JPH03163403A - 感光性顔料分散液の塗布方法 - Google Patents
感光性顔料分散液の塗布方法Info
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- JPH03163403A JPH03163403A JP1302861A JP30286189A JPH03163403A JP H03163403 A JPH03163403 A JP H03163403A JP 1302861 A JP1302861 A JP 1302861A JP 30286189 A JP30286189 A JP 30286189A JP H03163403 A JPH03163403 A JP H03163403A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野］
本発明は，液晶パネルや固体撮像管素子等のカラーフィ
ルター製造において用いられる感光性顔料分数液の所定
パターンを有する基板上への塗布方法に関するものであ
る． 【従来の技術Ｊ 従来の感光性顔料分散液の所定パターンを有する基板上
への塗布は，スピンコーター，ロールコーター、バーコ
ーター等のコーターを用いて前記基板の全面に感光性顔
料分散液を塗布していた．〔発明が解決しようとする課
題Ｊ しかし，所定パターン上全面に感光性顔料分散液を塗布
した場合，その露光時のアライメントにおいて，塗布し
た感光性顔料分散液が顔料を含むために光の透過性が低
く、前記所定パターンのアライメントアークを確認しに
くい．それによってアライメント精度の低下、アライメ
ント時間の増加、及びパターンと非パターン部のコント
ラストが得られずオートアライメントが出来ないといっ
た事態が発生しカラーフィルター製造におけるパターン
ずれによる歩留りの低下やサイクルタイムの増大による
生産性の低下をもたらすとともに，才一トアライメント
による合理化の妨げになり最終的にはカラーフィルター
のコストアップの原因になるという問題点を有す． 本発明は、このような問題点を解決するためのもので、
露光時のアライメントにおいてアライメントアークを確
認しやすい感光性顔料分散液の塗布方法を提供すること
を目的とする． ［課題を解決するための手段１ 本発明の感光性顔料分数液の塗布方法は、所定パターン
を有する基板上に感光性顔料分散液を塗布する際におい
て，ロールコータ一らしくはワイヤーコーター等の非塗
布領域を有するコーターを用いて、前記所定パターンの
アライメントアーク部には感光性ｆｌ＄４分敗液を塗布
しないことを特徴とする． ［実 廁 例１ 第１図は本発明による塗布方法によりアライメントアー
ク１及びカラーフィルター２を含む所定パターンが形成
されたガラス基板４上にロールコーターやワイヤーコー
ター等の非塗布領域を有するコーターを用いて感光性顔
料分散液３を塗布した図である．この場合，フォトリソ
グラフィーによってパターン形成を行なうカラーフィル
ター２の領域には感光性顔料分散液３がほぼ均一な膜厚
で塗布されている一方、アライメントアークｌの領域は
、塗布時における非塗布領域となっているためアライメ
ントアークｌ上には感光性顔料分散液の塗膜がない．そ
のために、本カラーフィルター製造工程の露光時におけ
るアライメントの際には、感光性顔料分散液３の透過光
の吸収によりアライメントアークが確認しにくくなると
いった事態をさけることが可能となる． 本発明によるアライメントアークｌ及びカラーフィルタ
ー２を含む所定パターンは，クロム，クロムと酸化クロ
ムの積層膜、酸化インジウム、タンクル等の金属膜ない
しカラーモザイク（商標、フジハントマイクロエレクト
ロニクス■）等の感光性顔料分散液より形成されている
． また、本発明に用いることのできる感光性顔料分散液と
しては，カラーモザイク（商標、フジハントマイクロエ
レクトロニクス■）に代表されるアクリル、ポリイミド
、ポリビニルアルコール等の樹脂に赤、青、緑、黒とい
った顔料を分散させた朗脂があげられる．本発明は、塗
布した樹脂の膜厚によらず実施することができるが、カ
ラーモザイクの場合には０．１〜１ ０ｕｍの範囲で実
施するのが一般的である． また、本発明に用いるロールコーターやワイヤーコータ
ー等の非塗布領域を有するコーターにおける感光性顔料
分散液３の塗布領域と非塗布領域の範囲の設定は、ロー
ルないしワイヤーロールの巾を変えることにより可能と
なる． また、本発明に用いられる基板として本実施例としてガ
ラス基板をあげたが、シリコン等の基板においてら実施
は可能である． 第２図は従来の塗布方法によりアライメントアーク１及
びカラーフィルター２を含む所定パターンが形成された
ガラス基板４上全面にスピンコーターやロールコーター
によって感光性顔料分散液３を塗布した図である．この
場合フォトリソグラフィーによってパターン形成を行な
うカラーフィルクー２の領域同様，アライメントアーク
ｌ上にも感光性顔料分散液３のほぼ均一な膜厚の塗膜が
存在する．この場合，感光性顔料分散液の塗膜は顔料が
可視光の領域に吸収を持つために光の透過率が悪くアラ
イメントアークの確認を困難にする． 〔発明の効果Ｊ 上記のように本発明の感光性顔料分散液の塗布方法によ
