JPH087236B2 - プローブ先端位置確認用プリズム付きプローブカード - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、透明基板に略垂直に取
り付けられたプローブの先端が被測定物の所定位置にあ
るか否かを視覚的に確認できる構造の簡単なプローブカ
ードに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体集積回路素子の電気的諸特性の測
定に用いられるプローブカードには、プローブとしてス
プリングピンを利用したものがある。このスプリングピ
ンは、鞘部の中に接触子とスプリングとを納めたもので
あり、接触子が鞘部に対して進退可能になっている。か
かるスプリングピンは、プローブカードの基板に対して
略垂直に取り付けられることが多い。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このようなプローブカ
ードでは、基板に略垂直に取り付けられたスプリングピ
ンの先端が被測定物の所定位置に接触しているか否かの
確認は以下のようにして行われる。すなわち、被測定物
に予め略Ｌ字形状の導電膜を２つ以上形成しておき、被
測定物に対してプローブカードが所定の位置になると、
各導電膜にそれぞれ２本ずつのスプリングピンが接触し
て導通することを利用している。このようなスプリング
ピンの導通を利用するのは、スプリングピンの先端を視
覚的に直接確認することができないことに由来する。こ
のため、従来のこの種のプローブカードでは、被測定物
に機能とは全く無関係な導電膜を形成しなければなら
ず、半導体集積回路素子に対する小型化の要請に反する
ものとなっていた。

【０００４】また、ウエハに形成されたスクライブライ
ンに３個のプローブを接触させ、スクライブラインの段
差をエッジセンサで検出することによる位置確認も行わ
れている。しかし、この方法では位置確認にのみ用いら
れるエッジセンサが必要となる。

【０００５】本発明は上記事情に鑑みて創案されたもの
で、被測定物の特に位置合わせのための導電膜等を形成
する必要もなく、特別なエッジセンサ等を使用すること
なく、プローブの先端の位置を直接的に視覚的に確認す
ることができる構成の簡単なプローブ先端位置確認用プ
リズム付きプローブカードを提供することを目的として
いる。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明に係るプローブ先
端位置確認用プリズム付きプローブカードは、透明基板
に略垂直に取り付けられたプローブの先端が被測定物の
所定位置にあるか否かを確認できるプローブカードであ
って、前記透明基板には前記プローブの配置に対応した
開口が開設されており、当該開口の一端縁部はプリズム
として透明基板に一体に形成されており、プローブの真
上方向から見ると前記プリズムに沿って配置されたプロ
ーブの先端をプリズムを通して視認可能であるように構
成されている。

【０００７】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係るプローブ先端
位置確認用プリズム付きプローブカードに用いられる透
明基板の概略的平面図、図２は図１のＡ−Ａ線断面図、
図３は他の実施例を示す透明基板の開口部分の断面図、
図４はスプリングピンの概略的断面図、図５は他のプロ
ーブを用いたプローブ先端位置確認用プリズム付きプロ
ーブカードを示す概略的断面図である。

【０００８】本実施例に係るプローブ先端位置確認用プ
リズム付きプローブカードは、透明基板１００に略垂直
に取り付けられたプローブとしてのスプリングピン２０
０の先端が被測定物たるＩＣチップ３００の所定位置に
あるか否かを確認できるプローブカードであって、前記
透明基板１００には前記スプリングピン２００の配置に
対応した開口１３０が開設されており、当該開口１３０
の一端縁部はプリズム１３１として透明基板１００に一
体に形成されている。

【０００９】まず、スプリングピン２００は、図４に示
すように、円筒形状の外鞘部２１０と、この外鞘部２１
０に着脱可能に取り付けられる内鞘部２２０と、この内
鞘部２２０に進退可能に収納される接触子２３０と、前
記内鞘部２２０に収納され、前記接触子２３０を上下方
向に弾発付勢するスプリング２４０とを有している。前
記内鞘部２２０は外鞘部２１０に対して着脱可能になっ
ており、接触子２３０が摩耗したり折れ曲がったりした
場合には、内鞘部２２０ごと接触子２３０を交換するよ
うになっている。

【００１０】前記透明基板１００は、絶縁性を有する透
明な合成樹脂から形成されており、被測定物たるＩＣチ
ップ３００に応じた形状、サイズに形成されている。か
かる透明基板１００の４隅には、当該透明基板１００を
マザーボード（図示省略）に取り付けるためのネジ孔１
１０が開設されている。

