JPH0531240U - 真空ピンセツト先端部 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 半導体ウエハの接着保持の不安定性や取り扱
いの困難性を解決した真空ピンセット先端部を提供する
こと。 【構成】 ウエハ吸着部６１と首部６２の合計長さを、
取り扱うべき半導体ウエハの半径と同程度の長さに設定
し、且つ首部６２における胴体部６３から首部６２全長
のほぼ１／３だけ離れた部分を、ウエハ吸着部６１の吸
着面に平行な方向に屈折させて構成した。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、クリーンルーム内で半導体ウエハを吸着し、移動するために使用す る真空ピンセットに係り、特にその半導体ウエハを直接吸着保持する先端部を構 成する真空ピンセット先端部に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

ＬＳＩ製造・開発等では、種々の不純物の混入やそれらの影響を避けるために 低発塵性の部屋（クリーンルーム）で作業を行っている。半導体ウエハの取り扱 いについては、人間の扱いによる塵の発生とそれに伴う不純物の混入を避けるた め、機械による一括搬送や移動等が多く行われている。

【０００３】 しかし、装置や作業内容によっては、手作業で半導体ウエハを移動させなけれ ばならないことがあり、このようなときには、直接ウエハを吸着保持する先端部 を汚染の少ない石英製とした真空ピンセットが多く使用されている。

【０００４】 このような真空ピンセットＡは、図５に示すように金属製の真空ピンセット本 体１に金属製パイプ２を取り付け、石英製の真空ピンセット先端部３とこの金属 製パイプ２を接続スリーブ４を介して同軸的に接続し一体化したものである。

【０００５】 真空ピンセット先端部３は、吸着部３１（全体の長さのほぼ１／６）、首部３ ２（同ほぼ１／６）、胴体部３３（同ほぼ１／３）、テーパ部３４（同ほぼ１／ ６）からなる。接続スリーブ４は、真空ピンセット先端部３を洗うときに一緒に 洗浄できるように洗浄可能で取外し可能な材質が要求される点から、フッ素樹脂 製のものが使用され、そこには、上記真空ピンセット先端３のテーパ部３４に対 応するテーパ状孔４１、金属製パイプ２の先端用の差込み孔４２が形成され、両 孔４１、４２は連通している。

【０００６】 このような真空ピンセットＡは、半導体ウエハＢの裏面を吸着保持するように 使用するので、その半導体ウエハの表面に傷がつき難く、不良品の発生の問題が 少ない。

【０００７】

【考案が解決しようとする課題】

しかし、従来の真空ピンセットＡは、その真空ピンセット先端部３のウエハ吸 着部３１と首部３２の合計長さが短く（全体の長さのほぼ１／３）、このために 半導体ウエハＢを吸着保持する際には、図６に例示するように、その外周部分５ を吸着保持する他ないが、これでは吸着状態が不安定で、例えば半導体ウエハＢ の縁部分に外力が加わると簡単に吸着力が損なわれ、半導体ウエハＢの落下等の 事故が発生し易かった。

【０００８】 また、この真空ピンセットＡは直線形状であり、半導体ウエハＢの上方に発塵 源である手が位置しないように、斜め上方からその真空ピンセットＡで吸着させ る際に、手首を不自然に折り曲げる必要があり、その半導体ウエハＢの取り扱い が困難であった。

【０００９】 本考案の目的は、上記した半導体ウエハ接着保持の不安定性や取り扱いの困難 性を解決した真空ピンセット先端部を提供することである。

【００１０】

【課題を解決するための手段】

このために本考案は、ウエハ吸着部、真空ピンセット本体と接続される胴体部 、上記ウエハ吸着部と上記胴体部を連結する首部とからなる真空ピンセット先端 部において、上記ウエハ吸着部と上記首部の合計長さをウエハの半径と同程度の 長さに設定し、且つ上記首部における上記胴体部から首部全長のほぼ１／３だけ 離れた部分を上記ウエハ吸着部の吸着面に平行な方向に屈折させて構成したもの である。

【００１１】

【作用】 本考案では、ウエハ吸着部で半導体ウエハのほぼ中央部分を吸着することがで き、その保持が強力化・安定化する。また、その首部を屈折させているので、手 首を不自然に曲げることなく斜め上方から半導体ウエハの中央部分を吸着させる ことができ、その取り扱いが容易となる。

【００１２】

【実施例】

以下、本考案の実施例について詳細に説明する。図１はその一実施例の６イン チの半導体ウエハ用の石英性の真空ピンセット先端部６の平面図、図２は側面図 である。

【００１３】 この真空ピンセット先端部６は、先端部に設けた長さが２５〜３０ｍｍの吸着 部６１、その吸着部６１から伸びる長さがほぼ５０ｍｍの首部６２、その首部６ ２の他端に連続する外径が８ｍｍφの胴体部６３、及びテーパ面（図示せず）か らなる。