れば、所定パターンを有する基板上に感光性顔料分散液
を塗布する工程において、ロールコーターもしくはワイ
ヤーコーター等の非塗布領域を有するコーターを用いて
．前記所定パターンのアライメントアーク部には感光性
顔料分散液を塗布しないため、アライメントアーク部に
も感光性顔料分散液を塗布した際にアライメントアーク
が確認しにくいために生ずるアライメント精度の低下、
アライメント時間の増加、オートアライメントが不可能
となるといった現象をさけることができる．これにより
．本発明の感光性顔料分散液の塗布方法を用いてカラー
フィルターを製造することにより、アライメント精度向
上による歩留向上及び品質向上、サイクルタイムの短縮
による生産性向上、オートアライメントによる合理化が
計られカラーフィルターの製造コストダウンを実現でき
る．
ルター製造において用いられる感光性顔料分数液の所定
パターンを有する基板上への塗布方法に関するものであ
る． 【従来の技術Ｊ 従来の感光性顔料分散液の所定パターンを有する基板上
への塗布は，スピンコーター，ロールコーター、バーコ
ーター等のコーターを用いて前記基板の全面に感光性顔
料分散液を塗布していた．〔発明が解決しようとする課
題Ｊ しかし，所定パターン上全面に感光性顔料分散液を塗布
した場合，その露光時のアライメントにおいて，塗布し
た感光性顔料分散液が顔料を含むために光の透過性が低
く、前記所定パターンのアライメントアークを確認しに
くい．それによってアライメント精度の低下、アライメ
ント時間の増加、及びパターンと非パターン部のコント
ラストが得られずオートアライメントが出来ないといっ
た事態が発生しカラーフィルター製造におけるパターン
ずれによる歩留りの低下やサイクルタイムの増大による
生産性の低下をもたらすとともに，才一トアライメント
による合理化の妨げになり最終的にはカラーフィルター
のコストアップの原因になるという問題点を有す． 本発明は、このような問題点を解決するためのもので、
露光時のアライメントにおいてアライメントアークを確
認しやすい感光性顔料分散液の塗布方法を提供すること
を目的とする． ［課題を解決するための手段１ 本発明の感光性顔料分数液の塗布方法は、所定パターン
を有する基板上に感光性顔料分散液を塗布する際におい
て，ロールコータ一らしくはワイヤーコーター等の非塗
布領域を有するコーターを用いて、前記所定パターンの
アライメントアーク部には感光性ｆｌ＄４分敗液を塗布
しないことを特徴とする． ［実 廁 例１ 第１図は本発明による塗布方法によりアライメントアー
ク１及びカラーフィルター２を含む所定パターンが形成
されたガラス基板４上にロールコーターやワイヤーコー
ター等の非塗布領域を有するコーターを用いて感光性顔
料分散液３を塗布した図である．この場合，フォトリソ
グラフィーによってパターン形成を行なうカラーフィル
ター２の領域には感光性顔料分散液３がほぼ均一な膜厚
で塗布されている一方、アライメントアークｌの領域は
、塗布時における非塗布領域となっているためアライメ
ントアークｌ上には感光性顔料分散液の塗膜がない．そ
のために、本カラーフィルター製造工程の露光時におけ
るアライメントの際には、感光性顔料分散液３の透過光
の吸収によりアライメントアークが確認しにくくなると
いった事態をさけることが可能となる． 本発明によるアライメントアークｌ及びカラーフィルタ
ー２を含む所定パターンは，クロム，クロムと酸化クロ
ムの積層膜、酸化インジウム、タンクル等の金属膜ない
しカラーモザイク（商標、フジハントマイクロエレクト
ロニクス■）等の感光性顔料分散液より形成されている
． また、本発明に用いることのできる感光性顔料分散液と
しては，カラーモザイク（商標、フジハントマイクロエ
レクトロニクス■）に代表されるアクリル、ポリイミド
、ポリビニルアルコール等の樹脂に赤、青、緑、黒とい
った顔料を分散させた朗脂があげられる．本発明は、塗
布した樹脂の膜厚によらず実施することができるが、カ
ラーモザイクの場合には０．１〜１ ０ｕｍの範囲で実
施するのが一般的である． また、本発明に用いるロールコーターやワイヤーコータ
ー等の非塗布領域を有するコーターにおける感光性顔料
分散液３の塗布領域と非塗布領域の範囲の設定は、ロー
ルないしワイヤーロールの巾を変えることにより可能と
なる． また、本発明に用いられる基板として本実施例としてガ
ラス基板をあげたが、シリコン等の基板においてら実施
は可能である． 第２図は従来の塗布方法によりアライメントアーク１及
びカラーフィルター２を含む所定パターンが形成された
ガラス基板４上全面にスピンコーターやロールコーター
によって感光性顔料分散液３を塗布した図である．この
場合フォトリソグラフィーによってパターン形成を行な
うカラーフィルクー２の領域同様，アライメントアーク
ｌ上にも感光性顔料分散液３のほぼ均一な膜厚の塗膜が
存在する．この場合，感光性顔料分散液の塗膜は顔料が
可視光の領域に吸収を持つために光の透過率が悪くアラ
イメントアークの確認を困難にする． 〔発明の効果Ｊ 上記のように本発明の感光性顔料分散液の塗布方法によ
れば、所定パターンを有する基板上に感光性顔料分散液
を塗布する工程において、ロールコーターもしくはワイ
