JPH0897197A - 横型熱処理炉 - Google Patents
横型熱処理炉Info
- Publication number
- JPH0897197A JPH0897197A JP22918694A JP22918694A JPH0897197A JP H0897197 A JPH0897197 A JP H0897197A JP 22918694 A JP22918694 A JP 22918694A JP 22918694 A JP22918694 A JP 22918694A JP H0897197 A JPH0897197 A JP H0897197A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- heat treatment
- stem
- treatment furnace
- horizontal heat
- peripheral surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 チューブ本体のネック部と反応ガスバーナの
ステムとの密着性を向上させ、危険なガスのリークを完
全に防止することができる横型熱処理炉を得ることを目
的とする。 【構成】 この発明の横型熱処理炉は、反応ガスバーナ
５０のステム４０を、バーナ５Ａ、５Ｂを所定の間隔で
支持する共通の石英製円板４１とこの円板４１の円周か
らその円板に対して直角に各バーナ５Ａ、５Ｂの先端部
の方に向けて形成した石英製環状袴４２とから構成し、
そしてこの環状袴４２の内周面に凹溝４３を形成して、
この凹溝４３に耐熱性で弾性のＯリング１３を嵌め込
み、この状態のステム４０をチューブ本体２のネック部
３Ａの結合部３１にの外周面に嵌め込み、装着して、チ
ューブ本体２と一体に密着、結合させいる。
ステムとの密着性を向上させ、危険なガスのリークを完
全に防止することができる横型熱処理炉を得ることを目
的とする。 【構成】 この発明の横型熱処理炉は、反応ガスバーナ
５０のステム４０を、バーナ５Ａ、５Ｂを所定の間隔で
支持する共通の石英製円板４１とこの円板４１の円周か
らその円板に対して直角に各バーナ５Ａ、５Ｂの先端部
の方に向けて形成した石英製環状袴４２とから構成し、
そしてこの環状袴４２の内周面に凹溝４３を形成して、
この凹溝４３に耐熱性で弾性のＯリング１３を嵌め込
み、この状態のステム４０をチューブ本体２のネック部
３Ａの結合部３１にの外周面に嵌め込み、装着して、チ
ューブ本体２と一体に密着、結合させいる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、反応ガスを燃焼させ
て表面に絶縁膜などを成膜するための、被加工物、例え
ば、半導体ウエハなどの表面処理用横型熱処理炉に関す
るものである。
て表面に絶縁膜などを成膜するための、被加工物、例え
ば、半導体ウエハなどの表面処理用横型熱処理炉に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】先ず、図２及び図３を用いて、従来技術
の横型熱処理炉を説明する。なお、被加工物として半導
体ウエハを採り挙げ、この半導体ウエハの表面に絶縁膜
を形成する場合を説明する。図２は従来技術の横型熱処
理炉の模式図で、同図Ａはその断面側面図、同図Ｂは同
図ＡのＡ−Ａ線上の断面図あり、図３は図２に示した横
型熱処理炉のチューブ本体のネック部と複数本のバーナ
を支持したステム部の結合構造を拡大して示した一部断
面図である。
の横型熱処理炉を説明する。なお、被加工物として半導
体ウエハを採り挙げ、この半導体ウエハの表面に絶縁膜
を形成する場合を説明する。図２は従来技術の横型熱処
理炉の模式図で、同図Ａはその断面側面図、同図Ｂは同
図ＡのＡ−Ａ線上の断面図あり、図３は図２に示した横
型熱処理炉のチューブ本体のネック部と複数本のバーナ
を支持したステム部の結合構造を拡大して示した一部断
面図である。
【０００３】図２において、符号１は全体としてこの横
型熱処理炉を指す。この横型熱処理炉１は石英製のチュ
ーブ本体２で形成されている。このチューブ本体２の一
端には、図３に示したような構造の結合部３１を備えた
ネック部３が形成されていて、石英製のステム４に支持
された反応ガスバーナ５がこの結合部３１の内周面に嵌
め込まれ、そしてチューブ本体２の他端には全面が開口
した出入口６に、その出入口６を開閉するシャッタ７が
取り付けられている。前記結合部３１からチューブ本体
２の入口まではガス燃焼室３２であり、このガス燃焼室
