JPH091805A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッド及びその製造方法Info
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- JPH091805A JPH091805A JP15617295A JP15617295A JPH091805A JP H091805 A JPH091805 A JP H091805A JP 15617295 A JP15617295 A JP 15617295A JP 15617295 A JP15617295 A JP 15617295A JP H091805 A JPH091805 A JP H091805A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 インクジェット記録ヘッドの形成工程におい
て、フィルタ部材１０４の固定を、ノズル形成と同時に
行うことができて、インクジェット記録ヘッドの製作工
程を削減し、さらに前記フィルタ部材１０４の固定後
に、液路、液室用の第１及び第２の固体層１０６，１０
７を除去することにより、液室２０２へのゴミの混入を
防止し得る手段を提供する。 【構成】 このため、第２の基板１０３の液室２０２内
に、インク中のゴミや気泡を混入させないためのフィル
タ部材１０４を配設し、同時に、このフィルタ部材１０
４を前記第２の基板１０３にノズル形成材料１０２で固
定するよう構成した。
て、フィルタ部材１０４の固定を、ノズル形成と同時に
行うことができて、インクジェット記録ヘッドの製作工
程を削減し、さらに前記フィルタ部材１０４の固定後
に、液路、液室用の第１及び第２の固体層１０６，１０
７を除去することにより、液室２０２へのゴミの混入を
防止し得る手段を提供する。 【構成】 このため、第２の基板１０３の液室２０２内
に、インク中のゴミや気泡を混入させないためのフィル
タ部材１０４を配設し、同時に、このフィルタ部材１０
４を前記第２の基板１０３にノズル形成材料１０２で固
定するよう構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置に関し、また特に、インクジェット記録装置に用いる
インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
置に関し、また特に、インクジェット記録装置に用いる
インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来既知のインクジェット記録ヘッドの
形成法の一例を、図７（ａ）〜（ｆ）を用いて説明す
る； １）電気エネルギーを与えて、インクを吐出させるた
め、不図示の記録素子が設けられた第１の基板１０１上
に、液路予定部位及び液室予定部位に第１の固定層１０
６をパターニング等により選択的に形成する（図７
（ａ））。
形成法の一例を、図７（ａ）〜（ｆ）を用いて説明す
る； １）電気エネルギーを与えて、インクを吐出させるた
め、不図示の記録素子が設けられた第１の基板１０１上
に、液路予定部位及び液室予定部位に第１の固定層１０
６をパターニング等により選択的に形成する（図７
（ａ））。
【０００３】２）次いで、液室の容積を十分確保するた
め、第２の固体層１０７を、少なくとも液室予定部位に
印刷等の方法により形成する（図７（ｂ））。
め、第２の固体層１０７を、少なくとも液室予定部位に
印刷等の方法により形成する（図７（ｂ））。
【０００４】３）次いで、後にインク供給口となるイン
ク流通穴２０４を有する第２の基板１０３を載置する
（図７（ｃ））。
ク流通穴２０４を有する第２の基板１０３を載置する
（図７（ｃ））。
【０００５】４）次いで、図８にノズル形成材料注入の
模式的断面図を示すように、ノズル配列方向の不要部に
配置された樹脂供給口２０５より、前記第１の基板１０
１と第２の基板１０３との空隙に、後に硬化し液路の壁
となる樹脂１０２に注入し、硬化する（図７（ｄ））。
模式的断面図を示すように、ノズル配列方向の不要部に
配置された樹脂供給口２０５より、前記第１の基板１０
１と第２の基板１０３との空隙に、後に硬化し液路の壁
となる樹脂１０２に注入し、硬化する（図７（ｄ））。
【０００６】５）次いで、吐出口２０１形成のため、吐
出口２０１のオリフィス部分を切断する。この切断箇所
は図７（ｄ）に２点鎖線で示した。
出口２０１のオリフィス部分を切断する。この切断箇所
は図７（ｄ）に２点鎖線で示した。
【０００７】６）次いで、第１の固定層１０６、及び第
２の固定層１０７を除去する（図７（ｅ））。
