JPH087582A - 薄膜フローティング・ゲート・アモルファス・トランジスタを利用する不揮発性レジスタ・システム - Google Patents

薄膜フローティング・ゲート・アモルファス・トランジスタを利用する不揮発性レジスタ・システム

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JPH087582A
JPH087582A JP13623695A JP13623695A JPH087582A JP H087582 A JPH087582 A JP H087582A JP 13623695 A JP13623695 A JP 13623695A JP 13623695 A JP13623695 A JP 13623695A JP H087582 A JPH087582 A JP H087582A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 電力が切れまたは失われた場合にデータを不
揮発的に記憶する、アモルファス・シリコン薄膜フロー
ティング・ゲート・トランジスタを有する改良型不揮発
性シフト・レジスタを提供する。 【構成】 シフト・レジスタが、複数のレジスタ・セル
として構成された複数のアモルファス・シリコン薄膜ト
ランジスタを含み、データは、複数のアモルファス・シ
リコン薄膜フローティング・ゲート・トランジスタ中を
シフトされる。各セルは、データ信号が次の段および次
のセルに入力される前に書き込まれる2つの段を含む。
クロック発生器がレジスタにおけるデータのシフトを制
御するためのクロック信号を受信する。 【効果】 電力が遮断されまたは失われた場合、フロー
ティング・ゲート・トランジスタがデータを不揮発的に
記憶し、後に電力が回復したときにそのデータを再生す
ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はデータ処理の分野に関
し、より詳細には、電力が切れまたは失われた場合にデ
ータを不揮発的に記憶する、アモルファス・シリコン薄
膜フローティング・ゲート・トランジスタを有する改良
型不揮発性シフト・レジスタに関する。
【0002】
【従来の技術】アモルファス薄膜トランジスタは、大面
積低コスト集積回路に有利な技術を提供する。そのよう
なトランジスタのあるものは、データの不揮発性記憶を
提供するのに使用できるフローティング・ゲートを有す
る。データを一時的に記憶し、電力が切れたときや電源
故障の場合にデータが失われる、多くの異なるデバイス
が、ディジタル回路で一般に使用されている。標準のレ
ジスタはそのようなデバイスの例である。本発明は一般
に、電源が入っている間はデータをバッファしまたは一
時的に記憶し、電力が失われまたは切れた場合にはデー
タを不揮発的に記憶するために、アモルファス・シリコ
ン薄膜フローティング・ゲート・レジスタを使用する、
改良型のレジスタを対象とする。本発明は、電源が入っ
ている間はデータをバッファしまたは一時的に記憶し、
電力が失われまたは切れた場合にはデータを不揮発的に
記憶するためにアモルファス・シリコン薄膜フローティ
ング・ゲート・レジスタを使用し、データの直列入出力
フローを提供する、改良型のシフト・レジスタをも対象
とする。データのこのような保存は、診断、起動、およ
び再開操作に使用すると有利である。
【0003】フローティング・ゲート・トランジスタ
は、結晶半導体材料を用いて実施されてきたことが知ら
れている。このようなトランジスタは、フローティング
・ゲートの周囲の絶縁体の電子なだれ降伏(avala
nche breakdown)によってフローティン
グ・ゲート上に電荷を注入することにより操作される。
このようなトランジスタは、電源が切れているときに注
入された電荷が長期間不揮発的に記憶できる、消去可能
プログラム可能読取り専用メモリ(EPROM)に使用
される。しかし、結晶フローティング・ゲート・トラン
ジスタ・デバイスは、電荷を消去しデバイスを再プログ
ラムするのに比較的長い時間を要し、電子なだれ降伏の
有害な影響のために絶縁材の寿命が短いので、他の用途
は限られている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明の1つの目的
は、レジスタが動作している間はデータをバッファしま
たは一時的に記憶し、電力が失われまたは切れた場合に
はデータを不揮発的に記憶するために、アモルファス・
シリコン薄膜フローティング・ゲート・トランジスタを
使用する、改良型のレジスタを提供することにある。
【0005】本発明の他の目的は、データがレジスタ中
をシフトされるときにデータをバッファしまたは一時的
に記憶し、電力が失われまたは切れた場合にはデータを
不揮発的に記憶するために、アモルファス・シリコン薄
膜フローティング・ゲート・トランジスタを使用する、
改良型のレジスタを提供することにある。
【0006】本発明の他の目的は、レジスタ全域にアモ
ルファス・シリコン薄膜トランジスタを使用する、改良
型の集積回路シフト・レジスタを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】要点を言えば、本発明に
よれば、レジスタは、データがアモルファス薄膜フロー
ティング・ゲート・トランジスタ間でシフトされる複数
のレジスタ・セルとして構成された、複数のアモルファ
ス薄膜トランジスタを含む。電力が切れまたは失われた
場合、フローティング・ゲート・トランジスタがデータ
を不揮発的に記憶し、したがって後で電源が入ったと
き、そのデータを再生または回復することができる。
【0008】
【実施例】図面を参照すると、図1は、ゲート12とソ
ース14とドレイン16を有する3端子アモルファス・
シリコン(A−Si)薄膜電界効果トランジスタ10で
ある基本トランジスタ10を概略的に示す。ゲート12