ヤーコーター等の非塗布領域を有するコーターを用いて
．前記所定パターンのアライメントアーク部には感光性
顔料分散液を塗布しないため、アライメントアーク部に
も感光性顔料分散液を塗布した際にアライメントアーク
が確認しにくいために生ずるアライメント精度の低下、
アライメント時間の増加、オートアライメントが不可能
となるといった現象をさけることができる．これにより
．本発明の感光性顔料分散液の塗布方法を用いてカラー
フィルターを製造することにより、アライメント精度向
上による歩留向上及び品質向上、サイクルタイムの短縮
による生産性向上、オートアライメントによる合理化が
計られカラーフィルターの製造コストダウンを実現でき
る．
第１図は、本発明により所定パターンを有する基板上に
感光性顔料分数液を塗布した状態を示す平面図． 第２図は，従来の塗布方法により所定パターンを有する
基板上に感光性顔料分散液を塗布した状態を示す平面図
． １・・・アライメントアーク ２・・・カラーフィルター ３・・・感光性顔料分散液 ４・・・ガラス基板 以 上 第１図 第Ｚ図
感光性顔料分数液を塗布した状態を示す平面図． 第２図は，従来の塗布方法により所定パターンを有する
基板上に感光性顔料分散液を塗布した状態を示す平面図
． １・・・アライメントアーク ２・・・カラーフィルター ３・・・感光性顔料分散液 ４・・・ガラス基板 以 上 第１図 第Ｚ図
Claims (2)
- （１）所定パターンを有する基板上に感光性顔料分散液
を塗布する工程において、前記所定パターンのアライメ
ントアーク部には感光性顔料分散液を塗布しないことを
特徴とする感光性顔料分散液の塗布方法。 - （２）前記感光性顔料分散液をロールコーターもしくは
ワイヤーコーター等の非塗布領域を有するコーターを用
いて塗布することを特徴とする請求項１記載の感光性顔
料分散液の塗布方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1302861A JPH03163403A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 感光性顔料分散液の塗布方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1302861A JPH03163403A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 感光性顔料分散液の塗布方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03163403A true JPH03163403A (ja) | 1991-07-15 |
Family
ID=17913978
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1302861A Pending JPH03163403A (ja) | 1989-11-21 | 1989-11-21 | 感光性顔料分散液の塗布方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03163403A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6136481A (en) * | 1998-01-26 | 2000-10-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter manufacturing method capable of assuring a high alignment accuracy of color filter and alignment mark therefor |
| JP2007004082A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Sharp Corp | 着色層の形成方法、撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法、撮像装置および表示装置 |
-
1989
- 1989-11-21 JP JP1302861A patent/JPH03163403A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6136481A (en) * | 1998-01-26 | 2000-10-24 | Sharp Kabushiki Kaisha | Color filter manufacturing method capable of assuring a high alignment accuracy of color filter and alignment mark therefor |
| JP2007004082A (ja) * | 2005-06-27 | 2007-01-11 | Sharp Corp | 着色層の形成方法、撮像装置の製造方法、表示装置の製造方法、撮像装置および表示装置 |
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