２の固定層１０７を除去する（図７（ｅ））。
【０００８】最後に、第２の基板１０３上に、接着剤１
０９を塗布し、インク中のゴミ、気泡を混入させないた
めのフィルタ部材１０４、液室を封止する液室封止板１
０５を接着し、フィルタ一体型のインクジェット記録ヘ
ッドを形成する（図７（ｆ））。
０９を塗布し、インク中のゴミ、気泡を混入させないた
めのフィルタ部材１０４、液室を封止する液室封止板１
０５を接着し、フィルタ一体型のインクジェット記録ヘ
ッドを形成する（図７（ｆ））。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来方法にあっては、以下のような問題点があっ
た。すなわち、 １）フィルタ部材１０４固定のため、接着剤１０９を第
２の基板１０３上に塗布する工程が、ノズル形成工程と
別の工程になっているため、工程数が増加する。
ような従来方法にあっては、以下のような問題点があっ
た。すなわち、 １）フィルタ部材１０４固定のため、接着剤１０９を第
２の基板１０３上に塗布する工程が、ノズル形成工程と
別の工程になっているため、工程数が増加する。
【００１０】２）さらに第１および第２の固体層１０
６，１０７を除去した後にフィルタ１０４を接着するた
め、第１及び第２の固体層１０６，１０７を除去してか
らフィルタ１０４を接着する間にゴミが液室内に混入す
る原因となる、など。
６，１０７を除去した後にフィルタ１０４を接着するた
め、第１及び第２の固体層１０６，１０７を除去してか
らフィルタ１０４を接着する間にゴミが液室内に混入す
る原因となる、など。
【００１１】本発明は、以上のような局面にかんがみて
なされたもので、フィルタ部材の固定をノズル形成と同
時に行うことができ、インクジェット記録ヘッドの製作
工程を削減し、さらにフィルタ部材の固定後に液路及び
液室用第１及び第２の固体層を除去することにより、液
室内へゴミの侵入を防止し得る手段の提供を目的として
いる。
なされたもので、フィルタ部材の固定をノズル形成と同
時に行うことができ、インクジェット記録ヘッドの製作
工程を削減し、さらにフィルタ部材の固定後に液路及び
液室用第１及び第２の固体層を除去することにより、液
室内へゴミの侵入を防止し得る手段の提供を目的として
いる。
【００１２】
【課題を解決するための手段】このため、本発明は、つ
ぎのような各要旨によってそれぞれ前記目的を達成しよ
うとするものである。
ぎのような各要旨によってそれぞれ前記目的を達成しよ
うとするものである。
【００１３】（１）本発明の第１の要旨は、吐出エネル
ギー発生素子を形成し、この吐出エネルギー発生素子に
対応しインク液路となる部分が固体層でパターニングさ
れた第１の基板と、前記インク液路にインクを供給する
ための液室を有する第２の基板と、前記第１の基板と第
２の基板との間にノズル形成材料を有し、このノズル形
成材料の硬化後、前記固体層を除去してインク液路を形
成するインクジェット記録ヘッドの製造過程において、
前記第２の基板の液室内にインク中のゴミ，気泡を混入
させないためのフィルタ部材を配設し、該フィルタ部材
を前記第２の基板に前記ノズル形成材料で固定すること
により形成されたことを特徴とするインクジェット記録
ヘッド及びその製造方法に存する。
ギー発生素子を形成し、この吐出エネルギー発生素子に
対応しインク液路となる部分が固体層でパターニングさ
れた第１の基板と、前記インク液路にインクを供給する
ための液室を有する第２の基板と、前記第１の基板と第
２の基板との間にノズル形成材料を有し、このノズル形
成材料の硬化後、前記固体層を除去してインク液路を形
成するインクジェット記録ヘッドの製造過程において、
前記第２の基板の液室内にインク中のゴミ，気泡を混入
させないためのフィルタ部材を配設し、該フィルタ部材
を前記第２の基板に前記ノズル形成材料で固定すること
により形成されたことを特徴とするインクジェット記録
ヘッド及びその製造方法に存する。
【００１４】（２）本発明の第２の要旨は、前記ノズル
形成と、前記フィルタ部材の前記第２の基板への固定と
を同時に行うことによって形成されたことを特徴とする
第１の要旨に記載のインクジェット記録ヘッド及びその
製造方法に存する。
形成と、前記フィルタ部材の前記第２の基板への固定と
を同時に行うことによって形成されたことを特徴とする
第１の要旨に記載のインクジェット記録ヘッド及びその
製造方法に存する。
【００１５】（３）本発明の第３の要旨は、前記フィル
タ部材はインク流通部に予めマスキング材を塗布し、前
記ノズル形成材料で前記第２基板に貼り付け硬化させた
後、前記固体層除去と同時にマスキング材の除去を行う
