JPH0896327A - 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 - Google Patents
複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法Info
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- JPH0896327A JPH0896327A JP23312794A JP23312794A JPH0896327A JP H0896327 A JPH0896327 A JP H0896327A JP 23312794 A JP23312794 A JP 23312794A JP 23312794 A JP23312794 A JP 23312794A JP H0896327 A JPH0896327 A JP H0896327A
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Landscapes
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 磁気抵抗効果型ヘッドと誘導型磁気ヘッドを
基板上に積み重ねて形成した複合型薄膜磁気ヘッドにお
いて、磁気抵抗効果型ヘッドの上に形成される誘導型ヘ
ッドのギャップが磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅規
制部の凹凸を反映してうねった形状になるという問題を
解決する。 【構成】 本発明による複合型薄膜磁気ヘッドの製造方
法は、磁気抵抗効果型ヘッドの上部シールド層を形成し
た後、誘導型ヘッドのギャップスペーサ層を形成する前
に、前記凹凸を解消するための平坦化加工を施すことを
特徴とするものである。
基板上に積み重ねて形成した複合型薄膜磁気ヘッドにお
いて、磁気抵抗効果型ヘッドの上に形成される誘導型ヘ
ッドのギャップが磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅規
制部の凹凸を反映してうねった形状になるという問題を
解決する。 【構成】 本発明による複合型薄膜磁気ヘッドの製造方
法は、磁気抵抗効果型ヘッドの上部シールド層を形成し
た後、誘導型ヘッドのギャップスペーサ層を形成する前
に、前記凹凸を解消するための平坦化加工を施すことを
特徴とするものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ＨＤＤ（ハード・ディ
スク・ドライブ）等の磁気記録装置に使用される磁気ヘ
ッドに関するものである。
スク・ドライブ）等の磁気記録装置に使用される磁気ヘ
ッドに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＨＤＤ等の磁気記録装置に使用される磁
気ヘッドとして、下部シールド層、磁気抵抗効果素子
層、電極層、上部シールド層を備える磁気抵抗効果型ヘ
ッドと、下部コア層、コイル層、ギャップスペーサ層、
上部コア層を備える誘導型ヘッドとを、基板上に積み重
ねて形成した複合型薄膜磁気ヘッドが特公昭５８−３６
４０６号に開示されている。
気ヘッドとして、下部シールド層、磁気抵抗効果素子
層、電極層、上部シールド層を備える磁気抵抗効果型ヘ
ッドと、下部コア層、コイル層、ギャップスペーサ層、
上部コア層を備える誘導型ヘッドとを、基板上に積み重
ねて形成した複合型薄膜磁気ヘッドが特公昭５８−３６
４０６号に開示されている。
【０００３】該複合型薄膜磁気ヘッドの記録媒体対向面
の構成を図５に示す。図５において、１は基板、２は磁
気抵抗効果型ヘッドの下部シールド層、３は磁気抵抗効
果素子層と上部シールド層との間のギャップスペーサと
なる下部絶縁層、４は磁気抵抗効果素子層、５ａ、５ｂ
は磁気抵抗効果素子に通電するための電極層、６は磁気
抵抗効果素子層と上部シールド層との間のギャップスペ
ーサとなる上部絶縁層、７は上部シールド層、８は磁気
抵抗効果型ヘッドと誘導型ヘッドとの間の分離層、９は
誘導型ヘッドの下部コア層、１０は下部コア層と上部コ
ア層との間のギャップスペーサ層、１１は上部コア層、
１２は保護層を示している。
の構成を図５に示す。図５において、１は基板、２は磁
気抵抗効果型ヘッドの下部シールド層、３は磁気抵抗効
