JPH09117763A - ケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法 - Google Patents
ケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法Info
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- JPH09117763A JPH09117763A JP28024895A JP28024895A JPH09117763A JP H09117763 A JPH09117763 A JP H09117763A JP 28024895 A JP28024895 A JP 28024895A JP 28024895 A JP28024895 A JP 28024895A JP H09117763 A JPH09117763 A JP H09117763A
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Landscapes
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 高分子多孔質膜の劣化が少なく、濾過水が再
利用できるケミカルメカニカルポリッシング廃水の処理
方法を提供する。 【解決手段】 過酸化水素を含むケミカルメカニカルポ
リッシング廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理
するに際し、該廃水中の過酸化水素を、過酸化水素分解
酵素等により前処理装置であらかじめ分解し、該濾過装
置に供給する。 【効果】 過酸化水素による高分子多孔質膜の劣化が少
なく、膜の寿命が長くなる。
利用できるケミカルメカニカルポリッシング廃水の処理
方法を提供する。 【解決手段】 過酸化水素を含むケミカルメカニカルポ
リッシング廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理
するに際し、該廃水中の過酸化水素を、過酸化水素分解
酵素等により前処理装置であらかじめ分解し、該濾過装
置に供給する。 【効果】 過酸化水素による高分子多孔質膜の劣化が少
なく、膜の寿命が長くなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ケミカルメカニカ
ルポリッシング（以下、ＣＭＰと呼ぶ）装置から排出す
る廃水（以下、ＣＭＰ廃水ともいう）の処理方法に関す
る。さらに詳しくは、前処理装置でＣＭＰ廃水中の過酸
化水素を過酸化水素分解酵素で分解した後に高分子多孔
質膜濾過装置を用いて濾過することにより、再利用でき
る濾過水と無機砥粒を含む濃縮水に分離処理する方法に
関する。
ルポリッシング（以下、ＣＭＰと呼ぶ）装置から排出す
る廃水（以下、ＣＭＰ廃水ともいう）の処理方法に関す
る。さらに詳しくは、前処理装置でＣＭＰ廃水中の過酸
化水素を過酸化水素分解酵素で分解した後に高分子多孔
質膜濾過装置を用いて濾過することにより、再利用でき
る濾過水と無機砥粒を含む濃縮水に分離処理する方法に
関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＭＰ装置から排出する酸系スラリー廃
水には、大きさが０．０１〜３μｍのＳｉＯ2 又はＡｌ
2 Ｏ3 或いはＭｇＯ等の無機砥粒とＨ2 ＳＯ4 又はＨＦ
等の無機酸及び過酸化水素を含み、いずれも懸濁してい
るためそのままの状態では排出できない。
水には、大きさが０．０１〜３μｍのＳｉＯ2 又はＡｌ
2 Ｏ3 或いはＭｇＯ等の無機砥粒とＨ2 ＳＯ4 又はＨＦ
等の無機酸及び過酸化水素を含み、いずれも懸濁してい
るためそのままの状態では排出できない。
【０００３】先に、本発明者らは、この廃水の多孔質膜
による再生方法を提案したが、さらに検討した結果、処
理コスト、処理設備のスペース等の面から、多孔質膜と
しては無機系多孔質膜のものより高分子多孔質膜の方が
優れているものの、過酸化水素を含む酸系スラリー廃水
の場合は高分子多孔質膜が劣化するという問題点が明ら
かになった。
による再生方法を提案したが、さらに検討した結果、処
理コスト、処理設備のスペース等の面から、多孔質膜と
しては無機系多孔質膜のものより高分子多孔質膜の方が
優れているものの、過酸化水素を含む酸系スラリー廃水
の場合は高分子多孔質膜が劣化するという問題点が明ら
