JPH0911480A

JPH0911480A - インクジェット記録ヘッドの製造方法

Info

Publication number: JPH0911480A
Application number: JP16099395A
Authority: JP
Inventors: Masami Yokota; 雅実横田
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-06-27
Filing date: 1995-06-27
Publication date: 1997-01-14

Abstract

(57)【要約】【目的】インクジェット記録ヘッドの製造工程におい
て、第２の固体層３と第２の基体５との間に硬化性樹脂
８が浸入する隙間６を生ずることなく、また、第２の固
体層３上面に硬化性樹脂８がはみ出して、後にこの第２
の固体層３の除去を妨げることのないような製造方法を
提供する。【構成】このため、前記第２の固体層３を、可塑性を
有する例えばクロロプレンゴム系，ニトリルゴム系，Ｓ
ＢＲ系等のゴム系接着剤をスクリーン印刷，ディスペン
サ，転写等で第１の固体層２上に選択的に積層する方法
を採用した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録方
式に用いる記録液滴を発生するためのインクジェット記
録ヘッドの製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法として、例えば特開昭６２−２５３４５７
号公報には、基体上に液路となる固体層を形成し、しか
る後、活性エネルギー線硬化性材料層及び第２の基体を
積層し、その後、液室予定部位以外の領域に活性エネル
ギー線を照射した後、この液室予定部位の未硬化の活性
エネルギー線硬化材料層を除去して液室を形成し、その
後、液路予定部位に形成された固体層を除去する方法が
提案されている。

【０００３】しかしながら、前記のような従来の製造方
法によれば、液路の壁を構成する材料は、液室部がパタ
ーニング可能な活性エネルギー線硬化性材料に限定さ
れ、信頼性の充分な上記材料を選定する上での大きな制
約となっていた。

【０００４】また、インクジェット記録ヘッドのインク
滴の吐出性能上、共通液室の高さを大きく確保したい場
合、前記活性エネルギー線硬化材料層が厚くなるため、
液室部をパターニングする際に精度が悪化したり、高価
な露光装置を長時間占有することになり、コストアップ
の要因となっていた。

【０００５】これらの問題点を解決する手段として、図
２（ａ）〜（ｃ）及び図６〜図８に示すような工程シー
ケンスを有する方法がある。

【０００６】まず、図２（ａ）に示す如く、吐出圧発生
素子（不図示）が設けられた第１の基体１上に液路予定
部位及び液室予定部位に第１の固体層２がパターニング
等により選択的に形成される。

【０００７】次いで、図２（ｂ）に示す如く、液室の容
積を充分確保すべく、また前記基体１と、図２（ｃ）で
後述する第２の基体５との空隙を確保すべく第２の固体
層３が、少なくとも液室予定部位に印刷等の方法により
形成される。

【０００８】次いで、図２（ｃ）に示す如く、後にイン
ク供給口となる穴４を有する第２の基体５が載置され
る。

【０００９】次いで図６に示す如く、ノズル配列方向の
不要部に配置された樹脂供給口７より前記第１の基体１
と第２の基体５との空隙に、後に硬化し液路の壁となる
樹脂８が注入される。

【００１０】次いで図７及び図８に示す如く、ダイシン
グソー等の周知の方法により切断された後、溶剤，アル
カリ溶液等の除去液等により第１の固体層２及び第２の
固体層３が除去され、インクジェット記録ヘッドが完成
する。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記第
２の固体層３上に前記第２の基体５を載置する際に、第
１の基体１及び第２の基体５の反りやうねり、第２の固
体層３の平坦性や平面内の厚さの均一性等の影響でこれ
ら第２の固体層３と第２の基体５との間に僅かな隙間６
が発生し、前記硬化性樹脂８を注入する際に、毛管力に
よりこの隙間６に前記硬化性樹脂８が浸入するという可
能性があった。

