JPH0882402A - 液体の澱みを最小にして乾燥蒸気を発生させる方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 （修正有） 【目的】 液体の澱みを最小にして細菌および藻類の増
殖を制限した乾燥蒸気を発生させる。 【構成】 液体を液源から流路３０を有するマニホール
ドアセンブリ１０に固定された容器１２に送る。容器１
２は、マニホールドアセンブリ１０の流路３０に接続さ
れた充填管１５２と、容器１２の断面よりも狭い断面を
有する蒸気出口１５８と蒸気入口１７８とを有する沈降
室１５２を含む。ヒーター１５０は容器１２内の液体を
加熱し蒸気を発生させ、蒸気入口１７８から沈降室１７
２に進入させる。蒸気が沈降室１７２を通り抜けると、
容器１２内の液滴は沈降し比較的乾燥した蒸気が沈降室
１７２の蒸気出口１５８から出て来る。更に第２の沈降
室１７４を第１の沈降室１７２上の容器内に位置させ、
蒸気中の液滴を沈降させると更に有効である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本明細書は、1993年 3月22日に出
願された米国特許出願第08/034,066号の一部継続出願で
ある。

【０００２】本発明は、一般に、水蒸気供給システムに
関し、特に、液体の澱み(liquid stagnation) を最小に
して乾燥蒸気を発生させることによって、細菌および藻
類(bacteria and algae)の増殖を制限する方法および装
置に関する。

【０００３】

【従来の技術】半導体回路では、一般に導体材料として
アルミニウムフィルムを利用する。アルミニウムフィル
ムを塩素化ガスを用いて腐食し、半導体回路内を接続す
る。しかし、塩素はアルミニウムフィルムの側壁内に残
留することが多く、半導体ウエハが処理されて制御室環
境から周囲大気に晒された直後に、吸着水蒸気と反応し
塩酸を生成する。塩酸はアルミニウムフィルムと反応
し、塩化アルミニウムを生成し、更に吸着水蒸気と反応
して更に多くの塩酸を生成する。この自続反応はアルミ
ニウムフィルムを腐食し、影響を受けた半導体チップを
台無しにする。

【０００４】ウエハを制御室環境から搬送する前に塩素
を除去するには、アッシングによってウエハからフォト
レジストを剥離する方法がある。一般に、酸素および窒
素のプラズマは、180 ℃-260℃の温度に加熱されたウエ
ハと共に用いられる。この方法は、ある程度成功してい
る。アンモニアまたは四フッ化炭素あるいは両方を混合
すると、更に有利である。24時間の防蝕は得られたが、
このような結果は常時保証されるわけではない。

【０００５】塩素を除去する別の方法では、塩素を除去
する腐食工程後できるだけ速やかに、個別のウエハ洗浄
モジュールまたは腐食装置と一体のウエハ洗浄モジュー
ルを用いて、腐食ウエハを洗浄して濯ぐ(rinse) 。しか
し、このようなモジュールは一般に大型であり、コスト
が比較的高い。

【０００６】最後に、水蒸気プラズマ、時には、窒素と
酸素を併用した水蒸気プラズマを利用するフォトレジス
ト剥離処理が用いられてきた。フォトレジスタ剥離装置
内の水蒸気は、プラズマによって解離させられ、水素が
塩素と結合し、気体塩酸を形成するので、塩酸を剥離室
から十分に排出することができる。この方法は、ほぼ完
全に信頼することができ、72時間よりも長く防蝕するこ
とができる。しかし、この方法で使用される水蒸気は、
周囲温度において、フォトレジスト剥離装置の要求を充
たす割合でガスを供給できるほど十分に蒸気圧が高くな
い。また、水蒸気圧が温度によって変化するので、フォ
トレジスト剥離装置の要求を充たすかそれを上回る割合
および圧力で水蒸気を絶えず供給することができる水蒸
気発生装置が必要である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来、フォトレジスト
剥離装置と併用される水蒸気供給システムには、容易に
入手可能な水弁、窒素弁、調整器、計器、相互接続管材
料および取付部品がすべて外部取付キャビネットにパッ
ケージ化された比較的大型のアセンブリが含まれてい
た。このようなアセンブリを形成するために使用される
部品は容易に入手することができるが、かさばってしま
うし、高価である。これらのかさばり(bulkness)によ
り、アセンブリを蒸気供給システム（ＶＤＳ）エンクロ
ージャに組み込めなくなり、アセンブリのコストによっ
て、水蒸気供給システムの総コストは著しく高くなって
しまう。更に、このようなアセンブリには、「デッドレ
ッグ」すなわち定量循環水源から水蒸気発生装置までの
距離がかなりあるので、アセンブリ内で細菌や藻類が増
殖するリスクが高くなる。このデッドレッグの長さは、
6.5フィート（198.12cm）以上になることがある。

【０００８】更に、初期の水蒸気供給システムは市販の
ボイラーを内蔵していた。一般的に、このボイラーは大
型ガラス瓶であり、 1リットル以上の脱イオン水を含
み、温度調節されたエンクロージャに収容されている。
この容器のかなりの部分は、故意に空の状態に維持され
水蒸気を蓄積するようになっており、水蒸気はマスフロ
−コントロ−ラによって取り出される。マスフロ−コン
トロ−ラを通じて流れる水蒸気は、乾燥すなわち不飽和
化していなければならず、また相対的にほとんど水滴を
含んではならず、好ましくは全く水滴を含んでいてはな
らない。従って、水面から容器の蒸気出口までの距離を
かなり長く維持しなければ、水泡が上昇して生じる水滴
が蒸気出口に進入することを阻止することはできない。
しかし、従来のボイラーの容積では、問題の腐食システ
ムエンクロージャの外側にボイラーを設置する必要があ
る。このため、蒸気ラインを剥離室まで比較的長く延長
させなければならないが、加熱され絶縁された蒸気ライ
ンが装置周辺の作業員によって酷使されることになりか
ねない。

【０００９】

【課題を解決するための手段および作用】本発明は、小
型のアセンブリ内で液体の澱みを最小にして乾燥蒸気を
発生させる装置および方法に包含される。より具体的に
は、本発明に係る装置は、液体を液源から送る流路を有
するマニホールドアセンブリと、液体をマニホールドア
センブリから受けるマニホールドアセンブリの流路に接
続された充填管を備えて液体を保持する容器と、を有す
る。ヒーターが、容器内の液体を加熱するために含まれ
ている。液体が加熱されるにつれて、蒸気は液面から上
昇し、容器の断面よりも小さい断面を有する蒸気入口を
通じて、容器内に位置する沈降室(settlingchamber)に
進入する。蒸気が沈降室を通じて移動するにつれて、蒸
気速度が低減し、蒸気から液滴が生じ沈降する。沈降室
は、乾燥蒸気すなわち不飽和で比較的少ない、あるとし
てもごくわずかの液滴しか含まない蒸気を放出する蒸気
出口を有する。