は非導電性キャリア18上に付着したアルミニウム製で
ある。絶縁材料層22がゲート12を覆い、層22上に
薄膜A−Si Nチャンネル24が付着されている。N
チャンネルとは、大部分のキャリアが電子である、A−
Siを通るチャンネルである。ソース14およびドレイ
ン16の上部はアルミニウム製でオーム電極26、28
上に付着され、接点または端末を形成し、これに他の金
属線を接続してトランジスタを回路中に組み込むことが
できる。これらのオーム電極はチャンネル24上に間隔
をあけて付着されている。電極26および28はN型半
導体材料で形成することが好ましい。ゲート12は絶縁
層22を通って延びる端子部分20をも含む。操作中、
(ソースに対して)正の電位がゲート上にあると電界が
生じ、それによってチャンネル24が導通して電流がソ
ースとドレインの間に流れることができるようになる。
基本トランジスタ10は、以下により詳しく述べるよう
に、電流制限デバイス、インバータ、ソース・ホロワ、
電子スイッチ、およびアナログ・スイッチを含めて種々
の構成および機能に利用される。A−Si薄膜トランジ
スタは、ガラス、石英、プラスチックなど種々の基板材
料上に付着することができる。基板材料は、剛性のもの
でも可撓性のものでも良く、かなり大きく(たとえば2
0×20cm(8×8インチ))することができる。薄
膜トランジスタの構成は当業者には周知である。(たと
えば、ニック・ホール・ジュニア(Nick Hall, Jr.)著
Prentice Hall Series In Solid State Physical Elec
tronics, pp 437-446,Prentice Hall, 1990を参照のこ
と)。
【0009】図2は、アモルファス・シリコン(A−S
i)薄膜フローティング・ゲート電解効果トランジスタ
30を示すが、これは本明細書および特許請求の範囲で
は「基本」トランジスタと区別するために単に「フロー
ティング・ゲート」トランジスタと称する。トランジス
タ30は、制御ゲート31とチャンネル24との間の絶
縁体22中に完全に封入または埋め込まれたフローティ
ング・ゲート32が加わった以外はトランジスタ10と
類似の構造をもつ。そのフローティング・ゲート32は
ドレインあるいはソースよりも制御ゲート31の方に近
接しており、制御ゲート、ゲート、およびソースと静電
的に結合して3個の平行な平板コンデンサを形成する。
トランジスタ30はデータ記憶デバイスとして使用さ
れ、以下に述べるようにして、これらのコンデンサの静
電充電がチャンネルの導電性を制御し、情報のビットを
表す。絶縁体22は、漏洩電流に対して高い抵抗力を有
し、したがってコンデンサは電源が切れたとき長時間電
荷を保持することができる。窒化ケイ素またはポリスチ
レン製の絶縁体は少なくとも6カ月間電荷を保持するこ
とができる。トランジスタ30も上記の薄膜プロセスで
製造される。制御ゲート31にレベル+Vddの正電圧
が印加されるとき、チャンネル24は導通し、制御ゲー
ト31にレベル−Vssの負電圧が印加されるとき、チ
ャンネル24は非導通になる。
【0010】図3において、不揮発性シフト・レジスタ
34は、2つの直列データ・ポート36および40、パ
ワー源50、開閉スイッチ52、電源48、およびクロ
ック44をも含むデータ処理システムの一部である。ポ
ート36は入力線38上にDATA−IN信号として供
給される直列データのソースである。ポート40は線4
2によってレジスタ34の出力に接続され、DATA−
OUT信号を受け取る。クロック44は選択的に連続的
または断続的に動作でき、データが受信されるときとデ
ータがシフトアウトされるときとの間に遅延があるよう
にレジスタ中を流れる。直列データ信号と同期して、ク
ロック44はCLOCK−IN信号を発生し、この信号
は線46を経てレジスタ34に送られ、以下に詳述する
ようにレジスタ34中への、レジスタ34内の、および
レジスタ34から外へのデータのシフトを制御する。パ
ワー源50は交流電源、または電池、コンバータなどか
らの直流電源、あるいはその両者とすることができる。
スイッチ52は選択的に始動され、閉じたとき電源50
を電源48に接続し、電源48はこれに応じて電圧供給
線54および56を経て+Vddおよび−Vss電圧を
レジスタ34に供給する。レジスタ34内のデータは、
電源50が切られ、切断され、または故障している間不
揮発的に記憶される。このように記憶されたデータは、
電力が入った後、クロック44を始動してデータをレジ
スタからシフトアウトすることにより回復することがで
きる。
【0011】図4に示すように,CLOCK−IN信号
は、クロック期間(CP)1ミリ秒の一連の定期的で等
幅のパルスである。図4に示す信号の大きさは信号の高
低レベルを表す+Vdd電圧と−Vss電圧の間で変動
する。DATA−IN信号はCLOCK−IN信号と同
期して駆動され、したがってCLOCK−IN信号が正
のとき、データは安定である。DATA−IN信号は−
Vss電圧で、「0」ビットを表し、+Vddで「1」
ビットを表す。残りの信号については、図5に示す回路
図の詳細を参照して後述する。+Vddおよび−Vss
の典型的な電圧レベルは+/−30ボルトであり、これ
らのレベルは標準の5ボルト論理レベルに容易に変換で
き、そのような標準論理レベルを必要とする回路に使用
される。
【0012】図7は、基本トランジスタT、アナログ・
スイッチAS、およびフローティング・ゲート・トラン
ジスタFGTを表すために図5および図6で使用する様
々なトランジスタ記号を示す。ゲート、制御ゲート、ド
レインおよびソースは図7中では「G」、「CG」、
「D」、および「S」で示してあるが、図5および図6
では混乱を避けるためにこれらの文字が省略してある。
【0013】図5および図6において、シフト・レジス