【００１２】以上のように、隙間６に浸入した硬化性材
料８は極めて薄いため、硬化した後に、第１の固体層２
及び第２の固体層３を除去する際の除去液や記録ヘッド
完成後に使用されるインクにより膨潤し、第２の基体５
より剥離した後、液路上部のノズル壁から遊離してノズ
ルを閉塞するゴミとなったり、ノズル壁から遊離しない
場合、図９に示す如くインク供給穴４の周囲にバリ状に
残り（図９の１１）、インクを吐出する際に、弁状に作
用してインクのリフィル特性を大幅に低下させるという
問題点があった。

【００１３】また、第２の固体層３表面の濡れ性が良好
な場合、図１０に示す如く前記硬化性樹脂８が、この第
２の固体層３の上面にはみ出して（図１０の１２）、後
に第２の固体層３を除去する際の妨げとなるという問題
点があった。

【００１４】このため、本発明は、以上のような局面に
かんがみてなされたもので、前記第２の固体及び第２の
基体間に隙間を生ずることがなく、また、第２の固体層
の除去が容易な安価で高精度のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法の提供を目的としている。

【００１５】

【課題を解決するための手段】このため、本発明おいて
は、この種のインクジェット記録ヘッドの製造方法を、
次の各項のいずれかによることにより、前記目的を達成
しようとするものである。すなわち、（１）吐出圧発生素子が設けられた第１の基体と、少な
くとも液路となる部分を占有する第１の固体層と、少な
くとも共通液室となる部分の少なくとも一部を占有する
第２の固体層と、第２の基体とを順次に積層した後、前
記第１の基体と第２の基体との空隙に少なくとも前記液
路の壁となる樹脂を注入後、この樹脂が固化した後、前
記第１の固体層及び第２の固体層を除去する工程を有す
るインクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記
第２の固体層を、可塑性を有する材料で構成する。

【００１６】（２）前記（１）項において、前記第２の
固体層が、硬化性材料で構成され、この硬化性材料が可
塑性を有している状態で前記第２の基体を積層する。

【００１７】（３）前記（２）項において、前記第２の
固体層を硬化性材料で構成する。

【００１８】（４）前記（１）ないし（３）のいずれか
において、前記第２の基体を前記第２の固体層上に積層
した後、前記第２の基体を押圧しながら、少なくとも前
記液路の壁となる樹脂を注入する。

【００１９】

【作用】以上のような本発明の製造方法の各項により、
それぞれ次のような作用，効果が得られる。すなわち、（１）前記製造方法（１）項により、前記第２の基体を
前記第２の固体層上に積層するに際し、前記第２の固体
層が自在に変形し、両者の間に隙間が生じなくなる。

【００２０】（２）前記製造方法（２）項により、上記
（１）項と同様の作用が得られる。

【００２１】（３）前記製造方法（３）項により、前記
第２の固体層が無溶剤、あるいは溶剤等を含有する場合
でも、極く短時間で処理することができ、加熱処理等も
不要なため、前記第１の固体層を溶解することなく、こ
の第１の固体層上に前記第２の固体層を可塑性を有する
状態で形成できる。

【００２２】（４）前記製造方法（１）項ないし（３）
項のいずれかにより、前記第２の固体層が前記第２の基
体の形状に倣って変形した状態を保ったまま樹脂が注入
及び硬化されるため、より完全に前記隙間をなくするこ
とができる。

【００２３】また、前記第２の固体層が自己接着性がな
い場合や、ゴム弾性体のように積層時の押圧力を取り除
くと元の形状に戻るような場合も、押圧しながら前記液
路となる樹脂を注入することにより、完全に前記第２の
固体層と前記第２の基体間の隙間をなくすことができ、
前記液路となる樹脂の極薄となる部分の発生を防止する
ことができる。

【００２４】

【実施例】以下に、本発明を複数の実施例に基づいて詳
細に説明する：（実施例１）図１，図２及び図３〜図５は、本発明に係
る第１の実施例を示す図であり、これら各図を基に、本
発明に係るインクジェット記録ヘッドの製造方法の本実
施例を工程に従って順次説明する。

