JPH087163B2 - 欠点デ−タ取込み回路 - Google Patents
欠点デ−タ取込み回路Info
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- JPH087163B2 JPH087163B2 JP13152587A JP13152587A JPH087163B2 JP H087163 B2 JPH087163 B2 JP H087163B2 JP 13152587 A JP13152587 A JP 13152587A JP 13152587 A JP13152587 A JP 13152587A JP H087163 B2 JPH087163 B2 JP H087163B2
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- Japan
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- data
- circuit
- light
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、欠点検出装置の欠点データ取込み回路、特
にガラス板等の透明板の欠点の種類，欠点の大きさおよ
び欠点の位置を検出することのできる識別型欠点検出装
置の欠点データ取込み回路に関する。
にガラス板等の透明板の欠点の種類，欠点の大きさおよ
び欠点の位置を検出することのできる識別型欠点検出装
置の欠点データ取込み回路に関する。
ガラス板等の透明板を製造する際、透明板に存在する
欠点（欠陥）の種類（異物，泡，フシ，ドリップ等），
欠点の大きさ，欠点の位置を検出する装置として、フラ
イングスポット型の識別型欠点検出装置がある。
欠点（欠陥）の種類（異物，泡，フシ，ドリップ等），
欠点の大きさ，欠点の位置を検出する装置として、フラ
イングスポット型の識別型欠点検出装置がある。
本出願人の開発した識別型欠点検出装置の一例の概略
を第３図に示す。この識別型欠点検出装置は、レーザ光
源１からのレーザ光を多角形回転ミラー２に入射し、製
造工程ラインを流れるガラス板３上にレーザスポットを
走査させる。走査方向は、ガラス板の流れる方向（Ｙ軸
方向）に対して直角な方向、すなわちガラス板の幅方向
（Ｘ軸方向）である。また、レーザ光はガラス板３の表
面に対して斜めから入射される。これは、ガラス板表面
からの反射光とガラス板裏面からの反射光との干渉を避
けるためである。
を第３図に示す。この識別型欠点検出装置は、レーザ光
源１からのレーザ光を多角形回転ミラー２に入射し、製
造工程ラインを流れるガラス板３上にレーザスポットを
走査させる。走査方向は、ガラス板の流れる方向（Ｙ軸
方向）に対して直角な方向、すなわちガラス板の幅方向
（Ｘ軸方向）である。また、レーザ光はガラス板３の表
面に対して斜めから入射される。これは、ガラス板表面
からの反射光とガラス板裏面からの反射光との干渉を避
けるためである。
ガラス板３に入射したレーザ光の透過光，透過散乱
光，反射光を、ガラス板の幅方向に細長い受光面を有す
る受光器D1,D2,D3,D4,D5で受光する。なお、これら各受
光器は、多数本のガラスファイバを配列して構成され
る。受光器D1は透過光を、受光器D2は近軸透過散乱光
を、受光器D3およびD4は遠軸透過散乱光を、受光器D5は
反射光を受光する。各受光器を構成するガラスファイバ
は、それぞれ対応する光電子増倍管PM1,PM2,PM3,PM4,PM
5に導かれ、受光した光は各光電子増倍管で電気信号に
変換される。信号処理回路４では、これら電気信号に微
分処理、幅処理、比較処理、波形整形などの信号処理を
加えて、欠点データD11，D12，・・・，D52を作成す
る。欠点データは複数種類存在するが、例えば欠点デー
タD11は、受光器D1で受光された透過光を光電変換して
得た電気信号をマイナス微分して得られた微分波形を所
定の検出レベルと比較した比較結果を示すデータであ
る。
光，反射光を、ガラス板の幅方向に細長い受光面を有す
る受光器D1,D2,D3,D4,D5で受光する。なお、これら各受
光器は、多数本のガラスファイバを配列して構成され
る。受光器D1は透過光を、受光器D2は近軸透過散乱光
を、受光器D3およびD4は遠軸透過散乱光を、受光器D5は
反射光を受光する。各受光器を構成するガラスファイバ
は、それぞれ対応する光電子増倍管PM1,PM2,PM3,PM4,PM
5に導かれ、受光した光は各光電子増倍管で電気信号に
変換される。信号処理回路４では、これら電気信号に微
分処理、幅処理、比較処理、波形整形などの信号処理を
加えて、欠点データD11，D12，・・・，D52を作成す
