JPH087459Y2 - スカベンジヤの熱排気自動制御装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 この考案は、半導体製造装置に関するもので更に述べ
ると、スカベンジヤの熱排気量を自動的に制御するため
の装置に関するものである。

従来の技術 反応炉内で熱処理されたウエハは、熱排気中のスカベ
ンジヤ内に運ばれて、そこでゆつくりと冷却された後、
クリーンルームに運ばれる。

このスカベンジヤの熱排気は、排気口と接続する吸引
ダクトを介して常時行なわれている。

考案が解決しようとする問題点 従来例のスカベンジヤでは、常時熱排気を行なつてい
るため、スカベンジヤ内の温度は極めて不安定となるの
で、スカベンジヤ内を常に設定温度に維持することは困
難となる。

そのため、スカベンジヤ内の温度が低くなりすぎ、ウエ
ハが急激に冷却されてヒートシヨツクを受け、割れてし
まうことがある。

又、熱排気が強すぎると、スカベンジヤ内に乱気流が生
じ、クリーンルームの空気がスカベンジヤ内に巻き込ま
れることもある。

そのため、N₂パージをしながらウエハを冷却しているス
カベンジヤでは、ウエハに酸素などの不純物が付着し、
別の膜を形成してしまうことがある。

この考案は上記事情に鑑み、スカベンジヤの熱排気を自
動的に制御することを目的とする。

問題点を解決するための手段 この考案は、スカベンジャ内に配設した石英管のオー
トシッャタと；前記スカベンジャの排気口に設けたダク
ト風量調整装置と；該スカベンジャ内に設けた温度セン
サと；該温度センサの測定温度と設定温度とを比較し、
その温度差に応じて、前記ダクト風量調整装置及びオー
トシャッタを制御するコンピュータと；を備えているこ
とを特徴とするスカベンジャの熱排気自動制御装置によ
り前記目的を達成しようとするものである。

作用 温度センサにより常時スカベンジヤ内の温度が検出さ
れているが、その測定値が設定温度より低くなると、コ
ンピュータの指示によりダクト風量調整装置が作動して
排気口の開度を小さくし、熱排気量を少なくする。

又、前記と逆に、その測定値が設定温度より高くなる
と、コンピュータの指示により、オートシャッタが閉じ
ている場合には該オートシャッタが開かれるとともに、
ダクト風量調整装置が作動して排気口の開度を大きく
し、熱排気量を多くする。

実施例 この考案の実施例を添附図面により説明するが同一図
面符号は、その名称も機能も同一である。

又スカベンジヤ10の排気口11には、ダクト風量調整装
置12が設けられている。

この調整装置12は、第２図に示す様な遮断型弁を備え
ており、弁体14がモータＭの駆動によりガイドフレーム
15内を上下動A14すると、排気口11と連通する開口部16
の開度が変化する。

このダクト風量調整装置12の弁は、前記遮断型弁に限
定されるものではなく、例えば第３図第４図に示す様な
弁でもよい。

即ち、第３図の弁は、所謂バタフライ型弁であり、フレ
ーム18内の弁体19がモータＭの駆動により、矢印A19方
向に回転すると、排気口11と連通する開口部20の開度が
変化する。又、第４図に示した弁は、フレーム20の上端
縁に弁体22を設け、該弁体22をモータＭの駆動により矢
印A22方向に回転させると、排気口11と連通する開口部2
3の開度が変化する。

24は、スカベンジヤ内の温度を測定するための温度セン
サで、この温度センサ24として、例えばスカベンジヤ内
壁10aに設けた熱電対温度計24が用いられる。

この温度センサ24は、図示しないコンピュータを介して
ダクト風量調整装置12のモータＭと接続されている。

次にその実施例の作動につき説明すると、温度センサ24
の測定値が設定温度より低くなると、コンピユータの指
示によりダクト風量調整装置12のモータＭが所定方向に
回転して弁体14を上方に移動させるので、開口部20が次
第に閉められる。

そのため、排気口11からダクト26に排出される熱排気量
は次第に少なくなるので、スカベンジヤ内の温度は高く
なる。

又、温度センサ24の測定値が設定温度より高くなつた時
に、オートシャッタ25が閉じている場合には、コントロ
ーラによりオートシャッタ25が開かれると共に、コンピ
ユータの指示により該装置12のモータＭが前記と反対方
向に向つて弁体14を下方に動かせるので、開口部20が次
第に開けられる。

そのため、排気口11からダクト26に排出される熱排気量
は、次第に多くなるので、スカベンジヤ内の温度は低く
なる。

なお、27はオートシャッタ25と連動するオートドア、28
は反応管29を内蔵した反応炉、30は、石英管である。

考案の効果 この考案は、以上の様に構成したので、温度センサの
測定値が設定温度より低くなると、コンピュータの指示
によりダクト風量調整装置が作動し、熱排気量を少なく
し、又、逆に該測定値が設定温度より高くなった時に、
コンピュータの指示により、オートシャッタが閉じてい
る場合には該オートシャッタが開かれるとともにダクト
風量調整装置が作動し、熱排気量を多くする。

そのため、スカベンジャ内の温度を設定温度に維持す
ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例を示す一部断面斜視図、第２
図は第１図の要部拡大図、第３図、第４図は、夫々他の
実施例を示す斜視図で、第２図に相当する図、第５図は
使用状態を示す断面図である。 10……スカベンジヤ 11……排気口 12……ダクト風量調整装置 24……温度センサ

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】スカベンジャ内に配設した石英管のオート
   シャッタと； 前記スカベンジャの排気口に設けたダクト風量調整装置
   と； 該スカベンジャ内に設けた温度センサと； 該温度センサの測定温度と設定温度とを比較し、その温
   度差に応じて、前記ダクト風量調整装置及びオートシャ
   ッタを制御するコンピュータと；を備えていることを特
   徴とするスカベンジャの熱排気自動制御装置。