【００２５】図１は、本実施例の特徴を最もよく表わす
インクジェット記録ヘッドの断面図であり、１は、不図
示の吐出圧発生素子が設けられた第１の基体であり、２
は、後に除去され液路９となる第１の固体層、３は、後
に除去されインク液室１０（図５）の少なくとも一部と
なる第２の固体層、４は、前記インク液室１０の一部を
構成すると共に、このインクジェット記録ヘッドにイン
クを供給するために後述する第２の基体５に設けられた
インク供給穴、５は、前記インク供給穴４が設けられた
第２の基体である。

【００２６】６は、前記第２の固体層４上に積層された
前記第２の基体５との間に生ずる僅かな隙間を表わす
（図２（ｃ）３）。７は、後述する前記液路の壁を構成
する樹脂８を注入するための樹脂注入口を表わす（図
３）。

【００２７】上記の構成において、図２（ａ）に示す如
く、不図示の吐出圧発生素子が設けられた第１の基体１
上に、液路形成予定部位及びそれと連通する液室形成予
定部位に第１の固体層２を形成する。なお、本発明にお
いては、液路及び液室形成部位の双方に固体層を設ける
ことは必ずしも必要ではなく、このため固体層は、少な
くとも液路形成部位に設ければよい。

【００２８】上記固体層２は、後述する各工程を経た後
に除去され、残された空間部分が少なくとも液路とな
る。このような固体層２を構成するに際して用いられる
材料及び手段としては、例えば下記に列挙するようなも
のが具体的なものとして挙げられる。

【００２９】感光性ドライフィルムを用い、いわゆる
ドライフィルムの画像形成プロセスに従って固体層２を
形成する、基体（基板）１上に所望の厚さの溶剤可溶性ポリマー
層及びフォトレジスト層を順に積層し、このフォトレジ
スト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマー層を選択
的に除去する、樹脂を除去する。

【００３０】に挙げた感光性ドライフィルムとして
は、ポジ型のものもネガ型のものも用いることができる
が、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネル
ギー線照射によって、現像液に可溶化するポジ型ドライ
フィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、光重合
型であるが塩化メチレンあるいは強アルカリで溶解ある
いは剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適してい
る。

【００３１】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的に
は、例えば「OZATEC R225 」（商品名、ヘキストジャパ
ン（株））等、またネガ型ドライフィルムとしては、
「OZATEC Tシリーズ」（商品名、ヘキストジャパン
（株））、「PHOTEC PHTシリーズ」（商品名、日立化成
工業（株））、「RISTON」（商品名、デュ・ポン・ド・
ネモアース社）等が用いられる。

【００３２】もちろん、これらの市販材料のみならず、
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフキノンジ
アド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする
樹脂組成物 PMER-AR 900（東京応化工業（株））、及び
ネガティブに作用する樹脂組成物、例えばアクリルエス
テルを反応基とするアクリルオリゴマーと熱可塑性高分
子化合物及び増感剤を主体とする組成物、あるいはポリ
チオールとポリエン化合物及び増感剤とから成る組成物
等を同様に用いることができる。

【００３３】に挙げた溶剤可溶性ポリマーとしては、
それを溶解する溶剤が存在し、コーティングによって被
膜形成し得る高分子化合物であればいずれでも用い得
る。

【００３４】ここで用い得るフォトレジスト層として
は、典型的にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキ
ノンジアジドとから成るポジ型液状フォトレジスト、ポ
リビニルシンナメートから成るネガ型液状フォトレジス
ト、環化ゴムとビスアジドから成るネガ型液状フォトレ
ジスト、ネガ型感光性ドライフィルム、熱硬化型及び紫
外線硬化型のインキ等が挙げられる。

【００３５】に挙げた印刷法によって固体層を形成す
る材料としては、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは
紫外線硬化型等のそれぞれの乾燥方式で用いられている
平板インキ、スクリーンインキならびに転写型の樹脂等
が用いられる。

【００３６】以上に挙げた材料群の中で、加工精度や除
去の容易性あるいは作業性等の面から見て、の感光性
ドライフィルム及びのポジ型液状フォトレジストを用
いる手段が好ましい。

