JPH0883408A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents

薄膜磁気ヘッド

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JPH0883408A
JPH0883408A JP6216940A JP21694094A JPH0883408A JP H0883408 A JPH0883408 A JP H0883408A JP 6216940 A JP6216940 A JP 6216940A JP 21694094 A JP21694094 A JP 21694094A JP H0883408 A JPH0883408 A JP H0883408A
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JP
Japan
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magnetic
film
flux density
pole
saturation
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JP6216940A
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English (en)
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Takayoshi Otsu
孝佳 大津
Nobumasa Kushida
伸昌 櫛田
Harunobu Saito
治信 斉藤
Masayoshi Kagawa
昌慶 香川
Makoto Saito
眞 斎藤
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
    • G11B5/3116Shaping of layers, poles or gaps for improving the form of the electrical signal transduced, e.g. for shielding, contour effect, equalizing, side flux fringing, cross talk reduction between heads or between heads and information tracks
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11BINFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
    • G11B5/00Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
    • G11B5/127Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
    • G11B5/31Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
    • G11B5/3109Details
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    • G11B5/3133Disposition of layers including layers not usually being a part of the electromagnetic transducer structure and providing additional features, e.g. for improving heat radiation, reduction of power dissipation, adaptations for measurement or indication of gap depth or other properties of the structure

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  • Magnetic Heads (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は記録密度の向上を目的とし、高保磁力
媒体を容易に磁化し、更に再生特性に優れた磁気ヘッド
を提供することにある。 【構成】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成され、
記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャップを
有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と下部
磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体からな
るコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおいて、
少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁束密
度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜の順で積層構造により
形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を磁気ギャップ側に
配置したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 【効果】本発明によれば、記録時のギャップ長と再生時
のギャップ長を変えることができ、高保磁力媒体を記録
するのに十分な磁界強度が得られ、線記録密度の向上が
出来る。これらのことから、本発明の磁気ヘッドを使用
することによって高保磁力媒体で記録密度の向上が可能
となる。また、磁区構造に起因するノイズを抑えること
ができ信頼性の高いヘッドを供給することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記憶装置に搭載さ
