JPH087164B2 - 欠点デ−タ取込み回路 - Google Patents
欠点デ−タ取込み回路Info
- Publication number
- JPH087164B2 JPH087164B2 JP13152687A JP13152687A JPH087164B2 JP H087164 B2 JPH087164 B2 JP H087164B2 JP 13152687 A JP13152687 A JP 13152687A JP 13152687 A JP13152687 A JP 13152687A JP H087164 B2 JPH087164 B2 JP H087164B2
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- Japan
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- defect
- defect data
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- light
- axis
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- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、欠点検出装置の欠点データ取込み回路、特
にガラス板等の透明板の欠点の種類，欠点の大きさおよ
び欠点の位置を検出することのできる識別型欠点検出装
置の欠点データ取込み回路に関する。
にガラス板等の透明板の欠点の種類，欠点の大きさおよ
び欠点の位置を検出することのできる識別型欠点検出装
置の欠点データ取込み回路に関する。
ガラス板等の透明板を製造する際、透明板に存在する
欠点（欠陥）の種類（異物，泡，フシ，ドリップ等），
欠点の大きさ，欠点の位置を検出する装置として、フラ
イングスポット型の識別型欠点検出装置がある。
欠点（欠陥）の種類（異物，泡，フシ，ドリップ等），
欠点の大きさ，欠点の位置を検出する装置として、フラ
イングスポット型の識別型欠点検出装置がある。
本出願人の開発した識別型欠点検出装置の一例の概略
を第３図に示す。この識別型欠点検出装置は、レーザ光
源１からのレーザ光を多角形回転ミラー２に入射し、製
造工程ラインを流れるガラス板３上にレーザスポットを
走査させる。走査方向は、ガラス板の流れる方向（Ｙ軸
方向）に対して直角な方向、すなわちガラス板の幅方向
（Ｘ軸方向）である。また、レーザ光はガラス板３の表
面に対して斜めから入射される。これは、ガラス板表面
からの反射光とガラス板裏面からの反射光との干渉を避
けるためである。
を第３図に示す。この識別型欠点検出装置は、レーザ光
源１からのレーザ光を多角形回転ミラー２に入射し、製
造工程ラインを流れるガラス板３上にレーザスポットを
走査させる。走査方向は、ガラス板の流れる方向（Ｙ軸
方向）に対して直角な方向、すなわちガラス板の幅方向
（Ｘ軸方向）である。また、レーザ光はガラス板３の表
面に対して斜めから入射される。これは、ガラス板表面
からの反射光とガラス板裏面からの反射光との干渉を避
けるためである。
ガラス板３に入射したレーザ光の透過光，透過散乱
光，反射光を、ガラス板の幅方向に細長い受光面を有す
る受光器D1,D2,D3,D4,D5で受光する。なお、これら各受
光器は、多数本のガラスファイバを配列して構成され
る。受光器D1は透過光を、受光器D2は近軸透過散乱光
を、受光器D3およびD4は遠軸透過散乱光を、受光器D5は
反射光を受光する。各受光器を構成するガラスファイバ
は、それぞれ対応する光電子増倍管PM1,PM2,PM3,PM4,PM
5に導かれ、受光した光は各光電子増倍管で電気信号に
変換される。信号処理回路４では、これら電気信号に微
分処理、幅処理、比較処理、波形整形などの信号処理を
加えて、欠点データD11，D12，・・・，D52を作成す
る。欠点データは複数種類存在するが、例えば欠点デー
タD11は、受光器D1で受光された透過光を光電変換して
得た電気信号をマイナス微分して得られた微分波形を所
定の検出レベルと比較した比較結果を示すデータであ
る。
光，反射光を、ガラス板の幅方向に細長い受光面を有す
る受光器D1,D2,D3,D4,D5で受光する。なお、これら各受
光器は、多数本のガラスファイバを配列して構成され
る。受光器D1は透過光を、受光器D2は近軸透過散乱光
を、受光器D3およびD4は遠軸透過散乱光を、受光器D5は
反射光を受光する。各受光器を構成するガラスファイバ
は、それぞれ対応する光電子増倍管PM1,PM2,PM3,PM4,PM
