JPS58210613A - 熱処理炉用石英管 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は半導体製品の熱処理炉用石英管に関するもので
ある。

従来、半導体製品の製造過程において半導体基板（ウェ
ハ）に拡散処理を施こ丁場台、熱処理炉（拡散炉）の中
にＨ２、Ｏ！の如＠複数揮のガスを導入して炉内で混合
し、ウェハの表面にｇＸｔ生成ざぜている。

ところが、従来の熱処理炉においては、第１図に示す如
く熱処理炉１の端部に設けられるガス導管２．３および
熱電対挿入用の管４が互いに別々に分離した構造となっ
ている。そのため、省エネルギーのために炉端會封止す
る場合に封止が困難で、加工も面倒である。１友、熱処
理炉として石英管を用いる場合にも、高温による変形を
防止するためには管を回転させることが望ましいが、前
記従来構造では管會回転させることができず、管の変形
を防止することができなくなってしまう。

本発明の目的は、前記従来技術の問題点を解決し、ガス
導入部の構造が簡単で、確実な封止を行なえることにエ
フ鳴エネルギー會図ることのできる熱処理炉用石英′＃
葡提供することにある。

この目的を達成するため、本発明は、複数種のガスｒ４
人するためのガス導入口ｔ、石英管の端部に逍結したコ
ネクタ管の端壁と周壁に設けたものである。

以下、本発明を図面に示す実施例にしたがって祥細に説
明する。

第２図は本発明による熱処理炉用石英管の一実施例を示
す斜視図、第３図はその要部の拡大断面図、第４図は枝
管部の横断面図である。

本実施例において、熱処理炉用石英管は管本体である熱
処理部１０とそのガス導入端側に形成された枝管ｍ１１
とからなる。熱処理部ｌＯは、拡散処１！’に施こ式れ
る半導体ウニ・・（図示せず）の直径に見合った内径會
有している。枝管部１１は熱処理部ｌＯ内への燃焼用ガ
スの導入部を構成するものである。

この枝管部１１は細管状で、その人口端側はテーパ部１
２となっており、このテーパ部１２にはコネクタ管１３
のテーパｓ１４が丁り合せにより挿入、連粕されている
。

コネクタ管１３は罰配枝営部１１へのガス導入用コネク
タ管でめジ、テーパ部１４の反対端には封止および放熱
防止用の端壁１５が形成されている。

この端壁１５の中心部には、燃焼用の水素（Ｈ２）ガス
會供給するためのＨ，ガス導管１６（長手方向ガス導管
）が挿通され、このＨ，ガス導管１６の先端は石英管の
熱処理部１０の中１で延び、後端は（９）示しないＨ！
ガス源に接続されている。

一方、前記コネクタ管１３の周壁１７の一部には、燃焼
用のｍ８（Ｏｘ）ガスを供給するための０！ガス導管（
半径方向ガス専管）會連結する０２ガス導管用コネクタ
１８が取り付けられている。

このＯｌガス４を用コネクタ１８はＨ，ガス導管１６に
対して直角となるようコネクタ管１３の半径方向に設け
られ、０３ガス導管からの０３ガスｔコネクタ管１３の
中から枝管部１１の内周面とＨ２ガス導管１６の外周面
との間のドーナツ状の０３ガス流路１９を通って石英管
の熱処Ｅ１部ｌＯの中に供給し、Ｈｌガス導管１６から
のＨ１１ガスと熱処理部ＩＯ内で混合し、燃焼させる。

本実施例においては、石英管の熱処理部ｌＯの入口端側
に枝管部１１が一体形成され、この枝管部１１にコネク
タ管１３會連結し、該コネクタ管１３の端壁１５の中心
部にＨ２ガス導管１１−回軸的に挿通し、このＨ２ガス
導管１６ｉ通ってＨ２ガスｒ熱処理部ｌＯの中に、導入
する一方、該コネンタ管１３の周壁１７に設けた０、ガ
ス導管用コネクタ１８から該コネクタ管１３の中に半径
方向に導入したＯ！ガスを枝管部１】のドーナツ状のＯ
Ｒガス流路１９會通って熱処理部１０の中に導入するの
で、Ｈ３ガスと０２ガスは熱処理部１０内で混合され、
燃焼ガスとして用いられる。