果素子層と上部シールド層との間のギャップスペーサと
なる下部絶縁層、４は磁気抵抗効果素子層、５ａ、５ｂ
は磁気抵抗効果素子に通電するための電極層、６は磁気
抵抗効果素子層と上部シールド層との間のギャップスペ
ーサとなる上部絶縁層、７は上部シールド層、８は磁気
抵抗効果型ヘッドと誘導型ヘッドとの間の分離層、９は
誘導型ヘッドの下部コア層、１０は下部コア層と上部コ
ア層との間のギャップスペーサ層、１１は上部コア層、
１２は保護層を示している。
【０００４】かかる複合型薄膜磁気ヘッドおいて、磁気
抵抗効果型ヘッドのトラック幅は磁気抵抗効果素子層上
の電極層の除去幅によって規制され、誘導型ヘッドのト
ラック幅は下部コア層と上部コア層との対向幅によって
規制される。そして、誘導型ヘッドのトラック幅内に磁
気抵抗効果型ヘッドのトラック幅が収まるような構成と
なっている。
抵抗効果型ヘッドのトラック幅は磁気抵抗効果素子層上
の電極層の除去幅によって規制され、誘導型ヘッドのト
ラック幅は下部コア層と上部コア層との対向幅によって
規制される。そして、誘導型ヘッドのトラック幅内に磁
気抵抗効果型ヘッドのトラック幅が収まるような構成と
なっている。
【０００５】ところが、前記誘導型ヘッドのギャップは
磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅を規制するための
電極層除去端辺の段差を反映して、トラック幅内でうね
った形状になってしまっている。このようなギャップの
うねりは、記録再生信号のベ−スラインシフトを引き起
こす。
磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅を規制するための
電極層除去端辺の段差を反映して、トラック幅内でうね
った形状になってしまっている。このようなギャップの
うねりは、記録再生信号のベ−スラインシフトを引き起
こす。
【０００６】前述のようなギャップのうねりを解消する
ための手段としては、前記電極層を極力薄くすること
や、該電極層薄膜を局部的に除去する際にエッチング条
件等を制御して除去端辺にテーパーをつけたりすること
が試みられているが、不十分である。
ための手段としては、前記電極層を極力薄くすること
や、該電極層薄膜を局部的に除去する際にエッチング条
件等を制御して除去端辺にテーパーをつけたりすること
が試みられているが、不十分である。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、磁気抵抗効
果型ヘッドの上に形成される誘導型ヘッドのギャップが
磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅規制部の凹凸を反映
してうねった形状になるという問題を解決するものであ
る。
果型ヘッドの上に形成される誘導型ヘッドのギャップが
磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅規制部の凹凸を反映
してうねった形状になるという問題を解決するものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明による複合型薄膜
磁気ヘッドの製造方法は、下部シールド層、磁気抵抗効
果素子層、電極層、上部シールド層を備える磁気抵抗効
果型ヘッドと、下部コア層、コイル層、ギャップスペー
サ層、上部コア層を備える誘導型ヘッドとを、基板上に
積み重ねて形成した複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記電極層となる薄膜を前記磁気抵抗効果素子
層上に被着形成した後、該電極層薄膜を局部的に除去す
ることにより前記磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅を
規制する工程と、前記上部シールド層を形成した後、前
記ギャップスペーサ層を形成する前に、前記電極層薄膜
の局部的除去に起因する凹凸を解消するための平坦化加
工を施す工程とを備えることを特徴とするものである。
磁気ヘッドの製造方法は、下部シールド層、磁気抵抗効
果素子層、電極層、上部シールド層を備える磁気抵抗効
果型ヘッドと、下部コア層、コイル層、ギャップスペー
サ層、上部コア層を備える誘導型ヘッドとを、基板上に
積み重ねて形成した複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法に