タ34は、種々のアモルファス・トランジスタが共通の
キャリア上に作成される集積回路として形成することが
好ましく、このトランジスタは信号を運ぶ金属化線で相
互接続または結合される。レジスタ34はn個の二重
段、レジスタ・セル60−1ないし60−nと、クロッ
ク発生器62を含む。セル数nは具体的な目的または用
途に応じて選択できる。通常、レジスタ34は、8、1
6、または32ビットを記憶するためこれらの数のセル
を有する。第1のレジスタ・セル60−1は入力レジス
タ・セルで、これに直列データが書き込まれ、最後のレ
ジスタ60−nは出力レジスタ・セルで、これから出力
データを読み取ることができる。クロック発生器62
は、データ・シフト信号またはタイミング信号を全ての
レジスタ・セル60に並行して供給する。
【0014】クロック発生器62は線46上でCLOC
K−IN信号を受け取り、それに応じてCLOCK−A
信号およびCLOCK−B信号を発生する。後でより詳
しく述べるように、CLOCK−A信号はセル内に、ま
たはセル間でデータをシフトするのに用いられ、CLO
CK−Bはセルの段間でデータをシフトするのに用いら
れる。発生器62は、電圧線54と56の間に並列に接
続されたスイッチを形成する4個のトランジスタT1
1、T12、T13、T14を含む。トランジスタT1
1−T14はゲート電圧が正または高のとき導通し、ゲ
ート電圧が負または低のときは非導通である。4個のト
ランジスタT7−T10はそれぞれトランジスタT11
−T14と直列に接続され、かつ電圧線54と56の間
に互いに並列に接続される。トランジスタT7−T10
は共通接続されたゲートおよびソースを有し、それによ
りトランジスタ・スイッチ間を通る電流を制限する負荷
デバイスを動作させる。このような構成では、スイッチ
T11−T14は所定の回路遅延で動作するインバータ
として働く。たとえば、T11のゲートが高のとき、T
11はそのソースと線64とが−Vssに結合されるよ
うに挙動し、T11中の電圧低下は無視できる。線64
上の信号は短い回路遅延の後ゲート信号に対して反転さ
れる。
【0015】線64は、T11のドレイン、T7のソー
ス、T12のゲート、およびAS1のゲートを相互接続
し、それらの間でCLOCK−A信号を送る。線64は
また、他の全てのレジスタ・セルの対応するASにCL
OCK−A信号を運ぶ。T11のスイッチ動作の結果、
CLOCK−IN信号が変化した後の所定の回路遅延の
終わりにCLOCK−Aが反転される。図4のタイミン
グ信号に対してCLOCK−A信号は下記のように発生
する。CLOCK−INが高である時間t0の直前から
スタートすると、T11は導通しまたはオンであり、線
64は(線56上の高いゲート入力に対して反転され)
低信号に結合されている。時間t0でCLOCK−IN
が低になると、スイッチT11は非導通になり、線64
を線56から切断し、その結果、短い回路遅延の後の時
間t1に線64は高になる。その後、CLOCK−IN
が時間t2で正になると、CLOCK−Aはt3で低に
なる。
【0016】t1におけるCLOCK−Aの正に向かう
信号がスイッチT12のゲートに印加され、それによっ
てT12が非導通状態から導通状態に切り替わり、その
結果、線66の電圧が負になる。線66は、T12のド
レイン、T8のソース、およびT13のゲートの間に接
続されている。線66が負になると、スイッチT13は
非導通になり、そのため線68上の電圧が正にされる。
線68は,T13のドレイン、T9のソース、およびT
14のゲートに接続されている。線68が正になると、
スイッチ14がオフになり、そのため線70の電圧が負
になる。線70上の電圧はCLOCK−B信号であっ
て、AS2および各レジスタ・セル内の対応するASの
ゲートに送られる。スイッチT12−T14のスイッチ
動作は、CLOCK−Aに対してCLOCK−Bが変化
する前に3つの短い回路遅延をもたらす。CLOCK−
Bのスイッチ動作は、CLOCK−INが変化してから
4つの回路遅延後に生ずる。回路遅延は十分に短く、ク
ロック周期の半分以内で生ずるので、CLOCK−B
は、CLOCK−INが時間t2に立ち上がる前に時間
t4に立ち下がる。t2でCLOCK−INが立ち上が
ると、トランジスタ・スイッチの起動は今述べた動作の
逆に切り替わる。すなわち、CLOCK−INがt2で
正になるのに応答して、時間t3でスイッチT11がオ
ンになり、CLOCK−Aが負になる。この結果、T1
2がオフになり、T13がオンになり、T14がオフに
なり、その結果、時間t5でCLOCK−Bが正にな
る。したがって、CLOCK−Aが1遅延時間でCLO
CK−INに逆に追従し、CLOCK−Bが3遅延時間
でCLOCK−Aに逆に追従し、4遅延時間でCLOC
K−INに追従することは明らかである。
【0017】各レジスタ・セル60は類似しているの
で、1つ(60−1)だけについてその構造および動作
と、次のセル(60−2)との関係を詳述するだけでよ
い。レジスタ・セル60−1は、それぞれCLOCK−
AおよびCLOCK−Bの制御下で動作する2つの段6
1および63を含む。段61はセル60−1の第1段ま
たは入力段であり、AS1、FGT1、T1、T2、お
よびT3を含む。スイッチAS1のドレインおよびソー
スはデータ入力線38およびFGT1のゲートに接続さ
れる。AS1のゲートが正になると、AS1は導通し、
FGT1の制御ゲートに印加される電圧信号はデータ入
力信号に追従し、それに応じて正または負に振れる。次
にAS1がオフになると、FGT1のフローティング・
ゲートは、AS1がオフになったときのDATA−IN
信号のレベルに応じて、ソースおよびドレインに対して
正または負の電荷を保持する。FGT1の絶縁体の抵抗
率が高いため、FGT内部での電流漏れが防止される。
AS1は非導通(オフ)のときも抵抗率が高く、FGT
1の制御ゲートを分離するので、FGTの外部の回路を