３２からチューブ本体２の中程までは反応室８であり、
この反応室８と前記出入口６との間にはガス排気部９が
形成されていて、図２Ａに示したように、このガス排気
部９はチューブ本体２の側壁に形成された小さな開口１
０とこの開口１０に通じた排気管１１とで構成されてい
る。
型熱処理炉を指す。この横型熱処理炉１は石英製のチュ
ーブ本体２で形成されている。このチューブ本体２の一
端には、図３に示したような構造の結合部３１を備えた
ネック部３が形成されていて、石英製のステム４に支持
された反応ガスバーナ５がこの結合部３１の内周面に嵌
め込まれ、そしてチューブ本体２の他端には全面が開口
した出入口６に、その出入口６を開閉するシャッタ７が
取り付けられている。前記結合部３１からチューブ本体
２の入口まではガス燃焼室３２であり、このガス燃焼室
３２からチューブ本体２の中程までは反応室８であり、
この反応室８と前記出入口６との間にはガス排気部９が
形成されていて、図２Ａに示したように、このガス排気
部９はチューブ本体２の側壁に形成された小さな開口１
０とこの開口１０に通じた排気管１１とで構成されてい
る。
【０００４】前記反応ガスバーナ５は、図３に拡大して
図示したように、２本のバーナ５Ａとバーナ５Ｂとが互
いに平行状態で、そして前記ネック部３の管壁と平行に
なるように前記ステム４で支持されている。そのためこ
のステム４は、前記２本のバーナ５Ａ、５Ｂを互いに平
行状態で支持するための平行に形成された円板状の支持
板４Ａ、４Ｂとこれら支持板４Ａ、４Ｂの円周に沿う石
英製の円筒４Ｃとで構成されており、この円筒４Ｃを前
記ネック部３の結合部３１の内周面に掏り合わせて嵌め
込み、前記バーナ５Ａ、５Ｂが前記ネック部３の管壁に
対して平行になるように、そしてそれらバーナ５Ａ、５
Ｂの先端部がネック部３の直径方向の中央部に位置する
ように支持された構造になっている。これら石英製の各
バーナ５Ａ、５Ｂと石英製のステム４は溶着されて一体
的に構成されている。
図示したように、２本のバーナ５Ａとバーナ５Ｂとが互
いに平行状態で、そして前記ネック部３の管壁と平行に
なるように前記ステム４で支持されている。そのためこ
のステム４は、前記２本のバーナ５Ａ、５Ｂを互いに平
行状態で支持するための平行に形成された円板状の支持
板４Ａ、４Ｂとこれら支持板４Ａ、４Ｂの円周に沿う石
英製の円筒４Ｃとで構成されており、この円筒４Ｃを前
記ネック部３の結合部３１の内周面に掏り合わせて嵌め
込み、前記バーナ５Ａ、５Ｂが前記ネック部３の管壁に
対して平行になるように、そしてそれらバーナ５Ａ、５
Ｂの先端部がネック部３の直径方向の中央部に位置する
ように支持された構造になっている。これら石英製の各
バーナ５Ａ、５Ｂと石英製のステム４は溶着されて一体
的に構成されている。
【０００５】前記バーナ５Ａの先端部には点火プラグ５
１が固定されており、赤外線を集光、照射することによ
り加熱され、同じくその先端部に開けられた噴射孔５２
から供給される供給ガスを燃焼させる。また、一方のバ
ーナ５Ｂの先端部の側面にも噴射孔５３が形成されてい
て、この噴射孔５３から前記のガスと異なるガスが供給
されるようになっている。なお、この横型熱処理炉１
は、図示していないが、前記チューブ本体２のほぼ全長
にわたって、その全周面を覆う円筒状に構成されたヒー
タに装着され、加熱されるものである。
１が固定されており、赤外線を集光、照射することによ
り加熱され、同じくその先端部に開けられた噴射孔５２
から供給される供給ガスを燃焼させる。また、一方のバ
ーナ５Ｂの先端部の側面にも噴射孔５３が形成されてい
て、この噴射孔５３から前記のガスと異なるガスが供給
されるようになっている。なお、この横型熱処理炉１
は、図示していないが、前記チューブ本体２のほぼ全長
にわたって、その全周面を覆う円筒状に構成されたヒー
タに装着され、加熱されるものである。
【０００６】このような構成の横型熱処理炉１でシリコ
ンの半導体ウエハＳの表面を酸化し、絶縁膜を生成する
場合には、図２に示したように、石英製のボート１２に
複数枚の半導体ウエハを所定の間隔で互いに平行に保持
し、シャッタ７を開け、出入口６からチューブ本体２の
前記反応室８に挿入し、そしてシャッタ７を閉めた後、
前記ヒーターで加熱しながら、バーナ５Ａから水素ガス
Ｈ2 と塩化水素ガスＨＣｌを、そしてバーナ５Ｂから酸
素ガスＯ2 を供給し、前記バーナ５Ａの先端部に取り付
けてある点火プラグ５１に赤外線を当てて加熱、燃焼さ
せる。従って、前記水素ガスＨ2 と酸素ガスＯ2 とが化