5に導かれ、受光した光は各光電子増倍管で電気信号に
変換される。信号処理回路４では、これら電気信号に微
分処理、幅処理、比較処理、波形整形などの信号処理を
加えて、欠点データD11，D12，・・・，D52を作成す
る。欠点データは複数種類存在するが、例えば欠点デー
タD11は、受光器D1で受光された透過光を光電変換して
得た電気信号をマイナス微分して得られた微分波形を所
定の検出レベルと比較した比較結果を示すデータであ
る。
以下の説明の便宜上、信号処理回路４までの構成を、
欠点検出器５とするものとする。この欠点検出器５から
の欠点データは欠点データ取込み回路６により取込まれ
て信号処理がなされた後、中央処理装置（CPU）７へ送
られる。CPU7では、欠点データから欠点パターンを作成
し、あらかじめ保持している欠点識別パターンテーブル
と照合して、欠点の種類，大きさ等を判別している。
欠点検出器５とするものとする。この欠点検出器５から
の欠点データは欠点データ取込み回路６により取込まれ
て信号処理がなされた後、中央処理装置（CPU）７へ送
られる。CPU7では、欠点データから欠点パターンを作成
し、あらかじめ保持している欠点識別パターンテーブル
と照合して、欠点の種類，大きさ等を判別している。
本発明は、このような識別型欠点検出装置における欠
点データ取込み回路の改良に関するものであるが、本発
明は上述の識別型欠点検出装置のみを対象とするもので
はなく、フライングスポット型のものであれば、いかな
る種類の識別型欠点検出装置をも対象とすることができ
る。また、光量変化を検出する光に、反射散乱光がさら
に加わったものであってもよい。
点データ取込み回路の改良に関するものであるが、本発
明は上述の識別型欠点検出装置のみを対象とするもので
はなく、フライングスポット型のものであれば、いかな
る種類の識別型欠点検出装置をも対象とすることができ
る。また、光量変化を検出する光に、反射散乱光がさら
に加わったものであってもよい。
本出願人は、このような欠点データ取込み回路につい
て、第４図に示す構成の回路を既に提案している。
て、第４図に示す構成の回路を既に提案している。
この既提案の欠点データ取込み回路10は、Ｘ軸カウン
タ11と、ORユニット12と、分周回路13と、Ｙ軸カウンタ
14と、FIFOメモリ15とを備えている。Ｘ軸カウンタ11
は、Ｘ座標分割のためのクロックCLKをカウントするカ
ウンタであり、走査開始信号であるスタートパルスSTで
リセットされる。このスタートパルスSTは、欠点検出器
５の多角形回転ミラー２を反射したレーザ光を特定の位
置でガラスファイバで取り出し、光電変換後、波形整形
して得られる。Ｘ軸カウンタ11は、欠点データが取込ま
れたときのカウント値をＸ座標位置データとして出力す
る。
タ11と、ORユニット12と、分周回路13と、Ｙ軸カウンタ
14と、FIFOメモリ15とを備えている。Ｘ軸カウンタ11
は、Ｘ座標分割のためのクロックCLKをカウントするカ
ウンタであり、走査開始信号であるスタートパルスSTで
リセットされる。このスタートパルスSTは、欠点検出器
５の多角形回転ミラー２を反射したレーザ光を特定の位
置でガラスファイバで取り出し、光電変換後、波形整形
して得られる。Ｘ軸カウンタ11は、欠点データが取込ま
れたときのカウント値をＸ座標位置データとして出力す
る。
ORユニット12は、欠点検出器５からの複数走査分の欠
点データをため込み、所定のタイミングで出力するユニ
ットであり、このようなORユニットについては、特公昭
56-39419号公報「欠点検出装置」に開示されている。こ
のORユニット12の目的は、CPU7の処理速度との関係で、
識別型欠点検出装置の処理能力を高めることにある。
点データをため込み、所定のタイミングで出力するユニ
ットであり、このようなORユニットについては、特公昭
56-39419号公報「欠点検出装置」に開示されている。こ
のORユニット12の目的は、CPU7の処理速度との関係で、
識別型欠点検出装置の処理能力を高めることにある。
分周回路13は、ガラス板のライン方向への移動距離に
対応したライン同期信号PGを分周して、ORユニット12に
入力する。ORユニット12は、分周されたライン同期信号
PGのタイミングで、ため込んだ欠点データを出力する。
対応したライン同期信号PGを分周して、ORユニット12に
入力する。ORユニット12は、分周されたライン同期信号
PGのタイミングで、ため込んだ欠点データを出力する。
Ｙ軸カウンタ14は、分周回路13からの分周されたライ
ン同期信号PGをカウントし、欠点データ入力時に、カウ
ント値をＹ座標位置データとしてFIFOメモリ15に出力す
る。なお、Ｙ軸カウンタ14のリセットはソフト的に行わ