る。欠点データは複数種類存在するが、例えば欠点デー
タD11は、受光器D1で受光された透過光を光電変換して
得た電気信号をマイナス微分して得られた微分波形を所
定の検出レベルと比較した比較結果を示すデータであ
る。
以下の説明の便宜上、信号処理回路４までの構成を、
欠点検出器５とするものとする。この欠点検出器５から
の欠点データは欠点データ取込み回路６により取込まれ
て信号処理がなされた後、中央処理装置（CPU）７へ送
られる。CPU7では、欠点データから欠点パターンを作成
し、あらかじめ保持している欠点識別パターンテーブル
と照合して、欠点の種類，大きさ等を判別している。
欠点検出器５とするものとする。この欠点検出器５から
の欠点データは欠点データ取込み回路６により取込まれ
て信号処理がなされた後、中央処理装置（CPU）７へ送
られる。CPU7では、欠点データから欠点パターンを作成
し、あらかじめ保持している欠点識別パターンテーブル
と照合して、欠点の種類，大きさ等を判別している。
本発明は、このような識別型欠点検出装置における欠
点データ取込み回路の改良に関するものであるが、本発
明は上述の識別型欠点検出装置のみを対象とするもので
はなく、フライングスポット型のものであれば、いかな
る種類の識別型欠点検出装置をも対象とすることができ
る。また、光量変化を検出する光に、反射散乱光がさら
に加わったものであってもよい。
点データ取込み回路の改良に関するものであるが、本発
明は上述の識別型欠点検出装置のみを対象とするもので
はなく、フライングスポット型のものであれば、いかな
る種類の識別型欠点検出装置をも対象とすることができ
る。また、光量変化を検出する光に、反射散乱光がさら
に加わったものであってもよい。
本出願人は、このような欠点データ取込み回路につい
て、第４図に示す構成の回路を既に提案している。
て、第４図に示す構成の回路を既に提案している。
この既提案の欠点データ取込み回路10は、Ｘ軸カウン
タ11と、ORユニット12と、分周回路13と、Ｙ軸カウンタ
14と、FIFOメモリ15とを備えている。Ｘ軸カウンタ11
は、Ｘ座標分割のためのクロックCLKをカウントするカ
ウンタであり、走査開始信号であるスタートパルスSTで
リセットされる。このスタートパルスSTは、欠点検出器
５の多角形回転ミラー２を反射したレーザ光を特定の位
置でガラスファイバで取り出し、光電変換後、波形整形
して得られる。Ｘ軸カウンタ11は、欠点データが取込ま
れたときのカウント値をＸ座標位置データとして出力す
る。
タ11と、ORユニット12と、分周回路13と、Ｙ軸カウンタ
14と、FIFOメモリ15とを備えている。Ｘ軸カウンタ11
は、Ｘ座標分割のためのクロックCLKをカウントするカ
ウンタであり、走査開始信号であるスタートパルスSTで
リセットされる。このスタートパルスSTは、欠点検出器
５の多角形回転ミラー２を反射したレーザ光を特定の位
置でガラスファイバで取り出し、光電変換後、波形整形
して得られる。Ｘ軸カウンタ11は、欠点データが取込ま
れたときのカウント値をＸ座標位置データとして出力す
る。
ORユニット12は、欠点検出器５からの複数走査分の欠
点データをため込み、所定のタイミングで出力するユニ
ットであり、このようなORユニットについては、特公昭
56-39419号公報「欠点検出装置」に開示されている。こ
のORユニット12の目的は、CPU7の処理速度との関係で、
識別型欠点検出装置の処理能力を高めることにある。
点データをため込み、所定のタイミングで出力するユニ
ットであり、このようなORユニットについては、特公昭
56-39419号公報「欠点検出装置」に開示されている。こ
のORユニット12の目的は、CPU7の処理速度との関係で、
識別型欠点検出装置の処理能力を高めることにある。
分周回路13は、ガラス板のライン方向への移動距離に
対応したライン同期信号PGを分周して、ORユニット12に
入力する。ORユニット12は、分周されたライン同期信号
PGのタイミングで、ため込んだ欠点データを出力する。
対応したライン同期信号PGを分周して、ORユニット12に
入力する。ORユニット12は、分周されたライン同期信号
PGのタイミングで、ため込んだ欠点データを出力する。
Ｙ軸カウンタ14は、分周回路13からの分周されたライ
ン同期信号PGをカウントし、欠点データ入力時に、カウ
ント値をＹ座標位置データとしてFIFOメモリ15に出力す
る。なお、Ｙ軸カウンタ14のリセットはソフト的に行わ
れる。
ン同期信号PGをカウントし、欠点データ入力時に、カウ
ント値をＹ座標位置データとしてFIFOメモリ15に出力す
る。なお、Ｙ軸カウンタ14のリセットはソフト的に行わ
れる。