かになった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、高分
子多孔質膜濾過装置を用いたＣＭＰ廃水処理方法が抱え
る問題点解決すること、すなわち、高分子多孔質膜の劣
化が少なく、濾過水が再利用できるＣＭＰ廃水の処理方
法を提供することにある。
子多孔質膜濾過装置を用いたＣＭＰ廃水処理方法が抱え
る問題点解決すること、すなわち、高分子多孔質膜の劣
化が少なく、濾過水が再利用できるＣＭＰ廃水の処理方
法を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、鋭意検討
の結果、ＣＭＰ廃水中の過酸化水素を過酸化水素分解剤
で分解することによって、前記の課題を解決しうること
を見出し、本発明をなすに至った。即ち、本発明は、Ｃ
ＭＰ廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理するに
際し、該廃水中の過酸化水素を前処理装置であらかじめ
分解し、該濾過装置に供給することを特徴とするＣＭＰ
廃水処理方法であり、また、ＣＭＰ廃水中の過酸化水素
を前処理装置であらかじめ分解するに際し、該廃水のｐ
Ｈを中性にした後に過酸化水素分解酵素を注入すること
を特徴とするＣＭＰ廃水処理方法である。
の結果、ＣＭＰ廃水中の過酸化水素を過酸化水素分解剤
で分解することによって、前記の課題を解決しうること
を見出し、本発明をなすに至った。即ち、本発明は、Ｃ
ＭＰ廃水を高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理するに
際し、該廃水中の過酸化水素を前処理装置であらかじめ
分解し、該濾過装置に供給することを特徴とするＣＭＰ
廃水処理方法であり、また、ＣＭＰ廃水中の過酸化水素
を前処理装置であらかじめ分解するに際し、該廃水のｐ
Ｈを中性にした後に過酸化水素分解酵素を注入すること
を特徴とするＣＭＰ廃水処理方法である。
【０００６】本発明において、前処理装置は、ｐＨ計、
攪拌機、液面レベル計、及び送液ポンプの付いた前処理
タンクと、定量注入ポンプの付いた過酸化水素分解剤タ
ンク及び注入ポンプの付いた中和剤タンクからなり、そ
れぞれの動きは、プログラマブルコントローラ（以下、
シーケンスと呼ぶ）で制御する。前処理タンクの大きさ
及び濃縮水と処理水に分離する高分子多孔質膜濾過装置
の循環タンクの大きさと送液速度は、ＣＭＰ廃水の排出
速度と過酸化水素が分解するのに必要な滞留時間を考慮
して決めるとよい。過酸化水素分解酵素の場合は、１０
分好ましくは３０分の滞留時間をとるとよい。
攪拌機、液面レベル計、及び送液ポンプの付いた前処理
タンクと、定量注入ポンプの付いた過酸化水素分解剤タ
ンク及び注入ポンプの付いた中和剤タンクからなり、そ
れぞれの動きは、プログラマブルコントローラ（以下、
シーケンスと呼ぶ）で制御する。前処理タンクの大きさ
及び濃縮水と処理水に分離する高分子多孔質膜濾過装置
の循環タンクの大きさと送液速度は、ＣＭＰ廃水の排出
速度と過酸化水素が分解するのに必要な滞留時間を考慮
して決めるとよい。過酸化水素分解酵素の場合は、１０
分好ましくは３０分の滞留時間をとるとよい。
【０００７】本発明で用いる過酸化水素分解剤は、亜硫
酸、亜燐酸、蓚酸、過マンガン酸、チオ硫酸、及び第一
鉄等の無機塩或いは過酸化水素分解酵素であるが、特に
過酸化水素分解酵素が好ましい。無機塩の添加量は、過
酸化水素の規定濃度と等量入れるとよい。また、過酸化
水素分解酵素の場合は、過酸化水素質量濃度の１／１０
０以上、好ましくは１／３０以上の濃度でよい。
酸、亜燐酸、蓚酸、過マンガン酸、チオ硫酸、及び第一
鉄等の無機塩或いは過酸化水素分解酵素であるが、特に
過酸化水素分解酵素が好ましい。無機塩の添加量は、過
酸化水素の規定濃度と等量入れるとよい。また、過酸化
水素分解酵素の場合は、過酸化水素質量濃度の１／１０
０以上、好ましくは１／３０以上の濃度でよい。
【０００８】本発明において、過酸化水素分解剤として
過酸化水素分解酵素を用いる場合は、過酸化水素の分解
率を上げるために、中和剤を用いてＣＭＰ廃水のｐＨを
中性にすることが好ましい。中和剤としては、ＫＯＨ、
ＮａＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）2 、及びＮＨ4 ＯＨ等のアルカ
リ性水溶液がよい。該中和剤のいずれかを用いて、ＣＭ
Ｐ廃水のｐＨを５〜１１、好ましくは６〜８になるよう
にする。
過酸化水素分解酵素を用いる場合は、過酸化水素の分解
