JPH0899250A - 研磨装置 - Google Patents

研磨装置

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JPH0899250A
JPH0899250A JP23752094A JP23752094A JPH0899250A JP H0899250 A JPH0899250 A JP H0899250A JP 23752094 A JP23752094 A JP 23752094A JP 23752094 A JP23752094 A JP 23752094A JP H0899250 A JPH0899250 A JP H0899250A
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JP
Japan
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polishing
initial position
movement
moving
section
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JP23752094A
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Inventor
Toshihiro Noda
敏裕 野田
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Ryobi Ltd
Original Assignee
Ryobi Ltd
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Publication date
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  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 往復移動範囲を容易かつ正確に調整すること
ができ、しかも研磨途中でテーブルまたは研磨部の移動
方向が逆転することなく、研磨対象物に損傷を生じさせ
ず、さらには作業性、安全性に優れた研磨装置の提供を
目的としている。 【構成】 フレーム4上のテーブル2には刃物10が固
定されており、この刃物10を荒砥石11Kや仕上砥石
12Kで研磨する。研磨を行なう場合、テーブル2は所
定の往復移動範囲において、矢印92、93方向への往
復移動を繰り返す。研磨作業終了の指令を入力した場
合、テーブル2は検出用バー20が初期位置検出スイッ
チ5に接する位置で停止する。この場合、研磨作業終了
の指令が入力された時点でテーブル2が矢印93方向に
移動しているときは、一旦矢印93方向の端部まで移動
した後、移動方向を矢印92方向に逆転して交換初期位
置で停止する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は研磨装置の構造に関し、
特に砥石等の研磨部に対する研磨対象物の往復移動範囲
を容易かつ正確に調整することができ、しかも研磨途中
でテーブルまたは研磨部の移動方向が逆転することな
く、研磨対象物に損傷を生じさせず、さらには作業性、
安全性に優れた研磨装置の構造に関する。
【0002】
【従来の技術】研磨装置の概略を、図17に基づいて説
明する。フレーム69にはレール(図示せず)が設けら
れており、このレールに沿ってテーブル60は矢印9
2、93方向に摺動可能に取り付けられている。テーブ
ル60の移動は、テーブル移動モータ(図示せず)が正
逆回転を行ない制御する。なお、このテーブル60上
に、刃物が置かれて固定される。
【0003】テーブル60上部には、荒砥石11K、仕
上砥石12Kが位置している。これら荒砥石11K、仕
上砥石12Kは、各々砥石回転モータ11、12によっ
て回転し、テーブル60上の刃物を研磨する。また、砥
石回転モータ11および荒砥石11K、砥石回転モータ
12および仕上砥石12Kは、それぞれ砥石昇降モータ
(図示せず)によって矢印90、91方向に昇降するよ
うになっている。
【0004】刃物を研磨する場合、まず荒砥石11Kを
回転させ、続いて砥石回転モータ11および荒砥石11
Kを矢印90方向に下降させ、荒砥石11Kと刃物を接
触させる。この場合、テーブル60は、テーブル移動モ
ータの正逆回転によって矢印92、93方向の往復移動
を繰り返している。テーブル60が往復移動することに
より、刃物は全長にわたって研磨される。
【0005】荒砥石11Kによる研磨が終了すると、荒
砥石11Kを矢印91方向に上昇させ、続いて砥石回転
モータ12、仕上砥石12Kを矢印90方向に下降させ
る。そして、同様にテーブル60を往復移動させなが
ら、仕上砥石12Kによる研磨を行なう。以上のように
して、荒砥石11K、仕上砥石12Kにより刃物を研磨
する。
【0006】テーブル60の往復移動を制御するための
従来例として、特開昭62−228358号公報に開示
されている研磨装置がある。この研磨装置は図18に示
すように、テーブル60にラックギア100が固定され
ており、ラックギア100にはピニオンギア105が噛
合している。このピニオンギア105は、モータ106
の駆動によって正逆回転する。なお、モータ106は制
御回路107によって制御されている。
【0007】テーブル60には作動杆60Tが設けられ
ており、テーブル60の両端側にはリミットスイッチ1
01、102が位置している。このリミットスイッチ1
01、102は、フレーム69(図17参照)に固定さ
れている。リミットスイッチ101、102は往復移動
する作動杆60Tの軌道上に位置しており、作動杆60
Tとの接触を検出する。
【0008】たとえば、テーブル60が図18に示す状
態から矢印92方向に移動した場合、作動杆60Tはリ
ミットスイッチ102と接する。そして、リミットスイ
ッチ102がONされ、このON信号はリード線108
を介して制御回路107に与えられる。制御回路107
はこれを受けてモータ106を逆回転させ、テーブル6
0を矢印93方向に移動させる。
【0009】そして、作動杆60Tがリミットスイッチ
101と接した時点で制御回路106は再びテーブル6
0を矢印92方向に移動させる。このように作動杆60
Tによるリミットスイッチ101、102の作動に基づ
いてテーブル60は矢印92、93方向への往復移動を
繰り返す。なお、図18において、砥石回転モータ1
1、12、荒砥石11K、仕上砥石12K等は省略され
ている。
【0010】また、テーブルを往復移動させる他の研磨