FIFOメモリ15は、Ｘ軸カウンタ11からのＸ座標位置デ
ータ、ORユニット12からの欠点データ、Ｙ軸カウンタ14
からのＹ座標位置データを一時格納する。そして、FIFO
メモリ15から欠点データおよび欠点位置データ（X,Y）
が、ダイレクトメモリアクセス（DMA）でCPU7のメモリ
に転送される。
ータ、ORユニット12からの欠点データ、Ｙ軸カウンタ14
からのＹ座標位置データを一時格納する。そして、FIFO
メモリ15から欠点データおよび欠点位置データ（X,Y）
が、ダイレクトメモリアクセス（DMA）でCPU7のメモリ
に転送される。
第５図にORユニット12の一例を示す。このORユニット
12は、複数種類の欠点データD11，D12，・・・，D52に
それぞれ対応した、論理和回路OR11，OR12，・・・，OR
52と、ランダムアクセスメモリRAM11，RAM12，・・・，
RAM52と、ゲート回路G11，G12，・・・，G52とから構成
されている。
12は、複数種類の欠点データD11，D12，・・・，D52に
それぞれ対応した、論理和回路OR11，OR12，・・・，OR
52と、ランダムアクセスメモリRAM11，RAM12，・・・，
RAM52と、ゲート回路G11，G12，・・・，G52とから構成
されている。
第６図および第７図は、ORユニット12の動作の理解を
助けるための図であり、第６図はレーザスポットによる
走査と、クロックCLKおよび分周後のライン同期信号PG
との関係を示す模式図、第７図はORユニットのRAMへの
欠点データD11のため込み状態を示す図である。これら
図面を参照してORユニット12に一例として欠点データD
11がため込まれる動作について説明する。分周後のライ
ン同期信号PGの間に、レーザスポットによりＸ軸方向に
ガラス板がｎ回走査されるものとする。また、ORユニッ
ト12の各RAMのアドレスは1000番地まであるものとす
る。各RAMのアドレスは、クロックCLKが何個目のクロッ
クであるかに対応している。
助けるための図であり、第６図はレーザスポットによる
走査と、クロックCLKおよび分周後のライン同期信号PG
との関係を示す模式図、第７図はORユニットのRAMへの
欠点データD11のため込み状態を示す図である。これら
図面を参照してORユニット12に一例として欠点データD
11がため込まれる動作について説明する。分周後のライ
ン同期信号PGの間に、レーザスポットによりＸ軸方向に
ガラス板がｎ回走査されるものとする。また、ORユニッ
ト12の各RAMのアドレスは1000番地まであるものとす
る。各RAMのアドレスは、クロックCLKが何個目のクロッ
クであるかに対応している。
さて、第６図に示すようにガラス板３に欠点25がある
場合、１回目の走査で欠点検出器５から入力される欠点
データD11がRAM11に書き込まれ、アドレス502,503番地
にビット“1"が立つ。２回目の走査で入力された欠点デ
ータD11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和
回路OR11においてORがとられた後、RAM11に再書き込み
され、・・・第ｎ回目の走査で入力された欠点データD
11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和回路O
R11においてORがとられた後、RAM11に再書き込みされ、
最終的にアドレス501番地から504番地にビット“1"が格
納される。このようにしてRAM11にため込まれた欠点デ
ータD11は、分周回路13で分周されたライン同期信号PG
のタイミングでゲート回路G11を経てFIFOメモリ15に出
力される。
場合、１回目の走査で欠点検出器５から入力される欠点
データD11がRAM11に書き込まれ、アドレス502,503番地
にビット“1"が立つ。２回目の走査で入力された欠点デ
ータD11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和
回路OR11においてORがとられた後、RAM11に再書き込み
され、・・・第ｎ回目の走査で入力された欠点データD
11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和回路O
R11においてORがとられた後、RAM11に再書き込みされ、
最終的にアドレス501番地から504番地にビット“1"が格
納される。このようにしてRAM11にため込まれた欠点デ
ータD11は、分周回路13で分周されたライン同期信号PG
のタイミングでゲート回路G11を経てFIFOメモリ15に出
力される。
以上のような構成の欠点データ取込み回路では、欠点
検出器５から送られてくる欠点データはすべて取込むの