れる薄膜磁気ヘッドの磁極構造に関する。
【0002】
【従来の技術】記録密度を向上するためには記録波長に
対応して、磁気記録媒体の高保磁力化と磁気ヘッドの狭
ギャップ化が必要とされる。しかしながら、高保磁力媒
体を磁化するためには強い磁場を発生する必要があり、
狭ギャップヘッドでは、ギャップに接する磁性膜の磁気
飽和により、発生できる磁界の上限が決まってしまい十
分な記録をすることができない。
【0003】そこで、特開昭57−24015号に記載
されているように下部磁性膜の上側と上部磁性膜の下側
に高飽和磁束密度を有する磁性膜を設けた薄膜磁気ヘッ
ドがある。このヘッド構造の例を図2、図3に示す。ギ
ャップ内にヘッド飽和を抑えるための高飽和磁束密度材
が配置されている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術で、記録
密度を向上させる手段として下部磁性膜の上側と上部磁
性膜の下側に高飽和磁束密度を有する磁性膜を用いてい
るが、70kFC以上の更なる記録密度の向上には対応
した1800oe以上の高保磁力媒体を磁化することは
困難となる。
【0005】すなわち再生のためには0.3μm程度の
狭ギャップを記録のためには0.4μm程度の広キャッ
プが要求され、その2つの要求を記録再生を兼用するヘ
ッドで満足することが非常に難しくなったことである。
【0006】更に、高飽和磁束密度材は透磁率が低いた
めにギャップ先端の磁気的なギャップが広がって見える
ことや、低い透磁率為の磁気抵抗の増加による再生効率
の低下により再生出力が低くなることの問題点があっ
た。
【0007】本発明は記録密度の向上を目的とし、高保
磁力媒体を容易に磁化し、更に再生特性に優れた磁気ヘ
ッドを提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明は、図1に示すよ
うに、下部磁極1と上部磁極2とで磁気コアが形成さ
れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
プ3を有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極
と下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体
からなるコイル4とにより構成される薄膜磁気ヘッドに
おいて、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜5と高
飽和磁束密度磁性膜6と低飽和磁束密度磁性膜7の順で
積層構造により形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を磁
気ギャップ側に配置する。
【0009】
【作用】薄膜磁気ヘッドにおいて、少なくとも一方の磁
極を高透磁率磁性膜5と高飽和磁束密度磁性膜6と低飽
和磁束密度磁性膜7の順で積層構造により形成し、該低
飽和磁束密度磁性膜は磁気ギャップ側に配置されてい
る。記録時には発生する磁場により低飽和磁束密度磁性
は飽和し、その透磁率は空気と同様の値を示すような
る。すなわち実効的に記録ギャップ長が広がり、強い磁
界を発生することができる。この実効的な記録ギャップ
長は非磁性膜による磁気ギャップ3と低飽和磁束密度磁
性膜7をたした値となる。また、高飽和磁束密度磁性膜
6は飽和に至らないために、強く急峻な磁界分布が得ら
れる。
【0010】また、再生時には再生ギャップ長は非磁性
膜による磁気ギャップ3によって決まり、狭ギャップに
よるギャップ損失の少ない優れた再生特性を示す。その
ために記録密度の向上が可能となる。
【0011】更に、低飽和磁束密度膜を高透磁率とする
ことにより、高飽和磁束密度磁性膜が低透磁率であるた
めの再生効率の低下を防ぐことができる。
【0012】
【実施例】以下、本発明の実施例を図1から図10で説
明する。図1は、本発明における薄膜磁気ヘッドの断面
図である。
【0013】図1に示すように、薄膜磁気ヘッドは下部
磁極1と上部磁極2とで磁気コアが形成され、記録媒体
との対向面側に非磁性膜により磁気ギャップ3を有する
開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と下部磁極と
の間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体からなるコイ
ル4とにより構成され、上部磁極を高透磁率磁性膜5と
高飽和磁束密度磁性膜6と低飽和磁束密度磁性膜7の順
で積層構造により形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を
磁気ギャップ側に配置している。
【0014】図4は実施例1のヘッドの磁気飽和の領域
と先端部での磁界分布の計算結果を示している。上部磁
極の高透磁率磁性膜5はNiFe(Bs=1T、透磁
率::1000、膜厚3μm)と高飽和磁束密度磁性膜
6はCoFeNi(Bs=1.7T、透磁率:500、
膜厚0.7μm)と低飽和磁束密度磁性膜7)はNiF
e(Bs=1T、透磁率:1000、膜厚0.1μm)
順で積層構造を形成した。
【0015】低飽和磁束密度磁性膜7は完全に飽和して
いる。また、高飽和磁束密度磁性膜6は飽和には至って
いない。図5は図3のタイプの従来ヘッドと図1に示す
本発明ヘッドの磁界分布の計算結果を比較したものであ
る。本発明ヘッドのギャップ長は0.3μmにあるにも
関わらず、ギャップ長は0.4μmの従来ヘッドとほぼ
同等の磁界分布を示している。
【0016】このように高飽和磁束密度磁性膜と低飽和
磁束密度磁性膜は同一の磁性膜を用いても効果がある。
【0017】図6は従来ヘッドと本発明の書き込能力を
実験により、比較したものである。
【0018】比較した物の形状は上記計算と同じもので
ある。
【0019】従来ヘッドではギャップ長を0.3μmと
するとギャップ長0.4μmの場合と比較してオ−バ−
ライト性能は約3dB低下してしまう。本発明ヘッドで
はギャップ長0.3μmにて、従来ヘッドギャップ長
0.4μmと同等の性能を示している。
【0020】更に再生の検討結果を示す。
【0021】図7に孤立波再生波形の定義を示す。波形
の半値幅をPW50、振幅をV0とする。
【0022】図8は再生ギャップ長と半値幅の関係の計