れる。
ン同期信号PGをカウントし、欠点データ入力時に、カウ
ント値をＹ座標位置データとしてFIFOメモリ15に出力す
る。なお、Ｙ軸カウンタ14のリセットはソフト的に行わ
れる。
FIFOメモリ15は、Ｘ軸カウンタ11からのＸ座標位置デ
ータ、ORユニット12からの欠点データ、Ｙ軸カウンタ14
からのＹ座標位置データを一時格納する。そして、FIFO
メモリ15から欠点データおよび欠点位置データ（X,Y）
が、ダイレクトメモリアクセス（DMA）でCPU7のメモリ
に転送される。
ータ、ORユニット12からの欠点データ、Ｙ軸カウンタ14
からのＹ座標位置データを一時格納する。そして、FIFO
メモリ15から欠点データおよび欠点位置データ（X,Y）
が、ダイレクトメモリアクセス（DMA）でCPU7のメモリ
に転送される。
第５図にORユニット12の一例を示す。このORユニット
12は、複数種類の欠点データD11，D12，・・・，D52そ
れぞれに対応した、論理和回路OR11，OR12，・・・OR52
と、ランダムアクセスメモリRAM11，RAM12，・・・，RA
M52と、ゲート回路G11，G12，・・・，G52とから構成さ
れている。
12は、複数種類の欠点データD11，D12，・・・，D52そ
れぞれに対応した、論理和回路OR11，OR12，・・・OR52
と、ランダムアクセスメモリRAM11，RAM12，・・・，RA
M52と、ゲート回路G11，G12，・・・，G52とから構成さ
れている。
第６図および第７図は、ORユニット12の動作の理解を
助けるための図であり、第６図はレーザスポットによる
走査と、クロックCLKおよび分周後のライン同期信号PG
との関係を示す模式図、第７図はORユニットのRAM11へ
の欠点データD11のため込み状態を示す図である。これ
ら図面を参照してORユニット12に一例として欠点データ
D11がため込まれる動作について説明する。分周後のラ
イン同期信号PGの間に、レーザスポットによりＸ軸方向
にガラス板がｎ回走査されるものとする。また、ORユニ
ット12の各RAMのアドレスは1000番地まであるものとす
る。各RAMのアドレスは、クロックCLKが何個目のクロッ
クであるかに対応している。
助けるための図であり、第６図はレーザスポットによる
走査と、クロックCLKおよび分周後のライン同期信号PG
との関係を示す模式図、第７図はORユニットのRAM11へ
の欠点データD11のため込み状態を示す図である。これ
ら図面を参照してORユニット12に一例として欠点データ
D11がため込まれる動作について説明する。分周後のラ
イン同期信号PGの間に、レーザスポットによりＸ軸方向
にガラス板がｎ回走査されるものとする。また、ORユニ
ット12の各RAMのアドレスは1000番地まであるものとす
る。各RAMのアドレスは、クロックCLKが何個目のクロッ
クであるかに対応している。
さて、第６図に示すようにガラス板３に欠点25がある
場合、１回目の走査で欠点検出器５から入力される欠点
データD11がRAM11に書き込まれ、アドレス502,503番地
にビット“1"が立つ。２回目の走査で入力された欠点デ
ータD11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和
回路OR11においてORがとられた後、RAM11に再書き込み
され、・・・第ｎ回目の走査で入力された欠点データD
11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和回路O
R11においてORがとられた後、RAM11に再書き込みされ、
最終的にアドレス501番地から504番地にビット“1"が格
納される。このようにしてRAM11にため込まれた欠点デ
ータD11は、分周回路13で分周されたライン同期信号PG
のタイミングでゲート回路G11を経てFIFOメモリ15に出
力される。
場合、１回目の走査で欠点検出器５から入力される欠点
データD11がRAM11に書き込まれ、アドレス502,503番地
にビット“1"が立つ。２回目の走査で入力された欠点デ
ータD11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和
回路OR11においてORがとられた後、RAM11に再書き込み
され、・・・第ｎ回目の走査で入力された欠点データD
11は、RAM11から読み出された欠点データと論理和回路O
R11においてORがとられた後、RAM11に再書き込みされ、
最終的にアドレス501番地から504番地にビット“1"が格
納される。このようにしてRAM11にため込まれた欠点デ
ータD11は、分周回路13で分周されたライン同期信号PG
