JPH0873266A - 誘電体セラミクスの製造方法 - Google Patents
誘電体セラミクスの製造方法Info
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- JPH0873266A JPH0873266A JP6207729A JP20772994A JPH0873266A JP H0873266 A JPH0873266 A JP H0873266A JP 6207729 A JP6207729 A JP 6207729A JP 20772994 A JP20772994 A JP 20772994A JP H0873266 A JPH0873266 A JP H0873266A
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- dielectric ceramics
- dielectric
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 特性を向上した誘電体セラミクスを得ること
を目的とする。 【構成】 少なくとも原料粉末の混合工程，仮焼工程，
粉砕工程，加圧成形工程、焼成工程を経て製造するＭｇ
ＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの製造方
法において、この焼成工程における焼成温度を１２００
℃〜１２５０℃とし且つ焼成時間を２時間〜５時間とし
たものである。
を目的とする。 【構成】 少なくとも原料粉末の混合工程，仮焼工程，
粉砕工程，加圧成形工程、焼成工程を経て製造するＭｇ
ＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの製造方
法において、この焼成工程における焼成温度を１２００
℃〜１２５０℃とし且つ焼成時間を２時間〜５時間とし
たものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は例えば高周波（マイクロ
波）用の誘電体アンテナ、誘電体共振器等に使用して好
適な誘電体セラミクスの製造方法に関する。
波）用の誘電体アンテナ、誘電体共振器等に使用して好
適な誘電体セラミクスの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】近年、
高周波（マイクロ波）用の誘電体アンテナ、誘電体共振
器等の如き電子デバイスの小型化、高周波化、高性能化
にともないマイクロ波域で高誘電率でかつ低損失である
誘電体セラミクスが必要とされている。
高周波（マイクロ波）用の誘電体アンテナ、誘電体共振
器等の如き電子デバイスの小型化、高周波化、高性能化
にともないマイクロ波域で高誘電率でかつ低損失である
誘電体セラミクスが必要とされている。
【０００３】従来、この高誘電率で低損失である誘電体
セラミクスとしてＭｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電
体セラミクスが知られている（エレクトロニクス・セラ
ミクス １９９３，Ｖｏｌ．２４，１２４号）。このＭ
ｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの特性
は誘電率ε＝２１でＱｆ（Ｑ値に共振周波数ｆを乗算し
た値）＝５６０００ＧＨｚである。
セラミクスとしてＭｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電
体セラミクスが知られている（エレクトロニクス・セラ
ミクス １９９３，Ｖｏｌ．２４，１２４号）。このＭ
ｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの特性
は誘電率ε＝２１でＱｆ（Ｑ値に共振周波数ｆを乗算し
た値）＝５６０００ＧＨｚである。
【０００４】この従来のＭｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系
の誘電体セラミクスの製造方法は、図３に示す如く、先
ずＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＣａＣＯ3 の原料粉末を（Ｍｇ
0.95Ｃａ0.05）ＴｉＯ3 で示される組成に秤量し、ボー
ルミル等で１次混合し、その後乾燥し、これを粉砕す
る。これを１０００℃〜１２００℃の温度で仮焼し、こ
の仮焼後のセラミクスを再び粉砕し、その後、これを２
次混合し、これを乾燥し、その後造粒する。この造粒し
たものにバインダー（ＰＶＡ）を添加し、加圧成形し、
この成形体を１４００℃〜１６００℃で焼成した。
の誘電体セラミクスの製造方法は、図３に示す如く、先
ずＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，ＣａＣＯ3 の原料粉末を（Ｍｇ
0.95Ｃａ0.05）ＴｉＯ3 で示される組成に秤量し、ボー
ルミル等で１次混合し、その後乾燥し、これを粉砕す
る。これを１０００℃〜１２００℃の温度で仮焼し、こ