ことによって形成されたことを特徴とする第１の要旨な
いし第２の要旨に記載のインクジェット記録ヘッド及び
その製造方法に存する。
タ部材はインク流通部に予めマスキング材を塗布し、前
記ノズル形成材料で前記第２基板に貼り付け硬化させた
後、前記固体層除去と同時にマスキング材の除去を行う
ことによって形成されたことを特徴とする第１の要旨な
いし第２の要旨に記載のインクジェット記録ヘッド及び
その製造方法に存する。
【００１６】（４）本発明の第４の要旨は、前記マスキ
ング材が前記固体層であることを特徴とする第３の要旨
に記載のインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に
存する。
ング材が前記固体層であることを特徴とする第３の要旨
に記載のインクジェット記録ヘッド及びその製造方法に
存する。
【００１７】
【作用】以上のような本発明構成により、この種のイン
クジェット記録ヘッドの製作工程の削減及び液室内への
ゴミの侵入防止を達成し得る。
クジェット記録ヘッドの製作工程の削減及び液室内への
ゴミの侵入防止を達成し得る。
【００１８】
【実施例】以下に本発明を、複数の実施例に基づいて詳
細に説明する： （実施例１）図１に、本発明の第１の実施例の模式的斜
視図を示し、本図を基に本実施例のインクジェット記録
ヘッドの製作工程を説明する。図２（ａ），（ｂ）は、
それぞれ図１のＡ−Ａ′及びＢ−Ｂ′断面図である。
細に説明する： （実施例１）図１に、本発明の第１の実施例の模式的斜
視図を示し、本図を基に本実施例のインクジェット記録
ヘッドの製作工程を説明する。図２（ａ），（ｂ）は、
それぞれ図１のＡ−Ａ′及びＢ−Ｂ′断面図である。
【００１９】図１，２において、２０１は、インクを吐
出するため吐出口、２０３は、インクジェット記録ヘッ
ドにインクを供給するためのインク供給口、２０２は液
室である。また、１０１は、インクを吐出して被記録材
に記録を行うための不図示の記録素子が配設された第１
の基板であり、１０２は、ノズル形成材料から成る固体
層（図３で後述する）、１０３は第２の基板、１０４
は、インク中のゴミや気泡のノズル内への混入を防止す
るためのフィルタ部材、１０５は液室封止板である。
出するため吐出口、２０３は、インクジェット記録ヘッ
ドにインクを供給するためのインク供給口、２０２は液
室である。また、１０１は、インクを吐出して被記録材
に記録を行うための不図示の記録素子が配設された第１
の基板であり、１０２は、ノズル形成材料から成る固体
層（図３で後述する）、１０３は第２の基板、１０４
は、インク中のゴミや気泡のノズル内への混入を防止す
るためのフィルタ部材、１０５は液室封止板である。
【００２０】本実施例の特徴は、フィルタ部材１０４
を、ノズル形成材料１０２で固定している点を特徴とし
ている。以下に、上記インクジェット記録ヘッドの構成
を形成する工程の一例を図３（ａ）〜（ｅ）を用いて説
明する。
を、ノズル形成材料１０２で固定している点を特徴とし
ている。以下に、上記インクジェット記録ヘッドの構成
を形成する工程の一例を図３（ａ）〜（ｅ）を用いて説
明する。
【００２１】図３（ａ）に示すように、インクを吐出す
るための圧力を発生する複数の不図示の記録素子が配設
された第１の基板１０１上に液路形成部位及びそれと連
通する液室形成予定部位に前記第１の固体層１０６を形
成する。
るための圧力を発生する複数の不図示の記録素子が配設
された第１の基板１０１上に液路形成部位及びそれと連
通する液室形成予定部位に前記第１の固体層１０６を形
成する。
【００２２】なお、本発明においては、液路及び液室形
成部位の双方に固体層１０６を設けることは必ずしも必
要ではなく、固体層１０６は、少なくとも液路形成部位
に設ければよい。
成部位の双方に固体層１０６を設けることは必ずしも必
要ではなく、固体層１０６は、少なくとも液路形成部位
に設ければよい。
【００２３】上記第１の固体層１０６は、後述する各工
程を経た後に除去され、残された空間部分が少なくとも
液路となる。なお、第１の固体層１０６は、液路に加え
て必要に応じて液室等が同時に形成される場合は、液室
等の形成部も占有するように設けられる。このような第
１の固体層１０６を構成するに際して用いられる材料及
び手段としては、例えば下記に列挙するようなものが具
体的なものとして挙げられる。
程を経た後に除去され、残された空間部分が少なくとも
液路となる。なお、第１の固体層１０６は、液路に加え
て必要に応じて液室等が同時に形成される場合は、液室
等の形成部も占有するように設けられる。このような第
１の固体層１０６を構成するに際して用いられる材料及