算結果を示す。自己録再の場合、ギャップ長を狭くする
と半値幅は狭くなり高密度記録に適していることがわか
る。また、記録ギャップ長を0.4μmに固定した場合
もほぼ同様な値をしめしており、再生特性が再生ギャッ
プ長により決まっていることを示している。
【0023】図9、図10にギャップ長と半値幅及び出
力の関係の実験結果を示す。
【0024】本発明ヘッドは従来ヘッドのギャップ長
0.3μmよりも、半値幅が狭く、大きな出力を示して
おり、低飽和磁束密度高透磁率の効果がでている。つま
り、本発明ヘッドは記録時には0.4μm、再生時には
0.3μmのヘッドとして動作し、更に、ギャップ膜に
接する磁性膜が高透磁率のために、従来ヘッドよりも急
峻で、出力の高い波形を得ることができることがわか
る。
【0025】また、各々の磁性膜の結晶構造が似ている
ために下地の膜質のよいNiFeの上のCoFeNiは
エピタキシャル成長し、また、その上のNiFeも同様
の成長をするために、結晶構造的にも、磁気的にも非常
に安定であり、ウイグルやポップコ−ンノイズのような
ノイズは発生しない。従来例にみられる2層構造では下
地が高飽和磁束密度磁性膜であり、一般的に磁気的な異
方性が強いためにその上の膜質は低下してしまい再生出
力が低下してしまう。よって、本構造は磁気記録的にも
結晶構造的にも優れている。
【0026】これら磁性膜はスパッタリング法でもめっ
き法でも同様の効果が有る。特に従来ヘッドの磁性膜を
めっき法により形成していた場合、低飽和磁束密度材を
高飽和磁束密度材のめっき下地膜とするとするとプロセ
ス上、大きな変更なく、大きな効果が得られる。
【0027】図11、図12、図13、図13、図1
4、図15、図16は本発明の他の実施例である。
【0028】図11は下部コアにも上部コアと同様な3
層構造とした。
【0029】図12は下部コアを高飽和磁束密度磁性膜
6とした。
【0030】図13は下部コアを高透磁率磁性膜5と高
飽和磁束密度磁性膜6の2層構造とした。
【0031】図14、図15、図16は高飽和磁束密度
磁性膜6の長さをギャップ深さ同一にしギャップ内での
飽和をしやすくしたものである。
【0032】
【発明の効果】本発明によれば、記録時のギャップ長と
再生時のギャップ長を変えることができ、高保磁力媒体
を記録するのに十分な磁界強度が得られ、線記録密度の
向上が出来る。これらのことから、本発明の磁気ヘッド
を使用することによって高保磁力媒体で記録密度の向上
が可能となる。また、磁区構造に起因するノイズを抑え
ることができ信頼性の高いヘッドを供給することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例を示す断面図。
【図2】従来の磁気ヘッド構造を示す断面図。
【図3】従来の磁気ヘッド構造を示す断面図。
【図4】薄膜磁気ヘッドの先端の磁気飽和領域。
【図5】薄膜磁気ヘッドの磁界分布図。
【図6】ギャップ長とオ−バ-ライトの関係を示すグラ
フ。
【図7】孤立波形を説明する波形図。
【図8】再生ギャップ長と孤立波形半値幅の関係を示す
グラフ。
【図9】ギャップ長と半値幅の関係を示すグラフ。
【図10】ギャップ長と孤立波形の出力電圧の関係を示
すグラフ。
【図11】本発明における他の実施例を示す断面図。
【図12】本発明における他の実施例を示す断面図。
【図13】本発明における他の実施例を示す断面図。
【図14】本発明における他の実施例を示す断面図。
【図15】本発明における他の実施例を示す断面図。
【図16】本発明における他の実施例を示す断面図。
【符号の説明】 1 下部磁極 2 上部磁極 3 磁気ギャップ 4 コイル 5 高透磁率磁性膜 6 高飽和磁束密度磁性膜 7 低飽和磁束密度磁性膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 香川 昌慶 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内 (72)発明者 斎藤 眞 神奈川県小田原市国府津2880番地 株式会 社日立製作所ストレージシステム事業部内

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁
    束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜の順で積層構造に
    より形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を磁気ギャップ
    側に配置したことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
  2. 【請求項2】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁
    束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜との積層構造によ
    り形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を磁気ギャップ側
    に配置した薄膜磁気ヘッドにおいて、高透磁率磁性膜の
    飽和磁束密度をBs1、高飽和磁束密度磁性膜の飽和磁
    束密度をBs2、低飽和磁束密度磁性膜の飽和磁束密度
    をBs3としたとき以下の関係式が成り立つことを特徴
    とする薄膜磁気ヘッド。 Bs1<Bs2、 Bs3<Bs2
  3. 【請求項3】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくともギャップ深さを決定する側の磁極を高透
    磁率磁性膜と高飽和磁束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁
    性膜の順で積層構造により形成し、該低飽和磁束密度磁
    性膜側を磁気ギャップ側に配置したことを特徴とする薄
    膜磁気ヘッド。
  4. 【請求項4】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁
    束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜の順で積層構造に