【００３７】すなわち、ポジ型感光性材料は、例えば解
像度がネガ型の感光性材料よりも優れている、レリーフ
パターンが垂直かつ平滑な側壁面を持つ、あるいはテー
パ型ないし逆テーパ型の断面形状が容易に作れるといっ
た特徴を持ち、液路を形づくる上で最適である。

【００３８】また、レリーフパターンを現像液や有機溶
剤で溶解除去できる等の特徴も有しており、本発明にお
ける固体層形成材料として好ましいものである。特に、
例えば先に挙げたナフキノンジアジドとノボラック型フ
ェノール樹脂を用いたポジ型感光性材料では、弱アルカ
リ水溶液あるいはアルコールで完全溶解できるので、吐
出エネルギー発生素子の損傷を何ら与えることがなく、
かつ後工程での除去も極めて速やかである。

【００３９】次いで、図２（ｂ）に示した如く、液室形
成予定部位に充分な容積を確保すべく、また前記第１の
基体１と第２の基体５との空隙を適当に保つために第２
の固体層３が形成される。

【００４０】本実施例によれば、前記第２の固体層３を
形成する際に、可塑性を有する材料を用いることが特徴
であり、以下に具体的材料及び方法を述べる：例えば、
クロロプレンゴム系接着剤、，ニトリルゴム系接着剤，
ＳＢＲ系接着剤等のゴム系接着剤をスクリーン印刷，デ
ィスペンサ，転写等の周知の方法で前記第１の固体層２
上に選択的に積層する。

【００４１】上記材料の具体的商品名としては、ソニー
ボンド社製ＳＣ１０６，ＳＣ１０８，ＳＣ１０９，ＳＣ
１２１，ＳＣ２１０，ＳＣ３０８等が挙げられる。さら
に具体的な積層条件としては、上記ゴム系接着剤ＳＣ１
２１にスクリーン印刷性を向上させるため、１〜１０重
量％のエアロジル等のフィラーを添加した後、スクリー
ン印刷版＃２３０，印圧０．５〜５Kg／cm² で、５〜５
０cm／sec の印刷速度でスクリーン印刷することによ
り、約５０〜３００μｍの厚さの第２の固体層３が選択
的に形成された後、硬化処理を行う。前記硬化処理を行
う場合、適宜熱処理等を行ってもよい。

【００４２】次いで、図２（ｃ）に示す如く、前記第２
の固体層３上にインク供給穴４が設けられた第２の基体
５が位置合せの上載置される。この第２の基体５の反
り，うねり，凹凸等、あるいは第２の固体層３の上面の
丸みや平面内の厚さのばらつき、上面の平坦性等によ
り、わずかな隙間６が生ずる。次いで、図１に示す如
く、前記のように載置された第２の基体５の上面から１
〜５０ｇ／cm² の圧力ｐが加えられる。

【００４３】前述のように、載置された第２の基体５の
上面から圧力ｐを加えることにより、図１に示す如く、
前記第２の固体層３が可塑性材料で構成されているた
め、前記第２の基体５の面に応じて自在に変形し、前記
の僅かな隙間６が発生しなくなる。

【００４４】次いで、図１に示す如く、前記のように載
置された第２の基体５の上面から１〜５０ｇ／cm² の圧
力ｐが加えられる。

【００４５】前述のように、載置された第２の基体５の
上面から圧力ｐを加えることにより、図１に示す如く、
前記第２の固体層３が可塑性材料で構成されているた
め、前記第２の基体５の面に応じて自在に変形し、前記
の僅かな隙間６が発生しなくなる。

【００４６】次いで、前記圧力ｐを加えた状態で、図３
に示す如く、ノズル配列方向の外部に配置された樹脂供
給穴７より前記第１の基体１と前記第２の基体５との空
隙に、後に硬化して流路の壁となる硬化性樹脂８が毛管
力を利用して注入される。