び手段としては、例えば下記に列挙するようなものが具
体的なものとして挙げられる。
【００２４】感光性ドライブフィルムを用い、そのド
ライブフィルムの画像形成プロセスに従って固体層を形
成する、 第１の基板１０１に所望の厚さの溶剤可溶性ポリマー
層及びフォトレジスト層を順に積層し、このフォトレジ
スト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマー層を選択
的に除去する、 樹脂を印刷する、など。
ライブフィルムの画像形成プロセスに従って固体層を形
成する、 第１の基板１０１に所望の厚さの溶剤可溶性ポリマー
層及びフォトレジスト層を順に積層し、このフォトレジ
スト層のパターン形成後、溶剤可溶性ポリマー層を選択
的に除去する、 樹脂を印刷する、など。
【００２５】に挙げた感光性ドライフィルムとして
は、ポジ型のものもネガ型のものも用いることができる
が、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネル
ギー線照射によって、現像液に可溶化するポジ型ドライ
フィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、光重合
型である塩化メチレンあるいは強アルカリで溶解あるい
は剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適している。
は、ポジ型のものもネガ型のものも用いることができる
が、例えばポジ型ドライフィルムであれば、活性エネル
ギー線照射によって、現像液に可溶化するポジ型ドライ
フィルム、またネガ型ドライフィルムであれば、光重合
型である塩化メチレンあるいは強アルカリで溶解あるい
は剥離除去し得るネガ型ドライフィルムが適している。
【００２６】ポジ型ドライフィルムとしては、具体的に
は、例えば「OZATEC R225 」（商品名、ヘキストジャパ
ン（株））等、またネガ型ドライフィルムとしては、
「OZATEC Tシリーズ」（商品名、日立化成工業
（株））、「RISTON」（商品名、デュ・ポン・ド・ネモ
アース社）等が用いられる。
は、例えば「OZATEC R225 」（商品名、ヘキストジャパ
ン（株））等、またネガ型ドライフィルムとしては、
「OZATEC Tシリーズ」（商品名、日立化成工業
（株））、「RISTON」（商品名、デュ・ポン・ド・ネモ
アース社）等が用いられる。
【００２７】もちろん、これらの市販材料のみならず、
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフキノンシ
アド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする
樹脂組成物、及びネガティブに作用する樹脂組成物、例
えばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴマ
ーと熱可塑性高分子化合物及び増感材を主体とする組成
物、あるいはポリチオールとポリエチレン化合物及び増
感材とから成る組成物等が同様に用いることができる。
ポジティブに作用する樹脂組成物、例えばナフキノンシ
アド誘導体とノボラック型フェノール樹脂を主体とする
樹脂組成物、及びネガティブに作用する樹脂組成物、例
えばアクリルエステルを反応基とするアクリルオリゴマ
ーと熱可塑性高分子化合物及び増感材を主体とする組成
物、あるいはポリチオールとポリエチレン化合物及び増
感材とから成る組成物等が同様に用いることができる。
【００２８】に挙げた溶剤可能性ポリマーとしては、
それを溶解する溶剤が存在し、コーティングによって皮
膜を形成し得る高分子化合物であればいずれでも用い得
る。ここで用い得るフォトレジスト層としては、典型的
にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノジアジド
とから成るポジ型液状フォトレジスト、ポリビニルシン
ナメートから成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ型感
光性ドライフィルム、熱硬化型及び紫外線硬化型のイン
キ等が挙げられる。
それを溶解する溶剤が存在し、コーティングによって皮
膜を形成し得る高分子化合物であればいずれでも用い得
る。ここで用い得るフォトレジスト層としては、典型的
にはノボラック型フェノール樹脂とナフトキノジアジド
とから成るポジ型液状フォトレジスト、ポリビニルシン
ナメートから成るネガ型液状フォトレジスト、ネガ型感
光性ドライフィルム、熱硬化型及び紫外線硬化型のイン
キ等が挙げられる。
【００２９】に挙げた印刷法によって固体層を形成す
