JPH088275A - 流動物供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 シリンジのホルダへのＸＹＺθ方向の位置合
わせを確保する。 【構成】 銀ペースト１をノズル１５から注射するシリ
ンジ１１を着脱自在に保持するホルダ３０の下端部に
は、ノズルとアダプタリングの嵌入孔３５が形成され、
嵌入孔の内径はアダプタリング２０の外径に設定され、
その内周には支持部３６とボールプランジャ３８が設け
られ、嵌入孔の外側には押さえ装置５０が設けられてい
る。 【効果】 ノズルとアダプタリングが嵌入孔に嵌入され
ると、下から支えられ、嵌入孔に芯合わせされた状態に
なり、回り止めされると、周方向位置規定状態になり、
ノズルとアダプタリングが押さえ装置で押さえられる
と、軸方向位置規定状態になる。その結果、シリンジは
ホルダに適正取付状態になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、流動物供給装置、特
に、流動物を供給するシリンジを保持する構造に関し、
例えば、半導体装置の製造工程において、半導体ペレッ
ト（以下、ペレットという。）を基板の上にボンディン
グするためのペレットボンディング装置に設備される銀
ペースト供給装置や、ペレットを樹脂封止するためのポ
ッティング装置に設備される封止樹脂供給装置に利用し
て有効なものに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造工程において、ペレッ
トをリードフレームのタブや、セラミック基板のランド
等の基板のボンディング部上にボンディングするペレッ
トボンディング装置として、銀ペーストを基板の被ボン
ディング部に塗布し、塗布された銀ペーストの上にペレ
ットを押しつけることによって、ペレットを被ボンディ
ング部に接着するように構成されているものがある。そ
して、このようなペレットボンディング装置において
は、流動物としての銀ペーストを被ボンディング部に塗
布する装置として、流動物供給装置の一例である銀ペー
スト供給装置が使用されている。

【０００３】従来のこの種の銀ペースト供給装置とし
て、収容された銀ペーストをノズルから注射するシリン
ジと、このシリンジを着脱自在に保持するとともに、そ
のノズルをペレットボンディング位置に対向させるホル
ダとを備えているものがある。そして、シリンジをホル
ダに固定するための構造としては、ねじ止め構造や割り
締め構造が使用されている。

【０００４】なお、ペレットボンディング装置を述べて
ある例としては、特開昭５９−２０１４５１号公報、が
ある。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記した銀ペースト供
給装置においては、シリンジをホルダに固定するための
構造として、ねじ止め構造や割り締め構造が使用されて
いるため、固定するのに手間が浪費されるばかりでな
く、シリンジのホルダに対する取付状態の再現精度が低
いという問題点がある。そして、シリンジのホルダに対
する取付状態の再現精度が低いと、シリンジのホルダへ
の取付後に取付位置の微調整が必要になるため、作業性
がより一層低下してしまう。

【０００６】本発明の目的は、シリンジをホルダに適正
かつ迅速に取り付けることができる流動物供給装置を提
供することにある。

【０００７】本発明の前記ならびにその他の目的と新規
な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかに
なるであろう。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を説明すれば、次の通り
である。

【０００９】すなわち、収容された流動物をノズルから
注射するシリンジと、このシリンジを着脱自在に保持す
るとともに、そのノズルを被供給位置に対向させるホル
ダとを備えている流動物供給装置において、前記ホルダ
の下端部には前記ノズル部分を嵌入される嵌入孔が形成
され、この嵌入孔はその内径が前記ノズルの外径以上に
設定されているとともに、その内周にはノズル部分を下
から支える支持部およびノズル部分を回り止めする回り
止め部が形成されており、この嵌入孔の外側には嵌入孔
に嵌入されたノズル部分を上側から押さえる押さえ装置
が設けられていることを特徴とする。

【００１０】

【作用】前記した手段において、シリンジのノズル部分
がホルダの嵌入孔に嵌入されると、シリンジは下から支
持されるとともに、嵌入孔に芯合わせされた状態にな
る。また、回り止めされると、ノズルは周方向の位置を
規定された状態になる。さらに、ノズル部分が押さえ装
置によって押さえられると、シリンジは嵌入孔の支持部
と押さえ装置とによってホルダに対して軸方向への移動
を阻止された状態になる。以上の結果、シリンジはホル
ダにＸＹＺ方向およびθ方向に適正に取り付けられた状
態になる。