通る蓄積電荷の外部への漏洩はない。
【0018】FGT1のソースは接地線72に結合さ
れ、FGT1のドレインは線74でトランジスタT1の
ソースとトランジスタT2のゲートに結合されている。
接地線72は中央基準点となる。トランジスタT1のゲ
ートおよびドレインは電圧供給線54に共通接続され、
+Vdd電圧を受け取る。すなわちトランジスタT1
は、FGT1のドレイン、チャンネル、およびソースを
通る電流を制限するための負荷デバイスとして構成され
る。FGT1が導通状態であるとき、線74は接地レベ
ルまで引き下げられ、FGT1が非導通状態であると
き、線74は+Vddに引き上げられる。トランジスタ
T2は、電圧レベルをシフトするソース・ホロワとして
線74と76との間に接続される。トランジスタT2の
ドレインは+Vddであって線54に接続され、そのソ
ースは線76でAS2のドレインに、またトランジスタ
T3のドレインおよびゲートに接続される。T3のソー
スは線56に接続され、−Vssである。T3はこのよ
うに負荷デバイスとしてT2のソースに接続される。線
74上の電圧は線76上の電圧より比較的一定量だけ高
く、電圧レベルのシフトを生じ、FGT1がオンかオフ
かに応じてAS2にかかる電圧を正または負にする。F
GT1がオフの場合、AS2にかかる電圧は正であり、
FGT1がオンの場合はAS2にかかる電圧は負であ
る。
【0019】段63はセル60−1の第2段または出力
段であり、AS1、FGT1、T1、T2、およびT3
と同等の、AS2、FGT2、T4、T5、およびT6
を含み、線76は段への入力線として働き、AS2は線
70のCLOCK−B信号によって制御される。線80
は段63およびレジスタ・セル1からのデータ出力線を
形成する。線80はまた次のレジスタ・セル60−2の
データ入力線でもあり、線80によって送られる信号を
DATA OUT/IN信号と称する。
【0020】図4を参照して、第1ビットが「0」で負
のDATA−IN信号で定義され、第2ビットが「1」
で正のDATA−IN信号で定義される2ビットのデー
タをレジスタにシフトする例を用いて、レジスタ・セル
1のその後の動作を説明する。このような入力では、D
ATA−IN信号はポート36によって第1クロック周
期CP1の間は負に、第2クロック周期CP2の間は正
に駆動され、データ信号は各周期中にCLOCK−IN
信号が正になるとき安定である。各クロック周期は1ミ
リ秒であり、これによってデータがその間に書き込まれ
シフトされる書き込みサイクルが定義される。
【0021】時間t0でCLOCK−IN信号が負にな
るのに応答してトランジスタT11は信号を反転し、時
間t1でCLOCK−A信号を正(矢印100で示す)
にする。時間t1でCLOCK−Aが正になるのに応答
してスイッチAS1が導通状態(矢印101)になり、
そのため第1ビットがセル60−1の第1段61に入力
され、その段の出力線76がt2でそのビットを示す電
圧信号を生ずる(矢印102で示す)。この動作中、F
GT1の制御ゲートは「0」ビットを表す負のDATA
−IN信号を受け取り、その結果、FGT1は非導通状
態になり、線74は高に引き上げられ、そのため線76
が時間t2で正になる。すなわち、DATA−IN信号
は入力データ線から線76に送られ反転される。t3で
CLOCK−INが高になり、その結果(矢印103)
CLOCK−Aはt4で低になり、そのためAS1が開
き、FGTIの制御ゲートがDATA−IN信号から減
結合または切断される。こうして「0」データ・ビット
が周期CP1の残りの間FGTIに書き込まれまたは記
憶され、線76上の信号は、高で「0」ビットを表す出
力信号を段61から提供する。
【0022】この時点でA−SiアモルファスFGTの
動作の理論をもう少し議論しておくことは本発明のより
よい理解に役立つであろう。先に図2に関して示したよ
うに、FGT30は制御ゲート31とフローティング・
ゲート32の間、ソース14とフローティング・ゲート
32の間、およびドレイン16とフローティング・ゲー
ト32の間の静電結合によって形成される3個のコンデ
ンサを有する。フローティング・ゲートは3個のコンデ
ンサの全てに共通である。フローティング・ゲート32
とソース14との間の電圧による電界効果によって、チ
ャンネル24が導通状態であるかどうかが決まる。しか
し、2個のコンデンサ(制御ゲート/フローティング・
ゲート、およびフローティング・ゲート/ソース)は直
列であり、分圧器として働く。フローティング・ゲート
はソースより制御ゲートに近いので、制御ゲート/フロ
ーティング・ゲート・コンデンサの方が容量がより大き
く、その両端間の電圧低下がより少ない。したがって、
制御ゲートとフローティング・ゲートとの間に起こる電
圧低下は失われ、あるいは直接の導通制御には使えない
ので、フローティング・ゲートとソースとの間に導通制
御に必要な電圧を発生させるために比較的高い電圧(+
/−30ボルト)をかける必要がある。制御ゲート31
に印加されるデータ信号は電流を生じコンデンサを充電
させる。抵抗率が全方向で高く、かつ低インピーダンス
漏洩経路がないため、AS1が開いたときコンデンサは
充電されたままとなる。結晶半導体材料で形成されたフ
ローティング・ゲートと異なり、本発明に用いられるA
−Si FGTは静電電荷の移動によって動作し、フロ
ーティング・ゲートの周囲の絶縁体の降伏電圧および電
子なだれ降伏を利用しない。
【0023】t4でAS1がこうしてオフになると、A
S2がオフになる。t4でCLOCK−Aが低になるの
に応答して、次にCLOCK−Bがt5で高になり(矢
印104)、その信号がAS2をオンにし(矢印10
5)、入力段61からの第1ビットをセル60−1の出
力段63に送る(矢印106)。転送中、線76上の正
の信号がFGT2の制御ゲートを正にし、そのためFG