【００４７】前述のような注入の際に、従来例のような
非可塑性の材料を用いた場合、図２（ｃ）に示す如く、
第２の基体５の載置後、圧力ｐを加えても前記第２の固
体層３が変形せず、前記僅かな隙間６が生じたままであ
り、この隙間６に前記硬化性樹脂８が浸入してしまう
が、本実施例によれば、前記僅かな隙間６がないため、
硬化性樹脂８の浸入及び第２の固体層３上面へのはみ出
しが発生しない。

【００４８】なお、本実施例においては、液路の壁とな
る樹脂として硬化性樹脂を用いたが、後に固体化するも
のであり、前記第１と第２の基板１／５の空隙に注入可
能であれば、いかなるものでも使用可能であり、熱硬化
型，常温硬化型，ＵＶ硬化型や熱可塑性樹脂あるいは低
融点の金属等も使用可能である。

【００４９】また、本実施例においては、前記硬化性樹
脂８を毛管力により注入したが、これら硬化性樹脂８の
メニスカスを利用して、第２の固体層３と第２の基体５
との隙間に浸入しない程度であれば、吸引及び加圧注入
あるいは、該注入部を減圧下に保持した状態で前記硬化
性樹脂８を一部注入し、その後大気開放することにより
大気圧で注入することも可能である。

【００５０】次いで、図４に示す如く、硬化性樹脂８が
硬化した後、オリフィスを形成するために、ダイシング
ソー等の周知の方法により切断される。なお、オリフィ
スの形成方法によっては、上述の切断は必ずしも必要で
あるとは限らない。

【００５１】次いで、図５に示す如く、第２の固体層３
及び第１の固体層２を、アルカリ水溶液や有機溶剤等の
除去液により溶解除去する。これらの除去に際しては、
第２の固体層３と第１の固体層２とを別々の溶液にて順
次除去することもできるが、前記各々の固体層２，３の
材料を適当に選ぶことにより、同一溶液にて同時に除去
することも可能である。

【００５２】本実施例の第２の固体層３として用いた前
記クロロプレンゴム系接着剤ＳＣ１２１の場合、トルエ
ン等の有機溶剤により溶解除去された後、酢酸エステル
系溶剤やアルカリ水溶液等により、第１の固体層２が除
去される。また、第２の固体層３として、前記第１の固
体層２と同一の有機溶剤やアルカリ水溶液で除去可能な
材料、例えばニトリルゴム系接着剤（具体的商品名例と
してソニーボンドＳＣ２１０）を用いれば、アセトン，
酢酸エチル等により、第１の固体層２と第２の固体層３
とを同時に除去できる。以上の工程により、インクジェ
ット記録ヘッドが完成する。

【００５３】（実施例２）前述の実施例１においては、
第２の固体層３が硬化後も可塑性を有していたが、非可
塑性材料であっても、第２の固体層３の硬化処理を行う
前の可塑性を有している状態、即ち未硬化の状態で第２
の基体５を載置後、前記実施例１と同様に第２の基体５
の上面から圧力ｐを加えた後、あるいは圧力を加えなが
ら第２の固体層３の硬化を行うことにより、実施例１に
記した可塑性材料を用いたのと同様の効果が得られ、前
述のような僅かな隙間６の発生を防止することができ
る。

【００５４】第２の固体層３の具体的材料及び条件とし
ては、太陽インキ（株）製熱硬化型印刷剤ＭＡ−８３０
（商品名）にエアロジル２重量％添加した後、スクリー
ン印刷版＃２３０、印刷圧１．０Kg／cm² 、印刷速度２
５cm／sec で印刷することにより、硬化前の状態で約１
２０μｍの厚さが得られる。

【００５５】次いで、第２の基体５を位置合せ載置後
に、約２ｇ／cm² の圧力となるよう金属製の重鍾を載せ
た後、あるいは重鍾を載せた状態で、温度１２０℃、６
０分の熱硬化を行う。上記加圧及び硬化処理により、第
２の固体層３と第２の基体５とは、僅かな隙間６が発生
することなく完全に貼合わされる。しかる後、硬化性樹
脂８の注入、硬化及び切断等の工程を経た後、エチルセ
ロソルブ等の有機溶剤等により除去され、インクジェッ
ト記録ヘッドが完成される。

