JPH085983A - 液晶表示装置およびその製造方法 - Google Patents
液晶表示装置およびその製造方法Info
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Abstract
低減し、スループットを向上させることができる液晶表
示装置およびその製造方法を提供する。 【構成】 一対の基板間隙に高分子相15と液晶相16
とを含む表示媒体が狭持されている。絵素部内では液晶
分子が放射状、同心円状または渦巻状に配列した少なく
とも1個のドメインが形成されている。また、黒色フィ
ラーを含む高分子相15はTFT13上を含む絵素部以
外の領域に形成され、遮光膜として機能する。
Description
基板の間に表示媒体が挟持され、絵素部がマトリクス状
に配された液晶表示装置およびその製造方法に関する。
モードを利用したものが存在し、例えば電気光学効果を
利用した液晶表示素子としては、ネマティック液晶を用
いたツイスティッドネマティック(TN)モードやスー
パーツイスティッドネマティック(STN)モードの液
晶表示装置が実用化されている。また、強誘電性液晶
(FLC)モードを用いた液晶表示装置も提案されてい
る。これら従来の表示モードの液晶表示装置は偏光板を
必要とするので光の利用効率が低く、配向処理を必要と
するので製造工程が繁雑になる。
表示モードの液晶表示装置においては、視角特性が悪い
ことが問題となっている。例えば、TNモードでは、電
圧無印加時に液晶分子の初期配向が一対の基板間で90
°捩れ、かつ、液晶分子の長軸方向が一方の基板側に或
る角度(プレチルト角)で立ち上がった構造となってい
る。また、電圧印加時には、同一方向に液晶分子が立ち
上がっていくように配向処理が行われている。このた
め、中間調において液晶分子が立ち上がる場合、同一方
向に液晶分子が傾くので、液晶分子を見る方向によって
見かけ上の屈折率が異なる。このため、見る方向によっ
てコントラストが大きく異なり、極端な場合には反転現
象等の表示異常が発生する。
クティブマトリクス駆動型液晶表示装置においては、一
方の基板上に、液晶に電圧を印加するための画素電極が
複数形成され、各画素電極を選択駆動するスイッチング
素子として薄膜トランジスタ等の非線形素子が形成され
る。このような非線形素子は、光照射に対する特性依存
性および特性劣化が大きいので、通常、非線形素子上に
樹脂遮光膜を形成して非線形素子に対する遮光を行って
いる。このようなTFT−LCD上の樹脂遮光膜につい
ては、SID’92DIGEST pp789〜782
に報告されているが、形成方法については記載されてい
ない。一般に、このような樹脂遮光膜はスピンコート法
で形成されるので材料費や装置費用が高く、またスルー
プットが低いという問題があった。
解決すべくなされたものであり、視角特性を改善できる
と共に、製造コストを低減し、スループットを向上させ
ることができる液晶表示装置およびその製造方法を提供
することを目的とする。
は、各々電極が形成された一対の基板が互いに該電極を
内側にして対向配置され、該一対の基板の間に表示媒体
が狭持されていると共にマトリクス状に存在する電極対
向部が絵素部となっている液晶表示装置において、該表
示媒体が該絵素部に主として液晶相を有し、かつ、該絵
素部以外の部分に高分子相を有し、該絵素部内には液晶
分子が放射状、同心円状または渦巻状に配列した少なく
とも1個のドメインが形成され、該高分子相には黒色フ
ィラーが分散されているので、そのことにより上記目的
が達成される。
ち、一方の基板上に絵素を選択的に駆動するための薄膜
トランジスタ素子が形成され、前記黒色フィラーが分散
された高分子相が薄膜トランジスタ素子上に形成されて
遮光膜としても機能している。
電極が形成された一対の基板が互いに該電極を内側にし
て対向配置され、該一対の基板の間に表示媒体が狭持さ
れていると共にマトリクス状に存在する電極対向部が絵
素部となっている液晶表示装置の製造方法において、該
一対の基板の間に、光重合性樹脂または感光性樹脂中に
少なくとも黒色フィラーを混入した材料と液晶化合物と
の混合物を注入する工程と、該混合物に、マスクを介し
て光エネルギーを照射し、光重合により液晶相と高分子
相とを相分離させて、該絵素部内に液晶分子が放射状、
同心円状または渦巻状に配列した少なくとも1個のドメ
インを有する表示媒体を得る工程とを含むので、そのこ
とにより上記目的が達成される。
なくとも一方が透明な基板からなり、この透明基板の上
に形成された電極が紫外線透過率の低い材料からなる構
成とすることができる。また、ある実施態様では、一対
の基板の少なくとも一方が透明な基板からなり、この透
明基板の上に紫外線吸収剤を含むカラーフィルターが形
成されている構成とすることができる。