のタイミングでゲート回路G11を経てFIFOメモリ15に出
力される。
以上のような構成の欠点データ取込み回路を有するフ
ライングスポット型欠点検出装置では、多角形回転ミラ
ーで反射されたガラス板を走査するレーザスポットの走
査速度は一定ではない。第８図は、この事情を説明する
ための図であり、ガラス板面上でのレーザスポットの走
査状態を示す。多角形回転ミラー２により反射されたレ
ーザビーム50は、多角形回転ミラーの回転軸を中心とし
て仮想円弧51上を等速で走査しており、ガラス板３の表
面ではガラス板の端部にいくほど走査速度は速くなる。
Ｘ軸座標分割のためのクロックCLKは、仮想円弧51を等
分しており、クロックCLKに基づくＸ軸アドレスに対応
するガラス板３の表面におけるＸ軸方向の実際の位置は
等分の関係にはない。したがって、欠点検出装置の有す
るCPUは、欠点データ取込み回路から出力されるＸ軸ア
ドレスの位置情報を、ガラス板表面の実際の位置に対応
づけるための変換テーブルを持っている。変換テーブル
は走査線のセンターポジションが一定の番地に相当する
ものと認識している。例えば第８図に示すようにＸ軸方
向の１走査分が1000番地あるとした場合に走査線のセン
ターポジションは500番地であると認識している。した
がって、欠点検出装置の例えば光学系を調整したような
場合に、センターポジションの位置が、例えば502番地
にずれるようなことが起こると、変換テーブルすなわち
CPUのソフトをすべて作り直さなければならないという
フライングスポット型欠点検出装置に固有の問題があ
る。
ライングスポット型欠点検出装置では、多角形回転ミラ
ーで反射されたガラス板を走査するレーザスポットの走
査速度は一定ではない。第８図は、この事情を説明する
ための図であり、ガラス板面上でのレーザスポットの走
査状態を示す。多角形回転ミラー２により反射されたレ
ーザビーム50は、多角形回転ミラーの回転軸を中心とし
て仮想円弧51上を等速で走査しており、ガラス板３の表
面ではガラス板の端部にいくほど走査速度は速くなる。
Ｘ軸座標分割のためのクロックCLKは、仮想円弧51を等
分しており、クロックCLKに基づくＸ軸アドレスに対応
するガラス板３の表面におけるＸ軸方向の実際の位置は
等分の関係にはない。したがって、欠点検出装置の有す
るCPUは、欠点データ取込み回路から出力されるＸ軸ア
ドレスの位置情報を、ガラス板表面の実際の位置に対応
づけるための変換テーブルを持っている。変換テーブル
は走査線のセンターポジションが一定の番地に相当する
ものと認識している。例えば第８図に示すようにＸ軸方
向の１走査分が1000番地あるとした場合に走査線のセン
ターポジションは500番地であると認識している。した
がって、欠点検出装置の例えば光学系を調整したような
場合に、センターポジションの位置が、例えば502番地
にずれるようなことが起こると、変換テーブルすなわち
CPUのソフトをすべて作り直さなければならないという
フライングスポット型欠点検出装置に固有の問題があ
る。
本発明の目的は、走査線のセンターポジションの番地
がずれた場合にCPUのソフトを直すことなくハード的に
処理することのできる欠点データ取込み回路を提供する
ことにある。
がずれた場合にCPUのソフトを直すことなくハード的に
処理することのできる欠点データ取込み回路を提供する
ことにある。
本発明は、長さ方向に走行する透明板を幅方向に光ス
ポットで走査し、透過光，透過散乱光，反射光，反射散
乱光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づい
て欠点の種類，大きさ，位置等を検出する識別型欠点検
出装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第１のカウンタと、 この第１のカウンタをリセットするスタートパルスを
シフトすることのできるシフト回路と、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス
列を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出
力する第２のカウンタと、 複数走査分の欠点データをため込みOR処理し、前記第
２のパルス列のパルス発生タイミングで、処理された欠
点データを出力するORユニットとを備えたことを特徴と
している。
ポットで走査し、透過光，透過散乱光，反射光，反射散
乱光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づい
て欠点の種類，大きさ，位置等を検出する識別型欠点検