【００１１】そして、シリンジのホルダへの取付作業に
際しては、ノズル部分を嵌入孔に嵌入するとともに、回
り止め部でノズル部分を回り止めし、さらに、押さえ装
置によってノズル部分を押さえる操作を実施すれば済む
ため、取付作業は簡単かつ短時間で済む。

【００１２】

【実施例】図１は本発明の一実施例である銀ペースト供
給装置を示しており、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）はノ
ズルの斜視図、（ｃ）はアダプタリングの斜視図であ
る。図２はそのホルダを示しており、（ａ）は（ｂ）の
ａ−ａ線に沿う平面断面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は
側面図である。図３はその主要部を示しており、（ａ）
は拡大斜視図、（ｂ）は拡大部分断面図である。

【００１３】本実施例において、本発明に係る流動物供
給装置は、流動物としての銀ペーストを供給するための
銀ペースト供給装置１０として構成されており、この銀
ペースト供給装置１０はペレットボンディング装置にお
いてペレットがボンディングされるリードフレームのタ
ブ（図示せず）に銀ペーストを供給して塗布するように
構成されている。

【００１４】この銀ペースト供給装置１０は流動物とし
ての銀ペーストを収容するシリンジと、シリンジに収容
された銀ペーストを注射するノズルと、シリンジを着脱
自在に保持するとともに、そのノズルをボンディング位
置に対向させるホルダとを備えている。シリンジ１１は
円筒形状に形成された本体１２を備えており、この本体
１２の中空部内に流動物である銀ペースト１が収容され
るようになっている。本体１２の上端部には鍔部１３が
径方向外向きに突設されており、この鍔部１３により本
体１２には圧力供給管（図示せず）が着脱自在に流体連
結されるようになっている。他方、本体１２の下端部に
はノズル取付部１４が形成されており、この取付部１４
はノズル１５を着脱自在に装着し得るように構成されて
いる。

【００１５】ノズル１５は複数規格のものが用意され、
各規格のノズル１５はシリンジ１１の下端部に形成され
たノズル取付部１４にそれぞれ着脱自在に装着し得るよ
うに構成されているとともに、各規格のノズル１５は互
いに異なる外径を備えている。各規格のノズル１５は銀
ペーストの注射口１７の数や位置および口径等が適宜変
更調整されることにより、銀ペーストのシリンジ１１か
らの注射形態や注射速度および注射量等を適宜制御され
るようになっている。また、各ノズル１５の外周の一部
には係合溝１６が軸心と平行方向に延在するように没設
されている。なお、便宜上、ノズル１５は一つの規格の
もののみが図示されている。

【００１６】本実施例においては、内径が異なる円形リ
ング形状にそれぞれ形成された複数規格のアダプタリン
グ２０が用意されており、各規格のアダプタリング２０
はその内径が各規格のノズル１５の外径とそれぞれ等し
くなるように設定されている。各アダプタリング２０は
ステンレス鋼等の適度な弾性を有する材料が用いられて
製作されており、その筒壁の一部には割溝２１が軸心方
向と平行に切設されているとともに、他の一部にはピン
２２が径方向内向きに突設されている。したがって、ア
ダプタリング２０全体がノズル１５の外周に下側から嵌
合されるとともに、ピン２２が係合溝１６に挿入される
ことにより、各規格のアダプタリング２０は対応する規
格のノズル１５に嵌合されるようにそれぞれ構成されて
いる。なお、便宜上、アダプタリング２０は一つの規格
のもののみが図示されている。

【００１７】また、各規格のアダプタリング２０はいず
れもその外径が後記するホルダの嵌入孔の内径と等しく
設定されている。したがって、各規格のアダプタリング
２０はいずれもホルダの嵌入孔に嵌入し得るように構成
されている。各アダプタリング２０の外周には係合凹部
２３が軸心と平行方向に延在するようにＶ字形状に没設
されており、この係合凹部２３は後記するボールプラン
ジャに係合し得るように構成されている。

【００１８】他方、ホルダ３０はシリンジ１１の長さと
略等しい高さを有する本体３１を備えている。ホルダ本
体３１はペレットボンディング装置におけるハンドラの
アーム（図示せず）に取り付けられるようになってお
り、ハンドラによってボンディング位置に対向されるよ
うになっている。