装置の従来例として図19に掲げるものがある。この研
磨装置はテーブル60の背面に近接させてリミットスイ
ッチ64が設けられている。そして、このリミットスイ
ッチ64の切り換えによってテーブル60の往復移動が
制御される。リミットスイッチ64には検出器63が接
続されており、この検出器63は図に示すようにV字型
のレバー63a、63bを有している。他方、テーブル
60には検出用バー61、62が設けられている。
【0011】図19に示す状態からテーブル60が矢印
92方向へ移動すると、検出用バー61のキック部61
Fはやがて検出器63のレバー63aに接し、V字型の
レバー63a、63bを矢印92方向に押し倒す。この
レバー63a、63bの切り換えによってリミットスイ
ッチ64がON状態になり、切り換え回路65を介して
テーブル移動モータに信号が与えられてテーブル60は
逆方向、すなわち矢印93方向へ移動する。
【0012】同様に、検出用バー62のキック部62F
がレバー63bを押し倒すと、リミットスイッチ64は
OFF状態になり、再びテーブル60は矢印92方向に
移動する。このように、検出用バー61、62の各キッ
ク部61F、62Fが、検出器63のレバー63a、6
3bを押圧することによって、テーブル60の往復移動
が行なわれる。
【0013】検出用バー61、62は、位置調整が可能
になっている。この検出用バー61、62の位置調整に
よってテーブル60の往復移動の幅、すなわち往復移動
範囲を調整することができる。検出用バー61の拡大図
を図20に示す。検出用バー61には調整用長孔61G
が形成されており、この調整用長孔61Gを通じて位置
決めボルト61Nがテーブル60に対して締め込まれて
いる。なお、検出用バー62も同様の構造を備えてい
る。
【0014】往復移動範囲を調整する場合は、この位置
決めボルト61Nを緩める。位置決めボルト61Nを緩
めると、検出用バー61は調整用長孔61Gの範囲で矢
印92、93方向に自在に摺動可能になる。そして、刃
物の大きさに応じて、検出用バー61を所望の箇所に位
置させた後、位置決めボルト61Nを締め込み、位置固
定を行なう。検出用バー62についても同様にして位置
調整を行なう。
【0015】このように検出用バー61、62の位置調
整を行なうことによって、テーブル60におけるキック
部61F、62Fの位置を変化させる。キック部61
F、62Fの位置調整により、検出器63のレバー63
a、63bの切り換え位置を制御して往復移動範囲を調
整することができる。
【0016】
【発明が解決しようとする課題】従来の研磨装置には次
のような問題があった。まず、図18に示す研磨装置で
は、テーブル60の往復移動の幅を調整することができ
ない。研磨対象となる刃物の大きさは様々であり、たと
えば比較的、小さな刃物を研磨する場合は、テーブル6
0の往復移動の幅も小さくて十分である。図18の研磨
装置ではこの往復移動の幅を調整できないため、テーブ
ル60は必要以上の範囲で往復移動を行ない、無駄な動
作によって作業効率が悪くなるという問題がある。
【0017】図19に示す研磨装置は、検出用バー6
1、62の位置調整を行なうことによってテーブル60
の往復移動の幅を制御することができる。このため、刃
物の大きさによって往復移動範囲を調整することがで
き、必要以上の範囲の無駄な動作を行なうという問題は
ない。
【0018】しかし、この研磨装置では上記のように、
往復移動範囲を調整する場合、まず検出用バー61、6
2の位置決めボルト61N、62Nを緩め、検出用バー
61、62の位置調整を行なった後、位置決めボルト6
1N、62Nを締め込む必要がある。このため、往復移
動範囲の調整に手間がかかり、作業効率が低下するとい
う問題がある。また、この検出用バー61、62の位置
調整を行なう場合、研磨作業を中止し、装置を一旦停止
させなければならず、なおさら作業効率が低下する。
【0019】そこで本出願人は、上記の問題を解決する
ために、先に特願平6−125541号として図16に
示す研磨装置を提案した。この研磨装置のフレーム4に
は矢印92、93方向に移動可能なテーブル2が取り付
けられている。テーブル2には刃物取り付け台6が設け
られており、この刃物取り付け台6に研磨対象物である
刃物10が取り付けられ、固定される。
【0020】テーブル2はフレーム4上のレール(図示
せず)に沿って移動するようになっている。テーブル2
の底面には、ラックギア7が設けられており、ラックギ
ア7には送りモータ22の軸に固定されているピニオン
ギア24が噛合している。すなわち、テーブル2は、送
りモータ22の回転にしたがって矢印92、93方向に
移動する。なお、送りモータ22は、逆転信号が与えら
れると逆方向に回転するようになっている。
【0021】また、テーブル2の底面には検出用バー2
0が固定されており、テーブル2と一体的に移動してい
る。他方、フレーム4には検出スイッチ8が設けられて
おり、この検出用バー20を検出するようになってい
る。検出スイッチ8は、往復移動するテーブル2のほぼ
中心位置(基準位置)を検出する位置に設けられてい
る。なお、往復移動するテーブル2上の刃物10は、荒
砥石11K、仕上砥石12Kによって研磨される。
【0022】刃物10の長さは様々であり、刃物10の
長さに応じてテーブル2の往復移動の往復移動範囲を制
御する必要がある。この往復移動範囲の制御は、上述の
検出スイッチ8、検出用バー20を用いて次のようにし
て行なわれる。検出スイッチ8が検出用バー20を検出
した時点、すなわち図16に示す状態にテーブル2が位
置した時点からのテーブル2の移動量をカウントする。
そして、このテーブル2の移動量と所定の設定値とが等
しくなったときにテーブル2を逆転させる。
【0023】たとえば、図16に示す状態からテーブル
2が矢印93方向に移動しているとする。この場合、矢
印93方向への移動量が設定値に達した時点でテーブル
2は逆方向(矢印92方向)へ移動する。そして、テー
ブル2は再び図16に示す状態に位置し、この時点から
再度、テーブル2の移動量のカウントを開始する。矢印
92方向への移動量が設定値に達したとき、テーブル2
は再び矢印93方向へ逆転移動する。
【0024】このように、検出スイッチ8による検出位
置を中心として、その両方向への移動量を設定値で制限
し、テーブル2を往復移動させる。そして、この設定値
をたとえば調整ダイヤル等で調整し自在に変化させれ
ば、所望の往復移動範囲でテーブル2を往復移動させる
ことが可能になる。
【0025】すなわち、オペレータが刃物10の長さに
応じて調整ダイヤルを操作し、その電圧値を変化させ
る。そして、この電圧値を取り込み、予め設定されてい