学反応を起こして水蒸気が発生し、前記塩素ガスＨＣｌ
で酸化を促進しながら、その水蒸気で各半導体ウエハＳ
の表面を酸化し、絶縁膜を生成する。使用済みの水蒸気
は前記ガス排気部９の開口１０及び排気管１１を通じて
外部に排気される。
ンの半導体ウエハＳの表面を酸化し、絶縁膜を生成する
場合には、図２に示したように、石英製のボート１２に
複数枚の半導体ウエハを所定の間隔で互いに平行に保持
し、シャッタ７を開け、出入口６からチューブ本体２の
前記反応室８に挿入し、そしてシャッタ７を閉めた後、
前記ヒーターで加熱しながら、バーナ５Ａから水素ガス
Ｈ2 と塩化水素ガスＨＣｌを、そしてバーナ５Ｂから酸
素ガスＯ2 を供給し、前記バーナ５Ａの先端部に取り付
けてある点火プラグ５１に赤外線を当てて加熱、燃焼さ
せる。従って、前記水素ガスＨ2 と酸素ガスＯ2 とが化
学反応を起こして水蒸気が発生し、前記塩素ガスＨＣｌ
で酸化を促進しながら、その水蒸気で各半導体ウエハＳ
の表面を酸化し、絶縁膜を生成する。使用済みの水蒸気
は前記ガス排気部９の開口１０及び排気管１１を通じて
外部に排気される。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この横
型熱処理炉１においては、前記のように、ネック部３の
結合部３１と反応ガスバーナ５との結合は、その結合部
３１にステム４を摺り合わせて嵌め込んであるだけであ
るため、密着性が十分でなく、微量ではあるが、危険な
塩化水素ガスＨＣｌがリークしがちである。この塩化水
素ガスＨＣｌは有毒であり、人体に危険であるため微量
であっても完全に封じ込める必要がある。この発明は、
この有毒ガスのリークを防止することを課題とするもの
である。
型熱処理炉１においては、前記のように、ネック部３の
結合部３１と反応ガスバーナ５との結合は、その結合部
３１にステム４を摺り合わせて嵌め込んであるだけであ
るため、密着性が十分でなく、微量ではあるが、危険な
塩化水素ガスＨＣｌがリークしがちである。この塩化水
素ガスＨＣｌは有毒であり、人体に危険であるため微量
であっても完全に封じ込める必要がある。この発明は、
この有毒ガスのリークを防止することを課題とするもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】それ故、この発明の横型
熱処理炉は、半導体ウエハを、開口した一端から石英製
チューブ本体の反応室に収納し、そのチューブ本体の他
端のネック部の結合部に、共通の石英製ステムで支持さ
れた複数本のバーナが結合されていて、それらのバーナ
から反応ガスをプロセス部に供給し、それらの反応ガス
を燃焼させて前記被加工物の表面に絶縁膜などを成膜す
る横型熱処理炉において、前記ステムを前記複数本のバ
ーナを所定の間隔で支持する共通の石英製円板とこの円
板の円周からその円板に対して直角に形成された石英製
環状袴とから構成し、その環状袴の内周面の直径は前記
ネック部の外周面の直径と同等か僅かに大で、その環状
袴の内周面に凹溝を形成し、この凹溝に耐熱性で弾性の
Ｏリングを嵌め込み、このＯリングが嵌め込まれた状態
のステムを前記ネック部の結合部の外周面に嵌め込んで
チューブ本体と一体に結合して、前記課題を解決した。
熱処理炉は、半導体ウエハを、開口した一端から石英製
チューブ本体の反応室に収納し、そのチューブ本体の他
端のネック部の結合部に、共通の石英製ステムで支持さ
れた複数本のバーナが結合されていて、それらのバーナ
から反応ガスをプロセス部に供給し、それらの反応ガス
を燃焼させて前記被加工物の表面に絶縁膜などを成膜す
る横型熱処理炉において、前記ステムを前記複数本のバ
ーナを所定の間隔で支持する共通の石英製円板とこの円
板の円周からその円板に対して直角に形成された石英製
環状袴とから構成し、その環状袴の内周面の直径は前記
ネック部の外周面の直径と同等か僅かに大で、その環状
袴の内周面に凹溝を形成し、この凹溝に耐熱性で弾性の
Ｏリングを嵌め込み、このＯリングが嵌め込まれた状態
のステムを前記ネック部の結合部の外周面に嵌め込んで
チューブ本体と一体に結合して、前記課題を解決した。
【０００９】
【作用】従って、この発明のステムはＯリングが弾性を
備えており、しかも熱処理時にネック部の結合部の石英
ガラスが膨張して、その結合部の外形が僅かではあるが
広がるため、ネック部とステムとの密着性が向上し、危
険なガスのリークを完全に防止することができる。
備えており、しかも熱処理時にネック部の結合部の石英