【００１０】本発明に係る、より詳細な実施例では、マ
ニホールドアセンブリは少なくとも２つのブロックを有
する。各ブロックは、入口と、出口と、入口と出口に接
続する流路と、別のブロックの接合面で接合し密閉する
接合面とを有する。このブロックは、一方のブロックの
出口部分が他方のブロックの入口部分に整合するよう
に、このような接合面で接合する。接合されていない入
口は、液源またはガス源に整合し、接合されていない出
口は容器の充填管に接続されている。

【００１１】本発明に係る別の詳細な実施例では、容器
の沈降室は傾斜低部壁と上部壁とを有する。沈降室の蒸
気入口は小型の開口部またはスリットであり、底部壁の
下端に位置する。沈降室の蒸気出口は、底部壁の上端上
方の上部に位置する。

【００１２】本発明に係る更に他の実施例では、容器
は、更に、蒸気中の液滴を容器に沈降させる第２の沈降
室を有する。第２の沈降室は、容器内で第１の沈降室上
方に位置し、第１の沈降室から第２の沈降室まで蒸気を
輸送するために共通壁に蒸気オリフィスを有する（オリ
フィスは、第１の沈降室に対して第１の蒸気出口を形成
し、第２の沈降室に対しては第１の蒸気入口を形成す
る）。第２の沈降室もまた、乾燥蒸気を除去するために
第２の蒸気出口を含む。

【００１３】本発明に係る他の特徴においては、容器
は、液体を容器から除去するためのドレインチュ−ブ
と、容器内の液体温度を測定する熱電対またはサーミス
ターと共に用いるサーモウェル管とを含む。更に、ポリ
テトラフルオロエチレンボールまたは別のタイプの沸騰
チップを容器内に入れて核沸騰を低減する。

【００１４】本発明に係る更に別の特徴においては、容
器の直径は、予め設定された最大の割合で水蒸気を生成
する寸法に決定されている。好適実施例では、容器の直
径を約 2インチ(5.08cm)にすれば、ガスをフォトレジス
ト剥離室に供給する既存のガスパネル内部に適合させる
ことができる。好適実施例では、 4つの覗き窓と 4つの
センサを含むが、これらは、容器の外側に位置し、容器
内の液体のレベルとオーバーフロー状態を感知する。

【００１５】乾燥蒸気を供給する本発明に係る方法で
は、液体は流路を有するマニホールドアセンブリを通じ
て容器内に供給され、容器内で加熱されて蒸気が発生す
る。蒸気は容器よりも断面が実質的に小さい蒸気入口を
通じて容器内に位置する沈降室に輸送される。水蒸気の
速度が低減されることによって、液滴が蒸気から分離し
て沈降する。液滴は、容器の底に戻され、乾燥水蒸気は
沈降室から送り出される。

【００１６】この方法に係る更に詳細な実施例では、乾
燥蒸気は第２の沈降室に輸送され、ここで更に液滴が蒸
気から分離して沈降する。更に分離した液滴も、容器底
部に戻され、乾燥蒸気は第２の沈降室から送り出され、
好ましくは剥離室に送られる。

【００１７】

【実施例】次に、図面を参照して本発明の実施例につい
て説明する。図１は、剥離室に乾燥蒸気を供給する本発
明に係る小型乾燥蒸気供給装置を示す図である。装置を
小型にすることによって、特に、限られたスペースで既
存のガスパネルや装置と併用できるようになり、蒸発液
を定期的に交換することができるようになる一方、剥離
半導体チップを含むウエハは、フォトレジスト剥離室か
ら搬出され、剥離用の別のウエハと交換される。この供
給装置は、液体を液体供給源から密閉容器１２および沈
降室１４に供給し乾燥蒸気を発生させる新規のマニホー
ルドアセンブリ１０を有する。

【００１８】一般に、マニホールドアセンブリ１０は、
液体を液体供給源から密閉容器１２の充填チューブに送
る流路を含む。より具体的には、マニホールドアセンブ
リ１０は少なくとも２つのブロックを有し、各ブロック
は少なくとも 1つの入口と、1つの出口と、それらに接
続する流路と、 1つの接合面を有する。両ブロックは、
一方のブロックの出口が他方のブロックの入口と整合す
るように、接合面で接合している。この設計によって、
マニホールドアセンブリを小型に形成することができ、
ＶＤＳハウジング内に囲うことができる。従って、この
設計によって、従来の蒸気供給装置に見られる「デッド
レッグ」および高い部品組立費用が削減される。

【００１９】ウエハから塩素を除去するために使用され
る液体は、一般に、脱イオン水であり、テフロン配管に
よってマニホールドアセンブリ１０に至り、フィルター
（図示せず）を通じて第１のブロックである液源ブロッ
ク２０に供給される。図１および図２に示すように、こ
の液源ブロック２０は、第１のコネクタ２４を有する入
口２２と、第１の出口２６と、第２の出口２８と、それ
ら出入口に接続する流路３０と、を有する。液源ブロッ
ク２０は、流路３０に設けた三方弁３２も含み、液体の
流れを入口２２から第１の出口２６または第２の出口２
８に向ける。三方弁３２は、第２の出口２８に対し常時
開である。マニホールドアセンブリ１０に含まれる各三
方弁３２は、マイクロプロセッサ（図示せず）と適切な
ソフトウェアによって制御される。

【００２０】液体は、液源からマニホールドアセンブリ
１０に供給され、液源ブロック２０の入口２２を通じて
第１のコネクタ２４内に進入し、流路３０を通じて三方
弁３２に至る。容器１２内に液体を補給するために液体
が必要になるまで、液体は「液源ブロックループ」を通
じて循環する。すなわち、第１のコネクタ２４から三方
弁３２に続いて第２の出口２８に至る。通常、液体は、
液源に戻されてリコンディショニングされるかまたはド
レインに輸送される。このように流れを継続させること
は、液体内における細菌や藻類の増殖を抑制するのに役
立つ。

【００２１】液源ブロック２０は、三方弁３２と第２の
出口２８の間に、第２のコネクタ３４と、流路３０に設
置された二方弁３６とを含む。液源ブロックループを通
じて流れる液体の体積は、二方弁３６を手動で操作し
て、開きを狭くするか広くすることによって制御され
る。好適実施例では、ソレノイドダイヤフラム弁を用い
て、マニホールドアセンブリ１０を通じて流れる液体お
よびガスの流れを制御する。ただし、二方弁３６は手動
弁である。好適実施例のソレノイドダイヤフラム弁の詳
細な説明は、図７を参照して述べる。