T2がオンになり、その結果線78は低になり、線80
を負にする。この負の信号は段63およびセル60−1
の出力において「0」ビットを表す。
【0024】周期CP2の始めにCLOCK−INはt
6で低になり、その結果(矢印107)CLOCK−A
がt7で高になる。CLOCK−A信号およびCLOC
K−B信号はレジスタの各セルに送られ、CLOCK−
A信号が矢印108で示すようにセル60−2のAS3
をオンにすることを思い出されたい。AS3は、FGT
3を、T22およびT23によって反転されレベル・シ
フトされた線80からの入力データ信号に結合し、t9
で線84を高にする。この高の信号は段77の出力およ
び段79への入力に現れるとき、第1ビット「0」を表
す。次にこの第1ビットは、段63を経たのと同様に段
79を経て、またレジスタ34の残りのセルを経て伝播
され、転送される。「n」クロック周期の終わりに、第
1ビットがデータレジスタの出力線42から送られる。
【0025】第1ビットがセル60−2に入力されるの
と同時に、正のCLOCK−Aパルスがまたt7にAS
1を閉じ(矢印110)、それによって正のDATA−
IN信号をFGT1に結合し、そのため線76は負にな
って第2ビットを表す。第2ビットは次に第1ビットと
同様に残りのレジスタ中をシフトされる。一連のデータ
・ビットが同様にレジスタ中をシフトされることは明ら
かであろう。電力がいずれかの時点で失われた場合、電
力が回復しなくても、FGTに記憶されたデータ・ビッ
トは何カ月も残る。電力が回復したとき、レジスタ34
内のデータは、クロック44を「n」クロック周期の間
動作させて、レジスタからのデータをポート40中をシ
フトさせるだけで回復することができる。
【0026】レジスタ・セル60−2は、段61および
63と同等の2つの段77および79を含む。段77は
AS3、FGT3、T21、T22、およびT23を含
み、段77の出力線84が段79の入力(AS4のドレ
イン)に接続される。段79はAS4、FGT4、T2
4、T25、T26、および出力線88を含む。残りの
セル60−3ないし60−nはセル60−1および60
−2と同様に構成され動作する。
【0027】「n」個のレジスタ・セル60では、レジ
スタに「n」個の直列ビットを書き込むために「n」個
のクロック・パルスと、レジスタからそれらのビットを
読み出すためにさらに「n」個のクロック・パルスが必
要であることは明らかであろう。CLOCK−Aパルス
に応答してデータ入力線38上のデータ・ビットがセル
60−1の第1段に書き込まれ、セル60−1ないし6
0−(n−1)の第2段のデータ出力線上のデータ・ビ
ットは次のセル60−2ないし60−nの第1段に書き
込まれる。電力が切られ、また失われ、後で回復した場
合、レジスタに記憶された「n」個のデータ・ビットは
「n」個のクロック・パルスに応答して読み取ることが
できる。
【0028】頭記の特許請求の範囲において定義される
本発明の範囲を逸脱することなくステップおよび部品の
詳細および配置に多くの変更が可能であることは当業者
には明らかであろう。
【0029】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
【0030】(1)データ・ビット信号を供給するデー
タ・ソースと、上記データ・ソースに接続され、そこか
らデータを受け取るためのレジスタと、上記レジスタに
接続され、そこからデータを受け取るためのデータ・シ
ンクと、オンのときに上記レジスタに電力を供給するた
めの選択的に操作される電源とを備え、上記レジスタが
複数のレジスタ・セルを有し、上記レジスタ・セルの各
々が第1および第2の段を含み、各上記段が、制御ゲー
トと、ドレインと、ソースと、上記ドレインと上記ソー
スとの間に延び、上記制御ゲートと上記ソースの間に第
1の極性の電圧信号が印加されたときに導電性になり、
上記制御ゲートと上記ソースの間に第1の極性と逆の極
性の電圧信号が印加されたときに非導電性になるチャン
ネルと、上記制御ゲートと上記チャンネルとの間の絶縁
体と、上記絶縁体に埋込まれたフローティング・ゲート
とを含む、薄膜アモルファス・フローティング・ゲート
・トランジスタ(FGT)と、データ入力線と、データ
出力線と、印加されたスイッチ信号に応答して開閉する
ためのゲートと、上記データ入力線と上記制御ゲートと
の間に接続され、オンのときに上記データ入力線上のデ
ータ・ビット信号を上記制御ゲートに結合し、それによ
り、そのようなデータ・ビットを表すように上記フロー
ティング・ゲートを静電的に充電するためのドレインお
よびソースとを有する薄膜アモルファス・トランジスタ
を含むアナログ・スイッチ(AS)とを備え、各上記レ
ジスタ・セルの第1段のデータ出力線が、上記第2段の
データ入力線に結合され、さらに、各上記レジスタ・セ
ルの上記ASに接続され、第1のスイッチング・パルス
を全ての上記第1段の上記ASに供給してデータ・ビッ
トを上記第1段に書き込み、第2のスイッチング・パル
スを全ての上記第2段の上記ASに供給して上記第1段
の各々内のデータ・ビットを上記第2段の各々に転送す
るための、スイッチング・パルス発生器を含み、上記レ
ジスタ・セルの上記FGTが、上記電源が上記レジスタ
への電力の供給を停止したときに、データ・ビットを不
揮発的に記憶するように動作することを特徴とする、レ
ジスタ・システム。 (2)前のセルの第2段からの各データ出力線が、次の
セルの第1段のデータ入力線に接続され、上記レジスタ
・セルが、それにより上記第1のタイミング・パルスが
レジスタ・セル間でデータ・ビットをシフトするよう
に、直列に接続されることを特徴とする、上記(1)に
記載のレジスタ・システム。 (3)一連のクロック・パルスを発生させるためのクロ
ックを備え、上記データ・ソースが、上記クロック・パ
ルスと同期して一連のデータ・ビット信号を供給するよ