る演算式に基づいて設定値(タイマ値)を求め、テーブ
ル2の移動量が設定値に達した時点で逆転移動させる。
また、たとえばテーブル2の送りモータの回転数にした
がってテーブル2の逆転制御を行なうこともできる。こ
の場合、調整ダイヤルの電圧値を取り込み、予め設定さ
れている演算式に基づいて設定値(設定回数)を求め、
送りモータの回転数を検出してこの検出回転数が設定回
数に達した時点でテーブル2を逆転移動させる。
【0026】なおこの研磨装置は、研磨動作を終了させ
る停止釦を押下した場合、テーブル2は矢印93方向へ
移動し、検出用バー20が初期位置検出スイッチ5に接
した時点で停止する。このようにテーブル2が往復移動
範囲外の交換初期位置で停止するため、刃物10の交換
を容易に行なうことができる。
【0027】ところが、特願平6−125541号の研
磨装置では、次のような不都合が生じる。研磨動作を終
了させるサイクル停止釦を押下した場合、テーブル2は
初期位置検出スイッチ5に向けて矢印93方向へ移動す
る。
【0028】今仮に、テーブル2が矢印93方向へ移動
して刃物10を研磨しているとする。このときサイクル
停止釦が押下されると、刃物10は途中まで研磨された
状態でテーブル2の移動方向がただちに逆転し、矢印9
2方向に向けて移動することになる。このような場合、
刃物10には途中まで研磨された境界部分が傷として残
り、損傷が生じてしまう。
【0029】そこで本発明は、往復移動範囲を容易かつ
正確に調整することができ、しかも研磨途中でテーブル
または研磨部の移動方向が逆転することなく、研磨対象
物に損傷を生じさせず、さらには作業性、安全性に優れ
た研磨装置の提供を目的としている。
【0030】
【課題を解決するための手段】本発明に係る研磨装置
は、研磨対象物が取り付けられるテーブル、テーブルに
取り付けられた研磨対象物を研磨する研磨部、制御部か
らの逆転信号を受けて、テーブルまたは研磨部の移動方
向を逆方向に切り換え、テーブルまたは研磨部を所定の
往復移動範囲で往復移動させる駆動部、を備えた研磨装
置において、所定の往復移動範囲が入力され、当該往復
移動範囲に基づいて移動範囲設定値を設定する移動範囲
設定部、テーブルまたは研磨部の基準位置を検出し、基
準位置検出信号を出力する基準位置検出器、前記基準位
置検出信号によって起動し、テーブルまたは研磨部の移
動量を計数する移動量計数部、テーブルまたは研磨部の
移動方向を検出する移動方向検出手段、テーブルまたは
研磨部が、往復移動範囲外の研磨対象物の交換初期位置
に位置していることを検出し、初期位置検出信号を出力
する初期位置検出器、動作停止指令が入力される動作停
止入力部、を備えており、制御部は、移動範囲設定部に
設定された移動範囲設定値と、移動量計数部の計数値と
を比較し、両値が一致した時点で駆動部に向けて逆転信
号を出力し、制御部は、動作停止入力部を通じて動作停
止指令が与えられたとき、移動方向検出手段が検出した
移動方向を取り込み、テーブルまたは研磨部が交換初期
位置に近づく方向に移動している場合は、そのままテー
ブルまたは研磨部を交換初期位置に向う方向に移動さ
せ、テーブルまたは研磨部が交換初期位置から離れる方
向に移動している場合は、次の逆転信号を出力してテー
ブルまたは研磨部の移動方向を逆転させて交換初期位置
に向う方向に移動させ、制御部は、初期位置検出信号が
与えられたとき、駆動部を制御してテーブルまたは研磨
部の移動を停止させる、ことを特徴としている。
【0031】
【作用】本発明に係る研磨装置においては、制御部は、
移動範囲設定部に設定された移動範囲設定値と、移動量
計数部の計数値とを比較し、両値が一致した時点で駆動
部に向けて逆転信号を出力する。
【0032】また制御部は、動作停止入力部を通じて動
作停止指令が与えられたとき、移動方向検出手段が検出
した移動方向を取り込み、テーブルまたは研磨部が交換
初期位置に近づく方向に移動している場合は、そのまま
テーブルまたは研磨部を交換初期位置に向う方向に移動
させる。これに対して、テーブルまたは研磨部が交換初
期位置から離れる方向に移動している場合は、次の逆転
信号を出力してテーブルまたは研磨部の移動方向を逆転
させて交換初期位置に向う方向に移動させる。そして、
制御部は、初期位置検出信号が与えられたとき、駆動部
を制御してテーブルまたは研磨部の移動を停止させる。
【0033】このように、移動範囲設定部に設定された
移動範囲設定値に応じて逆転信号が出力され、テーブル
または研磨部は逆方向に移動する。このため、所望の往
復移動範囲を移動範囲設定部を通じて入力することによ
って、自在に制御することができる。
【0034】また、動作停止指令が与えられたとき、テ
ーブルまたは研磨部が交換初期位置から離れる方向に移
動している場合は、次の逆転信号を出力してテーブルま
たは研磨部の移動方向を逆転させて交換初期位置に向う
方向に移動させる。このため、テーブルまたは研磨部が
交換初期位置から離れる方向に移動している途中で動作
停止指令を与えても、その時点でただちに移動方向が逆
転することはない。
【0035】さらに初期位置検出器は、テーブルまたは
研磨部が、往復移動範囲外の研磨対象物の交換初期位置
に位置していることを検出し、初期位置検出信号を制御
部に向けて出力する。そして、制御部は、初期位置検出
信号が与えられたとき、駆動部を制御してテーブルまた
は研磨部の移動を停止させる。このため、動作停止指令
を入力するだけで、テーブルまたは研磨部を往復移動範
囲外の交換初期位置で停止させることができる。
【0036】
【実施例】
[第1の実施例]本発明に係る研磨装置の第1の実施例
を図面に基づいて説明する。装置の概略を図1に示す。
フレーム4には矢印92、93方向に移動可能なテーブ
ル2が取り付けられている。テーブル2には刃物取り付
け台6が設けられており、この刃物取り付け台6に研磨
対象物である刃物10が取り付けられ、固定される。
【0037】テーブル2はフレーム4上のレール(図示
せず)に沿って移動するようになっている。テーブル2
の底面には、図に示すようにラックギア7が設けられて
おり、ラックギア7には送りモータ22の軸に固定され
ているピニオンギア24が噛合している。すなわち、テ
ーブル2は、送りモータ22の回転にしたがって矢印9
2、93方向に移動する。なお、送りモータ22は、逆
転信号が与えられると逆方向に回転するようになってい
る。
【0038】また、テーブル2の底面には検出用バー2
0が固定されており、テーブル2と一体的に移動してい
る。他方、フレーム4には基準位置検出器である基準位
置検出スイッチ8が設けられており、この検出用バー2