したがって、本実施例の場合には、石英管の晦壁ｋｌｌ
ｌ成するコネクタ管１３の端壁１５は１本のＨ２ガス導
管１６が挿通されているだけであるので、端壁１５の構
造および加工ならびに封止が簡単になシ、省エネルギー
に有利である。勿論、ガス導入ＩＩｌ造自体か簡単にな
り、また石英管がガス導入部とは分離されているので、
石英管自体の構造も簡単である。しかも、本実施例では
、石英管を回転させることが可能であるので、熱による
石英管の変形を防止することができる。きらに、本実施
例によれば、ガス導入部の端壁後部に取り付けられる放
熱防止板の構造が簡単になるという利廃が得られる。

第５図は本発明による熱処理炉用石英管の他の１つの実
施例を示す斜視図、第６図はその要部の拡大断面図、第
７図は枝管部の横断面図である。

本実ｍ鉤では、Ｂ２ガス導′ｆ１６と平行かつ密着的に
熱電対挿入用の管２０が設けられ、両管１６と２０は互
いに溶接等で一体的に固定されている。

この熱電対挿入用の管２０はＨ，ガスとｏｌガスの点火
位置の淵度検出用熱電対會挿入するためのもので、その
先ｙ＃ＡはＨ２ガス導管１６よりも短かくなっている志
この管２０が設けられたことにより、Ｈ１ガス導管１６
は石英管と同軸ではなくなっており、たとえば枝管ｓ１
１では第７図に示す如き横断面構造である。したがって
、０２ガス導管用コネクタ１８からコネクタ管１３内に
供給される０２ガスは枝管部１１の内周と管１６および
２０の外周との間の０２ガス流路１９ａｉ通って熱処理
部１０の中に供給され、Ｈ！ガス導管１６からのＨ８ガ
スと混合されて燃焼させられる。

以上説明したように、本発明によれば、石英管内へのガ
ス導入部の構造が簡単になり、その加工や封止が容易で
、省エネルギー７図ることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の石英管の部分正面図、 第２図は本発明による熱処理炉用石英管の一実施例の斜
視図、 第３図はその要部の拡大断面図、 第４園は枝管部の横断面図、 第５図は本発明の他の１つの実施例の斜視図、第６図は
その要部の拡大断面図、 第７図は枝を部の横断面図である。 １０・・・熱処理部、１１・・・枝管部、１２・・・テ
ーパ部、１３・・・コネクタ管、１４・・・テーパ部、
１５・・・端壁、１６・・・Ｈ２ガス導管、１７・・・
周壁、１８・・・０２　ガス導管用コネクタ、１９．１
９ａ・・・０２ガス流路、２０・・・熱電対御入用の管
　　。 代理人　弁理士　薄　１）利　辛　゛）。 （７）　　　　　１．□１９ ５９−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、石英管内に複数種のガスを導入し、熱処理部内の半
   導体基板上に膜を生成させる熱処理炉用石英管において
   、石英管の端部にコネクタ管全連結し、このコネクタ管
   の端壁と周壁にガス導入ロケ形成したものであって、石
   英管の端部が枝管およびこの枝管に連結されるコネクタ
   管で形成され、コネクタ管の端壁のほぼ中心に長手方向
   ガス導管を挿通すると共に、このガス導管に対して直角
   方向における前記コネクタ管に第２のガス導管を設けた
   ことｔ特徴とする熱処理炉用石英管。 ２、長手方向ガス導管が熱電対挿入用の管と平行かつ一
   体的に形成されていることを特徴とする特許請求の範囲
   第１項記載の熱処理炉用石英管。