で、例えば欠点検出器５の光学系に塵などが付着してい
て、常に一定のアドレスに欠点データが出力されるよう
な場合、このような不所望な欠点データまでも取り込ん
でしまうという問題がある。
検出器５から送られてくる欠点データはすべて取込むの
で、例えば欠点検出器５の光学系に塵などが付着してい
て、常に一定のアドレスに欠点データが出力されるよう
な場合、このような不所望な欠点データまでも取り込ん
でしまうという問題がある。
本発明の目的は、不所望な欠点データを１ビット単位
でサプレスする機能を備えた欠点データ取込み回路を提
供することにある。
でサプレスする機能を備えた欠点データ取込み回路を提
供することにある。
本発明は、長さ方向に走行する透明板を幅方向に光ス
ポットで走査し、透過光，透過散乱光，反射光，反射散
乱光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づい
て欠点の種類，大きさ，位置等を検出する識別型欠点検
出装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第１のカウンタと、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス
列を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出
力する第２のカウンタと、 マスクデータが走査ごとに交互に書き込まれ、走査ご
とに交互に読み出される２個のメモリと、 これらメモリから読み出されたマスクデータと取込ま
れた１走査分の欠点データとの論理積をとるAND回路
と、 このAND回路から出力される複数走査分の欠点データ
をため込みOR処理し、前記第２のパルス列のパルス発生
タイミングで、処理された欠点データを出力するORユニ
ットとを備えたことを特徴としている。
ポットで走査し、透過光，透過散乱光，反射光，反射散
乱光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づい
て欠点の種類，大きさ，位置等を検出する識別型欠点検
出装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第１のカウンタと、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス
列を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出
力する第２のカウンタと、 マスクデータが走査ごとに交互に書き込まれ、走査ご
とに交互に読み出される２個のメモリと、 これらメモリから読み出されたマスクデータと取込ま
れた１走査分の欠点データとの論理積をとるAND回路
と、 このAND回路から出力される複数走査分の欠点データ
をため込みOR処理し、前記第２のパルス列のパルス発生
タイミングで、処理された欠点データを出力するORユニ
ットとを備えたことを特徴としている。
以下、本発明の実施例を説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図であ
る。なお、欠点データは、第３図に示した欠点検出器５
から入力されるものとする。この欠点データ取込み回路
30は、第４図に示した欠点データ取込み回路において、
ORユニット12の前段に、書込み・読出し可能な第１のメ
モリ31および第２のメモリ32と、これらメモリに書き込
まれたマスクデータの読出しを切り換える切換えスイッ
チ33と、マスクデータと欠点データとのANDをとるAND回
路34とを付加したものである。第１のメモリ31および第
２のメモリ32は共にソフト的にマスクデータを書き込む
ことができ、一方のメモリにマスクデータが書き込まれ
ているときには、他方のメモリからはマスクが読み出さ
れる。
る。なお、欠点データは、第３図に示した欠点検出器５
から入力されるものとする。この欠点データ取込み回路
30は、第４図に示した欠点データ取込み回路において、
ORユニット12の前段に、書込み・読出し可能な第１のメ
モリ31および第２のメモリ32と、これらメモリに書き込
まれたマスクデータの読出しを切り換える切換えスイッ
チ33と、マスクデータと欠点データとのANDをとるAND回
路34とを付加したものである。第１のメモリ31および第
２のメモリ32は共にソフト的にマスクデータを書き込む
ことができ、一方のメモリにマスクデータが書き込まれ
ているときには、他方のメモリからはマスクが読み出さ
れる。
これらメモリ31,32、切換えスイッチ33およびAND回路
34によるサプレス機能を、第２図を参照しながら説明す