ガラスが膨張して、その結合部の外形が僅かではあるが
広がるため、ネック部とステムとの密着性が向上し、危
険なガスのリークを完全に防止することができる。
【００１０】
【実施例】次に、図を用いて、この発明の横型熱処理炉
１Ａを説明する。図１はこの発明の横型熱処理炉のチュ
ーブ本体のネック部と複数本のバーナを支持したステム
部の結合構造を拡大して示した一部断面図である。な
お、従来技術の横型熱処理炉の構成部分と同一の構成部
分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。
１Ａを説明する。図１はこの発明の横型熱処理炉のチュ
ーブ本体のネック部と複数本のバーナを支持したステム
部の結合構造を拡大して示した一部断面図である。な
お、従来技術の横型熱処理炉の構成部分と同一の構成部
分には同一の符号を付して、それらの説明を省略する。
【００１１】図１には図３と同様なチューブ本体２のネ
ック部３のみを図示した。図１において、この発明のチ
ューブ本体２のネック部３にも、従来技術のものと同様
の結合部３１が形成されている。
ック部３のみを図示した。図１において、この発明のチ
ューブ本体２のネック部３にも、従来技術のものと同様
の結合部３１が形成されている。
【００１２】一方、この発明における反応ガスバーナ５
０のステム４０は、前記バーナ５Ａ、５Ｂを所定の間隔
で支持する共通の石英製円板４１とこの円板４１の円周
からその円板に対して直角に各バーナ５Ａ、５Ｂの先端
部の方に向けて形成された石英製環状袴４２とから構成
されている。この環状袴４２の内周面の直径は前記結合
部３１の外周面の直径と同等か僅かに大きく形成する。
そしてこの環状袴４２の内周面に凹溝４３を形成し、こ
の凹溝４３に耐熱性で弾性のＯリング１３を嵌め込む。
０のステム４０は、前記バーナ５Ａ、５Ｂを所定の間隔
で支持する共通の石英製円板４１とこの円板４１の円周
からその円板に対して直角に各バーナ５Ａ、５Ｂの先端
部の方に向けて形成された石英製環状袴４２とから構成
されている。この環状袴４２の内周面の直径は前記結合
部３１の外周面の直径と同等か僅かに大きく形成する。
そしてこの環状袴４２の内周面に凹溝４３を形成し、こ
の凹溝４３に耐熱性で弾性のＯリング１３を嵌め込む。
【００１３】このようにＯリング１３が嵌め込まれた状
態のステム４０を前記構造の前記ネック部３の結合部３
１の外周面に嵌め込み、装着すると、反応ガスバーナ５
０Ａをチューブ本体２に一体に密着、結合させることが
できる。
態のステム４０を前記構造の前記ネック部３の結合部３
１の外周面に嵌め込み、装着すると、反応ガスバーナ５
０Ａをチューブ本体２に一体に密着、結合させることが
できる。
【００１４】
【発明の効果】以上、説明したように、この発明の横型
熱処理炉によれば、ステムはＯリングが弾性を備えてお
り、しかも熱処理時にネック部の結合部の空気密閉室内
の空気及び石英ガラスが膨張して、その結合部の外形が
広がるため、ネック部の結合部とステムとの密着性が向
上し、危険なガスのリークを完全に防止することができ
る。
熱処理炉によれば、ステムはＯリングが弾性を備えてお
り、しかも熱処理時にネック部の結合部の空気密閉室内
の空気及び石英ガラスが膨張して、その結合部の外形が
広がるため、ネック部の結合部とステムとの密着性が向
上し、危険なガスのリークを完全に防止することができ
る。
【図１】 この発明の横型熱処理炉のチューブ本体のネ
ック部と複数本のバーナを支持したステム部の結合構造
を拡大して示した一部断面図である。
ック部と複数本のバーナを支持したステム部の結合構造
を拡大して示した一部断面図である。
【図２】 従来技術の横型熱処理炉の模式図で、同図Ａ
はその断面側面図、同図Ｂは同図ＡのＡ−Ａ線上の断面
図である。
はその断面側面図、同図Ｂは同図ＡのＡ−Ａ線上の断面
図である。
【図３】 図２に示した横型熱処理炉のチューブ本体の
ネック部と複数本のバーナを支持したステム部の結合構
造を拡大して示した一部断面図である。
ネック部と複数本のバーナを支持したステム部の結合構
造を拡大して示した一部断面図である。
１ 横型熱処理炉 ２ チューブ本体 ３ ネック部 ３１ 結合部 ３３ 空気密閉室 ４０ ステム ４１ 円板 ４２ 環状袴 ４３ 凹溝 ５Ａ バーナ ５Ｂ バーナ ５０ 反応ガスバーナ ５１ 点火プラグ ５２ 噴射孔 ５３ 噴射孔
Claims (1)
- 【請求項１】 被加工物を、開口した一端から石英製チ
ューブ本体のプロセス部に収納し、そのチューブ本体の
他端のネック部の結合部に、共通の石英製ステムで支持