形成された少なくとも一方が透明な一対の絶縁性基板の
間隙に高分子相と液晶相とを含む表示媒体が狭持されて
いる。絵素部内では、図6に示すように液晶分子が高分
子相の壁方向に向いた放射状、同心円状または渦巻状に
配列した少なくとも1個のドメインを形成している。図
6(a)は液晶分子の配列が放射状の場合を示し、
(b)は同心円状を、(c)は渦巻状を示す。このよう
な液晶分子の配列は、例えば一例として、配向膜に球晶
を形成することにより得ることが可能である。
分子が放射状、同心円上または渦巻状に立ち上がる。こ
のため、各方向からの見かけ上の屈折率がほぼ同じ状態
になって、視角特性の改善に大きな効果がある。
されており、この黒色フィラーを含む高分子相は遮光膜
として機能することとなる。
脂または感光性樹脂のモノマーまたはオリゴマー中に黒
色フィラーを混入した材料と液晶化合物との混合物を一
対の基板の間隙に注入し、その混合物に光エネルギーを
照射すると光重合により液晶相と高分子相とが相分離す
る。この時、上述したように球晶の形成された配向膜等
の作用により、液晶分子の配列が放射状、同心円上また
は渦巻状となったドメインが形成されることになる。上
記混合物中には、光開始材等の重合開始剤を含んでいて
もよい。
射すると、被照射部分に高分子相が形成され、他の部分
が液晶相となる。よって、マスクの形成位置によって
は、黒色フィラーが分散された高分子相を薄膜トランジ
スタ素子上に形成して遮光膜として用いることができ
る。
で、この基板裏面にマスクをセットしてもよいが、透明
な一方の基板上に形成されるカラーフィルターを紫外線
吸収剤を含む材料から形成すると、この基板側から光エ
ネルギーを照射する場合にこれをマスクとして用いるこ
とができる。よって、セルフアラインメントで相分離を
行うことができ、位置合わせ精度の高い液晶表示装置と
することができる。また、一方の基板上に形成される電
極を紫外線透過率の低い材料から作製すると、これをマ
スクとして用いることができる上に、露光時に問題とな
るカラーフィルターの褪色を防ぐこともできる。
残ることも考えられるが、この黒色フィラーは、感光性
樹脂に均一に分散されており、感光性樹脂との密着性が
高まっているため、不純物として液晶に溶出することは
なく、また、高抵抗であるので表示に際して問題はな
い。
ながら説明する。
装置を示す断面図である。この液晶表示装置は、ガラス
板等からなる一対の基板1、10が対向配設され、その
間隙に高分子相15と液晶相16とを有する表示媒体が
設けられている。一方(下側)の基板1の表示媒体側表
面には絵素電極9が形成され、他方の基板10の表示媒
体側表面には対向電極12が形成されて、両電極9、1
2が対向する部分が絵素部となっている。TFT13形
成領域を含む絵素部以外の領域には、主として高分子相
15が形成され、この高分子相15には黒色フィラーが
分散されている。また、絵素部には主として液晶相16
が形成され、例えば図6(a)に示すように、液晶分子
が高分子相15の壁方向に向いた放射状や、同心円状ま
たは渦巻状に配列されたドメインが形成されている。
造される。
て説明する。絶縁性表面を有する基板1上に、p−Si
膜等の半導体膜を減圧化学気相成長法(LPCVD)等
により25nm〜200nm、好ましくは70〜100
nm程度の厚みに堆積させてパターニングし、半導体層
2を形成する。
VD法等により200〜500nm、好ましくは200
nm程度の厚みに堆積させてパターニングし、ゲート絶
縁膜3を形成する。その上に、金属膜をスパッタリング
法等により200〜400nm程度の厚みに堆積させて
ゲート電極4を形成する。
に、リン等のV族元素またはその化合物やボロン等のI
II族元素またはその化合物の不純物を加速電圧50〜
100keV程度でイオン注入してコンタクト層5を形
成する。
等をプラズマCVD法等により300〜500nm程度
の厚みに堆積させ、所定の箇所をエッチングしてコンタ
クトホールを開口し、層間絶縁膜6を形成する。
法等により200〜700nm程度の厚みに堆積させて
ソース電極7およびドレイン電極8を形成する。さら
に、インジウム錫酸化膜(ITO)等の透明導電膜をス
パッタリング法等により50〜100nm程度の厚みに
堆積させて絵素電極9を形成してTFT13を完成させ
る。
する。まず、絶縁性表面を有する基板10上に、印刷
法、電着法またはスピンコーター等により顔料分散型カ
ラーフィルター11を形成して所定の形状にパターニン
グする。その上にITO等の透明導電膜をスパッタリン
グ法等により50〜100nm程度の厚みに堆積させて
対向電極12を形成する。
板の絵素電極9上と、対向側基板のカラーフィルター1
1上とに、配向膜(図示せず)を形成する。この配向膜
には、例えばナイロン6.6を配向膜として塗布し、焼
成を行って溶剤を除去し、その後除去することで球晶を