うに動作し、上記スイッチング・パルス発生器が、上記
データ・ビット信号と同期して第1および第2のスイッ
チング信号を発生させるように動作し、それにより上記
レジスタを直列入出力シフト・レジスタとして動作させ
ることを特徴とする、上記(2)に記載のレジスタ・シ
ステム。 (4)上記電源に接続され、逆の極性を有する第1およ
び第2の電圧を供給するための第1および第2の電圧供
給線を含み、各段がさらに、その段における上記第1電
圧供給線と上記FGTの間に接続され、上記FGTが導
電性であるときにFGT内の電流を制限するための負荷
デバイスと、上記FGTおよび上記データ出力線に結合
されたソース・ホロワと、ソース・ホロワと上記第2電
圧供給線の間に接続され、上記ソース・ホロワ中の電流
を制限するための第2の負荷デバイスとを含むことを特
徴とする、上記(2)に記載のレジスタ・システム。 (5)上記電源に接続され、逆の極性を有する第1およ
び第2の電圧を供給するための第1および第2電圧供給
線を含み、各段がさらに、その段における上記第1電圧
供給線と上記FGTのドレインの間に接続され、上記F
GTが導電性であるときにFGT内の電流を制限するた
めの負荷デバイスと、上記FGTのドレインに結合され
たゲートと、上記第1電圧供給線に結合されたドレイン
と、上記データ出力線と結合されたソースとを有するソ
ース・ホロワと、ソース・ホロワの上記ソースと上記第
2電圧供給線との間に接続され、上記ソース・ホロワ中
の電流を制限するための第2の負荷デバイスとを含み、
上記ソース・ホロワが、その段の上記データ入力線上の
データ・ビット信号の極性と逆の極性を有するデータ信
号を上記データ出力線上に発生するように動作すること
を特徴とする、上記(2)に記載のレジスタ・システ
ム。 (6)上記シフト・レジスタがn個のレジスタ・セルを
有し、上記クロックが、上記シフト・レジスタにn個の
データ・ビットを書き込むためのn個のクロック・パル
スを発生することを特徴とする、上記(3)に記載のレ
ジスタ・システム。 (7)上記シフト・レジスタがn個のレジスタ・セルを
有し、上記クロックが、上記シフト・レジスタからn個
のデータ・ビットを読み取るためのn個のクロック・パ
ルスを発生することを特徴とする、上記(3)に記載の
レジスタ・システム。 (8)正および負の電圧を供給するための選択的に操作
される電源と、一連のクロック・パルスを発生するため
のクロックと、上記クロック・パルスと同期して一連の
データ・ビット信号を供給するためのデータ・ソース
と、データを受け取るためのデータ・シンクと、上記デ
ータ・ソースに結合された上記データ・ビット信号を受
信するための入力線と、上記データ・シンクに結合され
た出力線とを有し、上記電源に結合され、さらに、上記
電源から正の電圧を受け取るための第1母線と上記電源
から負の電圧を受け取るための第2母線を備え、さら
に、複数のレジスタ・セルとクロック発生器とを備え
る、シフト・レジスタとを含み、上記レジスタ・セルの
各々が、第1および第2の段を含み、各上記段が、制御
ゲートと、ドレインと、ソースと、上記ドレインと上記
ソースとの間に延び、上記制御ゲートと上記ソースの間
に正の電圧信号が印加されたときに導電性になり、上記
制御ゲートと上記ソースの間に負の電圧信号が印加され
たときに非導電性になるN型チャンネルと、上記制御ゲ
ートと上記N型チャンネルの間の絶縁体と、上記絶縁体
中に埋め込まれたフローティング・ゲートとを含む、薄
膜アモルファス・シリコン(A−Si)フローティング
・ゲート・トランジスタ(FGT)と、データ入力線
と、データ出力線と、上記データ入力線と上記制御ゲー
トの間に結合され、印加されたスイッチ信号に応答して
開閉するためのゲートと、オンのときに上記データ入力
線上のデータ・ビット信号を上記制御ゲートに結合し、
それによりそのようなデータ・ビットを表すように上記
フローティング・ゲートを静電的に充電するための、ド
レインおよびソースとを有するN型薄膜アモルファス・
シリコン・トランジスタを含むアナログ・スイッチ(A
S)と、その段における上記の第1の母線と上記FGT
の上記ドレーンとの間に接続され、そのFGTが導電性
であるときに上記FGT中の電流を制限するための第1
の負荷デバイスと、上記FGTの上記ドレーンに結合さ
れたゲートと、上記の第1の母線に結合されたドレイン
と、上記データ出力線に結合されたソースとを有し、そ
の段の上記データ入力線上のデータ・ビット信号の極性
と逆の極性を有するデータ信号を上記出力線上に発生す
るように動作する、ソース・ホロワと、上記ソース・ホ
ロワの上記ソースと上記の第2の母線との間に接続さ
れ、上記ソース・ホロワを通る電流を制限するための第
2の負荷デバイスとを備え、上記ソース・ホロワが、そ
の段のデータ入力線のデータ・ビットと逆極性のデータ
・ビット信号をその段のデータ出力線に発生させるよう
に動作し、各レジスタ・セルの第1段のデータ出力線が
その第2段のデータ入力線に結合され、先行する各レジ
スタ・セルの、第2段のデータ出力線が、次のレジスタ
・セルの第1段のデータ入力線に結合され、上記クロッ
ク発生器が、各レジスタ・セルの各ASに接続され、第
1のスイッチング・パルスを全ての上記第1段の上記A
Sに供給してデータ・ビットを上記第1段に書き込み、
第2のスイッチング・パルスを全ての上記第2段の上記
ASに供給して上記各第1段の各々内のデータ・ビット
を上記第2段の各々に転送するようになっており、上記
レジスタ・セルの上記FGTが、上記電源が上記レジス
タへの電力の供給を停止したときに、データ・ビットを
不揮発的に記憶するように動作することを特徴とする、
レジスタ・システム。 (9)上記シフト・レジスタがn個のレジスタ・セルを
有し、上記クロックが、上記シフト・レジスタにn個の
データ・ビットを書き込むためのn個のクロック・パル