0を検出するようになっている。基準位置検出スイッチ
8は、荒砥石11Kと仕上砥石12Kとの中心位置に対
し、テーブル2に取り付けられた刃物10のほぼ中心位
置(基準位置)で検出用バー20に当接する位置に設け
られており、検出用バー20と当接した時点で基準位置
検出信号を出力する。
【0039】また、フレーム4には初期位置検出器であ
る初期位置検出スイッチ5も設けられており、検出用バ
ー20と当接した時点で初期位置検出信号を出力する。
初期位置検出スイッチ5は、往復移動するテーブル2の
往復移動範囲外の刃物10の交換位置(研磨対象物交換
位置)を検出する位置に設けられている。なお、基準位
置検出スイッチ8、初期位置検出スイッチ5はリミット
スイッチによって構成されている。
【0040】テーブル2上部には砥石台31、32が位
置しており、この砥石台31、32内には砥石回転モー
タ11、12が設けられている。そして、砥石回転モー
タ11、12にはそれぞれ研磨部である荒砥石11K、
仕上砥石12Kが接続されており、砥石回転モータ1
1、12によって回転して刃物10を研磨する。
【0041】また、砥石台31、32は昇降モータ3
3、34によって矢印90、91方向に昇降するように
なっている。昇降モータ33、34の回転軸部は昇降ネ
ジ33J、34Jとして形成されており、この昇降ネジ
33J、34Jが砥石台31、32に一体固定されたナ
ット31W、32Wに螺入している。昇降ネジ33J、
34Jとナット31W、32Wとの螺入により、昇降モ
ータ33、34の駆動にしたがって砥石台31、32は
昇降制御される。
【0042】図2は、図1の研磨装置の操作盤4Hを示
している。動作開始入力部としての自動運転釦36をO
NするとLED40が点灯し、テーブル2は矢印93方
向への移動を開始する。移動範囲設定部としての調整ダ
イヤル35は、テーブル2の往復移動の幅、すなわち往
復移動範囲を調整するためのものである。荒砥石制御用
の釦として、上昇釦31a、下降釦31b、回転釦31
cが設けられている。また、仕上砥石制御用の釦とし
て、同様に上昇釦32a、下降釦32b、回転釦32c
が設けられている。
【0043】動作停止入力部としてのサイクル停止釦3
7をONすると、テーブル2は初期位置検出スイッチ5
が初期位置検出信号を出力する刃物10の交換位置(交
換初期位置)まで移動して停止する。なお後述するが、
サイクル停止釦37をONしたとき、テーブル2が矢印
93方向に移動している場合は、一旦、往復移動範囲の
端部まで移動した後、矢印92方向に移動して交換位置
で停止する。
【0044】刃物10を研磨する場合の具体的な手順は
次の通りである。まず、テーブル2の刃物取り付け台6
に刃物10を取り付け固定する。そして、操作盤4Hの
自動運転釦36をONして移動時間計数部の計数を開始
させるとともに、テーブル2の矢印93方向への移動を
開始させる。以後、テーブル2は、基準位置信号に基づ
いて計数される計数値と、移動範囲設定部の設定値との
一致にしたがって出力される逆転信号によって、所定の
往復移動範囲において矢印92、93方向への往復移動
を繰り返す。
【0045】テーブル2の往復移動を開始した後、まず
荒砥石11Kによる研磨を行なう。この場合、操作盤4
Hの回転釦31cを押下し、荒砥石11Kを回転させ
る。続いて、下降釦31bを押下し、砥石台31を矢印
90方向に下降させる。そして、刃物10と荒砥石11
Kとが接した時点で下降釦31bの押下を解除して砥石
台31の下降を停止させる。テーブル2は所定の往復移
動範囲で往復移動しており、この状態で研磨が行われ
る。
【0046】荒砥石11Kによる研磨が終了すると、上
昇釦31aを押下して砥石台31を矢印91方向に上昇
させる。そして回転釦31cを再度押下して荒砥石11
Kの回転を停止させる。続いて仕上砥石12Kによる研
磨を行う。仕上砥石12Kの研磨が終了すると、上昇釦
32aを押下し砥石台32を上昇させて再度回転釦32
cを押下し、仕上砥石12Kの回転を停止させる。
【0047】以上のようにして研磨を終えた後、サイク
ル停止釦37を押下する。サイクル停止釦37が押下さ
れた場合、テーブル2の移動方向を検出し、テーブル2
が矢印92方向に移動しているときはそのまま移動させ
る。そして、刃物10の交換位置に達した時点で初期位
置検出スイッチ5から初期位置検出信号が出力され、テ
ーブル2は停止する。これに対して、サイクル停止釦3
7が押下された時点で、テーブル2が矢印93方向に移
動している場合は、一旦、往復移動範囲の端部まで矢印
93方向に移動した後、移動方向を矢印92方向に逆転
して交換位置で停止する。
【0048】図3に、本実施例における研磨装置のハー
ドウエア構成図を示す。バスライン50にはCPU5
1、ROM52、RAM53が接続されており、CPU
51はROM52に格納されているプログラムにしたが
って各部を制御する。また、このROM52内には、テ
ーブル2が交換位置から基準位置まで移動するために要
する時間をこえる限界移動時間を記憶するための限界移
動時間設定部も設けられている。図2で示した調整ダイ
ヤル35は、A/D変換器54を介してバスライン50
に接続されている。なお、操作盤4Hに設けられている
調整ダイヤル35以外の各種の釦もA/D変換器54に
接続されているが、図3においては省略されている。
【0049】CPU51には、入力ポート55を通じて
基準位置検出スイッチ8および初期位置検出スイッチ5
が接続されている。基準位置検出スイッチ8が出力する
基準位置検出信号はCPU51に与えられ、CPU51
はテーブル2が図1に示すような検出箇所に位置したこ
とを認識する。初期位置検出スイッチ5が出力する初期
位置検出信号もCPU51に与えられ、CPU51はテ
ーブル2が刃物10の交換位置に達したことを認識す
る。
【0050】また、CPU51は出力ポート56を通じ
て昇降モータ33、34、砥石回転モータ11、12、
送りモータ22の回転を制御する。これらのモータの制
御は、操作盤4Hの各釦等の操作に基づくCPU51か
らの回転制御信号にしたがって行われる。さらにCPU
51には、移動量計数部および移動時間計数部としての
クロック58が接続されており、このクロック58はク
ロック信号を出力している。
【0051】図4、図5、図6に、本実施例における往
復移動範囲制御のフローチャートを示す。以下、このフ
ローチャートにしたがって、CPU51が実行する具体
的な処理内容を説明する。操作盤4H上の自動運転釦3
6(図2)がONされると、CPU51はA/D変換器
54(図3)を通じてこれを認識し、送りモータ22の