    より形成し、該高透磁率磁性膜と該低飽和磁束密度磁性
    膜とを同一の磁性材料を用いたことを特徴とする薄膜磁
    気ヘッド。
  5. 【請求項5】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁
    束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜の順で積層構造に
    より形成し、各磁性膜の組成がNiFeを基本とするこ
    とを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
  6. 【請求項6】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁
    束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜の順で積層構造に
    より形成し、高飽和磁束密度磁性膜が低飽和磁束密度磁
    性膜の上に低飽和磁束密度磁性膜の結晶に従って結晶成
    長することを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
  7. 【請求項7】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁
    束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜との積層構造によ
    り形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を磁気ギャップ側
    に配置した薄膜磁気ヘッドにおいて、高透磁率磁性膜の
    膜厚をt1、高飽和磁束密度磁性膜の膜厚をt2、低飽
    和磁束密度磁性膜の膜厚をt3、としたとき以下の関係
    式が成り立つことを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 t1>t2>t3
  8. 【請求項8】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽和磁
    束密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜との積層構造によ
    り形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を磁気ギャップ側
    に配置した薄膜磁気ヘッドにおいて、 高透磁率磁性膜
    の飽和磁束密度をBs1、膜厚t1、高飽和磁束密度磁
    性膜の飽和磁束密度をBs2、膜厚t2、低飽和磁束密
    度磁性膜の飽和磁束密度をBs3、膜厚t3、としたと
    き以下の関係式が成り立つことを特徴とする薄膜磁気ヘ
    ッド。 Bs*t2>Bs*t3
  9. 【請求項9】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成さ
    れ、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャッ
    プを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極と
    下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体か
    らなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにおい
    て、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽磁束
    密度磁性膜と低飽和磁束密度磁性膜の順で積層構造によ
    り形成し、該低飽和磁束密度磁性膜側を磁気ギャップ側
    に配置し、高透磁率磁性膜の透磁率を1000以上、高
    飽磁束密度磁性膜の飽磁束密度を1.3T以上、低飽和
    磁束密度磁性膜の飽磁束密度を1T以下とした薄膜磁気
    ヘッド。
  10. 【請求項10】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成
    され、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャ
    ップを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極
    と下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体
    からなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにお
    いて、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽磁
    束密度低透磁率磁性膜と低飽和磁束密度高透磁率磁性膜
    の順で積層構造により形成し、該低飽和磁束密度高透磁
    率磁性膜側を磁気ギャップ側に配置したことを特徴とす
    る薄膜磁気ヘッド。
  11. 【請求項11】下部磁極と上部磁極とで磁気コアが形成
    され、記録媒体との対向面側に非磁性膜により磁気ギャ
    ップを有する開ループ状の磁気回路と、上記の上部磁極
    と下部磁極との間を通り上記磁気回路を鎖交する導電体
    からなるコイルとにより構成される薄膜磁気ヘッドにお
    いて、少なくとも一方の磁極を高透磁率磁性膜と高飽磁
    束密度低透磁率磁性膜と低飽和磁束密度高透磁率磁性膜
    の順で積層構造により形成し、該低飽和磁束密度高透磁
    率磁性膜側を磁気ギャップ側に配置し、高透磁率磁性膜
    の透磁率を1000以上、高飽磁束密度低透磁率磁性膜
    の飽磁束密度を1.3T以上、透磁率を1000以下、
    低飽和磁束密度高透磁率磁性膜の飽磁束密度を1T以
    下、透磁率を1000以上とした薄膜磁気ヘッド。
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