【００５６】本実施例２によれば、前記実施例１に記し
た可塑性材料の樹脂分あるいは溶媒分により第２の固体
層３を溶解してしまう場合や、後に前記可塑性材料の除
去性が悪い場合、硬化後は非可塑性材料でも使用でき、
第２の固体層３として種々の除去可能で第１の固体層２
を溶解しない材料を選択することが可能である。また、
本実施例２においては、第２の固体層３として熱硬化型
印刷剤を用いたが、常温硬化型や蒸発乾燥型の印刷剤や
スルーホール穴埋め材等を用いてもよい。

【００５７】（実施例３）第３の実施例として、前記第
２の固体層３としてＵＶ硬化型の印刷剤を使用すること
もよい方法である。例えばソマール（株）製ＵＶ硬化型
スルーホール穴埋め材ソマコートＴＨ７００Ｔ（商品
名）に、約２重量％のエアロジルを添加した後、前記実
施例２と同様の条件にてスクリーン印刷した後、第２の
基体５を載置後、適宜加圧した後、あるいは加圧しなが
ら、第２の基体５が透明な場合は第２の基体５の上面か
ら約１〜１０Ｊ／cm² のＵＶ光を照射する。

【００５８】前記の加圧及びＵＶ照射により、第２の固
体層３と第２の基体５とは、隙間なく完全に貼合わされ
る。

【００５９】また、前記第２の基体５が不透明の場合
は、散乱され斜光成分の多いＵＶ光を前記第２の基体５
上より照射することにより、第２の基体５と異なる部分
の第２の固体層３の硬化も斜光成分がインク供給穴４か
ら入射することにより可能である。

【００６０】前述のように、第２の固体層３としてＵＶ
硬化型の材料を用いることにより、無溶媒の材料を使用
することができ、あるいは溶媒を含有する場合でも、第
２の固体層３を積層した後、極く短時間で硬化でき、か
つ、加熱処理等も不要なため、第２の固体層３の材料中
の樹脂分や溶媒分による第１の固体層２の溶解を防止で
きる。さらに、ＵＶ硬化型の場合、加熱硬化型，室温硬
化型，蒸発乾燥型に比べて短時間で硬化でき、生産性が
高い。

【００６１】（実施例４）前記の各実施例１〜３におい
ては、液路の壁となる硬化性樹脂８を注入する際には、
第２の基体５を載置した後の加圧後、あるいは加圧しな
がら硬化させることにより、第２の固体層３を第２の基
体５に応じて変形させた状態で両者が接着されたが、第
２の固体層３が自己接着性がない場合や、変形された形
状の維持が不充分な材料の場合、前記圧力ｐを加えた状
態で液路の壁となる硬化性樹脂８を注入及び硬化するこ
とにより、前記僅かな隙間６への硬化性樹脂８の浸入を
防止することができる。

【００６２】具体的例としては、サンノプコ（株）製水
溶性印刷剤ＳＸ−ＯＸ（商品名）シリーズを第２の固体
層３として印刷した後、この印刷剤の乾燥が進行する前
に、第２の基体５を載置し、約２Kg／cm² の荷重となる
ような重鍾を第２の基体５上に載せた状態で９０℃の温
度で約６０分間加熱処理する。

【００６３】しかる後、前記重鍾を載せた状態で、液路
の壁となる硬化性樹脂８を注入し、この重鍾を載せた状
態で硬化性樹脂８の硬化処理を行うことにより、硬化後
に自己接着性のない材料や前記加圧により変形された状
態の維持が不充分な材料でも好適に使用可能となる。

【００６４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の製造方法
によれば、次のような諸効果が得られる：（１）液路の壁となる硬化性樹脂の露光，現像等の工程
が不要なため、安価で高精度のインクジェット記録ヘッ
ドが得られる。