【００１９】ホルダ本体３１の上端部の片側（以下、左
側とする。）には固定アーム３２が水平一方向（以下、
前方向とする。）に一体的に突設されており、その右側
には板ばねが用いられて形成された弾性アーム３３が、
固定アーム３２に対向するように突設されている。弾性
アーム３３は一端部が本体３１に支持され、その自由端
部が左右方向に開閉し得るようになっている。したがっ
て、固定アーム３２と弾性アーム３３との間にシリンジ
１１の本体１２が弾性アーム３３の弾性力に抗して押し
入れられることにより、固定アーム３２と弾性アーム３
３とはシリンジ１１を挟持する状態になる。

【００２０】ホルダ本体３１の下端部には平盤形状に形
成されたベース３４が水平前方向に一体的に突設されて
いる。ベース３４には円形の嵌入孔３５が開設されてお
り、この嵌入孔３５の内径は各規格のアダプタリング２
０の外径と等しくなるように設定されている。また、嵌
入孔３５の中心線は固定アーム３２と弾性アーム３３と
によって挟持されたシリンジ１１の中心線に合致するよ
うに設定されている。

【００２１】嵌入孔３５の下端部には円形リング形の鍔
形状に形成された支持部３６が径方向内向きに突設され
ており、支持部３６はアダプタリング２０の下端面に当
接することによりシリンジ１１を下から支えるようにな
っている。支持部３６の内側には開口部３７が形成され
ており、この開口部３７は嵌入孔３５に嵌入されたノズ
ル１５の注射口１７を露出させ得るように設定されてい
る。

【００２２】また、嵌入孔３５の内周には回り止め部と
してのボールプランジャ３８が、高さ方向の中央部に配
されて径方向内向きに据え付けられている。図３（ｂ）
に示されているように、ボールプランジャ３８は円筒形
状のケース３９と、ケース３９内の先端部に一部が出入
りするように配設されたボール４０と、ケース３９内に
ボール４０を押し出す方向に付勢するようにケース３９
内に装着されたスプリング４１とを備えている。そし
て、ボールプランジャ３８はスプリング４１に付勢され
たボール４０の一部が内周面から突出する状態で嵌入孔
３５の壁面に据え付けられている。

【００２３】ベース３４の上面における嵌入孔３５の外
側には、嵌入孔３５に嵌入されたノズル部分であるノズ
ル１５およびアダプタリング２０を上側から押さえる押
さえ装置５０が設備されている。すなわち、ベース３４
の後端部にはブラケット５１が一対、左右両端部に配さ
れて上向きに一体的に突設されており、両ブラケット５
１、５１間には軸５２が回動自在に架設されている。軸
５２の中間部には押さえ部材５３の一端部が固定されて
いる。この押さえ部材５３は板ばねが用いられてコ字形
状に形成されており、その閉鎖側の一端部において軸５
２に固定されている。押さえ部材５３の開放側の両方の
先端部には鍔部５４、５４が、内向きにそれぞれ突設さ
れている。

【００２４】また、軸５２の右側ブラケット５１の外側
端部には、短尺の八角柱形状に形成されたストッパブロ
ック５５が同軸に固定されており、このブロック５５に
はレバー５６がその一端部を挿入されて軸５２と直角方
向に延在するように固定されている。ストッパブロック
５５の後ろ側にはストッパばね５７の自由端部が弾性力
を付勢するように当接されている。このストッパばね５
７は板ばねによって形成されており、一端部がブラケッ
ト５１に固定されてその自由端部がストッパブロック５
５の八角柱の外周面に押接することにより、軸５２を９
０度の位相差位置においてそれぞれ停止させるようにな
っている。また、ベース３４の右側側面にはフック部材
５８がレバー５６の中間部に係合し得るように取り付け
られており、フック部材５８はレバー５６に係合するこ
とにより、レバー５６の下限位置を維持するように構成
されている。

【００２５】次に作用を説明する。ペレットボンディン
グ装置において、ペレットボンディングすべきワークで
あるペレットの品種が変更されると、ペレットボンディ
ング装置の一部を構成する銀ペースト供給装置１０にお
けるシリンジ１１のノズル１５がその品種に対応した規
格のものに交換されることがある。そして、ノズル１５
が交換された後にシリンジ１１はホルダ３０に再びセッ
トされることになる。