の仮焼後のセラミクスを再び粉砕し、その後、これを２
次混合し、これを乾燥し、その後造粒する。この造粒し
たものにバインダー（ＰＶＡ）を添加し、加圧成形し、
この成形体を１４００℃〜１６００℃で焼成した。
【０００５】このようにして製造された従来のＭｇＴｉ
Ｏ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの特性は誘電
率ε＝２１で且つＱｆ＝５６０００ＧＨｚであった。
Ｏ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの特性は誘電
率ε＝２１で且つＱｆ＝５６０００ＧＨｚであった。
【０００６】本発明は斯る点に鑑み、更に特性を向上し
た誘電体セラミクスを得ることを目的とする。
た誘電体セラミクスを得ることを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明誘電体セラミクス
の製造方法は少なくとも原料粉末の混合工程、仮焼工
程、粉砕工程、加圧成形工程、焼成工程を経て製造する
ＭｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの製
造方法において、この焼成工程における焼成温度を１２
００℃〜１２５０℃とし且つ焼成時間を２時間〜５時間
としたものである。
の製造方法は少なくとも原料粉末の混合工程、仮焼工
程、粉砕工程、加圧成形工程、焼成工程を経て製造する
ＭｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの製
造方法において、この焼成工程における焼成温度を１２
００℃〜１２５０℃とし且つ焼成時間を２時間〜５時間
としたものである。
【０００８】
【作用】斯る本発明によれば誘電体セラミクスのＱｆ値
が略６９０００ＧＨｚのものが得られ、それだけ特性が
改善される。
が略６９０００ＧＨｚのものが得られ、それだけ特性が
改善される。
【０００９】
【実施例】以下図面を参照しながら本発明誘電体セラミ
クスの製造方法の一実施例につき説明する。本例の誘電
体セラミクスの製造方法の製造工程も図３に示す如くで
ある。
クスの製造方法の一実施例につき説明する。本例の誘電
体セラミクスの製造方法の製造工程も図３に示す如くで
ある。
【００１０】本例においては、先ずＴｉＯ2 ，ＭｇＯ，
ＣａＣＯ3 の原料粉末を（Ｍｇ0.95Ｃａ0.05）ＴｉＯ3
で示される組成に秤量し、これをボールミルで１５時間
湿式混合（１次混合）する。この湿式混合後これを乾燥
機を使用し、１００℃で２０時間乾燥し、これを粉砕す
る。
ＣａＣＯ3 の原料粉末を（Ｍｇ0.95Ｃａ0.05）ＴｉＯ3
で示される組成に秤量し、これをボールミルで１５時間
湿式混合（１次混合）する。この湿式混合後これを乾燥
機を使用し、１００℃で２０時間乾燥し、これを粉砕す
る。
【００１１】次にこの粉砕した粉末を仮焼する。この仮
焼はジルコニアるつぼを用いて焼成炉で１１００℃，５
時間，Ｏ2 雰囲気中で行う。
焼はジルコニアるつぼを用いて焼成炉で１１００℃，５
時間，Ｏ2 雰囲気中で行う。
【００１２】この仮焼後のセラミクスを粉砕し、２次混
合することにより粉末粒子径を調整する。この仮焼後の
粉末を乾燥し、その後この仮焼後の粉末に成形用のバイ
ンダーとしてＰＶＡ１０％の水溶液を１０％添加し、＃
２８のふるいで分級し、これを造粒粉とする。
合することにより粉末粒子径を調整する。この仮焼後の
粉末を乾燥し、その後この仮焼後の粉末に成形用のバイ
ンダーとしてＰＶＡ１０％の水溶液を１０％添加し、＃
２８のふるいで分級し、これを造粒粉とする。
【００１３】この造粒粉を水分調整して、プレス圧８．
２ＭＰａ，加圧時間２００秒で加圧成形を行う。この成
形体を焼成炉を用いてＯ2 雰囲気中で、図１に示す如く
焼成温度及び焼成時間を変化させて焼成を行った。
２ＭＰａ，加圧時間２００秒で加圧成形を行う。この成
形体を焼成炉を用いてＯ2 雰囲気中で、図１に示す如く
焼成温度及び焼成時間を変化させて焼成を行った。
【００１４】この焼成温度としては１１００℃，１２０
０℃，１２５０℃，１３００℃，１３５０℃とし、それ
ぞれ０〜１０時間焼成した。
０℃，１２５０℃，１３００℃，１３５０℃とし、それ
ぞれ０〜１０時間焼成した。
【００１５】この場合焼成セラミクスを直径１９ｍｍ，
厚さ７．６ｍｍの円柱に加工し、誘電体共振器法により
測定周波数３ＧＨｚ〜６ＧＨｚの範囲で共振周波数ｆと
そのＱ値を測定し、これからＱｆ値を算出した。この結
果を図１に示す。また図２に本例により製造した誘電体
セラミクスの誘電率εと焼成時間との関係を示す。
厚さ７．６ｍｍの円柱に加工し、誘電体共振器法により
測定周波数３ＧＨｚ〜６ＧＨｚの範囲で共振周波数ｆと
そのＱ値を測定し、これからＱｆ値を算出した。この結
果を図１に示す。また図２に本例により製造した誘電体
セラミクスの誘電率εと焼成時間との関係を示す。
【００１６】この図１，図２の結果よりして焼成工程に
おける焼成温度が１２００℃〜１２５０℃で、焼成時間
が２時間〜５時間の条件で製造した上述の誘電体セラミ
