JPH071790Y2 - 拡散装置用自動キャップ - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は半導体製造装置に係り、特に拡散装置に用いら
れる反応管の開閉を自動で行うキャップに関する。

〔従来の技術〕

第３図は従来自動キャップを用いた拡散装置の一例を示
す説明図で、１は石英製の反応管、２はこの反応管１の
開放端を自動で開閉するキャップ（石英板）、４は炉
体、５は反応管１内を過熱するヒータ、６は反応管１内
にガスシステムよりガスを導入するガス導入ポート、７
は反応管１の開放端寄りの管壁に設けた排気ポート、８
はスカベンジャ９に設置され、この排気ポートに接続さ
れた排気管、10はクリーンベンチである。

この従来例において反応プロセス中に反応管１のガス導
入ポート６より反応管１内にガスシステムによってHCl
ガスが導入され、このHClガスは反応管１内を開放端側
に向かって流れて行き、排気ポート７より排気管８を経
て排気される。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかしながら上記従来例にあっては、反応管１の開放端
とキャップ２との間には微小ではあるが隙間があり、そ
こからHClガスの一部がもれ出し、スカベンジャ９内
部，クリーンベンチ10及び周辺機器を腐食し、サビが浮
き出てくる。このことにより、塵埃が発生したり、装置
が故障したりして、メンテナンスを頻繁に行ったりしな
ければならず、装置の寿命も短くなるばかりでなく、HC
lガスがもれるとともに反応管１内へ空気が吸い込ま
れ、清浄な生成膜ができなくなる一因となっていた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案自動キャップは上記の問題点を解決するため、第
１図示のように反応管１の開放端と当該開放端を自動で
開閉するキャップ２との間に、Ｏリング３を挿設し、前
記キャップ２の外周は、キャップホルダ13と押えフラン
ジ14で挟み付けて固定し、前記Ｏリング３を保持すると
共に前記キャップ２と反応管１の直接接触を防止するア
ウタリング15を前記押えフランジ14とキャップ２との間
に挿設し、前記キャップ２とキャップホルダ13の直接接
触を防止するクッションを両者間に挿設してなる構成と
したものである。

〔作用〕

本考案自動キャップでは、反応管１の開放端とキャップ
２との間をＯリング３でシールしてあるので、ガスシス
テムより反応管１のガス導入ポート６を経て反応管１内
に導入されたHClガスは反応管１の開放端側に向かって
流れて行き、管壁に設けられた排気ポート７のみから排
気管８を経て排気されることになる。

その結果、スカベンジャ９内部，クリーンベンチ10及び
周辺機器の腐食が防止され、錆の発生がなくなるため、
塵埃の発生，装置の故障を回避でき、メンテナンスが容
易になり、装置の寿命を延長することができる。

また、反応管１の開放端とキャップ２との間に隙間がな
くなるので、反応管１内に空気を吸い込むおそれがない
から、清浄な生成膜を得ることができる。更に又、前記
キャップ２の外周は、キャップホルダ13と押えフランジ
14で挟み付けて固定し、前記Ｏリング３を保持すると共
に前記キャップ２と反応管１の直接接触を防止するアウ
タリング15を前記押えフランジ14とキャップ２との間に
挿設し、前記キャップ２とキャップホルダ13の直接接触
を防止するクッション16を両者間に挿設したので、Ｏリ
ング３を保持してその機能、即ち塵埃の発生，装置の故
障を回避すること、メンテナンスを容易にすること、装
置の寿命を延長すること及び清浄な生成膜を得ることを
長期に亘って充分に発揮させることができると共に、キ
ャップ２と反応管１の破損を防止できる。

〔実施例〕

以下図面に基づいて本考案の実施例を説明する。

第１図は本考案自動キャップを用いた拡散装置の一例を
示す説明図である。

この実施例においては、石英製の反応管１の開放端とキ
ャップ（石英板）２との間にＯリング３を挿設し、反応
管１の開放端部外周に水冷ジャケット11を設けてなる。

本実施例では、反応管１の開放端とキャップ２との間を
Ｏリング３でシールしてあるので、ガスシステムより反
応管１のガス導入ポート６を経て反応管１内に導入され
たHClガスは反応管１の開放端側に向かって流れて行
き、管壁に設けられた排気ポート７のみから排気管８を
経て排気されることになる。

その結果、スカベンジャ９内部，クリーンベンチ10及び
周辺機器の腐食が防止され、錆の発生がなくなるため、
塵埃の発生，装置の故障を回避でき、メンテナンスが容
易になり、装置の寿命を延長することができる。