おいて、前記電極層となる薄膜を前記磁気抵抗効果素子
層上に被着形成した後、該電極層薄膜を局部的に除去す
ることにより前記磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅を
規制する工程と、前記上部シールド層を形成した後、前
記ギャップスペーサ層を形成する前に、前記電極層薄膜
の局部的除去に起因する凹凸を解消するための平坦化加
工を施す工程とを備えることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】上記本発明の製造方法によれば、誘導型磁気ヘ
ッドのギャップスペーサ層が平坦な面上に形成されるこ
とになり、前述のようなギャップのうねりは生じない。
ッドのギャップスペーサ層が平坦な面上に形成されるこ
とになり、前述のようなギャップのうねりは生じない。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
ながら説明する。
ながら説明する。
【００１１】まず、図１（ａ）に示すように、基板１の
上にＮｉ−Ｆｅ合金等からなる下部シールド層２、Ａｌ
2Ｏ3等からなる下部絶縁層３、Ｎｉ−Ｆｅ合金等からな
る磁気抵抗効果素子層４を順次形成し、その上にトラッ
ク幅となる所定の間隔Ｗを空けてＡｕ等からなる電極層
５ａ、５ｂを形成し、さらにその上にＡｌ2Ｏ3等からな
る上部絶縁層６、Ｎｉ−Ｆｅ合金等からなる上部シ−ル
ド層７を形成する。この時、上部シールド層の上面には
電極層のトラック幅規制部の段差を反映した凹凸が生じ
ている。
上にＮｉ−Ｆｅ合金等からなる下部シールド層２、Ａｌ
2Ｏ3等からなる下部絶縁層３、Ｎｉ−Ｆｅ合金等からな
る磁気抵抗効果素子層４を順次形成し、その上にトラッ
ク幅となる所定の間隔Ｗを空けてＡｕ等からなる電極層
５ａ、５ｂを形成し、さらにその上にＡｌ2Ｏ3等からな
る上部絶縁層６、Ｎｉ−Ｆｅ合金等からなる上部シ−ル
ド層７を形成する。この時、上部シールド層の上面には
電極層のトラック幅規制部の段差を反映した凹凸が生じ
ている。
【００１２】次に、図１（ｂ）に示すようにＡｌ2Ｏ3等
からなる補助絶縁層１３を形成し、その上面からグライ
ンダによる研削加工、ダイヤモンド砥粒やアルミナ砥粒
による研摩加工等を施し、図１（ｃ）に示すように上部
シールド層７の上面を露出させて平坦化する。
からなる補助絶縁層１３を形成し、その上面からグライ
ンダによる研削加工、ダイヤモンド砥粒やアルミナ砥粒
による研摩加工等を施し、図１（ｃ）に示すように上部
シールド層７の上面を露出させて平坦化する。
【００１３】その後、図２に示すようにＡｌ2Ｏ3等から
なる分離層８、Ｃｏ−Ｚｒ合金等からなる誘導型ヘッド
の下部コア層９、フォトレジスト等からなるコイル下絶
縁層（記録媒体対向面には現れないため図示せず）、Ｃ
ｕ等からなるコイル層（記録媒体対向面には現れないた
め図示せず）、フォトレジスト等からなるコイル上絶縁
層（記録媒体対向面には現れないため図示せず）、Ａｌ
2Ｏ3等からなるギャップスペ−サ−層１０、Ｃｏ−Ｚｒ
合金等からなる上部コア層１１、Ａｌ2Ｏ3等からなる保
護層１２を順次形成して複合型薄膜磁気ヘッドが完成す
る。
なる分離層８、Ｃｏ−Ｚｒ合金等からなる誘導型ヘッド
の下部コア層９、フォトレジスト等からなるコイル下絶
縁層（記録媒体対向面には現れないため図示せず）、Ｃ
ｕ等からなるコイル層（記録媒体対向面には現れないた
め図示せず）、フォトレジスト等からなるコイル上絶縁
層（記録媒体対向面には現れないため図示せず）、Ａｌ
2Ｏ3等からなるギャップスペ−サ−層１０、Ｃｏ−Ｚｒ
合金等からなる上部コア層１１、Ａｌ2Ｏ3等からなる保
護層１２を順次形成して複合型薄膜磁気ヘッドが完成す
る。
【００１４】ここで、前記図１（ｃ）に示したように磁
気抵抗効果型ヘッドの上部シ−ルド層７を平坦化した
後、図３に示すように該上部シ−ルド層７を誘導型ヘッ
ドの下部コア層との兼用層として、その上にギャップス
ペ−サ−層１０、上部コア層１１、保護層１２等を形成
してもよい。
気抵抗効果型ヘッドの上部シ−ルド層７を平坦化した
後、図３に示すように該上部シ−ルド層７を誘導型ヘッ
ドの下部コア層との兼用層として、その上にギャップス
ペ−サ−層１０、上部コア層１１、保護層１２等を形成
してもよい。
【００１５】また、前記図１（ｃ）に示したように磁気