【００１１】また、この透明基板１００には、ＩＣチッ
プ３００の電極部３１０に対応した複数個の貫通孔１２
０が垂直に開設されている。この貫通孔１２０は、スプ
リングピン２００が嵌め込まれるものであって、スプリ
ングピン２００の外鞘部２１０の外径に対応した直径に
設定されている。なお、貫通孔１２０に取り付けられた
スプリングピン２００は、外鞘部２１０の後端の開口に
図示しないリードピンを挿入し、このリードピンに接続
されたリード線を引き回すことによって図外の検査装置
等と電気的に接続されている。

【００１２】さらに、この透明基板１００には、前記貫
通孔孔１２０に沿って長方形状の開口１３０が設けられ
ている。この開口１３０の一端縁部、すなわち貫通孔１
２０に嵌め込まれたスプリングピン２００に沿った縁部
は、エッジ部１３２の角度が６０°であり、かつテーパ
面１３１Ａが上側を向いたプリズム１３１として形成さ
れている。なお、このエッジ部１３２の角度を６０°と
したのは一例であって、透明基板１００を構成する樹脂
等の屈折率等の固有の性質等によって適宜最適な数値を
選択することは勿論である。

【００１３】このような透明基板１００では、開口１３
０のみならずプリズム１３１とを同時に例えば射出成形
等によって一気に形成することが可能である。従って、
非常に簡単にプリズム１３１を有する透明基板１００を
多量に形成することが可能になる。

【００１４】このように開口１３０の一端縁部をプリズ
ム１３１として形成すると、図２に示すように、スプリ
ングピン２００のうちプリズム１３１に沿ったスプリン
グピン２００の接触子２３０の先端を透明基板１００の
表面側、すなわちスプリングピン２００の上方から直接
見ることができる。また、接触子２３０の先端のみなら
ず、その接触子２３０が接触している部分、すなわちＩ
Ｃチップ３００の電極部３１０をも見ることができるの
で、実際に接触子２３０が所定の電極部３１０に接触し
ているか否かを容易に目視で確認することができる。

【００１５】接触子２３０が電極部３１０に接触してい
るか否かは、すべてのスプリングピン２００について確
認する必要はなく、代表として１本又は２本以上のスプ
リングピン２００について確認すればよい。各スプリン
グピン２００の相互の位置関係は正確に設定されている
ので、幾つかのスプリングピン２００について確認すれ
ば、すべてのスプリングピン２００について確認したの
と同じになるからである。従って、開口１３０は、透明
基板１００に１つ又は２つ以上設ければよい。

【００１６】従って、使用者側が任意に選択したスプリ
ングピン２００（プリズム１３１に沿って取り付けられ
たスプリングピン２００のうちから）の接触子２３０の
先端が、ＩＣチップ３００の所定の電極部３１０に接触
しているか否かを確認することによって、すべてのスプ
リングピン２００についての位置確認を容易に行うこと
ができる。

【００１７】上述した実施例では、開口１３０の一端縁
部のプリズム１３１は、テーパ面１３１Ａが上側を向い
たものであったが、本発明がこれに限定されるわけでは
ない 。例えば、図３に示すように、テーパ面１３１Ａが
下側を向いたプリズム１３１であっても同様の効果を得
ることができる。

【００１８】また、透明基板１００に開設された開口１
３０は、長方形状であるとして説明したが、本発明がこ
れに限定されるものではなく、被測定物たるＩＣチップ
３００の電極部３１０の配置に対応して配置されたスプ
リングピン２００に沿って形成されるものであることは
いうまでもない。

【００１９】また、他の実施例として、図５に示すよう
なプローブ先端位置確認用プリズム付きプローブカード
もある。かかるプローブ先端位置確認用プリズム付きプ
ローブカードは、スプリングピン２００ではなく、中腹
部に湾曲部４１０が形成されたプローブ４００と、２枚
の基板、すなわち上述したのと同様のプリズム５３１を
有する透明な下基板５００と、この下基板５００の上に
所定の間隔を空けて設置される上基板６００とを有して
いる。

【００２０】プローブ４００は、中腹部の湾曲部４１０
がスプリングとしての機能を果たす。すなわち、プロー
ブ４００に加えられた外力は、湾曲部４１０が撓むこと
によって吸収されるのである。また、前記下基板５００
に複数個の貫通孔５２０が開設されており、当該貫通孔
５２０に沿って開口５３０が開設されている。この開口
５３０の一端縁部は、プリズム５３１として形成されて
いる。このプリズム５３１は、上述した透明基板１００
におけるプリズム１３１と同一のものである。