率を上げるために、中和剤を用いてＣＭＰ廃水のｐＨを
中性にすることが好ましい。中和剤としては、ＫＯＨ、
ＮａＯＨ、Ｃａ（ＯＨ）2 、及びＮＨ4 ＯＨ等のアルカ
リ性水溶液がよい。該中和剤のいずれかを用いて、ＣＭ
Ｐ廃水のｐＨを５〜１１、好ましくは６〜８になるよう
にする。
【０００９】本発明において、中和剤と過酸化水素分解
酵素の添加順番はいずれが先でもかまわないが、中和剤
を先に添加したほうがより好ましい。本発明において、
前処理装置で過酸化水素が分解されたＣＭＰ廃水は、前
処理タンクの送液ポンプで高分子多孔質膜濾過装置に送
液される。本発明に用いる高分子多孔質膜濾過装置は、
液面レベル計の付いた循環タンク、濾液タンク、及び濃
縮液タンク、循環ポンプ及び逆洗ポンプ、高分子多孔質
膜、積算流量計、積算流量指示計、流量計、、圧力トラ
ンスミッタ、圧力計、温度計、濁度検知器、濁度計、電
導度計、ｐＨ計、自動弁、及びイオン交換樹脂塔と制御
盤からなり、シーケンス制御されるが、以上述べた計器
類を全て備える必要はなく、目的に応じて備えるとよ
い。タンクの材質、形状に制限はない。又、ポンプも特
に制限はないが、廃水中の砥粒でシール部が破損しにく
い構造のものを選択するとよい。
酵素の添加順番はいずれが先でもかまわないが、中和剤
を先に添加したほうがより好ましい。本発明において、
前処理装置で過酸化水素が分解されたＣＭＰ廃水は、前
処理タンクの送液ポンプで高分子多孔質膜濾過装置に送
液される。本発明に用いる高分子多孔質膜濾過装置は、
液面レベル計の付いた循環タンク、濾液タンク、及び濃
縮液タンク、循環ポンプ及び逆洗ポンプ、高分子多孔質
膜、積算流量計、積算流量指示計、流量計、、圧力トラ
ンスミッタ、圧力計、温度計、濁度検知器、濁度計、電
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盤からなり、シーケンス制御されるが、以上述べた計器
類を全て備える必要はなく、目的に応じて備えるとよ
い。タンクの材質、形状に制限はない。又、ポンプも特
に制限はないが、廃水中の砥粒でシール部が破損しにく
い構造のものを選択するとよい。
【００１０】本発明で分離に用いる高分子多孔質膜は、
２０〜５００オングストロームのＵＦ膜（限外濾過膜）
及び０．０５〜１μｍのＭＦ膜（精密濾過膜）と呼ばれ
ている膜の中から、砥粒の大きさより小さい孔径のもの
を用いるとよい。又、過酸化水素分解酵素も濃縮除去し
たい時はＵＦ膜を用いるとよい。高分子多孔質膜の材質
としては、ポリアクリロニトリル、ポリスルフォン、ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン、
ポリテトラフルオロエチレン、酢酸セルロース、ポリア
ミド、ポリビニリデンクロライド、ポリエーテルサルフ
ォン等が挙げられる。 膜の形状は、管状膜、平板膜、
スパイラル膜、中空糸膜等いずれの形状を選択してもよ
い。
２０〜５００オングストロームのＵＦ膜（限外濾過膜）
及び０．０５〜１μｍのＭＦ膜（精密濾過膜）と呼ばれ
ている膜の中から、砥粒の大きさより小さい孔径のもの
を用いるとよい。又、過酸化水素分解酵素も濃縮除去し
たい時はＵＦ膜を用いるとよい。高分子多孔質膜の材質
としては、ポリアクリロニトリル、ポリスルフォン、ポ
リエチレン、ポリプロピレン、ポリフッ化ビニリデン、
ポリテトラフルオロエチレン、酢酸セルロース、ポリア
ミド、ポリビニリデンクロライド、ポリエーテルサルフ
ォン等が挙げられる。 膜の形状は、管状膜、平板膜、
スパイラル膜、中空糸膜等いずれの形状を選択してもよ
い。
【００１１】本発明の、高分子多孔質膜濾過装置を用い
る廃水処理法においては、膜濾過面と直交するように濾
過水を流す方法と膜濾過面と平行に濾過水を流す方法
（クロスフロー方式）が知られているが、クロスフロー
方式が好ましい。操作圧力は膜の耐圧性と濾過速度及び
濾過安定性を考慮して最適な値を定めるとよい。循環流
量は多い方がよく、１〜３ｍ／秒の流速になるようにす
るとよい。
る廃水処理法においては、膜濾過面と直交するように濾
過水を流す方法と膜濾過面と平行に濾過水を流す方法
（クロスフロー方式）が知られているが、クロスフロー
方式が好ましい。操作圧力は膜の耐圧性と濾過速度及び
濾過安定性を考慮して最適な値を定めるとよい。循環流
量は多い方がよく、１〜３ｍ／秒の流速になるようにす
るとよい。
【００１２】本発明に用いる高分子多孔質膜で、設定し
た濾液量を濾過し目的の濃度まで濃縮された液は、循環
ポンプによって濃縮液タンクに排出される。一方、濾過