【００２６】ノズル１５がシリンジ１１に装着されるに
際して、ノズル１５にはその規格に対応したアダプタリ
ング２０が選定されて添着される。すなわち、交換され
たノズル１５の外径と等しい内径を有する規格のアダプ
タリング２０が選定され、そのアダプタリング２０全体
がノズル１５の外周に下側から嵌合されるとともに、ピ
ン２２が係合溝１６に挿入される。この作業により、選
定されたアダプタリング２０は対応する規格のノズル１
５に嵌合されて添着された状態になる。

【００２７】次いで、シリンジ１１がホルダ３０に装着
されるに際して、シリンジ本体１２の上端部が固定アー
ム３２と弾性アーム３３との間に弾性アーム３３の弾性
力に抗して押し入れられることにより、シリンジ１１の
本体１２が固定アーム３２と弾性アーム３３とによって
挟持された状態になる。

【００２８】同時に、外周にアダプタリング２０を添着
された状態で、ノズル１５がホルダ３０のベース３４に
開設された嵌入孔３５に上から嵌入される。アダプタリ
ング２０が嵌入孔３５に嵌入されると、嵌入孔３５の内
径は各規格のアダプタリング２０の外径と等しくなるよ
うに設定されているため、ノズル１５と嵌入孔３５とは
軸芯合わせされた状態になる。つまり、シリンジ１１は
ホルダ３０に軸芯合わせされることにより、水平面内に
おけるＸＹ方向の位置決めを確保された状態になる。

【００２９】また、ノズル１５に添着されたアダプタリ
ング２０が嵌入孔３５に上から嵌入されるに際して、ア
ダプタリング２０の係合凹部２３が回り止め部としての
ボールプランジャ３８に整合されて係合される。Ｖ字溝
形状の係合凹部２３にボールプランジャ３８が係合する
と、アダプタリング２０はボールプランジャ３８によっ
て回り止めされるため、アダプタリング２０が固定され
たノズル１５は嵌入孔３５に回り止めされた状態にな
る。つまり、シリンジ１１はホルダ３０に回り止めされ
ることにより、周方向（θ方向）の位置決めを確保され
た状態になる。

【００３０】さらに、ノズル１５に添着されたアダプタ
リング２０が嵌入孔３５に奥迄嵌入されると、アダプタ
リング２０の下面が支持部３６に当接するため、アダプ
タリング２０は支持部３６によって支えられた状態にな
る。そして、ノズル１５の注射口１７は開口部３７から
下方に露出された状態になるため、シリンジ１１はノズ
ル１５から銀ペースト１を注射し得る状態になる。

【００３１】続いて、嵌入孔３５に嵌入されたノズル部
分であるノズル１５およびアダプタリング２０が、押さ
え装置５０によって押さえられる。すなわち、ベース３
４の嵌入孔３５の片脇に設備された押さえ装置５０のレ
バー５６が押し倒されるとともに、フック部材５８に係
合される。レバー５６が押し倒されると、軸５２が回動
されるため、軸５２に固定された押さえ部材５３がノズ
ル１５およびアダプタリング２０に押接される。同時
に、軸５２が回動されると、軸５２に固定されたストッ
パブロック５５も回動される。このとき、ストッパブロ
ック５５のストッパばね５７に押接する平面が９０度移
行されることにより、軸５２は回動後の姿勢においてス
トッパばね５７によって、押さえ部材５３がノズル１５
およびアダプタリング２０を押す方向に回動させる状態
になる。そして、ストッパブロック５５に対するストッ
パばね５７の反力は、レバー５６に係合したフック部材
５８を介してベース３４によって受けられるため、軸５
２の回動後の姿勢は維持されることになる。

【００３２】ノズル１５およびアダプタリング２０が押
さえ部材５３によって上から押さえられると、ノズル１
５およびアダプタリング２０が支持部３６に押接される
ため、ノズル１５およびアダプタリング２０は上下方向
（Ｚ方向）に位置決めされた状態になる。つまり、シリ
ンジ１１はホルダ３０に上下方向の位置決めを確保され
た状態になる。