る材料としては、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは
紫外線硬化型等のそれぞれの乾燥方式で用いられている
平板インキ、スクリーンインキ並びに転写型の樹脂等が
用いられる。
る材料としては、例えば蒸発乾燥型、熱硬化型あるいは
紫外線硬化型等のそれぞれの乾燥方式で用いられている
平板インキ、スクリーンインキ並びに転写型の樹脂等が
用いられる。
【００３０】以上に挙げた材料群の中で、加工制度や除
去の容易性あるいは作業性等の面からみて、の感光性
ドライフィルムを用いる手段が好ましく、その中でもポ
ジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。すなわ
ち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光
性材料よりも優れており、レリーフパターンが垂直かつ
平滑な側壁面を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーパ
型の断面形状が容易に作れるという特徴を有し、液路を
形作る上で最適である。また、レリーフパターンを現像
液や有機溶剤で溶解除去できる等の特徴も有しており、
本発明実施例における固体層形成材料として好ましいも
のである。
去の容易性あるいは作業性等の面からみて、の感光性
ドライフィルムを用いる手段が好ましく、その中でもポ
ジ型ドライフィルムを用いるのが特に好ましい。すなわ
ち、ポジ型感光性材料は、例えば解像度がネガ型の感光
性材料よりも優れており、レリーフパターンが垂直かつ
平滑な側壁面を持つ、あるいはテーパ型ないし逆テーパ
型の断面形状が容易に作れるという特徴を有し、液路を
形作る上で最適である。また、レリーフパターンを現像
液や有機溶剤で溶解除去できる等の特徴も有しており、
本発明実施例における固体層形成材料として好ましいも
のである。
【００３１】特に、例えば先に挙げたナフキノンジアジ
ドとノボラック型フェノール樹脂とを用いたポジ型感光
性材料では、弱アルカリ水溶液あるいはアルコールで完
全溶解できるので、吐出エネルギー発生素子の損傷を何
ら与えることがなく、かつ後工程での除去も極めて速や
かである。このようなポジ型感光性材料の中でも、ドラ
イフィルム状のものは１０〜１００μｍの厚膜のものが
得られる点で好ましい。
ドとノボラック型フェノール樹脂とを用いたポジ型感光
性材料では、弱アルカリ水溶液あるいはアルコールで完
全溶解できるので、吐出エネルギー発生素子の損傷を何
ら与えることがなく、かつ後工程での除去も極めて速や
かである。このようなポジ型感光性材料の中でも、ドラ
イフィルム状のものは１０〜１００μｍの厚膜のものが
得られる点で好ましい。
【００３２】次に、図３（ｂ）に示すように液室形成予
定部位に十分な容積を確保するために、また、前記第１
の基板１０１と第２の基板１０３との空隙を適当に保つ
ために、第２の固体層１０７を形成する。この第２の固
体層１０７も、後述する工程を経た後除去され、残され
た空間部分がインク液室の少なくとも一部となる。この
ような第２の固体層１０７を形成する具体的な手段及び
材料としては、例えば、フッ素置換されたアクリル樹
脂、トリクロロクロロポリマーポリフッ化ビニル等のフ
ッ素系樹脂等の樹脂を印刷する方法等がある。
定部位に十分な容積を確保するために、また、前記第１
の基板１０１と第２の基板１０３との空隙を適当に保つ
ために、第２の固体層１０７を形成する。この第２の固
体層１０７も、後述する工程を経た後除去され、残され
た空間部分がインク液室の少なくとも一部となる。この
ような第２の固体層１０７を形成する具体的な手段及び
材料としては、例えば、フッ素置換されたアクリル樹
脂、トリクロロクロロポリマーポリフッ化ビニル等のフ
ッ素系樹脂等の樹脂を印刷する方法等がある。
【００３３】次に、図３（ｃ）に示すように、第２の基
板１０３を位置決めして載置する。さらに図３（ｄ）に
示すように、フィルタ部材１０４、液室封止板１０５を
位置決め、載置する。
板１０３を位置決めして載置する。さらに図３（ｄ）に
示すように、フィルタ部材１０４、液室封止板１０５を
位置決め、載置する。
【００３４】次に図３（ｅ）に示すように、第１の基板
１０１と第２の基板１０３との間隙、第１の固体層１０
６と第２の基板１０３との間隙、第２の基板１０３と液
室封止板１０５との間隙に、それぞれノズル形成材料１
０２を注入し、注入後これを硬化する。ノズル形成材料
１０２は、前記の間隙に注入し、その後硬化することが
可能であれば、熱硬化型、常温硬化型、ＵＶ硬化型や、
