JPH085547Y2 - 縦型拡散装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、半導体製造プロセスで使用される縦型拡散
装置に関する。

〔従来の技術〕

従来、縦型拡散装置は第２図のような構成となってい
る。

第２図中、１は縦型管状ヒータ、２はこの管状ヒータ
１の重量をささえる金属製のヒータベース、３は管状ヒ
ータ１の内側に設けられた石英反応管、４はこの石英反
応管３の重量を保持している金属製の受けフランジで、
ヒータベース２に固定されている。５はウェーハボート
をのせる石英受台、６はこの受台５をのせている受けプ
レート、７は石英製のキャップで、受けプレート６に保
持されたバネ８により反応管３の端面に密着される。９
はエレベータアームで、受台５、受けプレート６、キャ
ップ７、バネ８を保持し、エレベータ駆動部により上下
動する。

このような従来の装置において、受台５に載置したボ
ート上のシリコンウェーハは、反応管３の上方より導入
され、反応管３の下方の排気ボート10より排気される反
応ガスと管状ヒータ１により加熱処理される。反応ガス
は腐食性のガスを使用することがあり、特に受けプレー
ト６は直接、腐食性ガスにさらされてしまう。更に、炉
口部は排気ガスがもれない構造であることが要求されて
いる。

〔考案が解決しようとする課題〕

しかしながら、上記の従来装置においては、反応管３
とキャップ７の接触部および、キャップ７と受けプレー
ト６の隙間より腐食性ガスがもれ、安全性に欠けるばか
りでなく、受けプレート６を含めた周辺の部品を腐食さ
せるという課題がある。

〔課題を解決するための手段〕

本考案装置は上記の課題を解決するため、第１図示の
ように、ウェーハを熱処理するための処理領域を形成す
る石英反応管３と、前記ウェーハを所定の温度まで加熱
する，ヒータベース２に支持されたヒータ１と、前記ウ
ェーハを複数枚保持するウェーハボートと、前記ウェー
ハボートを保持し、受けプレート６により支持される，
前記ボートの石英受台５とを有する縦型拡散装置におい
て、前記反応管３のフランジ部と前記受台５のフランジ
部との間に耐腐食性の弾性気密パッキン11を介在させて
該受台５に保持し、前記反応管３のフランジ部を上側よ
り前記ヒータベース２に固定された押え具14で押さえ、
この押え具14と前記受けプレート６に、それぞれ冷却水
通路12,13を設けることを特徴とするものである。

〔作用〕

エレベータにより耐腐食性の弾性気密パッキン11を保
持した受台5,受けプレート６を上動させ、受台５上のウ
ェーハボートを反応管３内にセットした状態では、パッ
キン11の弾性により反応管３とパッキン11との間及び受
台５とパッキン11との間が密着されるため、腐食性の排
ガスが炉口外部に漏れることはない。

また、パッキン11は押え具14と受けプレート６の冷却
水通路12,13により冷却されるので、正常なシール作用
を維持する役目を果たすことになると共に、冷却水通路
12,13は、既存の部品に設けるだけで済み、別に冷却水
通路を有する冷却部を設ける必要はない。

更に腐食性排ガスが接触する部材、即ち反応管3,受台
５とパッキン11を耐腐食性のパッキンとすることにより
これらが腐食することはない。

〔実施例〕

以下図面に基づいて本考案の実施例を説明する。

第１図は本考案装置の一実施例の構成を示す断面図で
ある。

台１図中、２は縦型管状ヒータ１を支える金属製のヒ
ータベース、３は下部をフランジ状にした石英反応管
で、管状ヒータ１の内側に設けられている。４は反応管
３を保持している金属製の受けフランジで、ヒータベー
ス２に固定されている。５はウェーハボート（図示せ
ず）をのせる石英受台で、下部に耐腐食性のガス漏れ防
止用弾性気密パッキン11を装着できる構造になってい
る。６は受台５を保持している水冷構造の受けプレート
であり、エレベータアーム９に保持されている。14は、
反応管３のフランジ部を受けフランジ４に押えるため
の、水冷構造の押えリングであり、受けフランジ４に固
定されている。

11は反応管３は受台５との間に介在された耐腐食性の
ガス漏れ防止用弾性気密パッキンで、受台５に保持され
ている。12,13はそれぞれ押えリング14と受けプレート
６に設けられた冷却水通路で、当該各通路12,13に冷却
水が流通される。