回転をスタートさせ、テーブル2の移動を開始する(図
4、ステップS2)。
【0052】そして、CPU51は移動時間計数部(ク
ロック58)によるカウントをスタートさせる(ステッ
プS4)。ROM52には限界移動時間Yが記憶されて
おり、Y秒経過したか否かが判別される(ステップS
6)。たとえば、限界移動時間Yとして15秒が設定さ
れているとする。この限界移動時間は、たとえばテーブ
ル2のレールが湾曲したり、レールに研磨屑等が付着し
てテーブル2の移動に異常が発生し、送りモータ22が
過負荷状態にある場合、送りモータ22の駆動を停止さ
せるための設定値である。したがって、テーブル2が基
準位置に達するまでに要する移動時間をこえる限界移動
時間Yが設定されている。送りモータ22の駆動を停止
させることによって、送りモータ22の焼損を防止する
ことができる。
【0053】基準位置検出スイッチ8からの基準位置検
出信号がステップS10で出力される前に、移動時間計
数部のカウント値(計数値)が限界移動時間15秒に達
した場合は、その時点でテーブル2の移動が異常である
と判断して(ステップS6)、テーブル2の移動を停止
する(ステップS8)。そして、この場合エラー表示を
行い、オペレータに異常発生を知らせ処理を終了する。
【0054】テーブル2が正常に動作している場合は、
検出用バー20が基準位置検出スイッチ8に達した時点
で基準位置検出信号が与えられる。すなわち、仮にテー
ブル2が矢印93(図1)方向に移動しており、検出用
バー20が基準位置検出スイッチ8に接し、図1のよう
に位置したとする。この場合、CPU51は入力ポート
55を介してこれを認識し(ステップS10)、調整ダ
イヤル35が示す電圧値を取り込む(ステップS1
2)。そして、この電圧値から、移動時間量を示すタイ
マ値Xを求める(ステップS14)。タイマ値Xは、予
め設定されている演算式にしたがって求められる。
【0055】このタイマ値Xを求める演算式の一例を下
記の「数1」に示す。なお、調整ダイヤル35による電
圧値の可変範囲は0V〜5Vであり、移動幅の調整範囲
は200mm〜500mmとする。そして、テーブル2
は秒速100mmで移動する。
【0056】検出用バー20、基準位置検出スイッチ8
は、図1に示すようにテーブル2が往復移動範囲のほぼ
中央に位置したことを検出する。このため、たとえば往
復移動範囲を200mmに設定する場合は基準位置の検
出から100mm移動した時点、すなわち1秒経過後に
テーブル2を逆転させればよい。調整ダイヤル35によ
って可変される0V〜5Vは、0〜255のデジタル値
aとしてCPU51に出力されるとする。また、後述の
タイマ割込(図5参照)は100msecの間隔で実行
されるとする。
【0057】
【数1】
【0058】以上のような演算式に基づいてタイマ値X
を得た後、タイマ割込処理を開始する(ステップS1
6)。すなわち、検出用バー20が基準位置検出スイッ
チ8に接し、基準位置検出信号が出力された時点でタイ
マ割込処理がスタートする。タイマ割込では、クロック
58から出力されるクロック信号にしたがい、タイマ値
Xから「1」を減算し、新たなタイマ値Xとして記憶す
る(ステップS50)。
【0059】そして、CPU51はタイマ値Xが「0」
になったか否かを判別し(ステップS18)、「0」に
なった時点でタイマ割込を停止する(ステップS2
0)。また、CPU51は出力ポート56を介して送り
モータ22に指令を与えてテーブル2の移動を停止し
(ステップS22)、続いて逆転信号を与えて送りモー
タ22を逆回転させる(ステップS24)。すなわち、
基準位置検出信号を受けた時点からのクロック信号の変
化量と、タイマ値Xとが等しくなった時点で逆転信号を
出力する。
【0060】例えば、図1に示す状態からテーブル2は
矢印93方向に移動し、CPU51が逆転信号を出力し
た時点でテーブル2は逆方向(矢印92方向)へ向けて
の移動を始めることになる。そして、ステップS26
(図6)を経て再度、基準位置信号を受けたか否かを判
別する(ステップS28)。テーブル2が矢印92方向
に移動し、検出用バー20が基準位置検出スイッチ8に
接した時点で基準位置信号を受け、ステップS12(図
5)に戻り上記の処理を繰り返す。
【0061】以上のように、テーブル2が矢印92、9
3方向への往復移動を行なう往復移動範囲の幅は、タイ
マ値Xに応じて規制されることになる。そして、このタ
イマ値Xは、調整ダイヤル35が示す電圧値に基づいて
決定される。すなわち、調整ダイヤル35を回転させタ
イマ値Xを変化させることによって、テーブル2が往復
移動を行なう往復移動範囲を容易に制御することが可能
になる。
【0062】こうしてテーブル2は往復移動を行い、刃
物10の研磨を行う。研磨作業を停止する場合、オペレ
ータはサイクル停止釦37(図2)を押下する。サイク
ル停止釦37が押下されるとCPU51はこれを認識
し、ステップS26からステップS29に進み、テーブ
ル2が刃物10の交換位置に向って移動しているか否
か、すなわち矢印92方向(図1)に移動しているか否
かを判別する。
【0063】テーブル2が矢印92、93のどちらの方
向に移動しているかは、ステップS24(図5)で出力
される逆転信号にしたがって判断する。具体的には、C
PU51が移動方向検出手段として判別を行ない、図3
の出力ポート56からの出力信号の状態に基づいてテー
ブル2の移動方向を認識する。なお、ステップS24の
逆転信号に応じてフラグを立て、このフラグに基づいて
テーブル2の移動方向を認識することもできる。
【0064】たとえばステップS29で、テーブル2が
矢印93方向に移動していると認識した場合は、ステッ
プS29からステップS28に戻り上記の処理を行な
う。そして、テーブル2が往復移動範囲の端部に達して
逆転信号が出力され(ステップS24)、矢印92方向
に移動した後に、ステップS29からステップS30に
進み、初期位置信号を受けたか否かを判別する。
【0065】上記のように初期位置信号は、初期位置検
出スイッチ5がテーブル2の端部位置を検出した場合に
出力されるものである。テーブル2が端部に位置した状
態が図7である。図7の状態で初期位置検出スイッチ5
から初期位置信号が出力され、CPU51は入力ポート
55を介してこの初期位置信号を取り込みテーブル2の
移動を停止する(ステップS32)。
【0066】このように、テーブル2が交換位置から離
れる方向(矢印93方向)に移動している途中でサイク
ル停止釦37を押下しても、その時点でただちに移動方
向が逆転して矢印92方向に移動することはない。この
ため、研磨途中で移動方向が逆転して刃物10に損傷が