熱可塑性の樹脂、あるいは低融点の金属等も使用可能で
ある。
１０１と第２の基板１０３との間隙、第１の固体層１０
６と第２の基板１０３との間隙、第２の基板１０３と液
室封止板１０５との間隙に、それぞれノズル形成材料１
０２を注入し、注入後これを硬化する。ノズル形成材料
１０２は、前記の間隙に注入し、その後硬化することが
可能であれば、熱硬化型、常温硬化型、ＵＶ硬化型や、
熱可塑性の樹脂、あるいは低融点の金属等も使用可能で
ある。
【００３５】ノズル形成材料１０２の硬化後、吐出口２
０１のオリフィス部形成のため、切断を行う。図３
（ｅ）の２点鎖線で切断箇所を図示した。なお、オリフ
ィスの形成方法によっては上述の切断は必ずしも必要で
あるとは限らない。
０１のオリフィス部形成のため、切断を行う。図３
（ｅ）の２点鎖線で切断箇所を図示した。なお、オリフ
ィスの形成方法によっては上述の切断は必ずしも必要で
あるとは限らない。
【００３６】次に、第１の固体層１０６、第２の固体層
１０７の除去を行う。これら第１の固体層１０６及び第
２の固体層１０７を、アルカリ水溶液や有機溶剤等の除
去液により溶解除去する。この除去に関しては第１の固
体層１０６と第２の固体層１０７とを別々の除去液によ
って順次除去することもできるが、前記各々の固体層の
材料を適当に選ぶことにより、同一溶液にて同時に除去
することも可能である。
１０７の除去を行う。これら第１の固体層１０６及び第
２の固体層１０７を、アルカリ水溶液や有機溶剤等の除
去液により溶解除去する。この除去に関しては第１の固
体層１０６と第２の固体層１０７とを別々の除去液によ
って順次除去することもできるが、前記各々の固体層の
材料を適当に選ぶことにより、同一溶液にて同時に除去
することも可能である。
【００３７】このようにして図１及び図２に示すような
インクジェット記録ヘッドが形成される。
インクジェット記録ヘッドが形成される。
【００３８】本実施例においては、ノズル形成材料１０
２を注入する固定において、ノズル形成フィルタ部材１
０４との固定を同時に行うことができ、フィルタ部材１
０４の固定を別の工程にした場合に比較して、工程数を
削減することができるものである。
２を注入する固定において、ノズル形成フィルタ部材１
０４との固定を同時に行うことができ、フィルタ部材１
０４の固定を別の工程にした場合に比較して、工程数を
削減することができるものである。
【００３９】（実施例２）本実施例２の前記第１の実施
例との相違点は、フィルタ部材１０４をノズル形成材料
１０２で固定する際、ノズル形成材料１０２が毛細管力
によってフィルタ部材１０４内に流入してフイルタが目
詰まりすることを防止した点にある。
例との相違点は、フィルタ部材１０４をノズル形成材料
１０２で固定する際、ノズル形成材料１０２が毛細管力
によってフィルタ部材１０４内に流入してフイルタが目
詰まりすることを防止した点にある。
【００４０】本実施例２においては、フィルタ部材１０
４を固定する前に、予め図４に示すようなパターンに樹
脂等から成るフィルタ目詰まり防止材１０８を印刷して
おく、インク流通部となる部分の目詰まりを防止するた
めには図４（ａ）のようなパターンでも良いし、図４
（ｂ）のようなパターンでも良い。さらに、このフィル
タ目詰まり防止材１０８は、なるべく粘度が高く、パタ
ーン形成し易い材料、ノズル形成材料と相溶性の低い材
料、パターン形成後除去可能な材料の方が好ましい。ま
た、固体層１０２と同一の材料を選択した場合、ノズル
形成材料１０２の固体層１０６を除去する工程で、この
固体層１０６と一緒に除去され、効果的である。
４を固定する前に、予め図４に示すようなパターンに樹
脂等から成るフィルタ目詰まり防止材１０８を印刷して
おく、インク流通部となる部分の目詰まりを防止するた
めには図４（ａ）のようなパターンでも良いし、図４
（ｂ）のようなパターンでも良い。さらに、このフィル
タ目詰まり防止材１０８は、なるべく粘度が高く、パタ
ーン形成し易い材料、ノズル形成材料と相溶性の低い材
料、パターン形成後除去可能な材料の方が好ましい。ま
た、固体層１０２と同一の材料を選択した場合、ノズル
形成材料１０２の固体層１０６を除去する工程で、この
固体層１０６と一緒に除去され、効果的である。
【００４１】（実施例３）図５及び図６は、第３の実施
例を説明するためのそれぞれ模式的分解図及び、切断個
所を示した斜視図である。本実施例は、前記実施例１と
同様に、第１の基板１０１、第２の基板１０３、フィル
タ部材１０４、液室封止板１０５を積層してインクジェ
ット記録ヘッドを形成する点においては第１の実施例と
同様であるが、図５に示すように、本実施例３は、複数