パッキン11の材質としては、ゴムのような弾力性のあ
るものが必要であり、パッキンの形状は本例では角形で
あるが、角形である必要はなく、円形であってもよい。

上記の構成においてエレベータ（駆動部）によりガス
漏れ防止用弾性気密パッキン11を保持した受台5,受けプ
レート６を上動させ、受台５上のウェーハボートを反応
管３内にセットした第１図示の状態で、反応ガスを反応
管３の上方より導入し、反応管３の下方の排気ボート10
より排気して受台５上のウェーハボートに載置されたウ
ェーハを反応ガスと管状ヒータ１により熱処理すること
になる。

この場合、パッキン11の弾性により反応管３とパッキ
ン11との間及び受台５とパッキン11との間が密着される
ため、腐食性の排ガスが炉口外部に漏れることはない。

また、パッキン11の周辺の温度は非常に高温になる
が、パッキン11は水冷構造の押えリング14と受けプレー
ト６の冷却水通路12,13に流通する冷却水により冷却さ
れるので、正常なシール作用を保持する役目を果たすこ
とになる。

更に腐食性排ガスが接触する部材、即ち反応管3,受台
５とパッキン11を耐腐食性の石英製と耐腐食性のパッキ
ンとすることによりこれらが腐食することはない。

上述のように本実施例によれば、石英反応管３と受台
５との間に介在された耐腐食性のガス漏れ防止用弾性気
密パッキン11を受台５に保持したので、パッキン11の弾
性により反応管３とパッキン11との間及び受台５とパッ
キン11との間が密着されるため、腐食性の排ガスが炉口
外部に漏れることはなく、安全であり周囲の部品を腐食
させるおそれもない。

また水冷構造の押えリング14と受けプレート６の冷却
水通路12,13によりパッキン11を冷却することができる
ので、パッキン11の耐熱性が問題となることはなく、正
常なシール作用を維持することができ、又、冷却水通路
12,13は既存の部品に設けるだけでよく、経済的である
ばかりでなく、腐食性排ガスが接触する部材、即ち反応
管3,受台５とパッキン11を耐腐食性の石英製と耐腐食性
のパッキンとすることによりこれらが腐食することはな
い。

そのため、腐食性ガスが反応管3,受台５及びパッキン
11を腐食して炉口外部に漏洩することはないから、安全
を長期に亘って確保し、受けプレート６を含む周囲の部
品を腐食させることを回避することができる。

〔考案の効果〕

以上の説明より理解されるように本考案によれば、石
英反応管３のフランジ部と、ボートを保持する石英受台
５のフランジ部との間に、耐腐食性の弾性気密パッキン
11を介在したので、腐食性の排ガスが炉口外部に漏れる
ことはなく、安全であり、周囲の部品を腐食させるおそ
れがないばかりでなく、気密パッキン11を冷却水通路1
2,13により冷却するようにしたので、パッキン11の耐久
性が大幅に向上し、シール性を維持することができると
共に、冷却水通路12,13はそれぞれ既存の部品、即ち押
え具14と受けプレート６に設けるだけで済み、別に冷却
水通路を有する冷却部を設ける必要はなく経済的であ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案装置の一実施例の構成を示す断面図、第
２図は従来装置の一例の構成を示す断面図である。 １……縦型管状ヒータ、２……ヒータベース、３……石
英反応管、４……受けフランジ、５……石英受台、６…
…受けプレート、９……エレベータアーム、10……排気
ボート、11……耐腐食性のガス漏れ防止用弾性気密パッ
キン、12……冷却水通路、13……冷却水通路、14……押
えリング（具）。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】ウェーハを熱処理するための処理領域を形
   成する石英反応管と、前記ウェーハを所定の温度まで加
   熱する，ヒータベースに支持されたヒータと、前記ウェ
   ーハを複数枚保持するウェーハボートと、前記ウェーハ
   ボートを保持し、受けプレートにより支持される，前記
   ボートの石英受台とを有する縦型拡散装置において、前
   記反応管のフランジ部と前記受台のフランジ部との間に
   耐腐食性の弾性気密パッキンを介在させて該受台に保持
   し、前記反応管のフランジ部を上側より前記ヒータベー
   スに固定された押え具で押さえ、この押え具と前記受け
   プレートに、それぞれ冷却水通路を設けることを特徴と
   する縦型拡散装置。