る。なお、第２図はレーザスポットがガラス板を１走査
したときに欠点検出器５から出力される欠点データD11
（アドレス１〜1000番地）と、このときメモリから読み
出されるマスクデータとを示す図である。
34によるサプレス機能を、第２図を参照しながら説明す
る。なお、第２図はレーザスポットがガラス板を１走査
したときに欠点検出器５から出力される欠点データD11
（アドレス１〜1000番地）と、このときメモリから読み
出されるマスクデータとを示す図である。
さて、欠点D11は、前述したように欠点検出器５の光
学系に付着した塵等が原因となって、アドレス500番地
に常にビット“1"が立つものとする。このビット“1"は
ガラス板の欠点に起因するものではないから欠点データ
として取り込むべきではない。
学系に付着した塵等が原因となって、アドレス500番地
に常にビット“1"が立つものとする。このビット“1"は
ガラス板の欠点に起因するものではないから欠点データ
として取り込むべきではない。
そこで、このような500番地のビット“1"をサプレス
するために、第１のメモリ31にソフト的に第２図に示す
ようなマスクデータを書き込む。すなわち、アドレス１
番地〜499番地に“1"ビット、500番地に“0"ビット、50
1番地〜1000番地に“1"を有するビット列よりなるマス
クデータを第１のメモリ31に書き込む。ビームスポット
による走査が終り、次の走査が開始するまでの間に切換
えスイッチ33を端子ａと端子ｃが接続されるように切り
換える。そして走査が開始されると第１のメモリ31に書
き込まれているマスクデータを読出し、AND回路34に送
る。一方、AND回路34には欠点検出器５から１走査分の
欠点データD11が入力され、AND回路34では、マスクデー
タと欠点データとのアドレス対応のANDをとり、第２図
に示すようなAND出力を出す。アドレス500番地では、マ
スクデータのビットが“0"であるので、アドレス500番
地の出力ビット“0"となる。すなわち、欠点データの50
0番地のビット“1"はサプレスされ、ORユニット12には
入力されない。
するために、第１のメモリ31にソフト的に第２図に示す
ようなマスクデータを書き込む。すなわち、アドレス１
番地〜499番地に“1"ビット、500番地に“0"ビット、50
1番地〜1000番地に“1"を有するビット列よりなるマス
クデータを第１のメモリ31に書き込む。ビームスポット
による走査が終り、次の走査が開始するまでの間に切換
えスイッチ33を端子ａと端子ｃが接続されるように切り
換える。そして走査が開始されると第１のメモリ31に書
き込まれているマスクデータを読出し、AND回路34に送
る。一方、AND回路34には欠点検出器５から１走査分の
欠点データD11が入力され、AND回路34では、マスクデー
タと欠点データとのアドレス対応のANDをとり、第２図
に示すようなAND出力を出す。アドレス500番地では、マ
スクデータのビットが“0"であるので、アドレス500番
地の出力ビット“0"となる。すなわち、欠点データの50
0番地のビット“1"はサプレスされ、ORユニット12には
入力されない。
第１のメモリ31が読み出されている間に、第２のメモ
リ32には第２図のマスクデータが書き込まれており、前
の走査が終わると切換えスイッチ33は第２のメモリ32側
に切り換わる。そして、次の走査において、第２のメモ
リから読み出されたマスクデータにより、AND回路にお
いて欠点データ500番地のビット“1"がサプレスされ
る。
リ32には第２図のマスクデータが書き込まれており、前
の走査が終わると切換えスイッチ33は第２のメモリ32側
に切り換わる。そして、次の走査において、第２のメモ
リから読み出されたマスクデータにより、AND回路にお
いて欠点データ500番地のビット“1"がサプレスされ
る。
以上のようにして、不所望なビットの取込みを排除す
ることができる。
ることができる。
以上の実施例では、１ビットのみをサプレスする側に
ついて説明したが、連続する複数ビットをサプレスする
こともできることは以上の説明より明らかであろう。ま
た、他の種類の欠点データに対しても、同様にサプレス
することが可能である。
ついて説明したが、連続する複数ビットをサプレスする
こともできることは以上の説明より明らかであろう。ま
た、他の種類の欠点データに対しても、同様にサプレス
することが可能である。
以上説明したように本発明の欠点データ取込み回路に
よれば、欠点が原因でない不所望な欠点データをビット
単位でサプレスすることができるので、正確な欠点情報
を得ることが可能となる。
よれば、欠点が原因でない不所望な欠点データをビット
単位でサプレスすることができるので、正確な欠点情報