形成する。その後、対向基板上に4.5μmのプラスチ
ックビーズを散布し、両基板をシール樹脂を用いて貼り
合わせて図2(a)に示すような液晶セルを作製する。
る。まず、光重合性樹脂または感光性樹脂中に少なくと
も黒色フィラーを混入した材料と液晶化合物との混合物
を、上記一対の基板の間隙に注入し、混合物にマスクを
介して光エネルギーを照射する。これにより、光重合性
樹脂または感光性樹脂が光重合すると共に、重合により
得られる高分子化合物と液晶化合物とが相分離し、光照
射部に高分子相15が形成され、非照射部に液晶相16
が形成される。このとき、配向膜に球晶が形成されてい
るので、その球晶に基づいて液晶相中の液晶分子が放射
状となったドメインが1つ液晶相16に形成される。
(日本化薬製)、スチレン、イソボルニルメタクリレー
ト等のモノマーまたはオリゴマーを用いることができ
る。また、感光性樹脂としては、ネガ型あるいはポジ型
のものを使用できる。
ク、またはチタンブラック、アニリンブラック、酸化
鉄、酸化マンガン、硫化ビスマス等の顔料等を用いるこ
とができる。
状態を示す材料であればいずれも用いることができ、従
来のTNモード、STNモード、ECBモード、強誘電
性液晶表示モード、光散乱モード等に用いられる液晶材
料のいずれも用いることができる。例えば、カイラル剤
(S−811)を0.4重量%含有したZLI−479
2(メルク社製)等が挙げられる。
させた光硬化性樹脂または感光性樹脂、および液晶材料
の他に光開始剤等を含んでもよい。光開始剤としては、
例えばIrgacure651(チバガイギー製)等を
用いることができる。
れたカラーフィルター11や対向電極12を利用するこ
ともできる。
体を形成した。
間隙に、図2(b)に示すように、光硬化性樹脂として
R−684(日本化薬製)0.1g中にカーボンブラッ
クまたは顔料等からなる黒色フィラーを35〜45wt
%分散させたものと、スチレン0.05gとイソボルニ
ルメタクリレート0.85gとを、液晶材料としてカイ
ラル剤(S−811)を0.4重量%含有したZLI−
4792(メルク社製)4gを、また、光開始剤として
Irgacure651(チバガイギー製)0.002
5gを混合した混合物14を透明状態(約35℃)で注
入する。
素電極9に光が当たらないような遮光性を有するマスク
17をセットする。その後、同じ温度を保ちながら、平
行光線が得られる高圧水銀ランプを用いて照射強度が1
0mW/cm2の位置で、対向基板側から1秒照射−3
0秒無照射のサイクルを20回繰り返し、次いで10分
間照射する。これにより光硬化性樹脂が光重合されて、
図2(c)に示すように、黒色フィラーが分散された高
分子相15と液晶相16とに相分離される。
ころ、絵素電極9のドットパターンと同じ規則性(絵素
と同じ規則性)を有する液晶ドメイン16と、TFT1
3上を含むラインパターンの高分子相15(遮光層)が
確認された。また、液晶ドメイン16において、液晶分
子の配列は放射状となっていた。
脂としてネガ型感光性樹脂を用いて表示媒体を作製し
た。
図3(a)に示すように貼り合わせ、図3(b)に示す
ように、基板間隙に、ネガ型感光性樹脂としてのOMR
−83(東京応化製)0.1g中にカーボンブラックま
たは顔料等からなる黒色フィラーを35〜45wt%分
散させたものと、スチレン0.05gとイソボルニルメ
タクリレート0.85gとを、液晶材料としてカイラル
剤(S−811)を0.4重量%含有したZLI−47
92(メルク社製)4gを、また、光開始剤としてIr
gacure651(チバガイギー製)0.0025g
を混合した混合物24を透明状態(約35℃)で注入す
る。
素電極9に光が当たらないような遮光性を有するマスク
27をセットする。その後、同じ温度を保ちながら、平
行光線が得られる高圧水銀ランプを用いて照射強度が1
0mW/cm2の位置で、対向基板側から1秒照射−3
0秒無照射のサイクルを20回繰り返し、次いで10分
間照射する。これにより光硬化性樹脂が光重合されて、
図3(c)に示すように、黒色フィラーが分散された高
分子相25と液晶相26とに相分離される。
ころ、絵素電極9のドットパターンと同じ規則性(絵素
と同じ規則性)を有する液晶ドメイン26と、TFT1
3上を含むラインパターンの高分子相25(遮光層)が
確認された。また、液晶ドメイン26において、液晶分
子の配列は高分子相25の壁方向に向いた放射状となっ
ていた。
にマスクを形成する代わりに、対向基板上のカラーフィ
ルターに紫外線吸収剤を混入させ、これをマスクとして
紫外線照射を行った。
線吸収剤を混入させる以外は、実施例1と同様の手順で
TFT形成側基板と対向側基板とを作製する。
と、対向側基板のカラーフィルター上とに、前述の配向
膜(図示せず)を形成する。その後、対向基板上に4.