抵抗効果型ヘッドの上部シ−ルド層７を平坦化した後、
図４に示すように該上部シ−ルド層の上面を誘導型ヘッ
ドの上部コア層と対向する部分が突出するように整形し
て、その上にギャップスペ−サ−層１０、上部コア層１
１、保護層１２等を形成してもよい。
抵抗効果型ヘッドの上部シ−ルド層７を平坦化した後、
図４に示すように該上部シ−ルド層の上面を誘導型ヘッ
ドの上部コア層と対向する部分が突出するように整形し
て、その上にギャップスペ−サ−層１０、上部コア層１
１、保護層１２等を形成してもよい。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、複合型薄膜磁気ヘッド
における誘導型磁気ヘッドのギャップが平坦化され、記
録再生信号のベ−スラインシフトが低減する。
における誘導型磁気ヘッドのギャップが平坦化され、記
録再生信号のベ−スラインシフトが低減する。
【図１】本発明実施例による複合型薄膜磁気ヘッド半完
成品の記録媒体対向面となる部分の断面図である。
成品の記録媒体対向面となる部分の断面図である。
【図２】本発明第１実施例による複合型薄膜磁気ヘッド
の主要部を記録媒体対向面側から見た平面図である。
の主要部を記録媒体対向面側から見た平面図である。
【図３】本発明第２実施例による複合型薄膜磁気ヘッド
の主要部を記録媒体対向面側から見た平面図である。
の主要部を記録媒体対向面側から見た平面図である。
【図４】本発明第１実施例による複合型薄膜磁気ヘッド
の主要部を記録媒体対向面側から見た平面図である。
の主要部を記録媒体対向面側から見た平面図である。
【図５】従来例による複合型薄膜磁気ヘッドの主要部を
記録媒体対向面側から見た平面図である。
記録媒体対向面側から見た平面図である。
１ 基板 ２ 下部シールド層 ３ 下部絶縁層 ４ 磁気抵抗効果素子層 ５ａ、５ｂ 電極層 ６ 上部絶縁層 ７ 上部シールド層 ８ 分離層 ９ 下部コア層 １０ ギャップスペーサ層 １１ 上部コア層 １２ 保護層 １３ 補助絶縁層
Claims (2)
- 【請求項１】 下部シールド層、磁気抵抗効果素子層、
電極層、上部シールド層を備える磁気抵抗効果型ヘッド
と、下部コア層、コイル層、ギャップスペーサ層、上部
コア層を備える誘導型ヘッドとを、基板上に積み重ねて
形成した複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法において、 前記電極層となる薄膜を前記磁気抵抗効果素子層上に被
着形成した後、該電極層薄膜を局部的に除去することに
より前記磁気抵抗効果型ヘッドのトラック幅を規制する
工程と、 前記上部シールド層を形成した後、前記ギャップスペー
サ層を形成する前に、前記電極層薄膜の局部的除去に起
因する凹凸を解消するための平坦化加工を施す工程とを
備えることを特徴とする複合型薄膜磁気ヘッドの製造方
法。 - 【請求項２】 前記平坦化加工を、研削法または研摩法
によって行うことを特徴とする請求項１記載の複合型薄
膜磁気ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23312794A JPH0896327A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23312794A JPH0896327A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0896327A true JPH0896327A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16950175
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23312794A Pending JPH0896327A (ja) | 1994-09-28 | 1994-09-28 | 複合型薄膜磁気ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0896327A (ja) |
-
1994
- 1994-09-28 JP JP23312794A patent/JPH0896327A/ja active Pending
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