出装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第１のカウンタと、 この第１のカウンタをリセットするスタートパルスを
シフトすることのできるシフト回路と、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス
列を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出
力する第２のカウンタと、 複数走査分の欠点データをため込みOR処理し、前記第
２のパルス列のパルス発生タイミングで、処理された欠
点データを出力するORユニットとを備えたことを特徴と
している。
以下、本発明の実施例を説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図であ
る。この欠点データ取込み回路は、第４図に示した欠点
データ取込み回路において、Ｘ軸カウンタ11を、Ｘ軸サ
ブカウンタ41とＸ軸メインカウンタ42とで置き換えたも
のである。Ｘ軸メインカウンタ42は、従来のＸ軸カウン
タ11と同様の機能を有するものである。Ｘ軸サブカウン
タ41は、スタートパルスSTを実質的にシフトする機能を
有するものであり、オフセット値をソフト的に設定する
ことができる。このＸ軸サブカウンタは、設定されたオ
フセット値に基づき、所定数のクロックCLKをカウント
とすると、シフトされたパルスをＸ軸メインカウンタ42
に対して出力する。Ｘ軸メインカウンタ42では、Ｘ軸サ
ブカウンタ41からのシフトされたパルスをスタートパル
スとして、クロックCLKのカウントを開始する。
る。この欠点データ取込み回路は、第４図に示した欠点
データ取込み回路において、Ｘ軸カウンタ11を、Ｘ軸サ
ブカウンタ41とＸ軸メインカウンタ42とで置き換えたも
のである。Ｘ軸メインカウンタ42は、従来のＸ軸カウン
タ11と同様の機能を有するものである。Ｘ軸サブカウン
タ41は、スタートパルスSTを実質的にシフトする機能を
有するものであり、オフセット値をソフト的に設定する
ことができる。このＸ軸サブカウンタは、設定されたオ
フセット値に基づき、所定数のクロックCLKをカウント
とすると、シフトされたパルスをＸ軸メインカウンタ42
に対して出力する。Ｘ軸メインカウンタ42では、Ｘ軸サ
ブカウンタ41からのシフトされたパルスをスタートパル
スとして、クロックCLKのカウントを開始する。
第２図を参照して、これらカウンタの動作を具体的に
説明する。第２図はスタートパルスSTとクロックCLKと
の関係を示しており、Ｘ軸座標のアドレスは1000番地ま
であるものとする。今、第２図（ａ）に示す実際のスタ
ートパルスSTの発生タイミングで、センターポジション
のアドレスが第２図（ｂ）のように502番地にずれたも
のと仮定する。このような場合、センターポジションの
アドレスを500番地に戻すには、Ｘ軸サブカウンタ41に
オフセット値として“−2"をセットする。これによりＸ
軸サブカウンタ41は、クロックCLKをカウントし第２図
（ｃ）に示すように１クロック分だけ遅れた（シフトさ
れた）パルスを出力する。Ｘ軸メインカウンタ42では、
Ｘ軸サブカウンタ41からのこのシフトされたパルスが入
力されると、このパルスをスタートパルスとして、クロ
ックパルスCLKのカウントを開始する。このカウント開
始番地は、第２図（ｂ）の場合に比べて２クロック分ず
れているから、センターポジションのアドレス番地は50
0番地となる。
説明する。第２図はスタートパルスSTとクロックCLKと
の関係を示しており、Ｘ軸座標のアドレスは1000番地ま
であるものとする。今、第２図（ａ）に示す実際のスタ
ートパルスSTの発生タイミングで、センターポジション
のアドレスが第２図（ｂ）のように502番地にずれたも
のと仮定する。このような場合、センターポジションの
アドレスを500番地に戻すには、Ｘ軸サブカウンタ41に
オフセット値として“−2"をセットする。これによりＸ
軸サブカウンタ41は、クロックCLKをカウントし第２図
（ｃ）に示すように１クロック分だけ遅れた（シフトさ
れた）パルスを出力する。Ｘ軸メインカウンタ42では、
Ｘ軸サブカウンタ41からのこのシフトされたパルスが入
力されると、このパルスをスタートパルスとして、クロ
ックパルスCLKのカウントを開始する。このカウント開
始番地は、第２図（ｂ）の場合に比べて２クロック分ず
れているから、センターポジションのアドレス番地は50
0番地となる。
以上説明したように本発明の欠点データ取込み回路に
よれば、Ｘ座標カウント開始番地を実際のスタートパル
スの位置からずらすことができる機能を有しているの
