JPH0870030A - 真空ピンセット - Google Patents
真空ピンセットInfo
- Publication number
- JPH0870030A JPH0870030A JP20395094A JP20395094A JPH0870030A JP H0870030 A JPH0870030 A JP H0870030A JP 20395094 A JP20395094 A JP 20395094A JP 20395094 A JP20395094 A JP 20395094A JP H0870030 A JPH0870030 A JP H0870030A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grip
- pipe
- vacuum tweezers
- present
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Gripping Jigs, Holding Jigs, And Positioning Jigs (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 シェイクハンド式でグリップを握っても大口
径の半導体ウエハなど偏平基板を確実かつ安定して吸
着、保持することができる真空ピンセットを得ることを
目的とする。 【構成】 この発明の真空ピンセット１０では、従来の
真空ピンセット１と同様に、グリップ２とこの一端部に
接続されたパイプ３とこのパイプ３の他端に設けた吸着
部４と前記グリップ２の他端に接続され、そして前記パ
イプ３と接続されているホース５と前記グリップ２に設
けられたシャッターボタン６とから構成されていて、前
記パイプ３の先端部に折り曲げ部３Ａを形成した。第２
の実施例では折り曲げ部３Ｂをベローズ構造で構成して
いる。
径の半導体ウエハなど偏平基板を確実かつ安定して吸
着、保持することができる真空ピンセットを得ることを
目的とする。 【構成】 この発明の真空ピンセット１０では、従来の
真空ピンセット１と同様に、グリップ２とこの一端部に
接続されたパイプ３とこのパイプ３の他端に設けた吸着
部４と前記グリップ２の他端に接続され、そして前記パ
イプ３と接続されているホース５と前記グリップ２に設
けられたシャッターボタン６とから構成されていて、前
記パイプ３の先端部に折り曲げ部３Ａを形成した。第２
の実施例では折り曲げ部３Ｂをベローズ構造で構成して
いる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、特に大口径の半導体
ウエハ、ブランクス、ＬＣＤ用基板などのような大型の
偏平基板を吸着する場合に好適な真空ピンセットに関す
るものである。なお、以下の説明では偏平基板の例とし
て半導体ウエハを例に挙げて説明する。
ウエハ、ブランクス、ＬＣＤ用基板などのような大型の
偏平基板を吸着する場合に好適な真空ピンセットに関す
るものである。なお、以下の説明では偏平基板の例とし
て半導体ウエハを例に挙げて説明する。
【０００２】
【従来の技術】先ず、従来技術の真空ピンセットを図３
を用いて説明する。図３は従来技術の真空ピンセットの
側面図である。この真空ピンセット１は、グリップ２と
この一端部に接続された直線状のパイプ３とこのパイプ
３の他端に設けた吸着部４と前記グリップ２の他端に接
続され、そして前記パイプ３と接続されているホース５
と前記グリップ２に設けられたシャッターボタン６とか
ら構成されている。
を用いて説明する。図３は従来技術の真空ピンセットの
側面図である。この真空ピンセット１は、グリップ２と
この一端部に接続された直線状のパイプ３とこのパイプ
３の他端に設けた吸着部４と前記グリップ２の他端に接
続され、そして前記パイプ３と接続されているホース５
と前記グリップ２に設けられたシャッターボタン６とか
ら構成されている。
【０００３】このような構成の真空ピンセット１を用い
て半導体ウエハ（図示していない）を吸着する場合に
は、先ず、ホース５の他端を真空ポンプ（図示していな
い）に接続した後、グリップ２を握り、シャッターボタ
ン６を押して吸着部４から吸気を吸い込ませながら、そ
の吸着部４を半導体ウエハの表面に接近させて吸着し、
保持する。
て半導体ウエハ（図示していない）を吸着する場合に
は、先ず、ホース５の他端を真空ポンプ（図示していな
い）に接続した後、グリップ２を握り、シャッターボタ
ン６を押して吸着部４から吸気を吸い込ませながら、そ