また、反応管１の開放端とキャップ２との間に隙間がな
くなるので、反応管１内に空気を吸い込むおそれがない
から、清浄な生成膜を得ることができる。

更に反応管１の開放端部を水冷ジャケット11に水を流入
して水冷できるので、Ｏリング３が熱のため変質しシー
ル機能を失うおそれがない。

第２図は本考案自動ドアの詳細説明用断面図である。

更に第２図示のようにキャップ２を中空構造とし、その
内部に石英ウール12を充填させると、輻射熱を防止でき
るので好ましい。13はステンレス製のキャップ（石英
板）ホルダ、14は押えフランジで、この両者13,14によ
りキャップ２の外周を挟み付けて固定している。

15は押えフランジ14とキャップ２との間に挿設されたテ
フロン製のアウタリングで、Ｏリング３を保持すると共
にキャップ２と反応管１の直接接触による破損を防止す
る役目を果たす。

16はキャップ２とキャップホルダ13との間に挿設したテ
フロン製のクッションで、キャップ２とキャップホルダ
13が直接接触しないようにし、キャップ２の破損を防止
する役目を果たす。

17はキャップホルダ13の中心部を支えるサポート軸、18
は球面軸受、19は抜け止めワッシャ、20は押えネジ、21
は軸受ホルダで、球面軸受18を保持し、アーム22に固定
されている。23はバネガイド、24はバネ、25は軸受押え
である。

26はシャフトで、27はこのシャフト26の回転トルクをア
ーム22に伝達するためのアーム取付部、28はキーであ
る。

シャフト26を中心にアーム22を回転すると、その回転方
向によってキャップ２を開閉することができる。

キャップホルダ13の中心部を支えるサポート軸17を球面
軸受18を用いて支承しているためと，アーム22に固定さ
れ，球面軸受18を保持した軸受ホルダ21のバネ受け部と
バネガイド23とバネ24を嵌め込んでいるために、Ｏリン
グ３と反応管１の面のあたりを緩和して良くすると共に
キャップ２が閉まる時の衝撃をＯリング３で吸収する
が、バネ24によっても衝撃を吸収することができ、一
層、衝撃を小さくできる。

更に、アーム22が閉方向に回転すると、回転トルクが球
面軸受18とサポート軸17でＯリング３をつぶす推力に変
換される。この回転トルクとそれにみあうシャフト26の
径を選定すれば、Ｏリング３は、HClガスのもれと空気
の吸込を防ぐのに充分なだけつぶされることになる。

〔考案の効果〕

上述のように本考案によれば、反応管１の開放端とキャ
ップ２との間をＯリング３でシールしてあるので、HCl
ガスが漏れなくなり、スカベンジャ9,クリーンベンチ10
及び周辺機器が腐食がされず、腐食による塵埃の発生や
装置の故障を防ぐことができ、メンテナンスが容易にな
り、装置の寿命を延長することができる。

また、反応管１の開放端とキャップ２との間がＯリング
３でシールされているので、反応管１内に空気を吸い込
むおそれがないため、清浄な生成膜を得ることができ
る。更に又、前記キャップ２外周は、キャップホルダ13
と押えフランジ14で挟み付けて固定し、前記Ｏリング３
を保持すると共に前記キャップ２と反応管１の直接接触
を防止するアウタリング15を前記押えフランジ14とキャ
ップ２との間に挿設し、前記キャップ２とキャップホル
ダ13の直接接触を防止するクッション16を両者間に挿設
したので、Ｏリング３を保持してその機能、即ち塵埃の
発生，装置の故障を回避すること、メンテナンスを容易
にすること、装置の寿命を延長すること及び清浄な生成
膜を得ることを長期に亘って充分に発揮させることがで
きると共に、キャップ２と反応管１の破損を防止でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案自動キャップを用いた拡散装置の一例を
示す説明図、第２図は本考案自動ドアの詳細説明用断面
図、第３図は従来自動キャップを用いた拡散装置の一例
を示す説明図である。 １……反応管、２……キャップ、３……Ｏリング、13…
…キャップホルダ、14……押えフランジ、15……アウタ
リング、16……クッション。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】反応管の開放端と当該開放端を自動で開閉
   するキャップとの間に、Ｏリングを挿設し、前記キャッ
   プの外周は、キャップホルダと押えフランジで挟み付け
   て固定し、前記Ｏリングを保持すると共に前記キャップ
   と反応管の直接接触を防止するアウタリングを前記押え
   フランジとキャップとの間に挿設し、前記キャップとキ
   ャップホルダの直接接触を防止するクッションを両者間
   に挿設してなる拡散装置用自動キャップ。