【００３３】以上のようにしてホルダ３０にＸＹ方向、
周方向および上下方向の位置決めを確保されたシリンジ
１１には、圧力供給管（図示せず）が鍔部１３に流体的
に連結される。そして、ペレットボンディング装置の作
動に伴って、ホルダ３０がハンドラによって操作され、
また、圧力供給管からシリンジ１１に圧入が供給される
と、シリンジ１１のノズル１５からシリンジ１１内の銀
ペースト１が注射されることにより、銀ペースト１がボ
ンディング部であるリードフレームのタブ（図示せず）
に塗布される。

【００３４】この際、シリンジ１１はホルダ３０に対し
てのＸＹ方向、周方向および上下方向の位置決めを確保
されているため、ペレットボンディング装置のボンディ
ング作動についての微調整を省略ないしは簡略化するこ
とができる。また、ペレットボンディング装置における
シリンジ１１による銀ペーストの塗布作業は、高い位置
精度をもって適正に実施することができる。

【００３５】前記実施例によれば次の効果が得られる。 （１） アダプタリング２０が添着された状態で、ノズ
ル１５がホルダ３０の嵌入孔３５に嵌入されると、シリ
ンジ１１は嵌入孔３５に芯合わせされた状態になり、ま
た、係合凹部２３とボールプランジャ３８とが係合され
ると、ノズル１５は周方向の位置を規定された状態にな
り、さらに、ノズル１５およびアダプタリング２０が押
さえ装置３０によって押さえられると、シリンジ１１は
支持部３６と押さえ装置３０とによってホルダ３０に対
して軸方向への移動を阻止された状態になるため、シリ
ンジ１１をホルダ３０にＸＹ方向、周方向および上下方
向の位置決めを確保して適正に取り付けることができ
る。

【００３６】（２） シリンジ１１のホルダ３０への取
付作業に際しては、ノズル１５およびアダプタリング２
０を嵌入孔３５に嵌入するとともに、係合凹部２３とボ
ールプランジャ３８とを係合し、さらに、押さえ装置３
０によってノズル１５を押さえる操作を実施すれば済む
ため、ねじ締め作業を廃止することができ、取付作業は
簡単かつ短時間で済む。

【００３７】（３） ペレットボンディング装置におい
て、銀ペースト供給装置１０のシリンジノズル１５の交
換作業に際して、シリンジ１１をホルダ３０に対してＸ
ＹＺおよびθ方向の位置決めを確保した状態で取り付け
ることにより、交換の都度、シリンジ１１のホルダ３０
への微調整を実施せずに済むとともに、ペレットボンデ
ィング装置のハンドラにおいて、シリンジとボンディン
グ位置との微調整を省略ないしは簡略化することができ
るため、ペレットボンディング作業全体としての段取り
時間を短縮し、生産性を高めることができる。

【００３８】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。

【００３９】例えば、流動物としては、銀ペーストに限
らず、その他の接着剤や、封止樹脂を使用することがで
きる。要するに、流動物はシリンジのノズルから注射し
得る物質であればよい。

【００４０】シリンジから流動物を注射させる構成とし
ては、圧力供給管をシリンジに連結して圧力によって流
動物をノズルから注射させる構成を使用するに限らず、
シリンジにピストンを嵌入させてピストンを前進させて
流動物をノズルから注射させる構成を使用してもよい。

【００４１】各規格のノズルの外径が嵌入孔の内径に等
しく設定されている場合においては、アダプタリングは
省略することができる。

【００４２】ノズル部分を回り止めする回り止め部は、
ボールプランジャを使用して構成するに限らず、板ばね
や、進退自在のねじ部材を使用して構成してもよいし、
さらには、嵌入孔を非円形に形成して構成してもよい。

【００４３】押さえ装置は前記実施例の構成を使用する
に限らず、要は、ノズル部分の押さえ作動およびその解
除作動を簡単な操作によって実行することができる構成
であればよい。

【００４４】以上の説明では主として本発明者によって
なされた発明をその背景となった利用分野であるペレッ
トボンディング工程における銀ペースト供給技術に適用
した場合について説明したが、それに限定されるもので
はなく、樹脂封止工程における封止樹脂ポッティング技
術に適用することができる。

