨装置は、回転軸と、内部が中空であって、底部壁の中
央部に内側に凹む凹み部を備え、周縁部に電解液を流す
複数の孔を備え、前記凹み部を形成した部分の底部の壁
を貫通して前記回転軸の先端部が固定された第１の電極
と、該第１の電極の底部壁の外面に固定された機械研磨
用のパッドとからなるワーク部を回転させ、前記底部壁
周縁部の孔を介して前記パッドへ電解液を供給しながら
電解研磨を行う複合電解研磨装置において、前記機械研
磨用のパッドはスポンジ製であって、前記第１の電極の
底部壁外面に前記孔及び凹み部を覆うよう固定され、ま
た前記回転軸は電解液を通流すべく中空に形成され、そ
の先端部を前記底部壁を貫通して凹み部内に臨ませ、前
記凹み部内に位置させて前記回転軸の先端に第２の電極
を設けると共に、前記回転軸の周壁又は先端には、前記
パッドに電解液を供給すべく、前記第１の電極の底部壁
の孔及び凹み部内夫々に連通する電解液供給用の孔を設
けたことを特徴とする。
【０００８】
【作用】本考案にあっては平坦なパッドを用い、電解液
の供給経路を多岐にし、第２の電極を備えることによ
り、電解液をパッド全体に十分に供給することができ、
また電流分布を均一にすることができる。
の供給経路を多岐にし、第２の電極を備えることによ
り、電解液をパッド全体に十分に供給することができ、
また電流分布を均一にすることができる。
【０００９】
【実施例】以下本考案をその実施例を示す図面に基づい
て説明する。図３は本考案に係る複合電解研磨装置のワ
ーク部（回転部）を示す模式的断面図である。図中11は
銅製、中空の回転軸であり、この回転軸11の下部は小径
部を備える。この段部のすぐ上の側面に複数の孔11a を
有し、小径部の適宜部分の側面に複数の孔11b を有す
る。また先端部は雄ネジになっている。さらに回転軸11
の他方側は図示しない本体に接続されており、本体はエ
アー駆動装置及びコネクタを備える。このエアー駆動装
置により回転軸11は回転し、またコネクタを介して回転
軸11内へ電解液が送入されるようになっている。また回
転軸11は図示しない電極に接続されている。
て説明する。図３は本考案に係る複合電解研磨装置のワ
ーク部（回転部）を示す模式的断面図である。図中11は
銅製、中空の回転軸であり、この回転軸11の下部は小径
部を備える。この段部のすぐ上の側面に複数の孔11a を
有し、小径部の適宜部分の側面に複数の孔11b を有す
る。また先端部は雄ネジになっている。さらに回転軸11
の他方側は図示しない本体に接続されており、本体はエ
アー駆動装置及びコネクタを備える。このエアー駆動装
置により回転軸11は回転し、またコネクタを介して回転
軸11内へ電解液が送入されるようになっている。また回
転軸11は図示しない電極に接続されている。
【００１０】このような回転軸11の段部に銅製の電極12
が嵌合されている。電極12は従来装置における電極２と
同形である。即ち中空の円板状であり、断面は略台形を
なしている。この電極12の上面中央部は前記回転軸11よ
り大きな開口部を有している。また下面中央部は前記小
径部の長さ分だけ断面が台形状に凹んでおり、さらにそ
の中心部に孔が開設してあり、前記段部に嵌合されてい
る。この電極12のリング状の底部、即ち下面の凹部以外
の部分には図４に示す如く周方向に複数の孔12a が開設
してある。
が嵌合されている。電極12は従来装置における電極２と
同形である。即ち中空の円板状であり、断面は略台形を
なしている。この電極12の上面中央部は前記回転軸11よ
り大きな開口部を有している。また下面中央部は前記小
径部の長さ分だけ断面が台形状に凹んでおり、さらにそ
の中心部に孔が開設してあり、前記段部に嵌合されてい
る。この電極12のリング状の底部、即ち下面の凹部以外
の部分には図４に示す如く周方向に複数の孔12a が開設
してある。
【００１１】電極13は電極12の下面の凹部より小さく回
転軸11の先端部より大きい銅製の円板であり、電極13の
中央部は上半分が雌ネジになっており、回転軸11と螺合
している。また下半分は雌ネジより細い透孔13a が開設
してある。そして電極12の上面及び側面を覆う態様で伸
縮性があるウレタンからなるカバー15が取り付けられて
いる。電極12,13 の下側にスポンジからなりカバー15よ
り大きい円板状のパッド14が取り付けられており、カバ
ー15の底面とパッド14の周縁部は接着させてある。この
伸縮性があるカバー15を用いることでパッド14と電極1
2,13 とが適度に密着する。
転軸11の先端部より大きい銅製の円板であり、電極13の
中央部は上半分が雌ネジになっており、回転軸11と螺合
している。また下半分は雌ネジより細い透孔13a が開設
してある。そして電極12の上面及び側面を覆う態様で伸
縮性があるウレタンからなるカバー15が取り付けられて
いる。電極12,13 の下側にスポンジからなりカバー15よ
り大きい円板状のパッド14が取り付けられており、カバ
ー15の底面とパッド14の周縁部は接着させてある。この
伸縮性があるカバー15を用いることでパッド14と電極1
2,13 とが適度に密着する。
【００１２】回転軸11の中空部へ送入された電解液は回
転軸11の孔11a から漏出し電極12内部を流れ底部の孔12
a を通ってカバー15との接着部より内側のパッド14の周
縁部へ供給される (経路Ｒ1 ）。また電解液は回転軸11
の孔11b からも漏出し電極12と電極13との間を通って前
記周縁部より内側部のパッド14へ供給される（経路
Ｒ2 ）。さらに電解液は回転軸11の内部から鉛直方向下
向きにも漏出し、電極13の孔13a を通ってパッド14の中
心部へ供給される（経路Ｒ3 ）。
転軸11の孔11a から漏出し電極12内部を流れ底部の孔12
a を通ってカバー15との接着部より内側のパッド14の周
縁部へ供給される (経路Ｒ1 ）。また電解液は回転軸11
の孔11b からも漏出し電極12と電極13との間を通って前
記周縁部より内側部のパッド14へ供給される（経路
Ｒ2 ）。さらに電解液は回転軸11の内部から鉛直方向下
向きにも漏出し、電極13の孔13a を通ってパッド14の中