【００６５】（２）前記液路の壁となる硬化性樹脂の粘
度，濡れ性等に係わりなく、また感光性等も不要なた
め、自由に硬化性樹脂を選択でき、耐インク性，耐熱性
等に優れた高信頼性の記録ヘッドが得られる。

【００６６】（３）前記硬化性樹脂の極めて薄い部分が
発生しないため、この硬化性樹脂の薄い部分が剥離後遊
離してノズルを閉塞するゴミとなったり、弁状に作用し
てインクのリフィル特性を悪化させたりすることのない
高信頼度で高速応答可能なインクジェット記録ヘッドを
高歩留りで得ることができる。

【００６７】（４）前記硬化性樹脂の固体層上へのはみ
出しがなく、固体層の除去が容易にできるため、安価で
廃液等が少い状態で、インクジェット記録ヘッドを製造
することができる。

【００６８】（５）前記第２の固体層に可塑性材料を用
いることにより、前記第２の基体の接合面の形状に倣っ
て変形することにより、かつ、前記第２の固体層の膜厚
の厚い部分は多く変形することにより、前記各（１）〜
（４）項の効果が得られる。

【００６９】（６）前記第２の固体層に硬化性材料を用
い、この硬化性材料が硬化される前の可塑性を有してい
る状態で、前記第２の基体を貼合せることにより、非可
塑性材料でも容易に前記（５）項と同様の作用により、
各（１）〜（４）項の効果が得られ、各種の優れた材料
を使用することができる。

【００７０】（７）前記第２の固体層としてＵＶ硬化性
材料を用いることにより、短時間でこのＵＶ硬化性材料
を硬化できるため、第２の固体層に用いる材料による前
記第１の固体層の溶解を防止できる。

【００７１】（８）前記第２の基体を前記第２の固体層
上に積層した後、この第２の基体を押圧しながら前記液
路の壁となる樹脂を注入及び硬化することにより、前記
第２の固体層が自己接着性のない場合や、押圧を除いた
後に押圧による変形された状態の維持が不充分な材料で
も、前記各（１）〜（４）項の効果が得られる、など。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例１の硬化性樹脂の注入状態を示す断面
図

【図２】実施例１の工程シーケンス図（ａ）〜（ｅ）

【図３】実施例１の硬化性樹脂注入図

【図４】実施例１の切断によるオリフィス形成図

【図５】実施例１の第１，第２固体層除去図

【図６】従来例の硬化性樹脂注入図

【図７】従来例の切断によるオリフィス形成図

【図８】従来例の第１，第２固体層除去図

【図９】従来例の問題点説明図（その１）

【図１０】従来例の問題点説明図（その２）

【符号の説明】

１第１の基体２第１の固体層３第２の固体層４第２の基体に設けられたインク供給穴５第２の基体６第２の固体層と第２の基体との間の隙間７硬化性樹脂の注入口８硬化性樹脂９液路１０液室１１バリ状に残った硬化性樹脂１２第２の固体層上にはみ出した硬化性樹脂

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】吐出圧発生素子が設けられた第１の基体
と、少なくとも液路となる部分を占有する第１の固体層
と、少なくとも共通液室となる部分の少なくとも一部を
占有する第２の固体層と、第２の基体とを順次に積層し
た後、前記第１の基体と第２の基体との空隙に少なくと
も前記液路の壁となる樹脂を注入後、この樹脂が固化し
た後、前記第１の固体層及び第２の固体層を除去する工
程を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法におい
て、前記第２の固体層を、可塑性を有する材料で構成したこ
とを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】前記第２の固体層が、硬化性材料で構成
され、この硬化性材料が可塑性を有している状態で前記
第２の基体を積層することを特徴とする請求項１記載の
インクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】前記第２の固体層がＵＶ硬化型の印刷剤
であることを特徴とする請求項２記載のインクジェット
記録ヘッドの製造方法。
【請求項４】前記第２の基体を前記第２の固体層上に
積層した後、前記第２の基体を押圧しながら、少なくと
も前記液路の壁となる樹脂を注入及び硬化することを特
徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載のインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法。