で、欠点検出装置の光学系の調整などによってセンター
ポジションのアドレス番地がずれてもCPUのソフトを作
り変えるというような作業が不要になる。
よれば、Ｘ座標カウント開始番地を実際のスタートパル
スの位置からずらすことができる機能を有しているの
で、欠点検出装置の光学系の調整などによってセンター
ポジションのアドレス番地がずれてもCPUのソフトを作
り変えるというような作業が不要になる。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図、 第２図は、第１図の実施例におけるスタートパルスシフ
トの動作を説明するための図、 第３図は、識別型欠点検出装置の概略を示すブロック
図、 第４図は、既提案の欠点データ取込み回路を示すブロッ
ク図、 第５図は、第４図のORユニットの一例を示すブロック
図、 第６図および第７図は、ORユニットの動作を説明するた
めの図、 第８図は、レーザスポットによる走査の状態を説明する
ための図である。 １……レーザ光源 ２……多角形回転ミラー ３……ガラス板 ４……信号処理回路 ５……欠点検出器 6,10,40……欠点データ取込み回路 ７……CPU 11……Ｘ軸カウンタ 12……ORユニット 13……分周回路 14……Ｙ軸カウンタ 15……FIFOメモリ 41……Ｘ軸サブカウンタ 42……Ｘ軸メインカウンタ
トの動作を説明するための図、 第３図は、識別型欠点検出装置の概略を示すブロック
図、 第４図は、既提案の欠点データ取込み回路を示すブロッ
ク図、 第５図は、第４図のORユニットの一例を示すブロック
図、 第６図および第７図は、ORユニットの動作を説明するた
めの図、 第８図は、レーザスポットによる走査の状態を説明する
ための図である。 １……レーザ光源 ２……多角形回転ミラー ３……ガラス板 ４……信号処理回路 ５……欠点検出器 6,10,40……欠点データ取込み回路 ７……CPU 11……Ｘ軸カウンタ 12……ORユニット 13……分周回路 14……Ｙ軸カウンタ 15……FIFOメモリ 41……Ｘ軸サブカウンタ 42……Ｘ軸メインカウンタ
Claims (1)
- 【請求項１】長さ方向に走行する透明板を幅方向に光ス
ポットで走査し、透過光，透過散乱光，反射光，反射散
乱光のうちのいずれかの光の光量変化の組合せに基づい
て欠点の種類，大きさ，位置等を検出する識別型欠点検
出装置の欠点データ取込み回路において、 前記透明板の幅方向の位置に関連する第１のパルス列を
計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力す
る第１のカウンタと、 この第１のカウンタをリセットするスタートパルスをシ
フトすることのできるシフト回路と、 前記透明板の長さ方向の位置に関連する第２のパルス列
を計数し、欠点データが取込まれたときの計数値を出力
する第２のカウンタと、 複数走査分の欠点データをため込みOR処理し、前記第２
のパルス列のパルス発生タイミングで、処理された欠点
データを出力するORユニットとを備えたことを特徴とす
る欠点データ取込み回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13152687A JPH087164B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13152687A JPH087164B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63298040A JPS63298040A (ja) | 1988-12-05 |
| JPH087164B2 true JPH087164B2 (ja) | 1996-01-29 |
Family
ID=15060126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13152687A Expired - Lifetime JPH087164B2 (ja) | 1987-05-29 | 1987-05-29 | 欠点デ−タ取込み回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH087164B2 (ja) |
-
1987
- 1987-05-29 JP JP13152687A patent/JPH087164B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63298040A (ja) | 1988-12-05 |
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