【００４５】

【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、次
の通りである。

【００４６】収容された流動物をノズルから押し出すシ
リンジを着脱自在に保持するホルダの下端部に嵌入孔を
形成し、この嵌入孔の内径をノズルの外径以上に設定す
るとともに、その内周にノズル支持部およびノズル回り
止め部を形成し、さらに、嵌入孔の外側にノズル押さえ
装置を設けることにより、シリンジのノズル部分がホル
ダの嵌入孔に嵌入されると、シリンジは下から支持され
るとともに、嵌入孔に芯合わせされた状態になり、ま
た、回り止めされると、ノズルは周方向の位置を規定さ
れた状態になり、さらに、ノズル部分が押さえ装置によ
って押さえられると、シリンジは嵌入孔の支持部と押さ
え装置とによってホルダに対して軸方向への移動を阻止
された状態になるため、シリンジをホルダに対してＸＹ
Ｚおよびθ方向に位置決めさせた状態で適正に取り付け
ることができる。

【００４７】そして、シリンジのホルダへの取付作業に
際しては、ノズル部分を嵌入孔に嵌入するとともに、回
り止め部でノズル部分を回り止めし、さらに、押さえ装
置によってノズル部分を押さえる操作を実施すれば済む
ため、取付作業は簡単かつ短時間で済む。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である銀ペースト供給装置を
示しており、（ａ）は全体斜視図、（ｂ）はノズルの斜
視図、（ｃ）はアダプタリングの斜視図である。

【図２】そのホルダを示しており、（ａ）は（ｂ）のａ
−ａ線に沿う平面断面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）は側
面図である。

【図３】その主要部を示しており、（ａ）は拡大斜視
図、（ｂ）は拡大部分断面図である。

【符合の説明】

１…銀ペースト（流動物）、１０…銀ペースト供給装置
（流動物供給装置）、１１…シリンジ、１２…本体、１
３…鍔部、１４…ノズル取付部、１５…ノズル、１６…
係合溝、２０…アダプタリング、２１…割溝、２２…ピ
ン、２３…係合凹部、３０…ホルダ、３１…ホルダ本
体、３２…固定アーム、３３…弾性アーム、３４…ベー
ス、３５…嵌入孔、３６…支持部、３７…開口部、３８
…ボールプランジャ（回り止め部）、３９…ケース、４
０…ボール、４１…スプリング、５０…押さえ装置、５
１…ブラケット、５２…軸、５３…押さえ部材、５４…
鍔部、５５…ストッパブロック、５６…レバー、５７…
ストッパばね、５８…フック部材。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 収容された流動物をノズルから注射する
   シリンジと、このシリンジを着脱自在に保持するととも
   に、そのノズルを被供給位置に対向させるホルダとを備
   えている流動物供給装置において、 前記ホルダの下端部には前記ノズル部分を嵌入される嵌
   入孔が形成され、この嵌入孔はその内径が前記ノズルの
   外径以上に設定されているとともに、その内周にはノズ
   ル部分を下から支える支持部およびノズル部分を回り止
   めする回り止め部が形成されており、 この嵌入孔の外側には嵌入孔に嵌入されたノズル部分を
   上側から押さえる押さえ装置が設けられていることを特
   徴とする流動物供給装置。
2. 【請求項２】 前記ノズルは複数規格のものが用意さ
   れ、各規格のノズルは前記シリンジの先端にそれぞれ装
   着自在に構成されているとともに、互いに異なる外径を
   備えており、 各規格のノズルの外径と等しい内径を有する複数規格の
   アダプタリングが用意され、各規格のアダプタリングは
   内径が外径に等しい各ノズルに嵌合されるように構成さ
   れており、さらに、各アダプタリングの外径は前記嵌入
   孔の内径と等しくそれぞれ設定されていることを特徴と
   する請求項１に記載の流動物供給装置。
3. 【請求項３】 前記押さえ装置は、板ばねが用いられて
   形成されている押さえ部材と、前記嵌入孔の片脇に回動
   自在に軸支されて押さえ部材の一端部が固定されている
   軸と、この軸に一端部が固定されて他端部が前記ホルダ
   の一部に係合自在なレバーとを備えており、このレバー
   が係合された状態で、前記押さえ部材の自由端部が前記
   ノズル部分を上から弾性力によって押さえるように構成
   されていることを特徴とする請求項１に記載の流動物供
   給装置。