水は、カチオン樹脂とアニオン樹脂からなるイオン交換
樹脂塔に通水され、イオン性物質が除去される。いうま
でもなく、イオン性物質の除去が必要でない時は交換樹
脂塔を必要としない。
た濾液量を濾過し目的の濃度まで濃縮された液は、循環
ポンプによって濃縮液タンクに排出される。一方、濾過
水は、カチオン樹脂とアニオン樹脂からなるイオン交換
樹脂塔に通水され、イオン性物質が除去される。いうま
でもなく、イオン性物質の除去が必要でない時は交換樹
脂塔を必要としない。
【００１３】本発明で用いる高分子多孔質膜の濾過水の
水質は、必要に応じて、濁度検知器、濁度計、電導度計
及びｐＨ計等を設置して監視するとよい。
水質は、必要に応じて、濁度検知器、濁度計、電導度計
及びｐＨ計等を設置して監視するとよい。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ、本発明
の実施例および比較例によって具体的に説明する。
の実施例および比較例によって具体的に説明する。
【００１５】
【実施例１】図１は、ＣＭＰ廃水を前処理する装置の概
略フロー図であり、図中、１はＣＭＰ装置、２は前処理
タンク、３は中和剤タンク、４は過酸化水素分解剤タン
ク、５は液面レベル計、６は攪拌機、７はｐＨ計、８は
中和剤注入ポンプ、９は過酸化水素分解剤注入ポンプ、
１０は送液ポンプ、１１は前処理されたＣＭＰ廃水を図
２の高分子多孔質膜濾過装置に送る送液配管を示す。図
２は前処理されたＣＭＰ廃水を処理する高分子多孔質膜
濾過装置であり、１２は液面レベル計、１３は積算流量
計と流量センサー、１４は高分子多孔質膜、１５はイオ
ン交換塔、１６は循環ポンプ、１７は循環タンク、濃縮
液タンクを示す。いずれの装置もシーケンス制御で作動
する装置である。
略フロー図であり、図中、１はＣＭＰ装置、２は前処理
タンク、３は中和剤タンク、４は過酸化水素分解剤タン
ク、５は液面レベル計、６は攪拌機、７はｐＨ計、８は
中和剤注入ポンプ、９は過酸化水素分解剤注入ポンプ、
１０は送液ポンプ、１１は前処理されたＣＭＰ廃水を図
２の高分子多孔質膜濾過装置に送る送液配管を示す。図
２は前処理されたＣＭＰ廃水を処理する高分子多孔質膜
濾過装置であり、１２は液面レベル計、１３は積算流量
計と流量センサー、１４は高分子多孔質膜、１５はイオ
ン交換塔、１６は循環ポンプ、１７は循環タンク、濃縮
液タンクを示す。いずれの装置もシーケンス制御で作動
する装置である。
【００１６】過酸化水素濃度は過マンガン酸カリウム滴
定法で測定した。ＣＭＰ装置１から、過酸化水素とアル
ミナ砥粒を含むＣＭＰ廃水が前処理タンク２に１００リ
ットル排出された。ＣＭＰ廃水は白濁しており、ｐＨ
４．０、電気伝導度（以下ＥＣと呼ぶ）２４０μｓ／ｃ
ｍ、過酸化水素濃度は１５００ｍｇ／リットルであっ
た。
定法で測定した。ＣＭＰ装置１から、過酸化水素とアル
ミナ砥粒を含むＣＭＰ廃水が前処理タンク２に１００リ
ットル排出された。ＣＭＰ廃水は白濁しており、ｐＨ
４．０、電気伝導度（以下ＥＣと呼ぶ）２４０μｓ／ｃ
ｍ、過酸化水素濃度は１５００ｍｇ／リットルであっ
た。
【００１７】攪拌機６が回転し、中和剤タンク３中の１
％のＮａＯＨ水溶液が注入ポンプ８を経て前処理タンク
に注入された。その量は、ｐＨ計７からの電気信号を受
けて、ｐＨ計の指示値が７になるまで注入ポンプが作動
するようシーケンス制御して、添加された。次に、過酸
化水素分解剤タンク４中の一定量の過酸化水素分解酵素
が定量注入ポンプ９で前処理タンクに送られた。過酸化
水素分解酵素は、洛東化成工業株式会社製のエンチロン
ＯＬ−５０を用い、ＣＭＰ廃水１００リットル中の過酸
化水素の１／２０の質量に相当する７．５グラムを添加
した。１０分間攪拌した後の過酸化水素濃度は４５ｍｇ
／リットルであり、過酸化水素の分解率は９７％であっ
た。
％のＮａＯＨ水溶液が注入ポンプ８を経て前処理タンク
に注入された。その量は、ｐＨ計７からの電気信号を受
けて、ｐＨ計の指示値が７になるまで注入ポンプが作動
するようシーケンス制御して、添加された。次に、過酸
化水素分解剤タンク４中の一定量の過酸化水素分解酵素
が定量注入ポンプ９で前処理タンクに送られた。過酸化
水素分解酵素は、洛東化成工業株式会社製のエンチロン
ＯＬ−５０を用い、ＣＭＰ廃水１００リットル中の過酸
化水素の１／２０の質量に相当する７．５グラムを添加
した。１０分間攪拌した後の過酸化水素濃度は４５ｍｇ
／リットルであり、過酸化水素の分解率は９７％であっ
た。