【００２１】一方、上基板６００は、プローブ４００の
湾曲部４１０のための空間を空けて下基板５００の上に
設置されている。かかる上基板６００には、前記下基板
５００の開口５３０に対応した開口６３０が開設される
とともに、貫通孔５２０に対応した貫通孔６２０が開設
されている。従って、プローブ４００の湾曲部４１０よ
り下の部分は、下基板５００の貫通孔５２０に、上の部
分は上基板６００の貫通孔６２０にそれぞれ挿入されて
おり、湾曲部４１０は両基板５００、６００の間に位置
している。

【００２２】従って、上基板６００の開口６３０を介し
て下基板５００の開口５３０に形成されたプリズム５３
１のテーパ面５３１Ａを真上から見ると、プローブ４０
０の先端４２０を視覚的に直接確認することができる。

【００２３】

【発明の効果】本発明に係るプローブ先端位置確認用プ
リズム付きプローブカードは、透明基板に略垂直に取り
付けられたプローブの先端が被測定物の所定位置にある
か否かを確認できるプローブカードであって、前記透明
基板には前記プローブの配置に対応した開口が開設され
ており、当該開口の一端縁部はプリズムとして透明基板
に一体に形成されており、プローブの真上方向から見る
と前記プリズムに沿って配置されたプローブの先端をプ
リズムを通して視認可能であるように構成されている。

【００２４】従って、ＩＣチップの電極部等に対する位
置合わせのための特別な導電膜等を形成する必要がな
く、エッジセンサ等の特別な部品を使用することなしに
プローブの先端の位置を視覚的に直接確認することがで
きるので非常に簡単な構成の好適なプローブカードとな
る。

【００２５】また、プリズムは開口の一端縁部に透明基
板と一体に形成しているため、透明基板を形成すると同
時に形成することができる。従って、プリズムと、開口
に沿って形成された貫通孔、すなわちプローブが挿入さ
れる貫通孔との相互の位置関係は常に等しいものとなっ
ているので、プローブの先端を確実に視覚的に確認する
ことができる。

【００２６】また、すべてのプローブではなく、開口に
形成されたプリズムに沿って配置されたプローブの先端
を視認するように構成されているので、プローブの先端
を確認するためのプリズムの構成が簡単になる。これ
は、透明基板の構成が簡単になることを意味し、ひいて
はプローブ先端位置確認用プリズム付きプローブカード
全体の構成が簡単になる。

【００２７】また、このプローブ先端位置確認用プリズ
ム付きプローブカードに用いられる透明基板は、プロー
ブに沿った開口を開設し、その開口の一端縁部にプリズ
ムを形成するだけでよいのであるから、従来の基板と略
同等の製造工程及び製造コストで製造することができ
る。従って、視覚的にプローブを確認することができる
という大きなメリットを有するにもかかわらず、コスト
的には従来のものとなんら変わらないプローブカードを
提供することができるのである。

【００２８】さらに、プリズムは透明基板と同時に形成
されるため、現在使用されている基板を交換するだけ
で、プローブの先端を視覚的に確認することができるプ
ローブ先端位置確認用プリズム付きプローブカードとす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係るプローブ先端位置確認
用プリズム付きプローブカードに用いられる基板の概略
的平面図である。

【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。

【図３】他の実施例を示す基板の開口部分の断面図であ
る。

【図４】スプリングピンの概略的断面図である。

【図５】他のプローブを用いたプローブ先端位置確認用
プリズム付きプローブカードを示す概略的断面図であ
る。

【符号の説明】

１００ 透明基板 １３０ 開口 １３１ プリズム ２００ スプリングピン（プローブ）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明基板に略垂直に取り付けられたプロ
   ーブの先端が被測定物の所定位置にあるか否かを確認で
   きるプローブカードであって、前記透明基板には前記プ
   ローブの配置に対応した開口が開設されており、当該開
   口の一端縁部はプリズムとして透明基板に一体に形成さ
   れており、プローブの真上方向から見ると前記プリズム
   に沿って配置されたプローブの先端をプリズムを通して
   視認可能であることを特徴とするプローブ先端位置確認
   用プリズム付きプローブカード。