5μmのプラスチックビーズを散布し、両基板をシール
樹脂を用いて貼り合わせて図4(a)に示すような液晶
セルを作製する。
に、光硬化性樹脂としてR−684(日本化薬製)0.
1g中にカーボンブラックまたは顔料等からなる黒色フ
ィラーを35〜45wt%分散させたものと、スチレン
0.05gとイソボルニルメタクリレート0.85gと
を、液晶材料としてカイラル剤(S−811)を0.4
重量%含有したZLI−4792(メルク社製)4g
を、また、光開始剤としてIrgacure651(チ
バガイギー製)0.0025gを混合した混合物34を
透明状態(約35℃)で注入する。
が得られる高圧水銀ランプを用いて照射強度が10mW
/cm2の位置で、対向基板側から1秒照射−30秒無
照射のサイクルを20回繰り返し、次いで10分間照射
する。この時、紫外線吸収剤が混入されたカラーフィル
ター31がマスクとして機能し、光硬化性樹脂が光重合
されて、図4(c)に示すように、黒色フィラーが分散
された高分子相35と液晶相36とに相分離される。
ころ、絵素電極9のドットパターンと同じ規則性(絵素
と同じ規則性)を有する液晶ドメイン36と、TFT1
3上を含むラインパターンの高分子相35(遮光層)が
確認された。また、液晶ドメイン36において、液晶分
子の配列は高分子相35の壁方向に向いた放射状となっ
ていた。
にマスクを形成する代わりに、ZnO等の紫外線透過率
の低い材料を用いて対向電極42を形成し、これをマス
クとして紫外線照射を行った。
成側基板上に印刷法、電着法またはスピンコーター等に
より顔料分散型カラーフィルター41を形成し、所定の
形状にパターニングする。
酸化亜鉛(ZnO)を用いる以外は実施例1と同様の手
順で対向側基板を作製する。この対向電極42の紫外線
透過率は、5%以下とすることができる。
と、対向側基板の対向電極42上とに、前述の配向膜
(図示せず)を形成する。
チックビーズを散布し、両基板をシール樹脂を用いて貼
り合わせて図5(a)に示すような液晶セルを作製す
る。
に、光硬化性樹脂としてR−684(日本化薬製)0.