クスは誘電率εが従来と同等で２１と高く且つＱｆ値が
略６９０００ＧＨｚに改善されている。
おける焼成温度が１２００℃〜１２５０℃で、焼成時間
が２時間〜５時間の条件で製造した上述の誘電体セラミ
クスは誘電率εが従来と同等で２１と高く且つＱｆ値が
略６９０００ＧＨｚに改善されている。
【００１７】以上述べた如く本例によれば（Ｍｇ0.95Ｃ
ａ0.05）ＴｉＯ3 の誘電体セラミクスの焼成工程におけ
る焼成温度を１２００℃〜１２５０℃とし且つ焼成時間
を２時間〜５時間としているのでＱｆ値が略６９０００
ＧＨｚのものが得られ、それだけ特性が改善された、即
ちそれだけ低損失の誘電体セラミクスが得られる利益が
ある。
ａ0.05）ＴｉＯ3 の誘電体セラミクスの焼成工程におけ
る焼成温度を１２００℃〜１２５０℃とし且つ焼成時間
を２時間〜５時間としているのでＱｆ値が略６９０００
ＧＨｚのものが得られ、それだけ特性が改善された、即
ちそれだけ低損失の誘電体セラミクスが得られる利益が
ある。
【００１８】尚本発明は上述実施例に限ることなく本発
明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り
得ることは勿論である。
明の要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り
得ることは勿論である。
【００１９】
【発明の効果】本発明によればＱｆ値即ち低損失特性の
改善された誘電体セラミクスを得ることができる利益が
ある。
改善された誘電体セラミクスを得ることができる利益が
ある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の説明に供する線図である。
【図２】本発明の説明に供する線図である。
【図３】誘電体セラミクスの製造工程を示す線図であ
る。
る。
Claims (1)
- 【請求項１】 少なくとも原料粉末の混合工程、仮焼工
程、粉砕工程、加圧成形工程、焼成工程を経て製造する
ＭｇＴｉＯ3 −ＣａＴｉＯ3 系の誘電体セラミクスの製
造方法において、 前記焼成工程における焼成温度を１２００℃〜１２５０
℃とし且つ焼成時間を２時間〜５時間としたことを特徴
とする誘電体セラミクスの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6207729A JPH0873266A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 誘電体セラミクスの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6207729A JPH0873266A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 誘電体セラミクスの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0873266A true JPH0873266A (ja) | 1996-03-19 |
Family
ID=16544578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6207729A Withdrawn JPH0873266A (ja) | 1994-08-31 | 1994-08-31 | 誘電体セラミクスの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0873266A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0856489A1 (en) * | 1997-01-31 | 1998-08-05 | Kubota Corporation | Powder of titanium compounds |
| CN109206134A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-01-15 | 天津大学 | 一种高品质因数钛酸镁基微波介质陶瓷的制备方法 |
-
1994
- 1994-08-31 JP JP6207729A patent/JPH0873266A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0856489A1 (en) * | 1997-01-31 | 1998-08-05 | Kubota Corporation | Powder of titanium compounds |
| US5962551A (en) * | 1997-01-31 | 1999-10-05 | Kubota Corporation | Powder of titanium compounds |
| CN109206134A (zh) * | 2018-10-24 | 2019-01-15 | 天津大学 | 一种高品质因数钛酸镁基微波介质陶瓷的制备方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20040319 |