【００２２】容器１２に液体を補給しなければならない
場合、マイクロプロセッサは液源ブロック２０の三方弁
３２を切り換え、三方弁３２が液源ブロック２０の第１
の出口２６に開放されるようにする。図１および図３に
示されるように、その後液体は第２のブロックである迷
路ブロック３８の第１の入口４０を通じて迷路ブロック
３８に進入する。

【００２３】液源ブロック２０および迷路ブロック３８
は、液源ブロック２０の接合面（図示せず）と図３に示
す迷路ブロック３８の第１の接合面４２において接合
し、液源ブロック２０の第１の出口２６が迷路ブロック
３８の第１の入口４０に整合する。マニホールドアセン
ブリ１０の全てのブロックは、一方のブロックの長さを
有しかつ別のブロックに含まれるねじ付きナット４６と
螺合する複数のねじ付きロッド４４によって一緒に固定
される。この設計によって、ブロック間のコネクターは
必要なくなるので、従来の水供給装置に比べてマニホー
ルドアセンブリ１０の距離は短くなる。

【００２４】液体は、迷路ブロック３８の第１の入口４
０に進入した後、第１の入口４０と第１の流路５２の常
時閉の二方弁であるパルス弁５０とを接続する減圧器４
８（図１および図４）を通じて移動する。好適実施例で
は、液源からの液圧は、液体が瓶からマニホールドアセ
ンブリ１０に加えられる場合の大気圧から、約90psia
（絶対ポンド毎平方インチ）までの範囲である。ただ
し、液体がマニホールドアセンブリ１０から出て密閉容
器１２に進入する際の好ましい液圧の操作範囲は、14.7
psiaから75psiaまでの範囲である。減圧器４８は、液圧
を低減することによって限られた範囲内において容器１
２に進入する液圧を調節するのに役立つ。

【００２５】図４に示すように、減圧器４８は、流路５
４と、流路５４を妨害する寸法および形状である少なく
とも第１のスペーサー５６および第２のスペーサー５８
とを含む。各第１のスペーサー５６、第２のスペーサー
５８は、減圧器４８の流路５４の直径よりも実質的に小
さい直径を有するオリフィス６０を含む。好適実施例で
は、特に、厚さが0.020-0.040 インチ(0.508-1.016mm)
であり直径が0.032 インチ(0.813mm) のオリフィスを有
するスペーサーが採用されている。

【００２６】従って、所定の量および流量の液体に関
し、液体が第１のスペーサー５６のオリフィス６０に入
る際の液圧は、第１のオリフィス６０のより小さい断面
によって決定される。ただし、この液体が第１のオリフ
ィス６０を通過した後、第１のスペーサー５６と第２の
スペーサー５８の間の広い断面に進入する際、同じ量の
液体が同じ流量で流れることができるが、圧力は減少す
る。好適実施例では、減圧器４８はオフセットされた５
個のスペーサーを有する。各オリフィスは、液源からの
液体の圧力が効果的に最大圧力を十分下回るように、圧
力をかなり低下させる。

【００２７】本発明に係る好適実施例では、容器１２内
に、ガス、好ましくは窒素ガスを定期的に充填すること
により、液体が汚れていると思われる場合は、容器１２
からそれを排出することができる。図１および図５に示
されているように、ガスは入口６６を有するガス源ブロ
ック６４を通じてコネクタ６８に供給される。ガス源ブ
ロック６４は、出口７０と、入口６６および出口７０に
接続する流路７２と、接合面７４とを含む。マニホール
ドアセンブリ１０を通るガスの流れを調整するために、
ガス源ブロック６４は、入口６６と出口７０の間の流路
７２に位置する二方弁７６を有する。

【００２８】図１および図３について再び説明すると、
迷路ブロック３８は、第２の流路８１によって直接第１
の出口８０に接続される第２の入口７８と、出口流路８
４とを含む。すなわち、迷路ブロック３８を通じて流れ
るガスがパルス弁５０により調節されることはない。し
たがって、迷路ブロック３８の二方弁７６が開放されて
いれば、ガスは迷路ブロック３８の入口６６から迷路ブ
ロック３８の第１の出口８０に流れる。迷路ブロック３
８は、迷路ブロック３８の第２の入口７８が迷路ブロッ
ク３８の出口７０に整合するように迷路ブロック３８の
接合面７４に接合する第２の接合面８２（図３）も含
む。

【００２９】迷路ブロック３８は、第４のブロックであ
る充填ブロック８６とも接合する。図６に詳細に示した
ように、充填ブロック８６は、第１の入口８８と、容器
１２に液体またはガスを供給する第１の出口９０と、そ
れらの口に接続する第１の流路９２と、第１の接合面９
４とを含む。充填ブロック８６の第１の接合面９４は、
迷路ブロック３８の第１の出口８０が充填ブロック８６
の第１の入口８８に整合するように、迷路ブロック３８
上の第３の接合面（図示せず）に接合する。

【００３０】最後に、容器１２で発生した蒸気とマニホ
ールドアセンブリ１０を分離するには、好適実施例の充
填ブロック８６は、第１の流路９２に位置する二方バル
ブである最終弁９６を第１の入口８８と第１の出口９０
の間に有する。最終弁９６は蒸気がマニホールドアセン
ブリ１０から進入しないように常時閉となっていて、液
体を再充填するために、または容器を空にすべくガスを
輸送するためにのみ開放される。

【００３１】従って、好適実施例では、加圧された液体
は液源からマニホールドアセンブリ１０に進入し、容器
１２に更に液体が必要になるまで液源ブロックループを
循環する。次に、マイクロプロセッサは、充填ブロック
８６の最終弁９６を開放し、液源ブロック２０の三方弁
３２を切り換え、液体を液源ブロック２０の第１の出口
２６から排出させる。次に、マイクロプロセッサが迷路
ブロック３８のパルス弁５０を脈動的に動かすことによ
って、所定体積の液体がパルス弁５０および迷路ブロッ
ク３８の出口流路８４を通じて充填ブロック８６の現在
開放されている最終弁９６および容器１２に流れること
ができる。容器１２の再充填後、マイクロプロセッサは
最終弁９６と迷路ブロック３８のパルス弁５０を閉じ、
マイクロプロセッサは、液源ブロック２０の第２の出口
２８に開放するように液源ブロック２０の三方弁３２を
元の状態に切り替える。

【００３２】本発明は、液源ブロック２０の三方弁３２
から充填ブロック８６の最終弁９６までの「デッドレッ
グ」をかなり短縮している。マニホールドアセンブリ１
０に進入する液体の大部分は、液源ブロックループを通
じて循環する。容器１２の再充填後、マニホールドアセ
ンブリ１０に残存する液体だけが、液源ブロック２０の
三方弁３２と最終弁９６の間の「デッドレッグ」内に閉
じ込められる。従って、好適実施例では、「デッドレッ
グ」の長さは、約 3.5インチ(88.9mm)である。これに対
して、従来の水蒸気供給装置の「デッドレッグ」は約
6.5フィート(198.12cm)以上であった。