【００１８】過酸化水素が分解された前処理タンクの液
は送液ポンプで送液配管を経て図２の循環タンク１７に
送液した。送液された液は、循環ポンプ１６を経て高分
子多孔質膜１４に入り、そこで濾過液と濃縮液に分離さ
れた。濃縮液は循環タンク１７に戻され、濾過液は積算
流量計と流量センサー１３を経て、イオン交換塔を通し
た。
は送液ポンプで送液配管を経て図２の循環タンク１７に
送液した。送液された液は、循環ポンプ１６を経て高分
子多孔質膜１４に入り、そこで濾過液と濃縮液に分離さ
れた。濃縮液は循環タンク１７に戻され、濾過液は積算
流量計と流量センサー１３を経て、イオン交換塔を通し
た。
【００１９】高分子多孔質過膜１４は旭化成工業株式会
社製の限外濾過膜、ＡＣＶ−３０５０（ポリアクリルニ
トリル膜、膜面積３．１ｍ2 、中空糸内径１．４ｍｍ）
を用いた。クロスフロー方式で、濾過温度３０℃、操作
平均圧力は１００ＫＰａ、膜流路内の流速は２ｍ／秒と
し、１．１リットル／分、ｍ2 の濾過速度で分離処理し
た。
社製の限外濾過膜、ＡＣＶ−３０５０（ポリアクリルニ
トリル膜、膜面積３．１ｍ2 、中空糸内径１．４ｍｍ）
を用いた。クロスフロー方式で、濾過温度３０℃、操作
平均圧力は１００ＫＰａ、膜流路内の流速は２ｍ／秒と
し、１．１リットル／分、ｍ2 の濾過速度で分離処理し
た。
【００２０】濾過水は無色透明、ｐＨ７．１ 、ＥＣ３
μｓ／ｃｍであり、洗浄水として使用した。６ヵ月稼働
後の膜の引張強さの保持率は９０％であった。
μｓ／ｃｍであり、洗浄水として使用した。６ヵ月稼働
後の膜の引張強さの保持率は９０％であった。
【００２１】
【比較例１】実施例１で得たＣＭＰ廃水を、前処理なし
で高分子多孔質膜濾過装置で、実施例１で用いた限外濾
過膜ＡＣＶ−３０５０を用いて分離処理した。濾過装置
の運転条件は実施例１と同一にした。濾過水はイオン交
換塔を通さなかった。濾過水の過酸化水素濃度は１４５
０ｍｇ／リットルであり、、ｐＨ４．０、ＥＣ１８０μ
ｓ／ｃｍで再使用、又は放流できる水質ではなかった。
また、６ヵ月稼働後の膜の引張強さの保持率は４６％で
あった。
で高分子多孔質膜濾過装置で、実施例１で用いた限外濾
過膜ＡＣＶ−３０５０を用いて分離処理した。濾過装置
の運転条件は実施例１と同一にした。濾過水はイオン交
換塔を通さなかった。濾過水の過酸化水素濃度は１４５
０ｍｇ／リットルであり、、ｐＨ４．０、ＥＣ１８０μ
ｓ／ｃｍで再使用、又は放流できる水質ではなかった。
また、６ヵ月稼働後の膜の引張強さの保持率は４６％で
あった。
【００２２】
【発明の効果】本発明によれば、酸系の過酸化水素を含
むＣＭＰ廃水を前処理装置で処理して高分子多孔質膜濾
過装置で濃縮するため、高分子多孔質膜の劣化が少く、
膜の寿命が長くなる。さらに、濾過水は洗浄水、工業用
水、冷却水、散水用水、及び農業用水としての水質基準
を満たすため、それらの用途に使用することができる。
むＣＭＰ廃水を前処理装置で処理して高分子多孔質膜濾
過装置で濃縮するため、高分子多孔質膜の劣化が少く、
膜の寿命が長くなる。さらに、濾過水は洗浄水、工業用
水、冷却水、散水用水、及び農業用水としての水質基準
を満たすため、それらの用途に使用することができる。
【図１】本発明のＣＭＰ廃水処理装置の前処理装置概略
フロー図である。
フロー図である。
【図２】本発明のＣＭＰ廃水処理装置の高分子多孔質膜
濃縮装置概略フロー図である。
濃縮装置概略フロー図である。
１ ＣＭＰ装置 ２ 前処理タンク ３ 中和剤タンク ４ 過酸化水素分解剤タンク ５ 液面レベル計 ６ 攪拌機 ７ ｐＨ計 ８ 中和剤注入ポンプ ９ 定量注入ポンプ １０ 送液ポンプ １１ 送液配管 １２ 液面レベル計 １３ 積算濾液流量計と流量センサー １４ 高分子多孔質膜 １５ イオン交換塔 １６ 循環ポンプ １７ 循環タンク １８ 濃縮液タンク
Claims (2)
- 【請求項１】 ケミカルメカニカルポリッシング廃水を
高分子多孔質膜濾過装置を用いて処理するに際し、該廃
水中の過酸化水素を前処理装置であらかじめ分解し、該
濾過装置に供給することを特徴とするケミカルメカニカ
ルポリッシング廃水処理方法。 - 【請求項２】 ケミカルメカニカルポリッシング廃水中
の過酸化水素を前処理装置であらかじめ分解するに際
し、該廃水のｐＨを中性にした後に過酸化水素分解酵素
を注入することを特徴とする請求項１記載のケミカルメ