の吸着部４を半導体ウエハの表面に接近させて吸着し、
保持する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】半導体ウエハが比較的
小口径のものである場合には、真空ピンセット１のグリ
ップ２の握り方はペンホルダ式で十分であった。ところ
が、大口径となり重量が重い半導体ウエハを取り扱う場
合、グリップ２をペンホルダ式に握ると、半導体ウエハ
を確実に保持することが難しく、どちらかといえばシェ
イクハンド式で握った方がよい。しかし、パイプ３が直
線的であると、グリップ２をシェイクハンド式で握った
場合に、真空ピンセット１の吸着部４を思うように半導
体ウエハの表面に近づけにくく、吸着操作がしずらい。
この発明の真空ピンセットはこのような問題点を解決す
ることを課題とするものである。
小口径のものである場合には、真空ピンセット１のグリ
ップ２の握り方はペンホルダ式で十分であった。ところ
が、大口径となり重量が重い半導体ウエハを取り扱う場
合、グリップ２をペンホルダ式に握ると、半導体ウエハ
を確実に保持することが難しく、どちらかといえばシェ
イクハンド式で握った方がよい。しかし、パイプ３が直
線的であると、グリップ２をシェイクハンド式で握った
場合に、真空ピンセット１の吸着部４を思うように半導
体ウエハの表面に近づけにくく、吸着操作がしずらい。
この発明の真空ピンセットはこのような問題点を解決す
ることを課題とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】従って、この発明の真空
ピンセットは、グリップとこの一端部に接続されたパイ
プとこのパイプの他端に設けた吸着部と前記グリップの
他端に接続され、そして前記パイプと接続されているホ
ースと前記グリップに設けられたシャッターボタンとか
ら構成された真空ピンセットにおいて、前記パイプに屈
曲部を形成して、前記課題を解決している。
ピンセットは、グリップとこの一端部に接続されたパイ
プとこのパイプの他端に設けた吸着部と前記グリップの
他端に接続され、そして前記パイプと接続されているホ
ースと前記グリップに設けられたシャッターボタンとか
ら構成された真空ピンセットにおいて、前記パイプに屈
曲部を形成して、前記課題を解決している。
【０００６】
【作用】従って、この発明の真空ピンセットは、シェイ
クハンド式でグリップを握っても操作がし易くなり、半
導体ウエハを確実に吸着、保持できる。
クハンド式でグリップを握っても操作がし易くなり、半
導体ウエハを確実に吸着、保持できる。
【０００７】
【実施例】次に、図１及び図２を用いて、この発明の真
空ピンセットを説明する。図１はこの発明の第１の実施
例である真空ピンセットの側面図であり、図２はこの発
明の第２の実施例である真空ピンセットの側面図であ
る。先ず、図１を用いて、この発明の第１の実施例であ
る真空ピンセット１０を説明する。この発明の真空ピン
セット１０は、掌で握りしめられる大きさで、断面が楕
円形状に形成して握り易くしたグリップ２Ａとこの一端
部に接続されたパイプ３とこのパイプ３の他端に設けた
吸着部４と前記グリップ２Ａの他端に接続され、そして
前記パイプ３と接続されているホース５と前記グリップ
２Ａに設けられたシャッターボタン６とから構成されて
いる。この発明の真空ピンセット１０においては、前記
パイプ３の先端部を折り曲げて屈曲部３Ａを形成した。
空ピンセットを説明する。図１はこの発明の第１の実施
例である真空ピンセットの側面図であり、図２はこの発
明の第２の実施例である真空ピンセットの側面図であ
る。先ず、図１を用いて、この発明の第１の実施例であ
る真空ピンセット１０を説明する。この発明の真空ピン
セット１０は、掌で握りしめられる大きさで、断面が楕
円形状に形成して握り易くしたグリップ２Ａとこの一端
部に接続されたパイプ３とこのパイプ３の他端に設けた
吸着部４と前記グリップ２Ａの他端に接続され、そして
前記パイプ３と接続されているホース５と前記グリップ
２Ａに設けられたシャッターボタン６とから構成されて
いる。この発明の真空ピンセット１０においては、前記
パイプ３の先端部を折り曲げて屈曲部３Ａを形成した。
【０００８】図２に示した第２の実施例である真空ピン
セット２０においては、パイプ３の少なくとも先端部の
一部分をプラスチックなどで蛇腹を構成し、その部分を
屈曲部３Ｂとした。このように屈曲部３Ｂをベローズ構
造にすると、パイプ３の先端部を伸縮自在とすることが
でき、更に吸着部４の角度を所望の角度に可変すること