【００３３】好適実施例で使用されるソレノイドダイヤ
フラムバルブは、Partek, 1638 S.Research Loop Road,
Suite 100, Tucson, Arizona 85710所在のParker Hann
ifin によって製造されたSV-2シリーズまたはPV-2シリ
ーズから選択される。図７は、キャップ１０３とキャッ
プ口１０５とを有するソレノイドダイヤフラム弁１０１
を示す拡大図である。キャップ口１０５内の加圧された
空気によって、ハウジング１０９内のピストン１０７は
下方に押される。ピストン１０７は上部ダイヤフラム１
１１に接続し、更に、上部ポペット１１３、下部ポペッ
ト１１５、下部ダイヤフラム１１７、付勢ばね１１９を
押しつける。ソレノイドダイヤフラム弁１０１は、第１
の出口１２１と、第２の出口１２３と、共通入口１２５
とを含む。下部ダイヤフラム１１７と下部ポペット１１
５に抗する付勢ばね１１９の上方向の力は、下部ポペッ
トを座１２７に押しつけ、第１の出口１２１が常時閉と
なるように第１の出口１２１を付勢する。しかし、この
上方向への力によって、上部ポペット１１３がその座１
２９に接触せず、第２の出口１２３が常時開となるよう
に、上部ポペット１１３は上部ダイヤフラム１１１へと
付勢される。

【００３４】第１の出口１２１を開放するには、ピスト
ン１０７に加わる下方向の力が、Ｏリング１３１とハウ
ジング１０９の壁の間の摩擦力と、下部ポペット１１５
と座１２７の間の摩擦力と、付勢ばね１１９の上方向の
力と、共通入口１２５と第１の出口１２１との差圧と、
の合計を上回っていなければならない。この力に達した
後、下部ポペット１１５は座１２７から離れ、流体は共
通入口１２５から第１の出口１２１へと流れ始める。ピ
ストン１０７に対する圧力が更に増加すると、上部ポペ
ット１１３がその座１２９に接触し、共通入口１２５と
常時開となっている第２の出口１２３の間の連通を閉ざ
す。ピストン１０７に加わる空気圧を除去すると、上記
一連の動作とは逆の動作を生じる。

【００３５】好適実施例で使用される二方弁の構成によ
り、共通入口１２５と上部ポペット１１３は不要にな
る。下部ポペット１１５のステムは、上部ダイヤフラム
１１１に接触するように延びている。更に、第１の出口
１２１が入口として使用される。十分な圧力がピストン
１０７に印加された後、流体は常時閉となっている第１
の出口１２１から下部ポペット１１５の座１２７上を流
れ、第２の出口１２３を通って流出する。

【００３６】本発明に係る好適実施例は、約 60psiを上
回る差圧が弁の出口と入口との間に存在する場合、マニ
ホールドアセンブリ１０に組込まれているソレノイドダ
イヤフラム弁の十分な密閉能力には限界があるので、最
終弁９６を含む。しかし、これに代わる実施例では、約
90 psiの差圧に対して密閉することができる弁を液源ブ
ロック２０の三方弁３２とガス源ブロック６４の二方弁
７６に使用した場合、最終弁９６とパルス弁５０を省く
ことができる。この実施例では、三方弁３２および二方
弁７６から流出する液体およびガスが容器１２に自動的
に排出されるように、三方弁３２および二方弁７６から
容器１２への流路は、傾斜しているか垂直であることが
望ましい。この代替的な実施例のマイクロプロセッサが
三方弁３２を脈動させることによって、所定の体積の液
体を容器１２に流すことができる。

【００３７】この選択的な実施例では、手動の三方弁３
６と第２の出口２８との間において液源ブロック２０の
流路３０に一方向逆止弁（図示せず）も取り入れること
ができる。逆止弁は、第２の出口２８を介する排出路か
らの逆流を制限する際に役立つ。この実施例では、液源
から容器１２までの「デッドレッグ」が実質的に無くな
る。しかし、容器１２と三方弁３２の間の流路は加熱さ
れず、容器１２からマニホールドアセンブリ１０に進入
する蒸気によって流路内で液滴を生じさせる凝縮器とし
ても作用し得る。流路が十分に傾斜していて液滴を密閉
容器１２内へ直ちに排水し戻さない限り、この液滴は容
易によどんで汚れてしまう。

【００３８】好適実施例の説明に戻ると、液体およびガ
スは容器連通ブロック１００（図１、図８、図９）を通
じて容器１２に供給される。容器連通ブロック１００
は、第１の入口１０２と、第１の出口１０４と、これら
の口に接続する供給路１０６を有する。容器連通ブロッ
ク１００は、容器連通ブロック１００の第１の入口１０
２が充填ブロック８６の第１の出口９０に整合するよう
に、充填ブロック８６上の接合面１１０に接合する接合
面１０８も含む。容器連通ブロック１００は、密閉容器
１２の上部を受けるソケット１１２（図８）と、供給路
１０６内のフィルター１１４を含む。フィルター１１４
は、液体の密閉容器１２への進入前に、液体を浄化する
ことに役立つ。

【００３９】好適実施例では、マニホールドアセンブリ
１０は、密閉容器１２のドレインのための更に別の構造
を含む。この機能は、通常、蒸気供給装置が数日間使用
されなかった場合、マイクロプロセッサによる制御に基
づいて自動的に行われる。容器１２からのドレインを容
易に実行するために、容器１２は出口および入口を有す
るドレインチュ−ブ１２０（図９）を含む。好適実施例
では、ドレインチュ−ブ１２０は容器１２の上部から下
方に向けて容器１２の底部上約0.070 インチ(1.778mm)
のところまで延在する。ドレインチュ−ブ１２０の出口
は、容器連通ブロック１００内の第２の入口１２２に整
合する（図８、図９）。

【００４０】容器連通ブロック１００は、容器１２から
排出された液体を輸送する第２の出口１２４とドレイン
１２６とを含む。容器連通ブロック１００の第２の出口
１２４は、充填ブロック８６内の第２の入口１２８（図
１）に整合する。充填ブロック８６は更に、充填ブロッ
ク８６を通じて排出された液体を輸送するために第２の
出口１３０と、第２の流路１３２と、第２の入口１２８
と第２の出口１３０の間の第２の流路１３２内に第２の
二方弁１３４とを含む。