カニカルポリッシング廃水処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28024895A JPH09117763A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28024895A JPH09117763A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09117763A true JPH09117763A (ja) | 1997-05-06 |
Family
ID=17622370
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28024895A Withdrawn JPH09117763A (ja) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | ケミカルメカニカルポリッシング廃水処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09117763A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000002819A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | United States Filter Corporation | Ion exchange removal of metal ions from wastewater |
| JP2008000750A (ja) * | 2007-08-16 | 2008-01-10 | Japan Organo Co Ltd | Ｃｍｐ工程排水処理装置 |
| US7488423B2 (en) | 2005-08-02 | 2009-02-10 | Siemens Water Technologies Holding Corp. | System and method of slurry treatment |
| JP2010119956A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Kurita Water Ind Ltd | アゾール系銅用防食剤含有水の処理方法 |
| JP2015009214A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 過酸化水素含有排水処理装置および処理方法 |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP28024895A patent/JPH09117763A/ja not_active Withdrawn
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2000002819A1 (en) * | 1998-07-10 | 2000-01-20 | United States Filter Corporation | Ion exchange removal of metal ions from wastewater |
| US6818129B2 (en) | 1998-07-10 | 2004-11-16 | Usfilter Corporation | Ion exchange removal of metal ions from wastewater |
| US7488423B2 (en) | 2005-08-02 | 2009-02-10 | Siemens Water Technologies Holding Corp. | System and method of slurry treatment |
| JP2008000750A (ja) * | 2007-08-16 | 2008-01-10 | Japan Organo Co Ltd | Ｃｍｐ工程排水処理装置 |
| JP2010119956A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Kurita Water Ind Ltd | アゾール系銅用防食剤含有水の処理方法 |
| JP2015009214A (ja) * | 2013-06-28 | 2015-01-19 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 過酸化水素含有排水処理装置および処理方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030107 |