個のインクジェット記録ヘッドを同時に形成し、ノズル
形成材料１０２の硬化後、これを切断する点が前記第
１，第２の実施例との相違点である。
例を説明するためのそれぞれ模式的分解図及び、切断個
所を示した斜視図である。本実施例は、前記実施例１と
同様に、第１の基板１０１、第２の基板１０３、フィル
タ部材１０４、液室封止板１０５を積層してインクジェ
ット記録ヘッドを形成する点においては第１の実施例と
同様であるが、図５に示すように、本実施例３は、複数
個のインクジェット記録ヘッドを同時に形成し、ノズル
形成材料１０２の硬化後、これを切断する点が前記第
１，第２の実施例との相違点である。
【００４２】本実施例３で使用する第１の基板１０１、
第２の基板１０３、フィルタ部材１０４、液室封止板１
０５は、積層前に予め所望の形状に加工を行っておく。
次に、前記第１の実施例と同様の工程によってこれらの
部材を積層し、ノズル形成材料１０２を注入する。注入
後の状態を図６に示す。
第２の基板１０３、フィルタ部材１０４、液室封止板１
０５は、積層前に予め所望の形状に加工を行っておく。
次に、前記第１の実施例と同様の工程によってこれらの
部材を積層し、ノズル形成材料１０２を注入する。注入
後の状態を図６に示す。
【００４３】次にノズル形成材料１０２の硬化後、図６
の２点鎖線に示す箇所で切断し、複数のインクジェット
記録ヘッド（図例は８個）が同時に形成される。本実施
例３においては、一度の工程で、多数のインクジェット
記録ヘッドを形成することができ、第１の実施例よりも
さらにインクジェット記録ヘッドの製造能率を向上さ
せ、その生産コストを低減する効果がある。
の２点鎖線に示す箇所で切断し、複数のインクジェット
記録ヘッド（図例は８個）が同時に形成される。本実施
例３においては、一度の工程で、多数のインクジェット
記録ヘッドを形成することができ、第１の実施例よりも
さらにインクジェット記録ヘッドの製造能率を向上さ
せ、その生産コストを低減する効果がある。
【００４４】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、フィルタ部材の固定をノズル形成と同時に行うこと
ができ、インクジェット記録ヘッドの製作工程を削減
し、さらにフィルタ部材の固定後に第１及び第２の固体
層を除去するため、液室内へのゴミの混入を防止する効
果が得られる。
ば、フィルタ部材の固定をノズル形成と同時に行うこと
ができ、インクジェット記録ヘッドの製作工程を削減
し、さらにフィルタ部材の固定後に第１及び第２の固体
層を除去するため、液室内へのゴミの混入を防止する効
果が得られる。
【図１】 第１実施例の模式的斜視図
【図２】 図１のＡ−Ａ′及びＢ−Ｂ′断面図
【図３】 インクジェット記録ヘッドの製作工程説明図
【図４】 第２実施例のフィルタ部材の樹脂パターンの
模式図
模式図
【図５】 第３の実施例の模式的分解斜視図
【図６】 第３の実施例の模式的斜視図
【図７】 従来のインクジェット記録ヘッドの形成法の
一例の説明図
一例の説明図
【図８】 従来のインクジェット記録ヘッドの形成法の
ノズル形成材料注入の模式的断面図
ノズル形成材料注入の模式的断面図
１０１ 第１の基板 １０２ ノズル形成材料 １０３ 第２の基板 １０４ フィルタ部材 １０５ 液室封止板 １０６ 第１の固体層 １０７ 第２の固体層 １０８ フィルタ目詰まり防止材 １０９ 接着剤 ２０１ 吐出口 ２０２ 液室 ２０３ インク供給口
Claims (9)
- 【請求項１】 吐出エネルギー発生素子を形成し、この
吐出エネルギー発生素子に対応しインク液路となる部分
が固体層でパターニングされた第１の基板と、前記イン
ク液路にインクを供給するための液室を有する第２の基
板と、前記第１の基板と第２の基板との間にノズル形成
材料を有し、このノズル形成材料の硬化後、前記固体層
を除去してインク液路を形成するインクジェット記録ヘ
ッドの製造過程において、前記第２の基板の液室内にイ
ンク中のゴミ，気泡を混入させないためのフィルタ部材
を配設し、このフィルタ部材を前記第２の基板に前記ノ
ズル形成材料で固定することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記インクジェット記録ヘッドの製造過
程において、前記ノズル形成と、前記フィルタ部材の前
記第２の基板への固定とを同時に行うことを特徴とする
請求項１に記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記インクジェット記録ヘッドの製造過
程において、前記フィルタ部材はインク流通部に予めマ