を得ることが可能となる。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図、 第２図は、第１図の実施例におけるサプレスの動作を説
明するための図、 第３図は、識別型欠点検出装置の概略を示すブロック
図、 第４図は、既提案の欠点データ取込み回路を示すブロッ
ク図、 第５図は、第４図のORユニットの一例を示すブロック
図、 第６図および第７図は、ORユニットの動作を説明するた
めの図である。 １……レーザ光源 ２……多角形回転ミラー ３……ガラス板 ４……信号処理回路 ５……欠点検出器 6,10,30……欠点データ取込み回路 ７……CPU 11……Ｘ軸カウンタ 12……ORユニット 13……分周回路 14……Ｙ軸カウンタ 15……FIFOメモリ 31……第１のメモリ 32……第２のメモリ 33……切換えスイッチ 34……AND回路
明するための図、 第３図は、識別型欠点検出装置の概略を示すブロック
図、 第４図は、既提案の欠点データ取込み回路を示すブロッ
ク図、 第５図は、第４図のORユニットの一例を示すブロック
図、 第６図および第７図は、ORユニットの動作を説明するた
めの図である。 １……レーザ光源 ２……多角形回転ミラー ３……ガラス板 ４……信号処理回路 ５……欠点検出器 6,10,30……欠点データ取込み回路 ７……CPU 11……Ｘ軸カウンタ 12……ORユニット 13……分周回路 14……Ｙ軸カウンタ 15……FIFOメモリ 31……第１のメモリ 32……第２のメモリ 33……切換えスイッチ 34……AND回路
Claims (1)
- 【請求項１】長さ方向に走行する透明板を幅方向に光ス
ポットで走査し、透過光，透過散乱光，反射光，反射散
乱光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づい
て欠点の種類，大きさ，位置等を検出する識別型欠点検
出装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列を
計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力す
る第１のカウンタと、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第２のカウンタと、 マスクデータが走査ごとに交互に書き込まれ、走査ごと
に交互に読み出される２個のメモリと、 これらメモリから読み出されたマスクデータと取込まれ
た１走査分の欠点データとの論理積をとるAND回路と、 このAND回路から出力される複数走査分の欠点データを
ため込みOR処理し、前記第２のパルス列のパルス発生タ
イミングで、処理された欠点データを出力するORユニッ
トとを備えたことを特徴とする欠点データ取込み回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13152587A JPH087163B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13152587A JPH087163B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298039A JPS63298039A (ja) | 1988-12-05 |
| JPH087163B2 true JPH087163B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=15060100
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13152587A Expired - Lifetime JPH087163B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087163B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5825278B2 (ja) * | 2013-02-21 | 2015-12-02 | オムロン株式会社 | 欠陥検査装置および欠陥検査方法 |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13152587A patent/JPH087163B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63298039A (ja) | 1988-12-05 |
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