【００１４】 ここで、吸着部６１と首部６２の合計長さは、７５〜８０ｍｍとなり、６イン チの半導体ウエハＢの半径（７５ｍｍ）とほぼ同じである。そして、首部６２は 首部６２の全長のほぼ１／３（ほぼ１５ｍｍ）だけ胴体部６３との境界部分から 離れた部分に屈曲部６２ａが形成されている。この屈曲部６２ａにおける屈曲方 向は、吸着部６１の吸着面（吸着口の面）に平行な方向であり、その角度は約１ ５度±１〜２度である。

【００１５】 よって、この真空ピンセット先端部６を従来と同様に接続スリーブ４に結合し て半導体ウエハＢを吸着保持する際には、その吸着部６１を半導体ウエハＢの中 央部分に位置付けても、首部６２の屈曲部６２ａがその半導体ウエハＢの外周部 分に位置する程度となる。つまり、この真空ピンセット先端部６では、その吸着 部６１で半導体ウエハＢの中央部を吸着保持することができるので、その半導体 ウエハＢの周囲に外力が加わったときでも、その保持状態が崩れることはなく、 安定な保持状態を維持できる。

【００１６】 また、半導体ウエハＢの表面が手前側を向き、裏面が前方を向くように複数枚 並べられている場合には、右手で半導体ウエハＢの隣接間に真空ピンセット先端 部６の吸着部６１を、発塵源である手が上方ではなく斜め上方となるように、斜 め上から差し込み、図３に示すように、吸着させることができる。しかも首部６ ２が屈曲部６２ａで屈曲しているので、真空ピンセットを把持する手首部分を不 自然に曲げる必要もなく、その取り扱いが容易となる。

【００１７】 図４は真空ピンセット先端部６の屈曲部６２ａの角度を各種設定して、半導体 ウエハを扱う際の評価を行った説明図である。角度が０度では半導体ウエハを扱 うときに、発塵源である手が半導体ウエハの上方に位置しないようにするには、 手首を曲げなければならず、扱いずらい。また、角度が３０度〜４５度では、逆 に曲り過ぎるので、同様に使いずらい。２０度前後の角度でも、手首を深く曲げ る必要があり、使用し難い。結局、１５度前後の角度が最も使用し易かった。

【００１８】 真空ピンセット先端部６は、上記のように複数枚並んだウエハＢの間に差し込 んで使用する場合がある。ウエハ吸着部６１は薄く、首部６２の外径は小さいの で問題がないが、胴体部６３は比較的太いので、その外径は半導体ウエハの並び 間隙よりも小さくする必要があり、本実施例では前記したように８ｍｍφに設定 している。

【００１９】 上記実施例では６インチの半導体ウエハＢを取り扱い対象とした真空ピンセッ ト先端部６についてであったが、４インチ、８インチの半導体ウエハ用として使 用するには、それらの半径に応じて首部６２の長さを設定すれば良い。ただし、 屈曲部６２ａの角度は上記角度に設定することが必要である。また、ウエハ吸着 部６１を別体のものとすることもでき、このようなものでは市販のフッ素樹脂製 のウエハ吸着部を使用できる。また、上記した真空ピンセット先端部６は右きき 用であるが左きき用にするには、ウエハ吸着部６１の吸着面が反対方向を向くよ うにすれば良い。

【００２０】

【考案の効果】

以上から本考案によれば、ウエハ吸着部と首部の合計長さを、取り扱う半導体 ウエハの半径と同程度の長さに設定したことによって、ウエハ吸着部で半導体ウ エハのほぼ中央部分を吸着することができるので、その半導体ウエハに外力が加 わったときでも、その保持状態が悪化することはない。

【００２１】 また、その首部を屈折させているので、ウエハの斜め上方から真空ピンセット 先端部を差し込んで吸着させる作業を、手首を不自然に曲げることなく行えるの で、その取り扱いが容易となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本考案の一実施例の真空ピンセット先端部の
平面図である。

【図２】 同真空ピンセット先端部の側面図である。

【図３】 同真空ピンセット先端部により半導体ウエハ
を吸着保持する説明図である。

【図４】 同真空ピンセット先端部の首部の屈曲角度の
違いによる取り扱い易さの説明のための図である。

【図５】 従来の真空ピンセットの分解斜視図である。

【図６】 従来の真空ピンセット先端部により半導体ウ
エハを吸着保持する説明図である。

【符号の説明】

６：真空ピンセット先端部、６１：ウエハ吸着部、６
２：首部、６２ａ：屈曲部、６３：胴体部。

フロントページの続き (72)考案者 生津 英夫 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハ吸着部、真空ピンセット本体と
   接続される胴体部、上記ウエハ吸着部と上記胴体部を連
   結する首部とからなる真空ピンセット先端部において、 上記ウエハ吸着部と上記首部の合計長さをウエハの半径
   と同程度の長さに設定し、且つ上記首部における上記胴
   体部から首部全長のほぼ１／３だけ離れた部分を上記ウ
   エハ吸着部の吸着面に平行な方向に屈折させて成ること
   を特徴とする真空ヒンセット先端部。