【００４１】更に、迷路ブロック３８を通じて排出液を
輸送するため、迷路ブロック３８は第３の入口１３８
と、第２の出口１４０と、これらの口を接続する第３の
流路１４２とを含む。図１および図３に示したように、
迷路ブロック３８の第３の流路１４２は、その第１の流
路５２および第２の流路８１に垂直に延在する。また、
上述のように、充填ブロック８６の第１の接合面９４
（図６）は迷路ブロック３８上の第３の接合面（図示せ
ず）に接合する。好適実施例では、この接合によって、
迷路ブロック３８の第１の出口８０と充填ブロック８６
の第１の入口８８とが整合し、充填ブロック８６の第２
の出口１３０と迷路ブロック３８の第３の入口１３８と
整合する。最後に、迷路ブロック３８はコネクタ１４４
を第３の流路１４２の端に含み、ドレイン（図示せず）
と容易に接合する。

【００４２】好適実施例では、各ブロックは垂直壁を有
する平行６面体であり、各ブロックが 6つの等しい正方
形側面および端面を有するか、 4つの等しい長方形側面
と２つの正方形端面を有するようになっている。あるブ
ロックの出口を別のブロックの入口に整合させることを
容易にするには、接合面が実質的に同じ寸法と形状にな
るように決定する。ただし、図１に示すように、具体的
には、迷路ブロック３８と充填ブロック８６の接合で
は、一方のブロックの端面を別のブロックの側面に接合
させることができる。その場合、接合面の幅と形状は異
なる。更に、一方の接合面は、図１および図６に示され
るように、ナイフエッジ１４６を有しても良い。２つの
ブロックが、ねじ付ロッド４４がねじ付ナット４６に接
合する力によってそれらの接合面で互いに加圧される場
合には、一方のブロックのナイフエッジ１４６は、別の
ブロックの溝型接合面に更に確実に接合するように変形
する。

【００４３】本発明に係る乾燥蒸気供給装置は、液体を
保持する新規の容器１２も組込んでいる。容器１２は、
液体を加熱し蒸気を生成するヒーター１５０によって包
囲されている。 3本の管が容器１２上部を貫通して容器
１２内に下方向に延在している。図１および図９に示し
たように、第１の管は、液体を容器１２に供給する充填
管１５２である。第２の管は、温度センサ１５６と併用
し容器１２内の液体温度を測定するサーモウェル管１５
４である。また、第３の管は、液体を容器１２から上述
のように除去するドレインチュ−ブ１２０（図９）であ
る。最後に、容器１２は、容器連通ブロック１００内の
通路１６０によって剥離室（図示せず）に接続される蒸
気出口１５８（図１）も含む。

【００４４】容器１２は、ほぼカップ型のベース支持材
１６２によって支持される。容器１２の底表面は丸みを
帯びていても良く、従って、ベース支持材１６２内側の
底面のエラストマーパッド１６４上に載置することが好
ましい。ベース支持材１６２は、容器１２が容器連通ブ
ロック１００に抗するばね荷重式であり容器連通ブロッ
ク１００のソケット１１２内で容器１２の上部を密閉す
るように、各４個のばねとラグスクリュー（図示せず）
によって容器連通ブロック１００に接続されている。密
封を容易にするには、ドレインチュ−ブ１２０と、充填
管１５２と、蒸気出口１５８と、ソケット１１２の間に
Ｏリングが含まれていても良い。

【００４５】一般に液体は、充填管１５２を通じて容器
１２に供給される。液体がヒーター１５０によって蒸気
を生成するために十分な温度に加熱された後、蒸気は、
容器１２内で液面上に位置する沈降室を通って輸送する
ことによって乾燥される。容器１２内の湿り蒸気は、大
気圧未満の圧力での加熱処理によって加圧され、狭い開
口部である蒸気入口１７８を通過して、比較的高速で沈
降室に進入する。しかし、蒸気が一旦広い沈降室に入る
と蒸気速度が減じ、それによって、液滴が好ましい傾斜
をした沈降室底部に降下してより大きな滴を形成し、蒸
気入口１７８から出て、容器１２の液体に戻される。

【００４６】充填管１５２は、容器１２の上部を通じ、
沈降室を通じて下方に延在し、好ましくは、所望の液面
よりも約 0.5インチ(12.7mm)上の深さが終点になる。こ
の終点は、液体レベルが不正確に測定される再充填中の
はねかかりをできるだけ少なくする。ただし、この終点
は、容器１２内であればどこでも良い。充填管１５２の
もう一方の端は、容器連通ブロック１００内の供給路１
０６を通じて充填ブロック８６の第１の出口９０に接続
されている（図１）。

【００４７】好適実施例では、充填管１５２の直径は十
分に大きいので、蒸発液の補給を完了する一方で、半導
体チップを剥離室から搬送し腐食装置の処理量に対する
再充填の影響を最低限にすることができる。充填管１５
２を使用してガスを容器１２に加えて大気圧を上回るよ
うに加圧し、液体を容器１２に強制的に押し下げてドレ
インチュ−ブ１２０に上げてドレインサイクルとするこ
ともできる。充填管１５２は、容器１２内に沸騰チップ
または沸騰ボールを挿入するためにも使用される。

【００４８】最初に、加圧された容器１２は、低温液体
で満たされる。次に、ヒーター１５０は液体を蒸発装置
の設定値（50-65 ℃）まで加熱する。好適実施例では、
容器１２はワット密度が高い可撓性フォイルヒーター
(flexible foil heater) によって加熱され、容器１２
は液体と接触し、容器１２の上部付近では沈降室内の凝
縮は最低限に抑えられる。また、好適実施例では、可撓
性フォイルヒーターは、可撓性フォイルの上部縁に埋め
込まれた内蔵温度センサ（図示せず）を備え、ヒーター
１５０の温度を測定し、ヒーター１５０の温度が所定の
レベルを上回っている場合には電源を切る。

【００４９】可撓性フォイルヒーター１５０は、好まし
くは複数の覗き窓１６６を有し、容器１２の外側に位置
する光センサ１６８（図９）を使用して覗き窓１６６を
通じて容器１２の液体レベルを感知することができる。
好適実施例では、センサ間で鎖線で示されているよう
に、 2つのエミッタと 2つのシレーバを含む 2つの液体
メニスカスセンサである。左下部のレシーバおよび右上
部のエミッタは、液体が標準レベルに達した場合の液体
レベルを感知し、左上部のエミッタと右下部のレシーバ
は、液体がオーバーフローレベルを超えた場合に、容器
１２の液体レベルを感知する。好適実施例では、充填管
１５２とドレインチュ−ブ１２０は、レベルセンサの光
学的経路に位置しない。

【００５０】容器１２の液体を大気圧未満（約100-160
Torr）で加熱すると、かなり激しい沸騰作用を生じる傾
向があるが、これは、核沸騰と呼ばれており、石英容器
内の表面が粗くないので直径約 1インチまでの比較的大
きな蒸気泡が容器１２内で発生し得る。ただし、この激
しい沸騰作用は、液体の脱ガスが完了し蒸気だけが発生
するようになった後は、幾分弱まる傾向もある。好まし
くはポリテトラフルオロエチレンボールである沸騰チッ
プ１７０を容器１２の底部に付加することによって、こ
の激しい沸騰作用は低減し、代わりに高い流量で小さい
泡が継続的に放出される。所望の効果を得るには、単層
のチップで十分である。