スを発生することを特徴とする、上記(8)に記載のレ
ジスタ・システム。 (10)上記シフト・レジスタがn個のレジスタ・セル
を有し、上記クロックが、上記シフト・レジスタからn
個のデータ・ビットを読み取るためのn個のクロック・
パルスを発生することを特徴とする、上記(8)に記載
のレジスタ・システム。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に用いられるアモルファス・シリコン薄
膜トランジスタの概略図である。
【図2】本発明に用いられるアモルファス・シリコン薄
膜フローティング・ゲート・トランジスタの概略図であ
る。
【図3】本発明を実施するデータ処理システム部分のブ
ロック・ダイアグラムである。
【図4】本発明の動作の過程において発生される種々の
信号の時系列図である。
【図5】参照線A−Aで図6と接続する、図4に示した
シフト・レジスタの回路を示す概略図である。
【図6】参照線A−Aで図5と接続する、図4に示した
シフト・レジスタの回路を示す概略図である。
【図7】図5および図6に用いられる、異なるトランジ
スタを表す種々の記号を示す図である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 29/792 H03K 3/356 H03K 3/356 B

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】データ・ビット信号を供給するデータ・ソ
    ースと、 上記データ・ソースに接続され、そこからデータを受け
    取るためのレジスタと、 上記レジスタに接続され、そこからデータを受け取るた
    めのデータ・シンクと、 オンのときに上記レジスタに電力を供給するための選択
    的に操作される電源とを備え、 上記レジスタが複数のレジスタ・セルを有し、上記レジ
    スタ・セルの各々が第1および第2の段を含み、 各上記段が、制御ゲートと、ドレインと、ソースと、上
    記ドレインと上記ソースとの間に延び、上記制御ゲート
    と上記ソースの間に第1の極性の電圧信号が印加された
    ときに導電性になり、上記制御ゲートと上記ソースの間
    に第1の極性と逆の極性の電圧信号が印加されたときに
    非導電性になるチャンネルと、上記制御ゲートと上記チ
    ャンネルとの間の絶縁体と、上記絶縁体に埋込まれたフ
    ローティング・ゲートとを含む、薄膜アモルファス・フ
    ローティング・ゲート・トランジスタ(FGT)と、 データ入力線と、 データ出力線と、 印加されたスイッチ信号に応答して開閉するためのゲー
    トと、上記データ入力線と上記制御ゲートとの間に接続
    され、オンのときに上記データ入力線上のデータ・ビッ
    ト信号を上記制御ゲートに結合し、それにより、そのよ
    うなデータ・ビットを表すように上記フローティング・
    ゲートを静電的に充電するためのドレインおよびソース
    とを有する薄膜アモルファス・トランジスタを含むアナ
    ログ・スイッチ(AS)とを備え、 各上記レジスタ・セルの第1段のデータ出力線が、上記
    第2段のデータ入力線に結合され、 さらに、各上記レジスタ・セルの上記ASに接続され、
    第1のスイッチング・パルスを全ての上記第1段の上記
    ASに供給してデータ・ビットを上記第1段に書き込
    み、第2のスイッチング・パルスを全ての上記第2段の
    上記ASに供給して上記第1段の各々内のデータ・ビッ
    トを上記第2段の各々に転送するための、スイッチング
    ・パルス発生器を含み、 上記レジスタ・セルの上記FGTが、上記電源が上記レ
    ジスタへの電力の供給を停止したときに、データ・ビッ
    トを不揮発的に記憶するように動作することを特徴とす
    る、レジスタ・システム。
  2. 【請求項2】前のセルの第2段からの各データ出力線
    が、次のセルの第1段のデータ入力線に接続され、上記
    レジスタ・セルが、それにより上記第1のタイミング・
    パルスがレジスタ・セル間でデータ・ビットをシフトす
    るように、直列に接続されることを特徴とする、請求項
    1に記載のレジスタ・システム。
  3. 【請求項3】一連のクロック・パルスを発生させるため
    のクロックを備え、 上記データ・ソースが、上記クロック・パルスと同期し
    て一連のデータ・ビット信号を供給するように動作し、 上記スイッチング・パルス発生器が、上記データ・ビッ
    ト信号と同期して第1および第2のスイッチング信号を
    発生させるように動作し、それにより上記レジスタを直
    列入出力シフト・レジスタとして動作させることを特徴
    とする、請求項2に記載のレジスタ・システム。
  4. 【請求項4】上記電源に接続され、逆の極性を有する第
    1および第2の電圧を供給するための第1および第2の
    電圧供給線を含み、 各段がさらに、 その段における上記第1電圧供給線と上記FGTの間に
    接続され、上記FGTが導電性であるときにFGT内の
    電流を制限するための負荷デバイスと、 上記FGTおよび上記データ出力線に結合されたソース
    ・ホロワと、 ソース・ホロワと上記第2電圧供給線の間に接続され、
    上記ソース・ホロワ中の電流を制限するための第2の負
    荷デバイスとを含むことを特徴とする、請求項2に記載
    のレジスタ・システム。
  5. 【請求項5】上記電源に接続され、逆の極性を有する第
    1および第2の電圧を供給するための第1および第2電
    圧供給線を含み、 各段がさらに、 その段における上記第1電圧供給線と上記FGTのドレ
    インの間に接続され、上記FGTが導電性であるときに