スキング材を塗布し、前記ノズル形成材料で前記第２基
板に貼り付け硬化させた後、前記固体層除去と同時にマ
スキング材の除去を行うことを特徴とする請求項１，２
のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記インクジェット記録ヘッドの製造過
程において、前記マスキング材が前記固体層であること
を特徴とする請求項３に記載のインクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項５】 吐出エネルギー発生素子を形成し、この
吐出エネルギー発生素子に対応しインク液路となる部分
が固体層でパターニングされた第１の基板と、前記イン
ク液路にインクを供給するための液室を有する第２の基
板と、前記第１の基板と第２の基板との間にノズル形成
材料を有し、このノズル形成材料の硬化後、前記固体層
を除去してインク液路を形成するインクジェット記録ヘ
ッドの製造過程において、前記第２の基板の液室内にイ
ンク中のゴミ，気泡を混入させないためのフィルタ部材
を配設し、このフィルタ部材を前記第２の基板に前記ノ
ズル形成材料で固定することを特徴とするインクジェッ
ト記録ヘッドの製造方法。 - 【請求項６】 前記ノズル形成と、前記フィルタ部材の
前記第２の基板への固定とを同時に行うことを特徴とす
る請求項５に記載のインクジェット記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項７】 前記フィルタ部材は、インク流通部に予
めマスキング材を塗布し、前記ノズル形成材料で前記第
２の基板の貼り付け硬化させた後、前記固体層除去と同
時に前記マスキング材の除去を行うことを特徴とする請
求項５，６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。 - 【請求項８】 前記マスキング材が前記固体層であるこ
とを特徴とする請求項７に記載のインクジェット記録ヘ
ッドの製造方法。 - 【請求項９】 前記フィルタ部材を前記第２の基板に前
記ノズル形成材料で固定し、その後これを切断すること
により複数のインクジェット記録ヘッドを形成するする
ことを特徴とする請求項５に記載のインクジェット記録
ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15617295A JPH091805A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15617295A JPH091805A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH091805A true JPH091805A (ja) | 1997-01-07 |
Family
ID=15621932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15617295A Withdrawn JPH091805A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH091805A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7044591B2 (en) | 2002-09-25 | 2006-05-16 | Brother Kogya Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP15617295A patent/JPH091805A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7044591B2 (en) | 2002-09-25 | 2006-05-16 | Brother Kogya Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
| US7753513B2 (en) | 2002-09-25 | 2010-07-13 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink-jet head, filter assembly used for manufacturing the ink-jet head, and method for manufacturing the ink-jet head using the filter assembly |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020903 |