【００５１】好適実施例では、 2つの沈降室１７２およ
び１７４は、容器１２内に位置し、相互に重なり、第１
の沈降室１７２が第２の沈降室１７４の下で、容器１２
の所望の液体レベルより上に位置する。各沈降室１７
２、１７４の底部壁は、上述の狭い開口部であり、好ま
しくは適切なドレインを確実にする最低点に位置する蒸
気入口／ドレイン路１７８に向かって下方に傾斜する。

【００５２】図１に示すように、傾斜隔壁１７６は第１
の沈降室１７２を第２の沈降室１７４から分離し、第１
の沈降室１７２の上壁と第２の沈降室１７４の底部壁を
兼用するように作用する。水蒸気は、第１の沈降室１７
２の底部壁１８０の下端に位置する狭い開口部またはス
リットである蒸気入口１７８を通じて第１の沈降室１７
２に進入する。蒸気入口の断面は、容器の断面よりもか
なり狭い。より具体的には、容器１２の断面と蒸気入口
１７８の断面の好ましい比率は、約50:1である。更に、
蒸気入口１７８に位置する第１の沈降室１７２の断面と
蒸気入口１７８の断面との比率は、約16:1である。従っ
て、蒸気速度は蒸気入口１７８を通った後比較的速くな
るが、これは、蒸気入口１７８の断面が容器１２の断面
の50分の1の狭さだからである。その後、第１の沈降室
１７２内に入った時に蒸気速度を減ずるが、これは、蒸
気入口１７８の断面が第１の沈降室１７２の断面のわず
か16分の 1の狭さしかないからである。

【００５３】しかし、蒸気入口は、蒸気が第１の沈降室
に進入した後、速度を低下させる寸法であれば良い。小
さい寸法の蒸気入口は、第１の沈降室に進入する液体の
量を制限することに役立ち、装置運転中に沸騰チップ１
７０が蒸気入口に侵入したり詰まったりすることを防止
する。

【００５４】上述のように、蒸気が第１の沈降室１７２
を横断する際、ある程度速度は低下し、このため、液滴
は傾斜底部壁１８０に降下し、蒸気入口１７８から流出
するので、蒸気入口１７８はドレイン路としても役立
つ。好適実施例では、半乾燥蒸気は、好ましくは沈降室
間の傾斜隔壁１７６の下端近傍に位置する蒸気オリフィ
ス１８２を通じて流出する。蒸気オリフィス１８２は、
第１の沈降室１７２の蒸気出口として、また、第２の沈
降室１７４の第２の入口兼用ドレイン路として作用す
る。

【００５５】半乾燥蒸気は第２の沈降室１７４に進入
し、更なる液滴が傾斜隔壁１７６に沈降し、結局、蒸気
オリフィス１８２を通じて第１の沈降室１７２の傾斜底
部壁１８０に滴下した後、蒸気入口１７８を通じて容器
１２の液体に戻る。当然、更に沈降室を増設して更に蒸
気を乾燥しても良い。乾燥蒸気は、蒸気出口１５８を通
じて第２の沈降室１７４を出て、容器連通ブロック１０
０の通路１６０を通じて剥離室に至る。

【００５６】図１に示したように、サーモウェル管１５
４は容器１２の上部から第１の沈降室１７２および第２
の沈降室１７４を貫通して容器１２内に延在し、好まし
くは所望の液面よりも 1インチ(25.4mm)低い点を終点と
する。サーモウェル管は、下端で閉鎖され、上述の温度
センサ１５６の形態の温度センサが内部に位置する。温
度センサ１５６とサーモウェル管１５４の間にヒートシ
ンク化合物を用いることによって良好な伝熱を確保する
ことができる。

【００５７】好適実施例では、容器１２はほぼ円筒状で
直径が 2インチ(50.8mm)で底がドーム形であり上部は平
坦である。容器１２の直径は、剥離室が必要とするよう
に選択された率で蒸気を発生するよう決定される。直径
が2 インチの場合、毎分約 1リットルの率で蒸気を生成
することが測定されている。容器１２は、液体による化
学的侵食に対し優れた耐性があり、液体レベルを観察す
ることができるので、石英から形成されるのが好まし
い。概して、記載された装置は、マスフロ−コントロ−
ラによって記録されるフロースパイク（flow spike）な
しで、1000sccm（標準立方センチメートル毎分）を供給
できるものと証明された。

【００５８】本発明に係る方法では、液体は、マニホー
ルドアセンブリ１０に供給され、マニホールドアセンブ
リ１０の流路に接続された充填管１５２を通じて容器１
２に供給される。液体は、蒸気を加熱するために十分な
温度まで加熱される。次に、蒸気は容器１２の断面より
も狭い断面を有する入口を通じて容器１２内に位置する
沈降室に輸送される。蒸気速度が低下すると、液滴が蒸
気から分離する。液は容器１２の底に戻され、比較的乾
燥した蒸気が沈降室から輸送される。

【００５９】更に詳細な方法では、蒸気は沈降室から第
２の沈降室に輸送され、更なる液滴が蒸気から分離する
ことができる。このような液滴も、容器の底部から戻さ
れ、乾燥蒸気が第２の沈降室から、好ましくは剥離室に
輸送される。

【００６０】以上の説明から、本発明は液体供給源から
蒸気発生器までの液体の澱みを最小とする改良された乾
燥蒸気供給装置を提供することが理解できよう。好適実
施例では、従来の蒸気供給装置に見られた「デッドレッ
グ」はかなり低減し、マスフロ−コントロ−ラの目立っ
た圧力スパイクもなく、所望の率で蒸気を供給すること
ができる。小型寸法の装置によって、修正なしで、あっ
てもわずかで、既存の設備に設置することができる。

【００６１】本発明を現時点で好適実施例を参照して詳
細に説明してきたが、当業者らにはさまざまな修正が本
発明を逸脱することなく行われることは理解できよう。
とくに、本発明に係る装置および方法は、別の液体から
蒸気を生成することもできる。基礎液、すなわち、酢酸
や過酸化水素などのヒドロキシルイオン OH-を有する分
子からなる液を用いると特に効果的である。水は更に別
の基礎液である。更に、窒素以外のガスを容器に充填し
て液体をドレインすることもできる。また、マニホール
ドアセンブリ１０の好適実施例のブロックは、本質的に
２次元構成であるが、本発明の範囲から逸脱しない範囲
で３次元に配置することもでき。ブロックの配置を別途
変更すれば、好適実施例で説明した流路やブロックイン
タフェースを変更しなければならない場合もある。