生じることはない。なお、サイクル停止釦37が押下さ
れた時点でテーブル2が矢印92方向に移動している場
合は、ステップS29からそのままステップS30に進
み、テーブル2を交換位置で停止させる。
【0067】サイクル停止釦37を押下した場合、テー
ブル2は図7に示すように往復移動範囲の端部より外の
位置(交換位置)で停止するため、刃物10の取り外
し、取り付けの交換作業に際して荒砥石11K、仕上砥
石12Kが障害にならず、作業性が良くさらに安全性も
確保できる。
【0068】[第2の実施例]次に図8に、本発明の第
2の実施例に係る研磨装置のハードウエア構成図を示
す。この実施例においては、バスライン50にタイマ回
路57が接続されており、このタイマ回路57にクロッ
ク58からのクロック信号が与えられている。CPU5
1は調整ダイヤル35の電圧値に基づいてタイマ値Xを
求め、このタイマ値Xをタイマ回路57に与える。
【0069】タイマ回路57の詳細を図9に掲げる。C
PU51からのタイマ値Xは、タイマ値記憶回路71に
取り込まれ記憶される。この時点でカウンタ73はリセ
ットされ、クロック58からのクロック信号にしたがっ
てカウントを開始する。そして、比較回路72はタイマ
値記憶回路71に記憶されているタイマ値Xと、カウン
タ73の値を比較し、両者が一致した場合にCPU51
に向けて一致信号を出力する。
【0070】CPU51はこの一致信号に基づいて逆転
信号を出力し、テーブル2を逆方向へ移動させる。本実
施例によれば、CPU51は図5に示すタイマ割込処理
を行なう必要がなくなり、処理内容が簡素化される。な
お、その他の機構、動作は第1の実施例と同様である。
【0071】すなわち、この第2の実施例にかかる研磨
装置においても、サイクル停止釦37が押下された時点
で、テーブル2が矢印93方向(図1)に移動している
場合は、一旦、往復移動範囲の端部まで矢印93方向に
移動した後、移動方向を矢印92方向に逆転して交換位
置で停止するようになっている。
【0072】[第3の実施例]次に本発明に係る研磨装
置の第3の実施例を示す。本実施例は上記第1の実施例
における調整ダイヤル35の代わりに、移動範囲設定部
として図10に示す設定釦110、111、112が操
作盤4Hに設けられている。CPU51は入力ポート5
5を通じて設定釦110、111、112の選択、押下
を認識し、これにしたがって各々往復移動範囲を200
mm、300mm、400mmに設定する。
【0073】ROM52(図3)中には、予め各往復移
動範囲200mm、300mm、400mmに対応した
タイマ値Xが設定、記憶されており、選択された往復移
動範囲に応じてテーブル2の往復移動を制御する。な
お、その他の機構、動作は第1の実施例と同様である。
【0074】すなわち、この第3の実施例にかかる研磨
装置においても、サイクル停止釦37が押下された時点
で、テーブル2が矢印93方向(図1)に移動している
場合は、一旦、往復移動範囲の端部まで矢印93方向に
移動した後、移動方向を矢印92方向に逆転して交換位
置で停止するようになっている。
【0075】[第4の実施例]本発明に係る研磨装置の
第4の実施例を説明する。本実施例は上記第1の実施例
における調整ダイヤル35の代わりに、移動範囲設定部
として図11に示す増加釦115、減少釦116が操作
盤4Hに設けられている。
【0076】増加釦115、減少釦116の押下を入力
ポート55を通じてCPU51は認識し、予めROM5
2(図3)中に記憶されている往復移動範囲を読み出し
て増減する。そして、この往復移動範囲をLED駆動回
路118を介して表示部117にLED表示する。この
表示部117も操作盤4Hに設けられている。
【0077】増加釦115、減少釦116の操作によっ
て入力された往復移動範囲にしたがって、CPU51は
タイマ値Xを演算し、テーブル2の往復移動を制御す
る。また、演算を実行する代わりに、予めROM52に
記憶されている換算テーブルに基づいて、入力された往
復移動範囲に対応するタイマ値Xを読み出し、これにし
たがってテーブル2の往復移動を制御することもでき
る。なお、その他の機構、動作は第1の実施例と同様で
ある。
【0078】すなわち、この第4の実施例にかかる研磨
装置においても、サイクル停止釦37が押下された時点
で、テーブル2が矢印93方向(図1)に移動している
場合は、一旦、往復移動範囲の端部まで矢印93方向に
移動した後、移動方向を矢印92方向に逆転して交換位
置で停止するようになっている。
【0079】[第5の実施例]次に本発明に係る研磨装
置の第5の実施例を説明する。上記第1の実施例では、
移動時間量を示すタイマ値Xに基づいてテーブル2が往
復移動を行なう往復移動範囲を制御した。これに対し、
本実施例では送りモータ22の駆動数である回転数Yに
基づいて往復移動範囲の制御を行なう。
【0080】オペレータは所望の往復移動範囲を上記第
1の実施例で示した調整ダイヤル35、第3の実施例で
示した設定釦110、111、112、または第4の実
施例で示した増加釦115、減少釦116を通じて入力
し、この入力に応じて回転数Yが算出される。他方、送
りモータ22の回転数を検出回転数として検出し、テー
ブル2が基準位置に達した時点からの検出パスルス数と
回転数Yとが等しくなった時点でCPU51は送りモー
タ22に向けて逆転信号を出力する。こうして回転数Y
にしたがって往復移動範囲の制御を行なう。
【0081】図13、図14、図15に本実施例におけ
る処理のフローチャートを掲げる。基本的な処理内容は
第1の実施例と同様であるが、図14のステップS15
では調整ダイヤル35が示す電圧値を回転数Yに置き換
える。この回転数Yを求める演算式の一例を下記の「数
2」に示す。なお、調整ダイヤル35による電圧値の可
変範囲は0V〜5Vであり、移動幅の調整範囲は200
mm〜500mmとする。そして、テーブル2が100
mm移動する場合の回転は100であるとする。
【0082】検出用バー20、基準位置検出スイッチ8
は、テーブル2が往復移動範囲のほぼ中央に位置したこ
とを検出する。このため、たとえば往復移動範囲を20
0mmに設定する場合は基準位置の検出から100mm
移動した時点、すなわち送りモータ22が100パルス
分回転した後にテーブル2を逆転させればよい。調整ダ
イヤル35によって可変される0V〜5Vは、0〜25
5のデジタル値aとしてCPU51に出力されるとす
る。
【0083】
【数2】
【0084】このようにして回転数Yを求めた後、検出
回転数Y’のカウントを開始する(ステップS17)。
送りモータ22の検出回転数Y’は、たとえば図12の