された複数本のバーナが結合されていて、それらのバー
ナから反応ガスを反応室に供給し、それらの反応ガスを
燃焼させて前記被加工物の表面に絶縁膜などを成膜する
横型熱処理炉において、前記ステムは前記複数本のバー
ナを所定の間隔で支持する共通の石英製円板とこの円板
の円周からその円板に対して直角に形成された石英製環
状袴とから構成されており、その環状袴の内周面の直径
は前記ネック部の外周面の直径と同等か僅かに大で、そ
の環状袴の内周面には凹溝が形成されており、この凹溝
に耐熱性のＯリングを嵌め込み、このＯリングが嵌め込
まれた状態のステムを前記ネック部の結合部の外周面に
嵌め込んでチューブ本体と一体に結合したことを特徴と
する横型熱処理炉。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22918694A JPH0897197A (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 横型熱処理炉 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22918694A JPH0897197A (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 横型熱処理炉 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0897197A true JPH0897197A (ja) | 1996-04-12 |
Family
ID=16888158
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22918694A Pending JPH0897197A (ja) | 1994-09-26 | 1994-09-26 | 横型熱処理炉 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0897197A (ja) |
-
1994
- 1994-09-26 JP JP22918694A patent/JPH0897197A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4870947A (en) | Radiant tube burner | |
| JP3936045B2 (ja) | ガスバーナ | |
| JPH0897197A (ja) | 横型熱処理炉 | |
| JPH0479768B2 (ja) | ||
| JPH0418727A (ja) | 縦型拡散装置 | |
| JPH0684118U (ja) | 二重管式ラジアントチューブ | |
| JPH085549Y2 (ja) | 高品質酸化用外部燃焼ユニット | |
| JPH0632556Y2 (ja) | 高温耐熱継手 | |
| JP3059267B2 (ja) | ラジアントチューブバーナ | |
| JP2006029638A (ja) | ラジアントチューブバーナ | |
| JPH0531393Y2 (ja) | ||
| JPS5885008A (ja) | ラジアントチユ−ブ | |
| US7887101B2 (en) | Joint for connecting two tubes in a high-temperature environment | |
| JPS58210613A (ja) | 熱処理炉用石英管 | |
| JP2004138286A (ja) | ラジアントチューブバーナ及びラジアントチューブの取付構造 | |
| JPH11325419A (ja) | ラジアント式加熱炉 | |
| JPS6260605B2 (ja) | ||
| KR200165872Y1 (ko) | 종형식 확산로의 인너튜브 지지대 구조 | |
| EP1130318A1 (en) | Pasted air box glass | |
| JPH0443202A (ja) | ラジアントチューブバーナ | |
| JPH037695Y2 (ja) | ||
| KR200360994Y1 (ko) | 가스복사 조리기용 버너 어셈블리 | |
| KR890007566Y1 (ko) | 구멍탄 연소기 뚜껑의 2차 공기 가열장치 | |
| KR200361545Y1 (ko) | 보일러의 연통 고정구조 | |
| JPH0625000Y2 (ja) | 炉芯管構造 |