心部へ供給される（経路Ｒ3 ）。
【００１３】以上の如き構成の複合電解研磨装置を用い
て機械研磨と電解研磨とを同時的に行うと、電解液をパ
ッドの中心部、その周辺部及び周縁部へ供給できるの
で、電解液はパッド全体へ十分に行き渡り電流量が増大
し電流分布も均一であるので、短い研磨時間で高性能な
研磨を行うことができる。なお、回転軸11、電極12,13
には銅, 真鍮等の導電率効果が高い金属で、かつ電解液
に溶解しない金属を使用することができる。
て機械研磨と電解研磨とを同時的に行うと、電解液をパ
ッドの中心部、その周辺部及び周縁部へ供給できるの
で、電解液はパッド全体へ十分に行き渡り電流量が増大
し電流分布も均一であるので、短い研磨時間で高性能な
研磨を行うことができる。なお、回転軸11、電極12,13
には銅, 真鍮等の導電率効果が高い金属で、かつ電解液
に溶解しない金属を使用することができる。
【００１４】
【発明の効果】以上の如く本考案に係る複合電解研磨装
置ではスポンジ製のパッドを使用し、これを第１の電極
の底部壁の孔及び凹み部を覆うよう設け、また回転軸は
中空とし、その周壁又は先端には電解液の供給用の孔を
設け、電解液を第１の電極の底部壁の孔又は凹み部から
パッドの中心部及び周縁部へ供給することとしたので、
パッド全体へ十分に電解液を供給することができる。ま
た第２の電極を回転軸の先端に設けたことと併せて電流
の流れ及び電流分布が良好となり、作業面積が広がり、
研磨時間の短縮及び製品品質の向上が可能となる外、第
１の電極自体の構成が簡略化されてコスト低減を図れる
等本考案は優れた効果を奏する。
置ではスポンジ製のパッドを使用し、これを第１の電極
の底部壁の孔及び凹み部を覆うよう設け、また回転軸は
中空とし、その周壁又は先端には電解液の供給用の孔を
設け、電解液を第１の電極の底部壁の孔又は凹み部から
パッドの中心部及び周縁部へ供給することとしたので、
パッド全体へ十分に電解液を供給することができる。ま
た第２の電極を回転軸の先端に設けたことと併せて電流
の流れ及び電流分布が良好となり、作業面積が広がり、
研磨時間の短縮及び製品品質の向上が可能となる外、第
１の電極自体の構成が簡略化されてコスト低減を図れる
等本考案は優れた効果を奏する。
【図１】従来の複合電解研磨装置のワーク部を示す模式
的断面図である。
的断面図である。
【図２】従来装置における電極の下面図である。
【図３】本考案に係る複合電解研磨装置のワーク部を示
す模式的断面図である。
す模式的断面図である。
【図４】本考案装置における電極の下面図である。
11 回転軸 12,13 電極 14 パッド 15 カバー Ｒ1 ，Ｒ2 ，Ｒ3 経路
Claims (1)
- 【請求項１】 回転軸と、内部が中空であって、底部壁
の中央部に内側に凹む凹み部を備え、周縁部に電解液を
流す複数の孔を備え、前記凹み部を形成した部分の底部
の壁を貫通して前記回転軸の先端部が固定された第１の
電極と、該第１の電極の底部壁の外面に固定された機械
研磨用のパッドとからなるワーク部を回転させ、前記底
部壁周縁部の孔を介して前記パッドへ電解液を供給しな
がら電解研磨を行う複合電解研磨装置において、 前記機械研磨用のパッドはスポンジ製であって、前記第
１の電極の底部壁外面に前記孔及び凹み部を覆うよう固
定され、また前記回転軸は電解液を通流すべく中空に形
成され、その先端部を前記底部壁を貫通して凹み部内に
臨ませ、前記凹み部内に位置させて前記回転軸の先端に
第２の電極を設けると共に、前記回転軸の周壁又は先端
には、前記パッドに電解液を供給すべく、前記第１の電
極の底部壁の孔及び凹み部内夫々に連通する電解液供給
用の孔を設けたことを特徴とする複合電解研磨装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992056358U JPH084974Y2 (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 複合電解研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992056358U JPH084974Y2 (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 複合電解研磨装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0611924U JPH0611924U (ja) | 1994-02-15 |
| JPH084974Y2 true JPH084974Y2 (ja) | 1996-02-14 |
Family
ID=13025027
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992056358U Expired - Lifetime JPH084974Y2 (ja) | 1992-07-16 | 1992-07-16 | 複合電解研磨装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH084974Y2 (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6232726U (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-26 | ||
| JP3079226U (ja) * | 2000-12-08 | 2001-08-10 | 株式会社シフト・コミュニケーションズ | 保温食材の保温運搬システム |
-
1992
- 1992-07-16 JP JP1992056358U patent/JPH084974Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0611924U (ja) | 1994-02-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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