ような機構によって検出する。図12Aは送りモータ2
2の側面図、図12Bは送りモータ22の背面図であ
る。
【0085】送りモータ22の背面側のモータ軸22J
には、検出孔22Kが形成されたスリット板22Mが固
定されている。そして、このスリット板22Mに近接し
て回転検出器23を設ける。この回転検出器23は発光
素子、受光素子を備えており、スリット板22Mを挟ん
で発光素子、受光素子が位置するよう設けられている。
すなわち、回転するスリット板22Mの遮光回数によっ
て送りモータ22の回転数を検知することができる。
【0086】回転検出器23からの検出信号は入力ポー
ト55を介してCPU51に取り込まれる。なお、発光
素子、受光素子の代わりに、リミットスイッチを設けス
リット板22Mの突起との接触をカウントしてもよい。
また、磁石と磁気センサによって検出回転数Y’をカウ
ントすることもできる。
【0087】ステップS17で検出回転数Y’のカウン
トを開始した後、回転数Yと検出回転数Y’とが等しく
なったか否かを判別し、検出回転数Y’が回転数Yに達
した時点でテーブル2の移動を停止し(ステップS2
2)、CPU51は逆転信号を出力してテーブル2を逆
方向に移動させる(ステップS24)。
【0088】以上のようにして回転数Yに基づいてテー
ブル2の往復移動の幅を制御する。本実施例において
も、サイクル停止釦37が押下された時点で、テーブル
2が矢印93方向(図1)に移動している場合は、一
旦、往復移動範囲の端部まで矢印93方向に移動した
後、移動方向を矢印92方向に逆転して交換位置で停止
するようになっている。
【0089】すなわち、図15のステップS29では、
テーブル2が刃物10の交換位置に向って矢印92方向
に移動しているか否かを判別する。この場合のテーブル
2の移動方向の判別は、上記第1の実施例で説明したよ
うに、図3の出力ポート56からの出力信号の状態に基
づいてテーブル2の移動方向を認識してもよく、またス
テップS24の逆転信号に応じてフラグを立て、このフ
ラグに基づいてテーブル2の移動方向を認識してもよ
い。
【0090】さらに、たとえば図12に示す送りモータ
22のスリット板22Mに対して、移動方向検出手段と
して回転検出器23を異なる位置に2つ設け、両検出器
からの検出信号に基づいてテーブル2の移動方向を判別
することもできる。
【0091】たとえばステップS29で、テーブル2が
矢印93方向に移動していると認識した場合は、ステッ
プS29からステップS28に戻りステップS26まで
の処理を繰り返す。テーブル2が往復移動範囲の端部に
達して逆転信号が出力され(ステップS24)、矢印9
2方向に移動した後に、ステップS29からステップS
30に進み、初期位置信号を受けた時点で移動を停止す
る(ステップS32)。
【0092】このように本実施例においても、テーブル
2が交換位置から離れる方向(矢印93方向)に移動し
ている途中でサイクル停止釦37を押下した場合、その
時点でただちに移動方向が逆転して矢印92方向に移動
することはない。このため、研磨途中で移動方向が逆転
して刃物10に損傷が生じることはない。なお、サイク
ル停止釦37が押下された時点でテーブル2が矢印92
方向に移動している場合は、ステップS29からそのま
まステップS30に進み、テーブル2を交換位置で停止
させる。
【0093】図13、図14、図15のフローチャート
におけるその他の処理は上記第1の実施例と同様であ
る。なお検出回転数Y’は、出力ポート56(図3)か
らの送りモータ22への出力信号数をCPU51が計数
することによって求めることもできる。
【0094】[その他の実施例]上記の各実施例では、
送りモータ22によってテーブル2を往復移動させ刃物
10を研磨している。しかし、刃物10が取り付けられ
たテーブル側を固定しておき、荒砥石11K、仕上砥石
12Kの研磨部を送りモータ22によって往復移動させ
る研磨装置に本発明を適用することもできる。
【0095】また上記各実施例においては、検出用バー
20がテーブル2の中央付近に設けられ、基準位置検出
スイッチ8によって往復移動範囲のほぼ中央位置が検出
されている。他の実施例として、たとえば図1の検出用
バー20を取り付け位置20Eに、基準位置検出スイッ
チ8を取り付け位置8Eに設け、往復移動範囲のほぼ中
央位置を検出してもよい。往復移動範囲のほぼ中央を検
出することにより、往復移動範囲の調整長さを約1/2
にすることができる。
【0096】さらに上記各実施例では、往復移動範囲の
ほぼ中央を検出し、その両側についての移動量を制御し
ている。しかし、往復移動範囲の端部を検出して移動方
向を逆転し、この逆転後の移動量を調整する研磨装置に
本発明を適用してもよい。
【0097】また、荒砥石11K、仕上砥石12Kそれ
ぞれに対応した検出器を2つ設けておき、作動中の砥石
に応じた検出器からの検出信号に基づいて往復移動範囲
の制御を行なう研磨装置に本発明を適用することもでき
る。このような研磨装置では、往復移動範囲を最小限に
抑え、テーブルの無駄な移動を排除することができる。
【0098】また検出器を1つだけ設けて、検出する基
準位置から荒砥石11K、仕上砥石12Kまでのそれぞ
れのずれ量を予め記憶しておき、作動中の砥石に対応し
たずれ量を往復移動量から加算、減算する研磨装置に本
発明を適用することもできる。この研磨装置では検出器
が1つだけであり、かつ往復移動範囲を最小限に抑え、
テーブルの無駄な移動を排除することができる。
【0099】さらに上記の実施例では、基準位置検出器
として検出用バー20およびリミットスイッチである基
準位置検出スイッチ8を用いている。しかし、この他に
たとえば磁石と磁気センサ(ホール素子)、反射マーク
と光センサ(発光素子および受光素子)等を用いて基準
位置を検出することもできる。また、初期位置検出スイ
ッチについても同様に、磁石と磁気センサ、反射マーク
と光センサ等を用いて交換初期位置を検出することもで
きる。
【0100】なお、本発明は上記実施例に示すものに限
らず、テーブルまたは研磨部が交換初期位置から離れる
方向に移動していることを検出し、動作停止指令が与え
られてもただちに移動方向が逆転しない研磨装置であれ
ば他の構成を採用してもよい。さらに上記各実施例の組
み合わせを採用してもよい。
【0101】
【発明の効果】本発明に係る研磨装置においては、制御
部は、移動範囲設定部に設定された移動範囲設定値と、
移動量計数部の計数値とを比較し、両値が一致した時点
で駆動部に向けて逆転信号を出力する。
【0102】また制御部は、動作停止入力部を通じて動
作停止指令が与えられたとき、移動方向検出手段が検出