【００６２】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、液体の澱みを最小にして乾燥蒸気を発生さ
せることができ、細菌および藻類の増殖を制限すること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である乾燥蒸気供給装置の断
面図であり、マニホールドアセンブリと乾燥蒸気発生器
とを示す。

【図２】図１のライン２−２に沿って切り取ったマニホ
ールドアセンブリの好適実施例の一部を成す水源ブロッ
クを示す断面図。

【図３】図１のライン３−３に沿って切り取ったマニホ
ールドアセンブリの好適実施例の一部を成す迷路ブロッ
クを示す断面図。

【図４】図１のライン４−４に沿って切り取った迷路ブ
ロックの流路に含まれる減圧器を示す分解断面図。

【図５】図１のライン５−５に沿って切り取ったマニホ
ールドアセンブリの好適実施例の一部を成すガス注入ブ
ロックを示す断面図。

【図６】図１のライン６−６に沿って切り取ったマニホ
ールドアセンブリの好適実施例の一部を成す充填ブロッ
クを示す部分断面図。

【図７】好適実施例に使用されるソレノイドダイヤフラ
ム弁を示す分解断面図。

【図８】図１のライン８−８に沿って切り取ったマニホ
ールドアセンブリの好適実施例の一部を成す容器連絡ブ
ロックを示す部分断面図。

【図９】図１のライン９−９に沿って切り取った容器の
側方断面図であり、ドレインチュ−ブとレベルセンサを
示す図。

【符号の説明】

１０…マニホールド、１２…密閉容器、２０…液源ブロ
ック、２２…入口、２４…第１のコネクタ、２６…第１
の出口、２８…第２の出口、３０…流路、３２…三方
弁、３４…第２のコネクタ、３６…二方弁、３８…迷路
ブロック、４０…第１の入口、４４…ねじ付きロッド、
４６…ねじ付きナット、４８…減圧器、５０…パルス
弁、５４…流路、５６…第１のスペーサ、５８…第２の
スペーサ、６０…オリフィス、６４…ガス源ブロック、
６６…入口、７０…出口、７２…流路、７４…接合面、
７６…二方弁、７８…第２の入口、８０…第１の出口、
８２…第２の接合面、８６…充填ブロック、８８…第１
の入口、９０…第１の出口、９２…第１の流路、９４…
第１の接合面、９６…最終弁、１００…容器連通ブロッ
ク、１０１…ソレノイドダイヤフラム、１０２…入口、
１０３…キャップ、１０４…第１の出口、１０５…キャ
ップ口、１０６…供給路、１０７…ピストン、１０８…
接合面、１０９…ハウジング、１１１…上部ダイヤフラ
ム、１１２…ソケット、１１３…上部ポペット、１１４
…フィルター、１１５…下部ポペット、１１７…下部ダ
イヤフラム、１１９…付勢ばね、１２０…ドレインチュ
ーブ、１２１…第１の出口、１２２…第２の出口、１２
３…第２の出口、１２４…第２の出口、１２５…共通入
口、１２６…ドレイン、１２７…座、１２８…第２の入
口、１２９…座、１３０…第２の出口、１３２…第２の
流路、１３４…第２の二方弁、１３８…第３の入口、１
４０…第２の出口、１４６…ナイフエッジ、１５０…ヒ
ーター、１５２…充填管、１５８…蒸気出口、１６０…
通路、１６２…ベース支持材、１６４…エラストマーパ
ッド、１６６…覗き窓、１７０…沸騰チップ、１７２、
１７４…沈降室、１７６…傾斜隔壁、１７８…蒸気入
口、１８０…底部壁、１８２…蒸気オリフィス。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キエン エヌ． チュク アメリカ合衆国， カリフォルニア州 95014， キュパティノ， テーラ ヴェ ラ ドライヴ 11247