    FGT内の電流を制限するための負荷デバイスと、 上記FGTのドレインに結合されたゲートと、上記第1
    電圧供給線に結合されたドレインと、上記データ出力線
    と結合されたソースとを有するソース・ホロワと、 ソース・ホロワの上記ソースと上記第2電圧供給線との
    間に接続され、上記ソース・ホロワ中の電流を制限する
    ための第2の負荷デバイスとを含み、 上記ソース・ホロワが、その段の上記データ入力線上の
    データ・ビット信号の極性と逆の極性を有するデータ信
    号を上記データ出力線上に発生するように動作すること
    を特徴とする、請求項2に記載のレジスタ・システム。
  6. 【請求項6】上記シフト・レジスタがn個のレジスタ・
    セルを有し、 上記クロックが、上記シフト・レジスタにn個のデータ
    ・ビットを書き込むためのn個のクロック・パルスを発
    生することを特徴とする、請求項3に記載のレジスタ・
    システム。
  7. 【請求項7】上記シフト・レジスタがn個のレジスタ・
    セルを有し、 上記クロックが、上記シフト・レジスタからn個のデー
    タ・ビットを読み取るためのn個のクロック・パルスを
    発生することを特徴とする、請求項3に記載のレジスタ
    ・システム。
  8. 【請求項8】正および負の電圧を供給するための選択的
    に操作される電源と、 一連のクロック・パルスを発生するためのクロックと、 上記クロック・パルスと同期して一連のデータ・ビット
    信号を供給するためのデータ・ソースと、 データを受け取るためのデータ・シンクと、 上記データ・ソースに結合された上記データ・ビット信
    号を受信するための入力線と、上記データ・シンクに結
    合された出力線とを有し、上記電源に結合され、さら
    に、上記電源から正の電圧を受け取るための第1母線と
    上記電源から負の電圧を受け取るための第2母線を備
    え、さらに、複数のレジスタ・セルとクロック発生器と
    を備える、シフト・レジスタとを含み、 上記レジスタ・セルの各々が、第1および第2の段を含
    み、 各上記段が、制御ゲートと、ドレインと、ソースと、上
    記ドレインと上記ソースとの間に延び、上記制御ゲート
    と上記ソースの間に正の電圧信号が印加されたときに導
    電性になり、上記制御ゲートと上記ソースの間に負の電
    圧信号が印加されたときに非導電性になるN型チャンネ
    ルと、上記制御ゲートと上記N型チャンネルの間の絶縁
    体と、上記絶縁体中に埋め込まれたフローティング・ゲ
    ートとを含む、薄膜アモルファス・シリコン(A−S
    i)フローティング・ゲート・トランジスタ(FGT)
    と、 データ入力線と、 データ出力線と、 上記データ入力線と上記制御ゲートの間に結合され、印
    加されたスイッチ信号に応答して開閉するためのゲート
    と、オンのときに上記データ入力線上のデータ・ビット
    信号を上記制御ゲートに結合し、それによりそのような
    データ・ビットを表すように上記フローティング・ゲー
    トを静電的に充電するための、ドレインおよびソースと
    を有するN型薄膜アモルファス・シリコン・トランジス
    タを含むアナログ・スイッチ(AS)と、 その段における上記の第1の母線と上記FGTの上記ド
    レーンとの間に接続され、そのFGTが導電性であると
    きに上記FGT中の電流を制限するための第1の負荷デ
    バイスと、 上記FGTの上記ドレーンに結合されたゲートと、上記
    の第1の母線に結合されたドレインと、上記データ出力
    線に結合されたソースとを有し、その段の上記データ入
    力線上のデータ・ビット信号の極性と逆の極性を有する
    データ信号を上記出力線上に発生するように動作する、
    ソース・ホロワと、 上記ソース・ホロワの上記ソースと上記の第2の母線と
    の間に接続され、上記ソース・ホロワを通る電流を制限
    するための第2の負荷デバイスとを備え、 上記ソース・ホロワが、その段のデータ入力線のデータ
    ・ビットと逆極性のデータ・ビット信号をその段のデー
    タ出力線に発生させるように動作し、 各レジスタ・セルの第1段のデータ出力線がその第2段
    のデータ入力線に結合され、 先行する各レジスタ・セルの、第2段のデータ出力線
    が、次のレジスタ・セルの第1段のデータ入力線に結合
    され、 上記クロック発生器が、各レジスタ・セルの各ASに接
    続され、第1のスイッチング・パルスを全ての上記第1
    段の上記ASに供給してデータ・ビットを上記第1段に
    書き込み、第2のスイッチング・パルスを全ての上記第
    2段の上記ASに供給して上記各第1段の各々内のデー
    タ・ビットを上記第2段の各々に転送するようになって
    おり、 上記レジスタ・セルの上記FGTが、上記電源が上記レ
    ジスタへの電力の供給を停止したときに、データ・ビッ
    トを不揮発的に記憶するように動作することを特徴とす
    る、レジスタ・システム。
  9. 【請求項9】上記シフト・レジスタがn個のレジスタ・
    セルを有し、 上記クロックが、上記シフト・レジスタにn個のデータ
    ・ビットを書き込むためのn個のクロック・パルスを発
    生することを特徴とする、請求項8に記載のレジスタ・
    システム。
  10. 【請求項10】上記シフト・レジスタがn個のレジスタ
    ・セルを有し、 上記クロックが、上記シフト・レジスタからn個のデー
    タ・ビットを読み取るためのn個のクロック・パルスを
    発生することを特徴とする、請求項8に記載のレジスタ
    ・システム。
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