した移動方向を取り込み、テーブルまたは研磨部が交換
初期位置に近づく方向に移動している場合は、そのまま
テーブルまたは研磨部を交換初期位置に向う方向に移動
させる。これに対して、テーブルまたは研磨部が交換初
期位置から離れる方向に移動している場合は、次の逆転
信号を出力してテーブルまたは研磨部の移動方向を逆転
させて交換初期位置に向う方向に移動させる。そして、
制御部は、初期位置検出信号が与えられたとき、駆動部
を制御してテーブルまたは研磨部の移動を停止させる。
【0103】このように、移動範囲設定部に設定された
移動範囲設定値に応じて逆転信号が出力され、テーブル
または研磨部は逆方向に移動する。
【0104】このため、所望の往復移動範囲を移動範囲
設定部を通じて入力することによって、自在に制御する
ことができる。したがって、容易かつ正確に往復移動範
囲の調整を行なうことができる。
【0105】また、動作停止指令が与えられたとき、テ
ーブルまたは研磨部が交換初期位置から離れる方向に移
動している場合は、次の逆転信号を出力してテーブルま
たは研磨部の移動方向を逆転させて交換初期位置に向う
方向に移動させる。
【0106】このため、テーブルまたは研磨部が交換初
期位置から離れる方向に移動している途中で動作停止指
令を与えても、その時点でただちに移動方向が逆転する
ことはない。したがって、研磨途中で移動方向が逆転す
ることはなく、研磨対象物に損傷が生じることはない。
【0107】さらに初期位置検出器は、テーブルまたは
研磨部が、往復移動範囲外の研磨対象物の交換初期位置
に位置していることを検出し、初期位置検出信号を制御
部に向けて出力する。そして、制御部は、初期位置検出
信号が与えられたとき、駆動部を制御してテーブルまた
は研磨部の移動を停止させる。
【0108】このため、動作停止指令を入力するだけ
で、テーブルまたは研磨部を往復移動範囲外の交換初期
位置で停止させることができる。したがって、テーブル
または研磨部の移動を停止させて研磨対象物を交換する
場合に手間がかからず作業効率を高めることができ、安
全性にも優れている。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る研磨装置の第1の実施例を示す全
体構成図である。
【図2】図1に示す研磨装置の操作盤を示す図である。
【図3】図1に示す研磨装置のハードウエア構成図であ
る。
【図4】図1に示す研磨装置における往復移動範囲調整
のプログラムを示すフローチャートである。
【図5】図1に示す研磨装置における往復移動範囲調整
のプログラムを示すフローチャートである。
【図6】図1に示す研磨装置における往復移動範囲調整
のプログラムを示すフローチャートである。
【図7】図1に示す研磨装置においてテーブルが交換初
期位置に位置した状態を示す図である。
【図8】本発明に係る研磨装置の第2の実施例における
ハードウエア構成図である。
【図9】図8に示すタイマ回路の詳細を示す図である。
【図10】本発明に係る研磨装置の第3の実施例におけ
る設定釦を示す図である。
【図11】本発明に係る研磨装置の第4の実施例におけ
る増加釦、減少釦、表示部を示す図である。
【図12】本発明に係る研磨装置の第5の実施例におけ
る送りモータの検出回転数の検出機構を示す図である。
【図13】第5の実施例における往復移動範囲調整のプ
ログラムを示すフローチャートである。
【図14】第5の実施例における往復移動範囲調整のプ
ログラムを示すフローチャートである。
【図15】第5の実施例における往復移動範囲調整のプ
ログラムを示すフローチャートである。
【図16】研磨装置を示す全体構成図である。
【図17】従来の研磨装置を示す全体構成図である。
【図18】従来の研磨装置におけるテーブルの往復移動
の制御機構を示す図である。
【図19】従来の他の研磨装置を示す全体構成図であ
る。
【図20】図19に示す従来の研磨装置の検出用バーの
詳細を示す斜視図である。
【符号の説明】
2・・・・・テーブル 5・・・・・初期位置検出スイッチ 8・・・・・基準端部位置検出スイッチ 10・・・・・刃物 11K・・・・・荒砥石 12K・・・・・仕上砥石 20・・・・・検出用バー 22・・・・・送りモータ 23・・・・・回転検出器 35・・・・・調整ダイヤル 36・・・・・自動運転釦 37・・・・・サイクル停止釦 51・・・・・CPU 58・・・・・クロック 110、111、112・・・・・設定釦 115・・・・・増加釦 116・・・・・減少釦

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】研磨対象物が取り付けられるテーブル、 テーブルに取り付けられた研磨対象物を研磨する研磨
    部、 制御部からの逆転信号を受けて、テーブルまたは研磨部
    の移動方向を逆方向に切り換え、テーブルまたは研磨部
    を所定の往復移動範囲で往復移動させる駆動部、 を備えた研磨装置において、 所定の往復移動範囲が入力され、当該往復移動範囲に基
    づいて移動範囲設定値を設定する移動範囲設定部、 テーブルまたは研磨部の基準位置を検出し、基準位置検
    出信号を出力する基準位置検出器、 前記基準位置検出信号によって起動し、テーブルまたは
    研磨部の移動量を計数する移動量計数部、 テーブルまたは研磨部の移動方向を検出する移動方向検
    出手段、 テーブルまたは研磨部が、往復移動範囲外の研磨対象物
    の交換初期位置に位置していることを検出し、初期位置
    検出信号を出力する初期位置検出器、 動作停止指令が入力される動作停止入力部、 を備えており、 制御部は、移動範囲設定部に設定された移動範囲設定値
    と、移動量計数部の計数値とを比較し、両値が一致した
    時点で駆動部に向けて逆転信号を出力し、 制御部は、動作停止入力部を通じて動作停止指令が与え
    られたとき、移動方向検出手段が検出した移動方向を取
    り込み、テーブルまたは研磨部が交換初期位置に近づく
    方向に移動している場合は、そのままテーブルまたは研
    磨部を交換初期位置に向う方向に移動させ、テーブルま
    たは研磨部が交換初期位置から離れる方向に移動してい
    る場合は、次の逆転信号を出力してテーブルまたは研磨
    部の移動方向を逆転させて交換初期位置に向う方向に移
    動させ、 制御部は、初期位置検出信号が与えられたとき、駆動部
    を制御してテーブルまたは研磨部の移動を停止させる、 ことを特徴とする研磨装置。
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