ができ、口径の大小にかかわらず半導体ウエハや半導体
ウエハの収納状態に対応することができる。
セット２０においては、パイプ３の少なくとも先端部の
一部分をプラスチックなどで蛇腹を構成し、その部分を
屈曲部３Ｂとした。このように屈曲部３Ｂをベローズ構
造にすると、パイプ３の先端部を伸縮自在とすることが
でき、更に吸着部４の角度を所望の角度に可変すること
ができ、口径の大小にかかわらず半導体ウエハや半導体
ウエハの収納状態に対応することができる。
【０００９】
【発明の効果】従って、この発明の真空ピンセットは、
シェイクハンド式でグリップを握っても操作がし易くな
り、大口径の半導体ウエハなど偏平基板を確実かつ安定
して吸着、保持することができる。なお、前記実施例で
は大口径の半導体ウエハなど偏平基板を扱う真空ピンセ
ットとして説明したが、比較的小口径の偏平基板を扱う
真空ピンセットにも、この発明を適用できることは言う
までもない。
シェイクハンド式でグリップを握っても操作がし易くな
り、大口径の半導体ウエハなど偏平基板を確実かつ安定
して吸着、保持することができる。なお、前記実施例で
は大口径の半導体ウエハなど偏平基板を扱う真空ピンセ
ットとして説明したが、比較的小口径の偏平基板を扱う
真空ピンセットにも、この発明を適用できることは言う
までもない。
【図１】 この発明の第１の実施例である真空ピンセッ
トの側面図である。
トの側面図である。
【図２】 この発明の第２の実施例である真空ピンセッ
トの側面図である。
トの側面図である。
【図３】 現在用いられている真空ピンセットの側面図
である。
である。
１０ この発明の第１の実施例である真空ピンセット ２０ この発明の第２の実施例である真空ピンセット ２Ａ グリップ ３ パイプ ３Ａ 屈曲部 ３Ｂ 屈曲部 ４ 吸着部 ５ ホース ６ シャッターボタン
Claims (2)
- 【請求項１】 グリップと、この一端部に接続されたパ
イプと、このパイプの他端に設けた吸着部と、前記グリ
ップの他端に接続されそして前記パイプと接続されてい
るホースと、前記グリップに設けられたシャッターボタ
ンとから構成された真空ピンセットにおいて、前記パイ
プに屈曲部を形成しことを特徴とする真空ピンセット。 - 【請求項２】 前記屈曲部が蛇腹で構成されていること
を特徴とする請求項１に記載の真空ピンセット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20395094A JPH0870030A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 真空ピンセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20395094A JPH0870030A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 真空ピンセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0870030A true JPH0870030A (ja) | 1996-03-12 |
Family
ID=16482363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20395094A Pending JPH0870030A (ja) | 1994-08-29 | 1994-08-29 | 真空ピンセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0870030A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103990734A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-08-20 | 安徽江淮专用汽车有限公司 | 剪板机用送料机构 |
-
1994
- 1994-08-29 JP JP20395094A patent/JPH0870030A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103990734A (zh) * | 2014-06-12 | 2014-08-20 | 安徽江淮专用汽车有限公司 | 剪板机用送料机构 |
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