Claims (31)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体を液源から送る流路(channel) を有
   するマニホールドアセンブリと、 液体を保持し、前記マニホールドアセンブリに固定さ
   れ、前記マニホールドアセンブリから液体を受容する前
   記マニホールドアセンブリの流路に接続された充填管を
   有する容器と、 前記容器内で液体を加熱し蒸気を発生させるヒーター
   と、 前記容器内の液体上方で前記容器内に位置し、蒸気を液
   滴にして沈降させ、蒸気を受容する前記容器の断面より
   も実質的に狭い断面を有する蒸気入口と、乾燥蒸気を除
   去する蒸気入口とを含む沈降室と、を有する、蒸気を発
   生する装置。
2. 【請求項２】 前記液体が基礎液を含む、請求項１に記
   載の装置。
3. 【請求項３】 前記基礎液が水を含む、請求項２に記載
   の装置。
4. 【請求項４】 前記容器と前記沈降室が石英から形成さ
   れる、請求項１に記載の装置。
5. 【請求項５】 前記マニホールドアセンブリが第１のブ
   ロックと第２のブロックとを有し、各ブロックは入口
   と、出口と、前記口に接続する流路と、他方のブロック
   の接合面に接合する接合面とを有し、 前記第１のブロックおよび前記第２のブロックは、前記
   第１のブロックの出口が前記第２のブロックの入口に整
   合するように該接合面が接合し、 前記第２の出口が前記容器の前記充填管に接続されてい
   る、請求項１に記載の装置。
6. 【請求項６】 各ブロックが垂直壁を有する平行六面体
   である、請求項５に記載の装置。
7. 【請求項７】 前記第１のブロックの接合面が前記第２
   のブロックの接合面と実質的に同形かつ同寸法である、
   請求項５に記載の装置。
8. 【請求項８】 前記第１のブロックが、更に、 前記第１のブロックの流路に接続された第２の出口と、 前記第１のブロックの流路内にあって、前記第１のブロ
   ックの入口から液体を受け取る入口と、液体を前記第１
   のブロックの前記第１の出口に送る第１の出口と、液体
   を前記第１のブロックの前記第２の出口に送る第２の出
   口とを有する三方弁と、を含む、請求項５に記載の装
   置。
9. 【請求項９】 前記第１のブロックの入口が前記液源に
   係合するよう適合されており、 前記マニホールドアセンブリは、更に、ガス源に接合す
   るよう適合された入口と、出口と、前記入口および出口
   に接続する流路と、接合面とを含み、 前記第３のブロックの出口が前記第２の入口に整合する
   ように、かつ前記第２のブロックの流路が液体およびガ
   スを前記第２のブロックの出口に供給するように、前記
   第２のブロックはその流路に接続された第２の入口と、
   前記第３の接合面に接合する第２の接合面とを含む、請
   求項５に記載の装置。
10. 【請求項１０】 前記ガスが窒素を含む、請求項９に記
    載の装置。
11. 【請求項１１】 前記第２のブロックは、更に、第３の
    接合面を含み、 前記マニホールドアセンブリは、更に、前記第２のブロ
    ックと前記容器の間に配置されかつ入口を有する第４の
    ブロックと、前記容器の前記充填管に接続された出口
    と、前記口に接続する流路と、前記第２のブロックの出
    口が前記第４のブロックの入口に整合するように前記第
    ２のブロックの第３の接合面に接合する接合面とを含
    む、請求項９に記載の装置。
12. 【請求項１２】 前記容器は、更に、液体を前記容器か
    ら除去するドレインを含み、 前記第３のブロックは、前記容器のドレインに整合する
    第２の入口と、第２の出口と、前記第２の口を接続する
    第２の流路とを含む、請求項９に記載の装置。
13. 【請求項１３】 前記第２のブロックは、更に、 前記第２のブロック流路と前記第２のブロックの第１の
    入口との間に接続され、前記第２のブロックの第１の入
    口を通じて得られる液体の圧力を低減させることによっ
    て、前記第２のブロックの流路を通じて流れる液体の圧
    力を実質的に定常に維持するように作用する減圧器を含
    む、請求項９に記載の装置。
14. 【請求項１４】 前記減圧器は、 流路と、 各々が前記流路を妨害する寸法および形状であり、前記
    第２のブロックの第１の入口よりも直径が小さいオリフ
    ィスを有する少なくとも２つのスペーサーとを有する、
    請求項１３に記載の装置。
15. 【請求項１５】 前記減圧器が２つのスペーサーを含
    み、第１のスペーサのオリフィスが第２のスペーサーの
    オリフィスからオフセットされている、請求項１４に記
    載の装置。
16. 【請求項１６】 前記容器の直径が、毎分約１リットル
    の割合(rate)で蒸気を発生するように寸法が決定され
    る、請求項５に記載の装置。
17. 【請求項１７】 前記容器の直径が約２インチ（５０．
    ８ｍｍ）である、請求項５に記載の装置。
18. 【請求項１８】 前記容器が更に、前記容器から液体を
    除去するドレインを含む、請求項５に記載の装置。
19. 【請求項１９】 前記容器が更に、前記容器内の液体温
    度を測定する温度センサと併用するサーモウェル管を含
    む、請求項５に記載の装置。
20. 【請求項２０】 前記容器が更に、沸騰チップ(boiling
    chip)を含む、請求項５に記載の装置。
21. 【請求項２１】 前記沸騰チップがポリテトラフルオロ
    エチレンチップ(polytetrafluoroethylene chip)であ
    る、請求項２０に記載の装置。
22. 【請求項２２】 前記沈降室は、 傾斜底部壁と、 上部壁とを有し、 前記蒸気入口は前記底部壁の下方端に位置する開口部で
    あり、前記蒸気出口は前記底部壁の上方端上方の前記上
    部壁に位置する、請求項５に記載の装置。
23. 【請求項２３】 前記容器の壁は、 少なくとも 2つの覗き窓と、 前記容器の外部に位置し、少なくとも 2つの前記覗き窓
    を通じて前記容器内の液体レベルを感知するために 1つ
    のエミッタおよび 1つのレシーバ含む少なくとも 1つの
    センサアセンブリと、を含む、請求項５に記載の装置。
24. 【請求項２４】 蒸気中の液滴を沈降させる前記第１の
    沈降室の上側で前記容器内に位置する第２の沈降室を含
    み、前記第２の沈降室は、蒸気を前記第１の沈降室の蒸
    気出口から得る第２の蒸気入口を有し、かつ、乾燥蒸気
    を前記第２の沈降室から除去するための第２の蒸気出口
    を有する、請求項５に記載の装置。
25. 【請求項２５】 前記第２の沈降室は、 傾斜底部壁と上部壁とを有し、 前記第２の蒸気入口は前記第２の沈降室の底部壁の下方
    端に位置する開口部であり、前記第２の蒸気出口は前記
    第２の沈降室の底部壁の上方端上方の上部壁に位置す
    る、請求項２４に記載の装置。
26. 【請求項２６】 各ブロックが入口、出口、前記口を接
    続する流路と、他方のブロックの接合面で接合する接合
    面とを有する第１のブロックと第２のブロックとを含む
    マニホールドを含み、 前記第１のブロックと前記第２のブロックが、前記第１
    のブロックの前記出口が前記第２のブロックの前記出口
    と整合するように該接合面で接合しており、 前記マニホールドアセンブリに固定され、液体を前記容
    器に供給する前記第２のブロックの前記出口に接続され
    る充填管と、前記容器から液体を除去するドレイン路
    と、前記容器内に液体の温度を測定する温度センサと併
    用するサーモウェル管とを有する液体保持容器と、 前記容器内の液体を加熱し蒸気を発生させるヒーター
    と、 前記容器内の液体の上方で前記容器内に位置し、傾斜底
    部壁と、前記底部壁の下方端に位置する前記容器から蒸
    気を得る前記容器の断面よりも実質的に小さい断面の第
    １の蒸気入口と、を有する第１の沈降室と、 前記第１の沈降室上方で前記容器内の蒸気から液滴を沈
    降させる第２の沈降室であって、前記第２の沈降室は、
    第２の上部壁と、乾燥蒸気を前記第２の沈降室の上部壁
    に位置する第２の沈降室から除去する蒸気出口と、前記
    第１の沈降室を前記第２の沈降室から分離する傾斜隔壁
    と、蒸気を前記第１の沈降室から傾斜隔壁の下方端に位
    置する第２の沈降室まで輸送する第２の蒸気入口とを有
    する前記第２の沈降室と、を有する乾燥蒸気発生装置。
27. 【請求項２７】 前記液体が水を含む、請求項２６に記
    載の装置。
28. 【請求項２８】 流路を有するマニホールドを通じて液
    体を前記マニホールドアセンブリの流路に接続された充
    填管を有する容器に供給し、 前記容器内の液体を加熱し蒸気を発生させ、 前記蒸気を実質的に前記容器の断面より小さい断面の蒸
    気入口を通じて液体上方の前記容器内に位置する沈降室
    に輸送し、 前記沈降室内の蒸気の速度を低減させることによって、
    蒸気から液滴を分離して沈降させ、 該液滴を前記容器に戻し、 前記沈降室から乾燥蒸気を送出する、乾燥蒸気を供給す
    る方法。
29. 【請求項２９】 前記液体が基礎液を有する、請求項２
    ８に記載の方法。
30. 【請求項３０】 前記基礎液が水を有する、請求項２９
    に記載の方法。
31. 【請求項３１】 前記蒸気を前記沈降室から第２の沈降
    室に送出し、 前記第２の沈降室での蒸気速度を低減させることによっ
    て、更に液滴を蒸気から沈降させ、 更に、液滴を前記容器の底に戻し、 前記第２の沈降室から乾燥蒸気を送出する、請求項２８
    に記載の方法。