1g中にカーボンブラックまたは顔料等からなる黒色フ
ィラーを35〜45wt%分散させたものと、スチレン
0.05gとイソボルニルメタクリレート0.85gと
を、液晶材料としてカイラル剤(S−811)を0.4
重量%含有したZLI−4792(メルク社製)4g
を、また、光開始剤としてIrgacure651(チ
バガイギー製)0.0025gを混合した混合物44を
透明状態(約35℃)で注入する。
が得られる高圧水銀ランプを用いて照射強度が10mW
/cm2の位置で、対向基板側から1秒照射−30秒無
照射のサイクルを20回繰り返し、次いで10分間照射
する。この時、紫外線透過率が5%以下と低い対向電極
42がマスクとして機能し、光硬化性樹脂が光重合され
て、図5(c)に示すように、黒色フィラーが分散され
た高分子相45と液晶相46とに相分離される。
ころ、絵素電極9のドットパターンと同じ規則性(絵素
と同じ規則性)を有する液晶ドメイン46と、TFT1
3上を含むラインパターンの高分子相45(遮光層)が
確認された。また、液晶ドメイン46において、液晶分
子の配列は高分子相45の壁方向に向いた放射状となっ
ていた。
が、本発明はこれに限られず種々の変更が可能である。
とにより液晶分子の配列を放射状としているが、本発明
はこれに限らず、同様に配向膜に球晶を形成して液晶分
子の配列を同心円状や渦巻状にしてもよい。また、配向
膜に球晶を形成することに代えて、他の方式により液晶
分子の配列を放射状、同心円状または渦巻状にできる総
ての方式を採用できる。例えば、上述の液晶分子の配列
と同様の配列に凹凸を配向膜に形成する方式や、配向膜
の絵素部中央部に対応する位置に山状突起を形成する方
式などが採用できる。また、配向膜の下地膜に同様のも
のを形成してその形状を配向膜に伝え、結果として配向
膜に所望の形状を作製する方式を採用できることはもち
ろんである。
インを形成するようにしているが、本発明はこれに限ら
ず、各絵素部に、液晶分子の配列が放射状、同心円状ま
たは渦巻状となったドメインを2以上有するような構成
としてもよいことはもちろんである。
ティブマトリクス駆動により表示が行われる液晶表示装
置について説明したが、本発明はこれに限らず、MIM
(Metal Insulator Metal)等を用
いたアクティブマトリクス駆動により表示が行われる液
晶表示装置、または単純マトリクス駆動の液晶表示装置
などにも適用できる。
TNモード、ECBモード、強誘電性液晶表示モード、
光散乱モード等の液晶表示装置に用いられる液晶材料の
いずれでも用いることができ、偏光板を形成した構成も
可能である。さらに、透過型液晶表示装置および反射型
液晶表示装置のいずれにも適用することができる。
一方が透明で、絶縁表面を有する基板であればいずれも
用いることができ、ガラス基板の他にプラスチックフィ
ルム基板等を使用してもよく、基板上に絶縁膜が形成さ
れたものであってもよい。
においては液晶分子が絵素部内で放射状、同心円状また
は渦巻状に配列しているので、従来の液晶表示装置にお
いて問題となっていた視角方向によるコントラストの変
化や反転現象などの表示異常が生じず、視角特性を改善
させることができる。偏光板を設ける必要が無いので光
の利用効率を高めることができ、配向膜の配向処理を行
う必要が無いので製造工程を簡便にすることができる。
相とを相分離させているので、遮光膜の形成コストを低
減し、スループットを向上させることができる。また、
マスクを介して光エネルギーを照射することにより、絵
素電極上に液晶ドメインを形成し、TFT上に遮光膜を
形成することができる。
図である。
図である。
図である。
図である。
である。
Claims (3)
- 【請求項1】 各々電極が形成された一対の基板が互い
に該電極を内側にして対向配置され、該一対の基板の間
に表示媒体が狭持されていると共にマトリクス状に存在
する電極対向部が絵素部となっている液晶表示装置にお
いて、 該表示媒体が該絵素部に主として液晶相を有し、かつ、
該絵素部以外の部分に高分子相を有し、該絵素部内には
液晶分子が放射状、同心円状または渦巻状に配列した少
なくとも1個のドメインが形成され、該高分子相には黒
色フィラーが分散されている液晶表示装置。 - 【請求項2】 前記一対の基板のうち、一方の基板上に
絵素を選択的に駆動するための薄膜トランジスタ素子が
形成され、前記黒色フィラーが分散された高分子相が薄
膜トランジスタ素子上に形成されて遮光膜としても機能
している請求項1に記載の液晶表示装置。 - 【請求項3】 各々電極が形成された一対の基板が互い
に該電極を内側にして対向配置され、該一対の基板の間
に表示媒体が狭持されていると共にマトリクス状に存在
する電極対向部が絵素部となっている液晶表示装置の製
造方法において、 該一対の基板の間に、光重合性樹脂または感光性樹脂中
に少なくとも黒色フィラーを混入した材料と液晶化合物
との混合物を注入する工程と、 該混合物に、マスクを介して光エネルギーを照射し、光
重合により液晶相と高分子相とを相分離させて、該絵素
部内に液晶分子が放射状、同心円状または渦巻状に配列
した少なくとも1個のドメインを有する表示媒体を得る
工程とを含む液晶表示装置の製造方法。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06137419A JP3077960B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 液晶表示装置の製造方法 |
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| JP06137419A JP3077960B2 (ja) | 1994-06-20 | 1994-06-20 | 液晶表示装置の製造方法 |
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